JPH1131219A - 図形データ作成処理装置 - Google Patents
図形データ作成処理装置Info
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- JPH1131219A JPH1131219A JP9187043A JP18704397A JPH1131219A JP H1131219 A JPH1131219 A JP H1131219A JP 9187043 A JP9187043 A JP 9187043A JP 18704397 A JP18704397 A JP 18704397A JP H1131219 A JPH1131219 A JP H1131219A
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/317—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
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- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/302—Controlling tubes by external information, e.g. program control
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
- H01J2237/317—Processing objects on a microscale
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 領域分割処理手段は図形データ情報を単純に
１／４に分割して並列処理を行っているため、分割され
た図形データ情報保持部によっては図形データ数にばら
つきが生じ、トータルとしての処理時間が遅くなってし
まうという課題があった。 【解決手段】 図形データを領域分割処理手段で分割し
並列処理数を算出する並列処理数算出手段と、分割した
図形データを順次分配する分配処理手段と、図形データ
作成手段で並列処理した図形データを合成する合成手段
と、処理全体を制御する並列処理制御手段を有するもの
である。
１／４に分割して並列処理を行っているため、分割され
た図形データ情報保持部によっては図形データ数にばら
つきが生じ、トータルとしての処理時間が遅くなってし
まうという課題があった。 【解決手段】 図形データを領域分割処理手段で分割し
並列処理数を算出する並列処理数算出手段と、分割した
図形データを順次分配する分配処理手段と、図形データ
作成手段で並列処理した図形データを合成する合成手段
と、処理全体を制御する並列処理制御手段を有するもの
である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体デバイス
等の開発において、設計パターンデータから電子ビーム
描画装置用パターンデータを作成する図形データ作成処
理装置に関するものである。
等の開発において、設計パターンデータから電子ビーム
描画装置用パターンデータを作成する図形データ作成処
理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の電子ビーム描画は、その微細加工
性能および制御性の高さから、半導体デバイス、特に大
規模集積回路（ＬＳＩ）の製造に用いられるマスクの作
成に広く用いられている。
性能および制御性の高さから、半導体デバイス、特に大
規模集積回路（ＬＳＩ）の製造に用いられるマスクの作
成に広く用いられている。
【０００３】このマスク作成に用いられる電子ビーム描
画装置用パターンデータは、まず、設計パターンデータ
から図形処理用データ（以下、図形データと称する）に
変換し、その後、図形データを入力として複数の複雑な
図形データ作成処理（台形分割処理、重複除去処理、白
黒反転処理、ソート処理等）が実施される。
画装置用パターンデータは、まず、設計パターンデータ
から図形処理用データ（以下、図形データと称する）に
変換し、その後、図形データを入力として複数の複雑な
図形データ作成処理（台形分割処理、重複除去処理、白
黒反転処理、ソート処理等）が実施される。
【０００４】図６は従来の図形データ作成処理装置の構
成を示すブロック図であり、図６において、１０１は図
形データ情報、１０２は領域分割処理手段、１０３は領
域分割処理手段１０２によって分割された図形データ情
報を持つ第１の図形データ情報保持手段、１０４は図形
データ作成処理手段、１０５は図形データ作成処理を行
った図形データ情報を持つ第２の図形データ情報保持手
段、１０６は合成処理手段、１０７は第２の図形データ
情報保持手段を合成してできた図形データ情報、１０８
は並列処理制御手段である。
成を示すブロック図であり、図６において、１０１は図
形データ情報、１０２は領域分割処理手段、１０３は領
域分割処理手段１０２によって分割された図形データ情
