JPH11320471A - 移載装置 - Google Patents

移載装置

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JPH11320471A
JPH11320471A JP10156798A JP15679898A JPH11320471A JP H11320471 A JPH11320471 A JP H11320471A JP 10156798 A JP10156798 A JP 10156798A JP 15679898 A JP15679898 A JP 15679898A JP H11320471 A JPH11320471 A JP H11320471A
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JP
Japan
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article
ball
hand
holding member
flange
Prior art date
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Pending
Application number
JP10156798A
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English (en)
Inventor
Takashi Baba
隆 馬場
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Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 移載のサイクルタイムを短縮し、かつ物品を
安定に保持する。 【構成】 ハンド基部12に固定の上側の挟持部材28
と上下動する下側の挟持部材30とを設けて、物品のフ
ランジ38を上下から挟み込んで保持する。また上側の
挟持部材28の底面にボール32を設けて、付勢部34
で物品側に付勢して、物品を押圧する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の利用分野】この発明は搬送装置等に取り付ける
ための移載装置に関し、特に移載時のサイクルタイムの
短縮と物品の正確な保持に関する。
【0002】
【従来技術】半導体ウェーファーや液晶基板等を収容し
た容器の移載では、これらの物品が振動に弱いため、容
器を左右から把持することが行われている。このような
従来例を図6に示すと、1はハンドで、2,3はハンド
1に設けた一対のグリップ手段で、図のように開閉して
容器を左右から押圧して把持する。また4,5はハンド
1を移動させるためのアームである。
【0003】しかしながらこのような移載装置では、図
5の2)に示すように、アーム4,5の前進,グリップ
手段2,3を閉じることによる物品のグリップ,ハンド
1の上昇等による物品のすくい上げ、アームの後退の4
ステップが必要である。このため、物品の移載に要する
時間が長い。
【0004】
【発明の課題】請求項1の発明の課題は、移載装置での
物品のグリップに要する時間を不要にし、移載のサイク
ルタイムを短縮することにある。請求項2の発明の追加
の課題は、移載装置の機構を比較的簡単にし、かつ物品
の振動を減衰させることにある。請求項3の発明の追加
の課題は、移載装置に対して物品を正確に位置決できる
ようにすることにある。
【0005】
【発明の構成】請求項1の発明は、物品保持用のハンド
をアームで移動させるようにした移載装置において、前
記ハンドに上下の挟持部材と下側の挟持部材を上下動さ
せるための手段、とを設けたことを特徴とする。
【0006】請求項2の発明はさらに、上側の挟持部材
をハンド基部に固定すると共に、該上側の挟持部材に、
物品に接触して押圧すると共に物品からの反発力で上下
にスライド可能な付勢手段を設けたことを特徴とする。
【0007】請求項3の発明はさらに、移載対象の物品
上面に設けた切り欠きまたは凹部に契合させるための係
合手段を、前記付勢手段に設けたことを特徴とする。
【0008】
【発明の作用と効果】請求項1の発明では、ハンドを物
品側へ前進させて物品のフランジ等を上下の挟持部材間
に位置させ、次いで下側の挟持部材を上昇させると、物
品は上下の挟持部材で挟み込まれて安定に保持される。
この状態で物品はラック等の床面から浮いており、ハン
ドを後退させると移載が完了する。またハンドで保持し
た物品をラック等に載置するには、ハンドの前進と下側
の挟持部材の下降、及びハンドの後退の3ステップで良
い。このためハンドの左右の間隔を変更するグリップ操
作が不要で、移載のサイクルタイムが短縮する。しかも
物品は上下の挟持部材で挟み込まれるので、単に下側の
挟持部材のみですくい上げる場合に比べ、物品を安定に
保持できる。このため振動に弱い液晶基板や半導体ウェ
ーファー等の搬送に適している。
【0009】請求項2の発明では、上側の挟持部材をハ
ンド基部に固定する、言い換えると上側の挟持部材をハ
ンド基部に対して運動不能にするので、上下動は下側の
挟持部材のみとなり、ハンドの機構が簡単になる。さら
に付勢手段が物品を押圧するので、この押圧力を物品を
保持する力に利用でき、また付勢手段で物品に加わる振
動や衝撃を減衰できる。このため液晶基板や半導体ウェ
ーファー等のデリケートな物品を収容した容器等を、ト
ラブル無しに搬送できる。
【0010】請求項3の発明では、移載対象の物品の上
面に設けた切り欠きあるいは凹部に、契合させるための
係合部を付勢手段に設けて、係合部を切り欠きや凹部へ
向けて付勢して契合させる。このため正確に物品を位置
決めできる。さらに、付勢手段の係合部、あるいは前記
の切り欠きや凹部に物品の姿勢を矯正するためのガイド
面を設けると、係合の過程で物品の姿勢を矯正できるの
で、物品の移載が容易で、かつ安定に保持することがで
きる。なおガイド面は係合部に設けることが好ましく、
例えば係合部をボールで構成した際のボール面や、テー
パー付きのピンで構成した際のテーパー面等がガイド面
となる。
【0011】
【実施例】図1〜図5に実施例を示し、図1に実施例の
全体構成を示すと、1はクリーンルーム等に設けた支柱
で、2は支柱に固定の走行レールであり、4は搬送装置
の走行部、6は搬送装置本体で、図示しないクリーンフ
ァンユニット等を備えている。搬送装置本体6には、回
動アーム8,アーム10を介してハンド12が取り付け
られている。14はアーム8,10とハンド12とを回
転させるためのアームモータで、16,18,20はこ
れらの間を接続する回動軸である。24はボールネジ2
