JPH11287637A - 透過偏芯測定装置及び方法 - Google Patents
透過偏芯測定装置及び方法Info
- Publication number
- JPH11287637A JPH11287637A JP10105378A JP10537898A JPH11287637A JP H11287637 A JPH11287637 A JP H11287637A JP 10105378 A JP10105378 A JP 10105378A JP 10537898 A JP10537898 A JP 10537898A JP H11287637 A JPH11287637 A JP H11287637A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens system
- eccentricity
- detection sensor
- light beam
- transmission
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】レンズ系の透過偏芯測定の際、収差の大きいレ
ンズ系や組立て途中のレンズ系であっても、スポットサ
イズが、確実に偏芯量検出センサー上で捉えられる透過
偏芯測定装置及び方法を提供する。 【解決手段】光源８から発した光束Ｔを焦点合わせレン
ズ系６、被検レンズ系１の順に透過させた後に集光レン
ズ２を介して偏芯量検出センサー４に入射させる透過偏
芯測定装置において、焦点合わせレンズ系６に入射する
光束Ｔのビーム径ｂの大きさを調整するビーム径調整手
段７を備えたことを特徴とする。
ンズ系や組立て途中のレンズ系であっても、スポットサ
イズが、確実に偏芯量検出センサー上で捉えられる透過
偏芯測定装置及び方法を提供する。 【解決手段】光源８から発した光束Ｔを焦点合わせレン
ズ系６、被検レンズ系１の順に透過させた後に集光レン
ズ２を介して偏芯量検出センサー４に入射させる透過偏
芯測定装置において、焦点合わせレンズ系６に入射する
光束Ｔのビーム径ｂの大きさを調整するビーム径調整手
段７を備えたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学機器等に用い
られるレンズ系の透過偏芯を測定する透過偏芯測定装置
及び方法に関する。
られるレンズ系の透過偏芯を測定する透過偏芯測定装置
及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】高精度の光学機器等に用いられるレンズ
系は、その結像上の問題が生じないように、極めて少な
い収差が要求されている。レンズ系を組立てる際、透過
偏芯測定装置にてレンズ系の透過偏芯を測定するが、そ
のレンズ系の収差が少ないものであれば、その少ない収
差を検出できるように、透過偏芯測定装置の分解能を高
くしなければならない。そのため従来より透過偏芯測定
装置は、光源から発した光束を、焦点合わせレンズ系、
被検レンズ系、集光レンズ、対物レンズの順に透過させ
た後に、偏芯量検出センサー上に高倍率で拡大投影して
いる。
系は、その結像上の問題が生じないように、極めて少な
い収差が要求されている。レンズ系を組立てる際、透過
偏芯測定装置にてレンズ系の透過偏芯を測定するが、そ
のレンズ系の収差が少ないものであれば、その少ない収
差を検出できるように、透過偏芯測定装置の分解能を高
くしなければならない。そのため従来より透過偏芯測定
装置は、光源から発した光束を、焦点合わせレンズ系、
被検レンズ系、集光レンズ、対物レンズの順に透過させ
た後に、偏芯量検出センサー上に高倍率で拡大投影して
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術は、測
定の分解能を高くするために、被検レンズ系を透過した
光束を、高倍率で偏芯量検出センサーに拡大投影してい
る。すなわち、偏芯量検出センサー上での光源の像の大
きさ（スポットサイズ）は、高倍率で拡大されたものに
なっている。このような高分解能の透過偏芯測定装置
で、たまたま収差が大きくなっているレンズ系等の透過