報を持つ第１の図形データ情報保持手段、１０４は図形
データ作成処理手段、１０５は図形データ作成処理を行
った図形データ情報を持つ第２の図形データ情報保持手
段、１０６は合成処理手段、１０７は第２の図形データ
情報保持手段を合成してできた図形データ情報、１０８
は並列処理制御手段である。
【０００５】次に動作について説明する。従来、図形デ
ータ作成処理は、図７に示すように、図形データ情報１
０１を領域分割処理手段１０２で単純に１／４に分割
し、分割された図形データ情報を共通図形ライブラリ１
０９に分割し、第１の図形データ情報保持手段１０３に
保持した後、図形データ作成処理手段１０４で図形デー
タ作成処理を行った図形データ情報を第２の図形データ
情報保持手段１０５に保持し、合成処理手段１０６で合
成し、合成してできた図形データ情報１０７を出力す
る。
ータ作成処理は、図７に示すように、図形データ情報１
０１を領域分割処理手段１０２で単純に１／４に分割
し、分割された図形データ情報を共通図形ライブラリ１
０９に分割し、第１の図形データ情報保持手段１０３に
保持した後、図形データ作成処理手段１０４で図形デー
タ作成処理を行った図形データ情報を第２の図形データ
情報保持手段１０５に保持し、合成処理手段１０６で合
成し、合成してできた図形データ情報１０７を出力す
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の図形データ作成
処理装置は以上のように構成されているので、領域分割
処理手段は図形データ情報を単純に１／４に分割して並
列処理を行っているため、分割された図形データ情報保
持手段によっては図形データ数にばらつきが生じ、トー
タルとしての処理時間が遅くなってしまうという課題が
あった。
処理装置は以上のように構成されているので、領域分割
処理手段は図形データ情報を単純に１／４に分割して並
列処理を行っているため、分割された図形データ情報保
持手段によっては図形データ数にばらつきが生じ、トー
タルとしての処理時間が遅くなってしまうという課題が
あった。
【０００７】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、図形データ情報を並列処理の前段
階で均一な図形数に分割し、均一な処理量で効率よく並
列処理できるようにすることを目的とする。
めになされたもので、図形データ情報を並列処理の前段
階で均一な図形数に分割し、均一な処理量で効率よく並
列処理できるようにすることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明に係
る図形データ作成処理装置は、図形データを図形領域毎
に分割する領域分割処理手段と、並列処理数を算出する
並列処理数算出手段と、図形データを順次分配する分配
処理手段と、図形データ作成処理を行う図形データ作成
処理手段と、並列処理した図形データを合成する合成処
理手段と、処理全体を制御する並列処理制御手段を有す
るものである。
る図形データ作成処理装置は、図形データを図形領域毎
に分割する領域分割処理手段と、並列処理数を算出する
並列処理数算出手段と、図形データを順次分配する分配
処理手段と、図形データ作成処理を行う図形データ作成
処理手段と、並列処理した図形データを合成する合成処
理手段と、処理全体を制御する並列処理制御手段を有す
るものである。
【０００９】請求項２記載の発明に係る図形データ作成
処理装置の並列処理数算出手段は、計算機の空きメモリ
量に対する単位図形領域中の最大図形数×図形１個の処
理に必要なメモリ量の比率から並列処理数を算出するも
のである。
処理装置の並列処理数算出手段は、計算機の空きメモリ
量に対する単位図形領域中の最大図形数×図形１個の処
理に必要なメモリ量の比率から並列処理数を算出するも
のである。
【００１０】請求項３記載の発明に係る図形データ作成
処理装置は、総図形数に対する並列処理数の比率から、
分配する図形の指標値を算出する分配指標値算出手段を
有し、分配処理手段は各ＣＰＵに割り振られる図形数を
随時カウントし、上記分配指標値算出手段で算出された
分配指標値を越える図形数が割り振られたＣＰＵには、
それ以上図形を割り振らないものである。
処理装置は、総図形数に対する並列処理数の比率から、
分配する図形の指標値を算出する分配指標値算出手段を
有し、分配処理手段は各ＣＰＵに割り振られる図形数を
随時カウントし、上記分配指標値算出手段で算出された
分配指標値を越える図形数が割り振られたＣＰＵには、
それ以上図形を割り振らないものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
説明する。 実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１による図
形データ作成処理装置の構成を示すブロック図である。
図において、１は図形データ情報、２は領域分割処理手
段、３は並列処理数算出手段、４は分配処理手段、５は