6を回転させるための昇降モータで、28はハンド12
の基部13に固定の上側挟持部材、30はボールネジ2
6の回転により上下動する下側の挟持部材である。上側
の挟持部材28の底面には、係合部としてのボール32
を設け、付勢部34でボール32を下側へ付勢する。ボ
ール32と付勢部34を併せて付勢手段と呼ぶ。なお3
6は液晶基板や半導体ウエハー等を収容した容器で単に
物品と呼び、38はそのフランジであり、40はネック
で、42は物品36を戴置するためのラックである。
【0012】アームモータ14が回転すると、アーム8
は回動軸16を中心に回動し、アーム10はアーム8と
逆向きにその2倍の角度だけ回動する。一方ハンド10
はアーム10に対して、アーム8と同じ向きに同じ角度
だけ回動する。この結果ハンド12は絶えず同じ向きを
向き、搬送装置本体6に対して図1の左右方向に前後進
する。このため最小範囲の干渉範囲で、ラック42との
間で物品36を移載することができる。
【0013】物品36をラック42から移載するには、
例えば図1の鎖線の状態にあるハンド12をアーム8,
10の回動により図1の実線の状態へと前進させる。こ
の時ボール32の下端はフランジ38の上面に未接触で
あるが、仮に接触してもボール32が付勢部34で支持
されているため、フランジ38からの反発力で上方向に
スライドし、またボール32が回転して逃げるので、ボ
ール32がフランジ38に不用意に接触して衝撃を加え
ることがない。下側の挟持部材30は当初フランジ38
の底面よりも低い位置にあり、アーム8,10の回動に
よりハンド12が前進した後、昇降モータ24の回転に
より上昇してフランジ38の底面に接触してすくい上げ
る。するとフランジ38の上面にボール32が接触し
て、フランジ38に設けた凹部や溝等にボール32が係
合して、ボール32に対して物品36が位置決めされ
る。またボール32に対するフランジ38の姿勢に狂い
がある場合、ボール32が凹部や溝等に係合する過程で
物品36の姿勢が矯正される。
【0014】ボール32からフランジ38の上面へと加
わる押圧力のため、物品36はその自重よりも大きな力
で一対の挟持部材28,30間に挟持され、搬送装置の
走行の過程等で仮に衝撃が加わったとしても、ボール3
2の上下スライドで吸収されて、物品36への振動や衝
撃を減衰させることができる。挟持部材28,30で物
品36のフランジ38を挟持すると、アーム8,10が
回動して、物品36は図1の鎖線の位置へと移る。この
時、物品36の底面はラック42の上面よりも僅かに上
昇した位置にある。
【0015】図2,図3に、ボール32によるフランジ
38の押圧を示す。図2の44はボール32の脱落を防
止するためのボール保持部で、付勢部34のバネ46に
より図2の下側にボール32を押圧するようにしてあ
る。このためボール32は回転運動できると共に、上下
にスライドできる。またフランジ38は、周囲の例えば
4箇所に、V溝48を設けてある。なおV溝48に代え
て、ボール32が係合する円形の窪み等を用いても良
い。図3に示すように、ボール32は上側の挟持部材2
8の左右2箇所に設けるが、その数は任意で、例えば1
〜4個程度とすれば良い。一方フランジ38にはこれに
対応して、例えば図3に示すように、上下左右の4箇所
にV溝48が設けてある。V溝48の役割は、ボール3
2が係合して上側の挟持部材28に対するフランジ38
の位置決めを行うこと、これと同時にフランジ38の姿
勢に狂いがある場合に狂いを矯正することである。
【0016】図4に、ボール32によるフランジ38の
姿勢の矯正を示す。仮に図4のように、フランジ38が
上側の挟持部材28に対してやや姿勢が狂っているとす
る。すると下側の挟持部材30が上昇してV溝48にボ
ール32が係合した時点で、V溝48とボール32との
間に中心位置の狂いがあり、ボール32からV溝48へ
と加わる図の矢印のトルクにより、物品36の姿勢が矯
正される。
【0017】実施例でのサイクルタイムを図5に示す。
ラック42の物品36を搬送装置へと移載する場合、最
初に下側の挟持部材30はフランジ38の下面よりもや
や低い位置にあり、図1の鎖線の状態からアーム8,1
0が回動してハンド12が前進し、フランジ38を挟持
部材28,30で挟み込んだ状態となる。この時フラン
ジ38はまだ持ち上げられていないので、ボール32は
フランジ38と未接触である。次いで下側の挟持部材3
0が上昇すると、フランジ38が持ち上げられ、V溝4
8がボール32で位置決めされて姿勢を矯正する。この
ように下側の挟持部材30の上昇のみで物品36の保持
動作が完了し、従来例でのグリップ動作が不要になる。
この後アーム8,10を逆方向に回動させると、物品3
6の移載が完了する。
【0018】物品36を搬送装置からラック42へ移載
する場合には、前記の逆の手順を踏めばよい。またアー
ム8,10を回動させる間や、搬送装置が走行レール2
を走行する間の衝撃は、ボール32で吸収され、物品3
6に加わる振動や衝撃を小さくできる。さらに物品38
をボール32で押圧するので、より安定に物品36を保
持できる。
【0019】実施例では上側の挟持部材28を固定とし
たが、上側の挟持部材28を下側の挟持部材30と逆方
向に上下動するように構成しても良い。また上側の挟持
部材28を左右に揺動可能にして、V溝48へのボール
32の係合可能範囲をより広くしても良い。しかしなが
らこのようにすると、ハンド12の機構が複雑になる。
【0020】実施例ではボール32と付勢部34とを用
いたが、ボール32の代わりに、先端をテーパー面ある
いは半球面としたピン等を、付勢部34で下側に押圧す
るようにしても良い。しかしながらボール32を用いる
と、フランジ面38とより滑らかに接触でき、特にハン
ド12の前進の過程でフランジ38の端部にボール32
等が衝突した場合等に、衝撃を小さくすることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施例の移載装置の正面図
【図2】 実施例でのハンドの要部断面図
【図3】 実施例での上側の挟持部材の要部平面図
【図4】 実施例で用いた物品のフランジを示す平面
【図5】 移載の手順を示す図で、1)は実施例での
移載を、2)は従来例での移載を示す
【図6】 従来例の移載装置を示す図
【符号の説明】
1 支柱 2 走行レール 4 走行部 6 搬送装置本体 8,10 アーム 12 ハンド 13 ハンド基部 14 アームモーター 16〜20 回動軸 24 昇降モーター 26 ボールネジ 28 上側挟持部材 30 下側挟持部材 32 ボール 34 付勢部 36 物品 38 フランジ 40 ネック 42 ラック 44 ボール保持部 46 バネ 48 V溝

