JPH11340699A - 部品検査方法及び電子部品装着装置 - Google Patents

部品検査方法及び電子部品装着装置

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JPH11340699A
JPH11340699A JP10148060A JP14806098A JPH11340699A JP H11340699 A JPH11340699 A JP H11340699A JP 10148060 A JP10148060 A JP 10148060A JP 14806098 A JP14806098 A JP 14806098A JP H11340699 A JPH11340699 A JP H11340699A
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Japan
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component
distance data
data
electronic component
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JP10148060A
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Jun Kiuchi
純 木内
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Sony Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 多種多様な電子部品の検査を行うことができ
る部品検査方法及び電子部品装着装置を提供すること。 【解決手段】 部品の本体部及び複数の突起部と部品検
査部との距離データを測定して、測定された距離データ
を所定の区間に分割して、この区間内においる最小値の
距離データを抽出して、この区間内のすべての距離デー
タを最小値の距離データに変換して、この変換データを
用いて本体部と突起部を分離するための分離しきい値を
作成し、分離しきい値と複数の突起部の距離データを用
いて、突起部の距離データとそれ以外の距離データとに
分別して、部品に配置されている複数の突起部を検査す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品装着装置
の改良、特に、電子部品の良否を精度よく判別する部品
検査方法及び電子部品装着装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】プリント配線板等に対して半導体チップ
やコネクタ等の電子部品を位置決めして装着する際、電
子部品の基板に対する位置決め精度は重要な項目の1つ
である。また近年電子部品のリードピンの数は増大して
きており、1つの電子部品においても各リードピンの形
状や長さが異なるものも存在する。これらリードピンの
長さ等を判別して基板に対して正しく位置決めする必要
がある。
【0003】図8には従来の電子部品装着装置における
部品検査部の一例を示す概略構成図であり、図8を参照
して部品検査部1について説明する。部品検査部1は、
レーザ発振部2、3、ディテクタ4等からなっている。
レーザ発振部2、3は電子部品Wの下側に配置されてお
り、電子部品Wに対してレーザの透過光を照射する。レ
ーザ発振部2、3と対向する位置にはディテクタ4が配
置されており、ディテクタ4はレーザ発振部2、3によ
り電子部品Wに照射された透過光を検出する。電子部品
Wがレーザ発振部2、3とディテクタ4の間を通ると、
ディテクタ4が電子部品Wに照射されたレーザ光を検出
して、リードピンの高さを測定する。
【0004】図9は従来の別の部品検査部を示す概略構
成図であり、図9を参照して部品検査部5について説明
する。部品検査部5は、カメラ6、7、照明8等からな
っていて、カメラ6、7と照明8とは対向するように配
置されている。照明8は電子部品Wに対して透過光を照
射するものであり、カメラ6、7は電子部品Wに照射さ
れた透過光を検出するものである。電子部品Wがカメラ
6、7と照明8との間を通ると、照明8から出力される
光によりカメラ6、7に電子部品Wの映像が取り込まれ
る。カメラ6、7の画像情報に基づいて各リードピンの
位置を光学的に測定する。
【0005】図10はさらに別の電子部品検査装置を示
す概略構成図を示しており、図10を参照して部品検査
部10について説明する。部品検査部10は、レーザ光
源11、受光部12等からなっており、レーザ光源11
と受光部12は電子部品Wの下側に位置決めされてい
る。レーザ光源11は電子部品Wに対してレーザ光を出
力して、リードピンにより反射されたレーザ光を受光部
12が受け取る。そして、そのレーザ光と反射光に基づ
いて各リードピンまでの距離を測定し、各リードピンの