分配処理手段４によって分配された図形データ情報を持
つ第１の図形データ情報保持手段、６は図形データ作成
処理手段、７は図形データ作成処理を行った図形データ
情報を持つ第２の図形データ情報保持手段、８は合成処
理手段、９は合成処理手段８で合成されて出力された図
形データ情報、１０は全体を制御する並列処理制御手段
である。
説明する。 実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１による図
形データ作成処理装置の構成を示すブロック図である。
図において、１は図形データ情報、２は領域分割処理手
段、３は並列処理数算出手段、４は分配処理手段、５は
分配処理手段４によって分配された図形データ情報を持
つ第１の図形データ情報保持手段、６は図形データ作成
処理手段、７は図形データ作成処理を行った図形データ
情報を持つ第２の図形データ情報保持手段、８は合成処
理手段、９は合成処理手段８で合成されて出力された図
形データ情報、１０は全体を制御する並列処理制御手段
である。
【００１２】次に動作について説明する。図２は上記構
成の図形データ作成処理装置の動作を示すフローチャー
トである。まず、処理前図形データ情報１を入力する
（ステップＳＴ２０１）。次いで領域分割処理手段２は
図形データ情報１を指定したサイズの領域（図形領域単
位）に分割する（ステップＳＴ２０２）。例えば、数ｍ
ｍ□角のチップに対する図形領域のサイズは０．１ｍｍ
□程度の値が指定される。並列処理数算出手段３は図３
に示すように、計算機（図示せず）の持つメモリ領域の
空きメモリ領域に基づいて、図形データ作成処理を実施
するときの並列処理数を算出する（ステップＳＴ２０
３）。この並列処理数は例えば式（１）で求められる。
成の図形データ作成処理装置の動作を示すフローチャー
トである。まず、処理前図形データ情報１を入力する
（ステップＳＴ２０１）。次いで領域分割処理手段２は
図形データ情報１を指定したサイズの領域（図形領域単
位）に分割する（ステップＳＴ２０２）。例えば、数ｍ
ｍ□角のチップに対する図形領域のサイズは０．１ｍｍ
□程度の値が指定される。並列処理数算出手段３は図３
に示すように、計算機（図示せず）の持つメモリ領域の
空きメモリ領域に基づいて、図形データ作成処理を実施
するときの並列処理数を算出する（ステップＳＴ２０
３）。この並列処理数は例えば式（１）で求められる。
【００１３】 並列処理数＝計算機の空きメモリ量／（単位図形領域中の最大図形数×図形１ 個の処理に必要なメモリ量） ・・・（１）
【００１４】分配処理手段４は式（１）で算出した並列
処理数分の第１の図形データ情報保持手段５を図３に示
すように確保し（ステップＳＴ２０４）、共通図形ライ
ブラリをそれぞれコピーする。次に図形領域単位毎に分
割した図形データ情報を均一になるように第１の図形デ
ータ情報保持手段５に順次分配する（ステップＳＴ２０
５、ステップＳＴ２０６）。
処理数分の第１の図形データ情報保持手段５を図３に示
すように確保し（ステップＳＴ２０４）、共通図形ライ
ブラリをそれぞれコピーする。次に図形領域単位毎に分
割した図形データ情報を均一になるように第１の図形デ
ータ情報保持手段５に順次分配する（ステップＳＴ２０
５、ステップＳＴ２０６）。
【００１５】しかる後、第１の図形データ情報保持手段
５に対し、指定した図形データ作成処理手段６をそれぞ
れ実行する（ステップＳＴ２０７、ステップＳＴ２０
８）。処理後の第２の図形データ情報保持手段７は合成
処理手段８により合成され、処理後図形データ情報９を
出力する（ステップＳＴ２０９、ステップＳＴ２１
０）。これら一連の動作は並列処理制御手段１０により
制御される。
５に対し、指定した図形データ作成処理手段６をそれぞ
れ実行する（ステップＳＴ２０７、ステップＳＴ２０
８）。処理後の第２の図形データ情報保持手段７は合成
処理手段８により合成され、処理後図形データ情報９を
出力する（ステップＳＴ２０９、ステップＳＴ２１
０）。これら一連の動作は並列処理制御手段１０により
制御される。
【００１６】以上のように、この実施の形態１によれ
ば、式（１）で計算された並列処理数分の第２の図形デ
ータ情報保持手段７を確保し、並列処理数を最適化する
ことで、計算機リソースを有効活用できる。
ば、式（１）で計算された並列処理数分の第２の図形デ
ータ情報保持手段７を確保し、並列処理数を最適化する
ことで、計算機リソースを有効活用できる。
【００１７】また、図形データ情報を図形領域単位で順
次分配し、図形データ情報保持手段の図形データ数を並
列処理が実行される前段階で均一化することで、並列処
理を行う各ＣＰＵに均等に処理を割り振ることができ
る。
次分配し、図形データ情報保持手段の図形データ数を並
列処理が実行される前段階で均一化することで、並列処
理を行う各ＣＰＵに均等に処理を割り振ることができ
る。
【００１８】実施の形態２．図４はこの発明の実施の形
態２による分割処理手段の動作を説明するフローチャー
トである。実施の形態１では図形データ情報を図形領域