偏芯を測定する場合、その偏芯量検出センサー上での光
源の像（スポット）は、偏芯量検出センサーの受光面よ
り大きくなってしまって、測定ができないといったこと
が生じる。したがって本発明は、レンズ系の透過偏芯測
定の際、収差の大きいレンズ系や組立て途中のレンズ系
であっても、スポットサイズが、確実に偏芯量検出セン
サー上で捉えられる透過偏芯測定装置及び方法を提供す
ることを課題とする。
定の分解能を高くするために、被検レンズ系を透過した
光束を、高倍率で偏芯量検出センサーに拡大投影してい
る。すなわち、偏芯量検出センサー上での光源の像の大
きさ（スポットサイズ）は、高倍率で拡大されたものに
なっている。このような高分解能の透過偏芯測定装置
で、たまたま収差が大きくなっているレンズ系等の透過
偏芯を測定する場合、その偏芯量検出センサー上での光
源の像（スポット）は、偏芯量検出センサーの受光面よ
り大きくなってしまって、測定ができないといったこと
が生じる。したがって本発明は、レンズ系の透過偏芯測
定の際、収差の大きいレンズ系や組立て途中のレンズ系
であっても、スポットサイズが、確実に偏芯量検出セン
サー上で捉えられる透過偏芯測定装置及び方法を提供す
ることを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するためになされたものであり、すなわち、添付図面に
付した符号をカッコ内に付記すると、本発明は、光源
（８）から発した光束（Ｔ）を焦点合わせレンズ系
（６）、被検レンズ系（１）の順に透過させた後に集光
レンズ（２）を介して偏芯量検出センサー（４）に入射
させる透過偏芯測定装置において、焦点合わせレンズ系
（６）に入射する光束（Ｔ）のビーム径（ｂ）の大きさ
を調整するビーム径調整手段（７）を備えたことを特徴
とする透過偏芯測定装置である。
するためになされたものであり、すなわち、添付図面に
付した符号をカッコ内に付記すると、本発明は、光源
（８）から発した光束（Ｔ）を焦点合わせレンズ系
（６）、被検レンズ系（１）の順に透過させた後に集光
レンズ（２）を介して偏芯量検出センサー（４）に入射
させる透過偏芯測定装置において、焦点合わせレンズ系
（６）に入射する光束（Ｔ）のビーム径（ｂ）の大きさ
を調整するビーム径調整手段（７）を備えたことを特徴
とする透過偏芯測定装置である。
【０００５】その際、被検レンズ系（１）と偏芯量検出
センサー（４）との間の光路に光束分割手段（９）を介
在させ、光束分割手段（９）で反射し又は透過した光束
（Ｔ）の一部を撮像手段（５）に入射させる構成とする
ことができる。また、被検レンズ系（１）と偏芯量検出
センサー（４）との間の光路に移動可能に平面鏡（１
０）を配置し、平面鏡（１０）で反射した光束（Ｔ）を
撮像手段（５）に入射させる構成とすることができる。
センサー（４）との間の光路に光束分割手段（９）を介
在させ、光束分割手段（９）で反射し又は透過した光束
（Ｔ）の一部を撮像手段（５）に入射させる構成とする
ことができる。また、被検レンズ系（１）と偏芯量検出
センサー（４）との間の光路に移動可能に平面鏡（１
０）を配置し、平面鏡（１０）で反射した光束（Ｔ）を
撮像手段（５）に入射させる構成とすることができる。
【０００６】また本発明は、光源（８）から発した光束
（Ｔ）を焦点合わせレンズ系（６）、被検レンズ系
（１）の順に透過させた後に集光レンズ（２）を介して
偏芯量検出センサー（４）に入射させることによって被
検レンズ系（１）の透過偏芯を測定する透過偏芯測定方
法において、焦点合わせレンズ系（６）に入射する光束
（Ｔ）のビーム径（ｂ）の大きさを調整するビーム径調
整手段（７）を設け、予めビーム径（ｂ）と偏芯量検出
センサー（４）上での光源（８）の像の大きさとの関係
を求める工程と、偏芯量検出センサー（４）上での光源
（８）の像が予め定めた既定値以下となるようにビーム
径（ｂ）を調整する工程とを有することを特徴とする透
過偏芯測定方法である。
（Ｔ）を焦点合わせレンズ系（６）、被検レンズ系
（１）の順に透過させた後に集光レンズ（２）を介して