長さを検出する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述したそれ
ぞれの電子部品検査装置には以下のような問題点があ
る。まず、図8の部品検査部1においては、電子部品W
をレーザ出力部2、3とディテクタ4で挟む構造になっ
ている。このため、リードピンが電子部品Wのモールド
部の下側に配置されている場合、このリードピンに照射
したレーザ光がディテクタ4まで到達することができ
ず、リードピンの長さを測定できないという問題があ
る。同様に図9の部品検査部5においても、照明8とカ
メラ6、7とが電子部品を挟むようにして配置されてリ
ードピンの長さを測定している。このため、リードピン
が電子部品のモールド部の下側に配置されている電子部
品に対しては透明光がカメラ6、7まで到達することが
できず、リードピンの長さを測定できないという問題が
ある。
【0007】図10の部品検査部10においては、モー
ルドの下側にリードピンが配置されている電子部品であ
ってもリードピンの長さを測定できるものであるが、測
定されたリードピンの長さはモールド部の高さ成分とリ
ードピンの高さ成分を合わせたものである。従って、こ
の高さ情報からリードピンのみの情報を抽出する必要が
あり、この抽出作業は非常に複雑であるという問題があ
る。
【0008】そこで本発明は上記課題を解消し、多種多
様な電子部品の検査を行うことができる部品検査方法及
び電子部品装着装置を提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明にあ
っては、本体部と本体部に形成されている複数の突起部
とからなる部品に対してレーザ光を照射して、このレー
ザ光が部品から反射することにより得られる反射光に基
づいて、レーザ光を出力するレーザ測長器と部品との距
離を測定して、部品の突起部の状態の検査を行う部品検
査方法において、部品の本体部及び複数の突起部と部品
検査部との距離データを測定して、測定された距離デー
タを所定の区間に分割して、この区間内においる最小値
の距離データを抽出して、この区間内のすべての距離デ
ータを最小値の距離データに変換して、この変換データ
を用いて本体部と突起部を分離するための分離しきい値
を作成し、分離しきい値と複数の突起部の距離データを
用いて、突起部の距離データとそれ以外の距離データと
に分別して、部品に配置されている複数の突起部を検査
する部品装着方法により、達成される。
【0010】本発明では、部品の複数の突起部の状態を
検査するために、部品の本体部と各突起部の距離データ
を分離する際、分離用しきい値を作成してこの分離様式
位置を用いることにより、各突起部の距離データと本体
部の距離データを分離する。これにより、本体部が特殊
な形状に形成されている部品や、各突起部の長さがそれ
ぞれ異なる部品の検査において、精度よく複数の突起部
の検査を行うことができる。
【0011】上記目的は、本発明にあっては、モールド
部に複数のリードピンを有する電子部品を供給する部品
供給部と、供給された電子部品を保持して基板に対して
部品を装着する部品保持部と、部品保持部に保持されて
いる電子部品に対してレーザ光を照射し、その反射光を
用いて電子部品の検査を行う電子部品装着装置におい
て、モールド部及び複数のリードピンと部品検査部との
距離データを測定する部品検査部と、測定された距離デ
ータを所定の区間に分割して、この区間内においる最小
値の距離データを抽出して、この区間内のすべての距離
データを最小値の距離データに変換して、この変換デー
タを用いて本体部と突起部を分離するための分離しきい
値を作成し、分離しきい値と各リードピンの距離データ
を用いて、各リードピンの距離データとそれ以外の距離
データとに分別して、電子部品に配置されている複数の
リードピンを検査する演算制御部と、からなる電子部品
装着装置により、達成される。
【0012】本発明では、部品の複数の突起部の状態を
検査するために、部品の本体部と各突起部の距離データ
を分離する際、分離用しきい値を作成してこの分離様式
位置を用いることにより、各突起部の距離データと本体
部の距離データを分離する。これにより、本体部が特殊
な形状に形成されている部品や、各突起部の長さがそれ
ぞれ異なる部品の検査において、精度よく複数の突起部
の検査を行うことができる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、
技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明
の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨
の記載がない限り、これらの形態に限られるものではな
い。
【0014】図1には本発明の電子部品装着装置の好ま
しい実施の形態を示す斜視図を示しており、図1を参照
して電子部品装着装置10について詳しく説明する。電
子部品装着装置10は、XYテーブル20、部品保持部