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 物品保持用のハンドをアームで移動させ
    るようにした移載装置において、 前記ハンドに、上下の挟持部材と下側の挟持部材を上下
    動させるための手段とを設けたことを特徴とする、移載
    装置。
  2. 【請求項2】 上側の挟持部材をハンド基部に固定する
    と共に、該上側の挟持部材に、物品に接触して押圧する
    と共に物品からの反発力で上下にスライド可能な付勢手
    段を設けたことを特徴とする、請求項1の移載装置。
  3. 【請求項3】 移載対象の物品上面に設けた切り欠きま
    たは凹部に契合させるための係合手段を、前記付勢手段
    に設けたことを特徴とする、請求項2の移載装置。
JP10156798A 1998-05-20 1998-05-20 移載装置 Pending JPH11320471A (ja)

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JP10156798A JPH11320471A (ja) 1998-05-20 1998-05-20 移載装置

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JP (1) JPH11320471A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014064045A (ja) * 2002-06-19 2014-04-10 Murata Mach Ltd オーバーヘッドホイスト搬送車
US20240190666A1 (en) * 2022-12-08 2024-06-13 Daifuku Co., Ltd. Transport Vehicle

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2014064045A (ja) * 2002-06-19 2014-04-10 Murata Mach Ltd オーバーヘッドホイスト搬送車
US20240190666A1 (en) * 2022-12-08 2024-06-13 Daifuku Co., Ltd. Transport Vehicle
JP2024082604A (ja) * 2022-12-08 2024-06-20 株式会社ダイフク 搬送車

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