偏芯量検出センサー（４）に入射させることによって被
検レンズ系（１）の透過偏芯を測定する透過偏芯測定方
法において、焦点合わせレンズ系（６）に入射する光束
（Ｔ）のビーム径（ｂ）の大きさを調整するビーム径調
整手段（７）を設け、予めビーム径（ｂ）と偏芯量検出
センサー（４）上での光源（８）の像の大きさとの関係
を求める工程と、偏芯量検出センサー（４）上での光源
（８）の像が予め定めた既定値以下となるようにビーム
径（ｂ）を調整する工程とを有することを特徴とする透
過偏芯測定方法である。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面によっ
て説明する。図１にて、本発明による透過偏芯測定装置
の第１実施例を示す。Ｈｅ−Ｃｄレーザー等の光源８よ
り発した平行光束は、ズームレンズ系７によって、拡縮
自在なビーム径ｂの平行光束に調整される。調整後の平
行光束は、焦点合わせレンズ系６を透過して、被検レン
ズ系１に入射する。ここで、焦点合わせレンズ系６は、
平行光束が被検レンズ系１の前側焦点に集光するように
調整される。また被検レンズ系１は、高精度のスピンド
ル（不図示）に取り付けられて、光軸周りに回転してい
る。
て説明する。図１にて、本発明による透過偏芯測定装置
の第１実施例を示す。Ｈｅ−Ｃｄレーザー等の光源８よ
り発した平行光束は、ズームレンズ系７によって、拡縮
自在なビーム径ｂの平行光束に調整される。調整後の平
行光束は、焦点合わせレンズ系６を透過して、被検レン
ズ系１に入射する。ここで、焦点合わせレンズ系６は、
平行光束が被検レンズ系１の前側焦点に集光するように
調整される。また被検レンズ系１は、高精度のスピンド
ル（不図示）に取り付けられて、光軸周りに回転してい
る。
【０００８】被検レンズ系１を透過した後の光束Ｔは、
焦点合わせレンズ系６に入射するビーム径ｂに対応した
ビーム径ａの平行光束となり、集光レンズ２に入射す
る。集光レンズ２を透過した後の光束Ｔは、対物レンズ
３の物体面に集光する。対物レンズ３を透過した光束Ｔ
は、ハーフミラー９に入射する。ハーフミラー９に入射
した光束Ｔの一部の光束Ｔ1（例えば、入射光束に対し
て５０％の光量の光束）は、ハーフミラー９の光束分割
面で反射して、ＣＣＤカメラ５に入射する。これによ
り、対物レンズ３の物体面に形成された集光点の位置
が、ＣＣＤカメラ５に投影される。
焦点合わせレンズ系６に入射するビーム径ｂに対応した
ビーム径ａの平行光束となり、集光レンズ２に入射す
る。集光レンズ２を透過した後の光束Ｔは、対物レンズ
３の物体面に集光する。対物レンズ３を透過した光束Ｔ
は、ハーフミラー９に入射する。ハーフミラー９に入射
した光束Ｔの一部の光束Ｔ1（例えば、入射光束に対し
て５０％の光量の光束）は、ハーフミラー９の光束分割
面で反射して、ＣＣＤカメラ５に入射する。これによ
り、対物レンズ３の物体面に形成された集光点の位置
が、ＣＣＤカメラ５に投影される。
【０００９】他方、ハーフミラー９に入射した光束Ｔの
うちの残りの光束Ｔ2は、ハーフミラー９を透過する。
ハーフミラー９を透過した光束Ｔ2は、偏芯量検出セン
サー４に入射する。これにより対物レンズ３の物体面に
形成された集光点の位置が、偏芯量検出センサー４に拡
大投影される。偏芯量検出センサー４としては、例えば
ＰＳＤを用いることができる。ここで、ＣＣＤカメラ５
の受光面は、偏芯量検出センサー４の受光面より大きく
なっている。以上の構成より成る透過偏芯測定装置は、
ＣＣＤカメラ５にて被検レンズ系１を透過した光束Ｔの
スポットを観察することができる。そしてスポットの観
察をしながら、ズームレンズ系７を操作して、偏芯量検
出センサー４上のスポットサイズが予め定めた既定値以
下となるように、例えば最小又は測定可能範囲内となる
ようにビーム径ｂを調整する。このように、収差の大き
いレンズ系や組立て途中のレンズ系であっても、被検レ
ンズ系１を透過した光束Ｔが形成するスポットが、確実
に偏芯量検出センサー４の受光面内にあり、測定の作業
性が良い透過偏芯測定装置を提供することができる。
うちの残りの光束Ｔ2は、ハーフミラー９を透過する。