単位で順次分配するため、図形データ数が多い領域、少
ない領域があり、やはり分配時に図形データ数に若干の
ばらつきが生ずる場合がある。
態２による分割処理手段の動作を説明するフローチャー
トである。実施の形態１では図形データ情報を図形領域
単位で順次分配するため、図形データ数が多い領域、少
ない領域があり、やはり分配時に図形データ数に若干の
ばらつきが生ずる場合がある。
【００１９】そこで、実施の形態２においては、前記図
２のステップＳＴ２０５において図形データ情報を分配
するときの指標値を分配指標値算出手段１１で式（２）
より求める（ステップＳＴ４０１）。
２のステップＳＴ２０５において図形データ情報を分配
するときの指標値を分配指標値算出手段１１で式（２）
より求める（ステップＳＴ４０１）。
【００２０】 指標値＝総図形データ数／並列処理数 ・・・（２）
【００２１】次にこの指標値をもとに第１の図形データ
情報保持手段５に図形データを分配する（ステップＳＴ
４０２）。この時、分配した図形データ数をカウント
し、指標値を越えた時にその第１の図形データ情報保持
手段５への図形データの分配を中止する（ステップＳＴ
４０３）。これをすべての図形データ情報保持手段に実
施し（ステップＳＴ４０４）、図５に示すように、各第
１の図形データ情報保持手段５へ図形データを精度よく
分配することができる。
情報保持手段５に図形データを分配する（ステップＳＴ
４０２）。この時、分配した図形データ数をカウント
し、指標値を越えた時にその第１の図形データ情報保持
手段５への図形データの分配を中止する（ステップＳＴ
４０３）。これをすべての図形データ情報保持手段に実
施し（ステップＳＴ４０４）、図５に示すように、各第
１の図形データ情報保持手段５へ図形データを精度よく
分配することができる。
【００２２】以上のように、この実施の形態２によれ
ば、指標値をもとに図形データ情報を図形データ単位で
分割することで、図形データ情報保持手段の図形データ
数を実施の形態１よりもさらに均一化できる。
ば、指標値をもとに図形データ情報を図形データ単位で
分割することで、図形データ情報保持手段の図形データ
数を実施の形態１よりもさらに均一化できる。
【００２３】
【発明の効果】以上のように、請求項１記載の発明によ
れば、図形データ情報を図形領域単位で順次分配し、並
列処理が実行される前段階で該並列処理を行う各ＣＰＵ
に均等に処理を割り振るように構成したので、並列処理
する各ＣＰＵの性能を最大限に活かすことができる効果
がある。
れば、図形データ情報を図形領域単位で順次分配し、並
列処理が実行される前段階で該並列処理を行う各ＣＰＵ
に均等に処理を割り振るように構成したので、並列処理
する各ＣＰＵの性能を最大限に活かすことができる効果
がある。
【００２４】請求項２記載の発明のよれば、計算機の空
きメモリ量に対する単位図形領域中の最大図形数×図形
１個の処理に必要なメモリ量の比率から並列処理数を算
出するように構成したので、並列処理数の算出を的確に
行うことができる効果がある。
きメモリ量に対する単位図形領域中の最大図形数×図形
１個の処理に必要なメモリ量の比率から並列処理数を算
出するように構成したので、並列処理数の算出を的確に
行うことができる効果がある。
【００２５】請求項３記載の発明によれば、総図形数に
対する並列処理数の比率から、分配する図形の指標値を
算出する分配指標値算出手段を有し、分配処理手段は各
ＣＰＵに割り振られる図形数を随時カウントし、上記分
配指標値算出手段で算出された分配指標値を越える図形
数が割り振られたＣＰＵには、それ以上図形を割り振ら
ないように構成したので、分割した図形数の精度をより
向上することができ、各ＣＰＵの処理能力をさらに活か
すことができる効果がある。
対する並列処理数の比率から、分配する図形の指標値を
算出する分配指標値算出手段を有し、分配処理手段は各
ＣＰＵに割り振られる図形数を随時カウントし、上記分
配指標値算出手段で算出された分配指標値を越える図形
数が割り振られたＣＰＵには、それ以上図形を割り振ら
ないように構成したので、分割した図形数の精度をより
向上することができ、各ＣＰＵの処理能力をさらに活か
すことができる効果がある。
【図１】 この発明の実施の形態１による図形データ作
成処理装置の構成を示すブロック図である。
成処理装置の構成を示すブロック図である。
【図２】 この発明の実施の形態１の動作を説明するフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図３】 この発明の実施の形態１の動作による図形デ
ータの分配状態の説明図である。
ータの分配状態の説明図である。
【図４】 この発明の実施の形態２の動作を説明するフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図５】 この発明の実施の形態２の動作による図形デ
ータの分配状態の説明図である。
ータの分配状態の説明図である。
【図６】 従来の図形データ作成処理装置の構成を示す
ブロック図である。