ハーフミラー９を透過した光束Ｔ2は、偏芯量検出セン
サー４に入射する。これにより対物レンズ３の物体面に
形成された集光点の位置が、偏芯量検出センサー４に拡
大投影される。偏芯量検出センサー４としては、例えば
ＰＳＤを用いることができる。ここで、ＣＣＤカメラ５
の受光面は、偏芯量検出センサー４の受光面より大きく
なっている。以上の構成より成る透過偏芯測定装置は、
ＣＣＤカメラ５にて被検レンズ系１を透過した光束Ｔの
スポットを観察することができる。そしてスポットの観
察をしながら、ズームレンズ系７を操作して、偏芯量検
出センサー４上のスポットサイズが予め定めた既定値以
下となるように、例えば最小又は測定可能範囲内となる
ようにビーム径ｂを調整する。このように、収差の大き
いレンズ系や組立て途中のレンズ系であっても、被検レ
ンズ系１を透過した光束Ｔが形成するスポットが、確実
に偏芯量検出センサー４の受光面内にあり、測定の作業
性が良い透過偏芯測定装置を提供することができる。
【００１０】なお、本第１実施例では、ビーム径調整手
段として、ズームレンズ系７を使用したが、その代りに
可変絞りを用いても良い。また、本第１実施例では、ハ
ーフミラー９の反射光路側にＣＣＤカメラ５を配置し、
透過光路側に偏芯量検出センサー４を配置したが、その
ハーフミラー９に対するＣＣＤカメラ５と偏芯量検出セ
ンサー４の配置を入れ換えても良い。また、ハーフミラ
ー９の配置位置を、本第１実施例では対物レンズ３と偏
芯量検出センサー４との間の光路に設けたが、被検レン
ズ系１と偏芯量検出センサー４との間の光路内であれ
ば、どこにでも配置することが可能である。
段として、ズームレンズ系７を使用したが、その代りに
可変絞りを用いても良い。また、本第１実施例では、ハ
ーフミラー９の反射光路側にＣＣＤカメラ５を配置し、
透過光路側に偏芯量検出センサー４を配置したが、その
ハーフミラー９に対するＣＣＤカメラ５と偏芯量検出セ
ンサー４の配置を入れ換えても良い。また、ハーフミラ
ー９の配置位置を、本第１実施例では対物レンズ３と偏
芯量検出センサー４との間の光路に設けたが、被検レン
ズ系１と偏芯量検出センサー４との間の光路内であれ
ば、どこにでも配置することが可能である。
【００１１】次に、図２にて本発明による透過偏芯測定
装置の第２実施例を示す。本第２実施例と前記第１実施
例との違いは、第１実施例におけるハーフミラー９の代
わりに、平面鏡１０を挿脱可能に配置した点である。ま
ず、ビーム径ｂを調整するときには、平面鏡１０を対物
レンズ３と偏芯量検出センサー４との間の光路内に装着
する。そして、被検レンズ系１を透過した光束Ｔを、平
面鏡１０で反射させて、ＣＣＤカメラ５に入射させ、そ
のスポットを観察する。そのスポットサイズが、予め定
めた既定値以下となったら、ビーム径ｂを固定して、調
整作業を終了する。次に、実際に被検レンズ系１の透過
偏芯を測定するときには、平面鏡１０を装置の光路外へ
取り外す。そして、前記工程で固定したビーム径ｂによ
って、偏芯量検出センサー４上にスポットを形成して、
被検レンズ系１の透過偏芯を実測する。以上のように本
第２実施例によっても、前記第１実施例と同様の効果を
得ることができる。
装置の第２実施例を示す。本第２実施例と前記第１実施
例との違いは、第１実施例におけるハーフミラー９の代
わりに、平面鏡１０を挿脱可能に配置した点である。ま
ず、ビーム径ｂを調整するときには、平面鏡１０を対物
レンズ３と偏芯量検出センサー４との間の光路内に装着
する。そして、被検レンズ系１を透過した光束Ｔを、平
面鏡１０で反射させて、ＣＣＤカメラ５に入射させ、そ
のスポットを観察する。そのスポットサイズが、予め定
めた既定値以下となったら、ビーム径ｂを固定して、調
整作業を終了する。次に、実際に被検レンズ系１の透過
偏芯を測定するときには、平面鏡１０を装置の光路外へ
取り外す。そして、前記工程で固定したビーム径ｂによ
って、偏芯量検出センサー４上にスポットを形成して、
被検レンズ系１の透過偏芯を実測する。以上のように本
第２実施例によっても、前記第１実施例と同様の効果を
得ることができる。