ブロック図である。
【図７】 従来の図形データ作成処理装置による図形デ
ータの分配状態の説明図である。
ータの分配状態の説明図である。
２ 領域分割処理手段、３ 並列処理数算出手段、４
分配処理手段、６ 図形データ作成処理手段、８ 合成
処理手段、１１ 分配指標値算出手段。
分配処理手段、６ 図形データ作成処理手段、８ 合成
処理手段、１１ 分配指標値算出手段。
Claims (3)
- 【請求項１】 図形データを図形領域毎に分割する領域
分割処理手段と、並列処理数を算出する並列処理数算出
手段と、前記図形データを順次分配する分配処理手段
と、図形データ作成処理を行う図形データ作成処理手段
と、並列処理した図形データを合成する合成処理手段
と、処理全体を制御する並列処理制御手段を有する図形
データ作成処理装置。 - 【請求項２】 並列処理数算出手段は、計算機の空きメ
モリ量／（単位図形領域中の最大図形数×図形１個の処
理に必要なメモリ量）の比率から並列処理数を算出する
ことを特徴とする請求項１記載の図形データ作成処理装
置。 - 【請求項３】 総図形数に対する並列処理数の比率か
ら、分配する図形の指標値を算出する分配指標値算出手
段を有し、分配処理手段は各ＣＰＵに割り振られる図形
数を随時カウントし、上記分配指標値算出手段で算出さ
れた分配指標値を越える図形数が割り振られたＣＰＵに
は、それ以上図形を割り振らないことを特徴とする請求
項１記載の図形データ作成処理装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9187043A JPH1131219A (ja) | 1997-07-11 | 1997-07-11 | 図形データ作成処理装置 |
| US08/992,216 US5923678A (en) | 1997-07-11 | 1997-12-17 | Pattern data generating system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9187043A JPH1131219A (ja) | 1997-07-11 | 1997-07-11 | 図形データ作成処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1131219A true JPH1131219A (ja) | 1999-02-02 |
Family
ID=16199183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9187043A Pending JPH1131219A (ja) | 1997-07-11 | 1997-07-11 | 図形データ作成処理装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5923678A (ja) |
| JP (1) | JPH1131219A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6161206A (en) * | 1998-04-30 | 2000-12-12 | Credence Systems Corporation | Pattern generator for a semiconductor integrated circuit tester |
| US6625509B1 (en) | 1999-03-05 | 2003-09-23 | R & F Industries, Llc | Automated multisection rail material list generation system and method |
| WO2004081593A1 (ja) * | 2003-03-14 | 2004-09-23 | Advantest Corporation | 試験装置、試験装置のプログラム、試験パターン記録媒体、及び試験装置の制御方法 |
| US8130400B2 (en) * | 2008-03-20 | 2012-03-06 | Eastman Kodak Company | Multiple processor print driver |
| JP5662863B2 (ja) * | 2011-03-31 | 2015-02-04 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
-
1997
- 1997-07-11 JP JP9187043A patent/JPH1131219A/ja active Pending
- 1997-12-17 US US08/992,216 patent/US5923678A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5923678A (en) | 1999-07-13 |
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