【００１２】次に、図３にて本発明による透過偏芯測定
方法の一実施例を示す。本実施例に用いる装置の構成
は、前記第１実施例の透過偏芯測定装置からハーフミラ
ー９とＣＣＤカメラ５とを取り外したものである。そし
て、予めビーム径ｂと偏芯量検出センサー４上のスポッ
トサイズとの関係を求め、スポットサイズが予め定めた
既定値以下となるようにズームレンズ系７を操作して、
ビーム径ｂを調整する。以下詳しく説明する。まず、集
光レンズ２入射前の光束Ｔのビーム径ａと偏芯量検出セ
ンサー４上のスポット径ｄ1との関係は、次のような多
項近似式で表すことができる。 但し、ｋ0〜ｋn：レンズ係数 上式のレンズ係数ｋ0〜ｋnを、最小二乗法によって導
く。
方法の一実施例を示す。本実施例に用いる装置の構成
は、前記第１実施例の透過偏芯測定装置からハーフミラ
ー９とＣＣＤカメラ５とを取り外したものである。そし
て、予めビーム径ｂと偏芯量検出センサー４上のスポッ
トサイズとの関係を求め、スポットサイズが予め定めた
既定値以下となるようにズームレンズ系７を操作して、
ビーム径ｂを調整する。以下詳しく説明する。まず、集
光レンズ２入射前の光束Ｔのビーム径ａと偏芯量検出セ
ンサー４上のスポット径ｄ1との関係は、次のような多
項近似式で表すことができる。 但し、ｋ0〜ｋn：レンズ係数 上式のレンズ係数ｋ0〜ｋnを、最小二乗法によって導
く。
【００１３】ここで、ビーム径ｂが小さい場合、回折の
影響により、そのスポットサイズは逆に大きくなるとい
う現象が生じる。そのため回折によるスポット径ｄ2も
考慮して、ビーム径ｂを調整しなければならない。ビー
ム径ａとスポット径ｄ2との関係は、 但し、λ：光束の波長 ｆ：集光レンズ２の焦点距離 Ａ：対物レンズ３の倍率 となる。したがって、（１）式で求まるスポット径ｄ1
に、上記（２）式で求まる回折によるスポット径ｄ2を
加えたスポットサイズが、予め定めた既定値以下となる
ようにビーム径ｂを決めてやれば良い。
影響により、そのスポットサイズは逆に大きくなるとい
う現象が生じる。そのため回折によるスポット径ｄ2も
考慮して、ビーム径ｂを調整しなければならない。ビー
ム径ａとスポット径ｄ2との関係は、 但し、λ：光束の波長 ｆ：集光レンズ２の焦点距離 Ａ：対物レンズ３の倍率 となる。したがって、（１）式で求まるスポット径ｄ1
に、上記（２）式で求まる回折によるスポット径ｄ2を
加えたスポットサイズが、予め定めた既定値以下となる
ようにビーム径ｂを決めてやれば良い。
【００１４】ここで、被検レンズ系１を透過した後のビ
ーム径ａと焦点合わせレンズ系６に入射する前のビーム
径ｂとの関係は、被検レンズ系１と焦点合わせレンズ系
６の焦点距離によって求まるので、スポット径を予め定
めた既定値以下とするビーム径ｂも求まる。そして、求
めたビーム径ｂとなるようにズームレンズ系７を操作す
る。以上ように本実施例では、被検レンズ系１を透過し
た光束Ｔが形成するスポットが、確実に偏芯量検出セン
サー４の受光面内にある透過偏芯測定方法を提供するこ
とができる。
ーム径ａと焦点合わせレンズ系６に入射する前のビーム
径ｂとの関係は、被検レンズ系１と焦点合わせレンズ系
６の焦点距離によって求まるので、スポット径を予め定
めた既定値以下とするビーム径ｂも求まる。そして、求
めたビーム径ｂとなるようにズームレンズ系７を操作す
る。以上ように本実施例では、被検レンズ系１を透過し
た光束Ｔが形成するスポットが、確実に偏芯量検出セン
サー４の受光面内にある透過偏芯測定方法を提供するこ
とができる。
【００１５】
【発明の効果】以上のように本発明では、レンズ系の透
過偏芯測定の際、収差の大きいレンズ系や組立て途中の
レンズ系であっても、スポットサイズが、回折による影
響を含め、確実に偏芯量検出センサー上で予め定めた既
定値以下となるような透過偏芯測定装置を提供すること
ができる。その結果、測定の作業性が良く高分解能であ
る透過偏芯測定装置及び方法を提供することができる。
過偏芯測定の際、収差の大きいレンズ系や組立て途中の
レンズ系であっても、スポットサイズが、回折による影
響を含め、確実に偏芯量検出センサー上で予め定めた既
定値以下となるような透過偏芯測定装置を提供すること
ができる。その結果、測定の作業性が良く高分解能であ
る透過偏芯測定装置及び方法を提供することができる。
【図１】本発明の第１実施例による透過偏芯測定装置を
示す概略図である。
示す概略図である。
【図２】本発明の第２実施例による透過偏芯測定装置を
示す概略図である。
示す概略図である。
【図３】本発明の一実施例による透過偏芯測定方法に用
いる装置の概略図である。
いる装置の概略図である。
１…被検レンズ系 ２…集光レンズ ３…対物レンズ ４…偏芯量検出セン
サー ５…ＣＣＤカメラ ６…焦点合わせレン
ズ系 ７…ズームレンズ系 ８…光源 ９…ハーフミラー １０…平面鏡 Ｔ…光束
サー ５…ＣＣＤカメラ ６…焦点合わせレン
ズ系 ７…ズームレンズ系 ８…光源 ９…ハーフミラー １０…平面鏡 Ｔ…光束
Claims (6)
- 【請求項１】光源から発した光束を焦点合わせレンズ
系、被検レンズ系の順に透過させた後に集光レンズを介
して偏芯量検出センサーに入射させる透過偏芯測定装置
において、 前記焦点合わせレンズ系に入射する光束のビーム径の大
きさを調整するビーム径調整手段を備えたことを特徴と
する透過偏芯測定装置。 - 【請求項２】前記ビーム径調整手段はズームレンズにて
形成されたことを特徴とする請求項１記載の透過偏芯測
定装置。 - 【請求項３】前記ビーム径調整手段は可変絞りにて形成
されたことを特徴とする請求項１記載の透過偏芯測定装
置。 - 【請求項４】前記被検レンズ系と偏芯量検出センサーと
の間の光路に光束分割手段を介在させ、該光束分割手段
で反射し又は透過した前記光束の一部を撮像手段に入射
させたことを特徴とする請求項１、２又は３記載の透過
偏芯測定装置。 - 【請求項５】前記被検レンズ系と偏芯量検出センサーと
の間の光路に移動可能に平面鏡を配置し、該平面鏡で反
射した前記光束を撮像手段に入射させたことを特徴とす
る請求項１、２又は３記載の透過偏芯測定装置。 - 【請求項６】光源から発した光束を焦点合わせレンズ
系、被検レンズ系の順に透過させた後に集光レンズを介
して偏芯量検出センサーに入射させることによって前記
被検レンズ系の透過偏芯を測定する透過偏芯測定方法に
おいて、 前記焦点合わせレンズ系に入射する光束のビーム径の大
きさを調整するビーム径調整手段を設け、 予め前記ビーム径と前記偏芯量検出センサー上での光源
の像の大きさとの関係を求める工程と、 前記偏芯量検出センサー上での光源の像が予め定めた既
定値以下となるように前記ビーム径を調整する工程とを
有することを特徴とする透過偏芯測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10105378A JPH11287637A (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 透過偏芯測定装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10105378A JPH11287637A (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 透過偏芯測定装置及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11287637A true JPH11287637A (ja) | 1999-10-19 |
Family
ID=14406032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10105378A Pending JPH11287637A (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 透過偏芯測定装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11287637A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7204167B2 (en) | 2002-07-03 | 2007-04-17 | Nsk Ltd. | Motor-driven power steering apparatus |
| CN111174750A (zh) * | 2020-02-19 | 2020-05-19 | 黑龙江工业学院 | 一种管件外侧壁直线度测量工具 |
| CN118033888A (zh) * | 2024-03-28 | 2024-05-14 | 无锡埃瑞微半导体设备有限责任公司 | 一种用于晶圆套刻测量的可变焦显微成像装置 |
-
1998
- 1998-03-31 JP JP10105378A patent/JPH11287637A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7204167B2 (en) | 2002-07-03 | 2007-04-17 | Nsk Ltd. | Motor-driven power steering apparatus |
| CN111174750A (zh) * | 2020-02-19 | 2020-05-19 | 黑龙江工业学院 | 一种管件外侧壁直线度测量工具 |
| CN111174750B (zh) * | 2020-02-19 | 2021-04-13 | 黑龙江工业学院 | 一种管件外侧壁直线度测量工具 |
| CN118033888A (zh) * | 2024-03-28 | 2024-05-14 | 无锡埃瑞微半导体设备有限责任公司 | 一种用于晶圆套刻测量的可变焦显微成像装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2530081B2 (ja) | マスク検査装置 | |
| JP2009535645A (ja) | レーザーレンジセンサシステムの光学アダプタおよび方法 | |
| JP2002071513A (ja) | 液浸系顕微鏡対物レンズ用干渉計および液浸系顕微鏡対物レンズの評価方法 | |
| US7804641B2 (en) | Focusing system and method | |
| JP2008215833A (ja) | 光学特性測定装置および光学特性測定方法 | |
| JP2001004491A (ja) | 光ビームの検査装置 | |
| JPH11287637A (ja) | 透過偏芯測定装置及び方法 | |
| JP2008039750A (ja) | 高さ測定装置 | |
| JP2003107359A (ja) | デジタル画像式顕微鏡、それも特に共焦点顕微鏡に使用するフォーカス制御のための装置および方法 | |
| JP2008026049A (ja) | フランジ焦点距離測定装置 | |
| JPH11264800A (ja) | 検査装置 | |
| JP2001166202A (ja) | 焦点検出方法及び焦点検出装置 | |
| JP2003270091A (ja) | 光学系の波面収差測定方法及び波面収差測定装置 | |
| JP3222214B2 (ja) | 対象面の位置検出装置 | |
| JP2004271191A (ja) | 波面収差測定装置及び波面収差測定方法 | |
| JP2005147703A (ja) | 面間隔測定装置および面間隔測定方法 | |
| CN119375150B (zh) | 一种晶圆检测方法及晶圆检测系统 | |
| JP2672771B2 (ja) | 貫通孔の内径測定装置 | |
| JPS6255542A (ja) | 光学系検査装置 | |
| JPH11287742A (ja) | 反射偏芯測定装置 | |
| JPH1123953A (ja) | 焦点検出装置を備えた顕微鏡および変位計測装置 | |
| JP3004076B2 (ja) | 試料面位置測定装置 | |
| JPH0419457Y2 (ja) | ||
| JP2000009423A (ja) | 光学機器のピント調整装置 | |
| JPH0718689B2 (ja) | 光学式厚み測定法及び装置 |