30、部品供給部40、搬送部50、部品認識カメラ6
0、部品検査部であるレーザ測長器70等からなってい
る。XYテーブル20はXテーブル21、Yテーブル2
2から構成されており、Xテーブル21とYテーブル2
2は機械的に接続されている。Xテーブル21にはモー
タM1が接続されており、モータM1が作動するとYテ
ーブル22が矢印X方向に移動する。Yテーブル22の
下部には部品吸着装置30が接続されていて、Yテーブ
ル22にはモータM2が接続されている。モータM2が
作動すると部品吸着装置30はYテーブル22に対して
矢印Y方向に移動する。モータM1、M2の回転量は図
3のエンコーダを介して演算制御部100に送られる。
【0015】部品保持部30は吸着ノズル31、基板マ
ーク認識カメラ32、Zテーブル33、回転駆動部34
等を有しており、吸着ノズル31は吸引手段と接続され
ていて、吸引手段が作動すると吸着ノズル31に吸引力
が働く。吸着ノズル31は後述する部品供給部40もし
くは部品トレー41から供給される電子部品Wを吸引等
により保持する。吸着ノズル31はZテーブル33上に
配置されており、回転駆動部34に接続されている。吸
着ノズル31はZテーブル33のモータM3が作動する
と矢印Z方向に移動し、回転駆動部34が作動すると矢
印θ方向に回転する。このモータM3と回転駆動部34
は図3の演算制御部100により制御されている。図1
の吸着ノズル31の周辺には基板マーク認識カメラ32
が配置されている。電子部品Wをプリント基板PBに対
して取り付ける際、基板マーク認識カメラ32がプリン
ト基板BPにつけられているマークを検出して、そのマ
ークに基づいて吸着ノズル31を位置決めする。
【0016】部品保持部30の下側には部品供給部4
0、部品トレー41、搬送部50、部品認識カメラ6
0、レーザ測長器70が配置されている。部品供給部4
0と部品トレー41には複数個の電子部品Wが収容され
ていて、部品保持部30に対して電子部品Wを供給す
る。搬送部50は例えばベルトコンベア等からなってお
り、搬送部50には電子部品Wが装着されるプリント基
板PBが載せられている。部品認識カメラ60は部品吸
着装置30に吸着されている電子部品Wを映し出して、
電子部品Wの吸着されている姿勢の画像認識を行う。
【0017】図2にはレーザ測長器70周辺部位の拡大
斜視図を示しており、図1と図2を参照してレーザ測長
器70について説明する。レーザ測長器70は矢印Z1
方向に向かってレーザ光を出力し、上側に位置決めされ
ている電子部品Wに当たった反射光を取り込むものであ
る。レーザ測長器70に入力された反射光は図3のD/
A変換器に出力され、D/A変換器から演算制御部10
0に送られる。このとき、レーザ測長器70は所定の間
隔でレーザ光を出力し、複数の高さデータDを取得す
る。
【0018】次に、図1と図2を参照して、部品装着装
置10の動作例について詳しく説明する。まずXYテー
ブル20のモータM1、M2作動して、部品吸着装置3
0が部品供給部40もしくは部品トレー41の上に位置
決めされる。そして、Zテーブル33のモータM3が作
動して吸着ノズル31が矢印Z1方向に移動し、電子部
品Wを吸着して保持する。その後XYテーブル20及び
Zテーブル33により部品吸着装置30が部品認識カメ
ラ60の上に位置決めされる。
【0019】部品認識カメラ60は電子部品Wの映像デ
ータを取り込んで、その映像データを図3の演算制御部
100に送る。演算制御部100は映像データ及びモー
タM1、M2によるXY方向の情報に基づいて、保持さ
れている電子部品Wの位置を認識する。これと同時に演
算制御部100は映像データあに基づいて電子部品Wの
角度調整を行う。具体的には、直列に配置されているリ
ードピンの配列方向とX軸とがほぼ平行になるように、
演算制御部100は回転駆動部34を作動させて角度補
正を行う。
【0020】その後、部品吸着装置30はレーザ測長器
70の上に位置決めされる。このレーザ測長器70は各
リードピンのZ軸方向の位置を検出するとともに、各リ
ードピンが矢印Z軸方向に対して曲がっていないかどう
か等の検査を行う。これにより、電子部品Wが良品か否
かを判断し、良品である場合には部品保持部30がプリ
ント配線板PBの所定の位置に位置決めされる。このと
き、基板マーク認識カメラ32がプリント配線板PBに
形成されているマークを認識することで、部品保持部3
0が所定の位置に位置決めされる。そして、搬送部50
により送られてくるプリント基板PBに対して電子部品
Wを取り付ける。また電子部品Wが不良品であると判断
した場合は、その電子部品Wは破棄される。
【0021】ここで図4にはレーザ測長器70を用いて
電子部品を検査する方法のフローチャート図を示してお
り、図4を参照して部品検査方法についてを参照して詳
しく説明する。まず図3のホストコンピュータ200は
演算制御部100に対して測定コマンドもしくは演算コ
マンドを送信する。このとき、各リードピンの測定デー
タが入力されていない場合ホストコンピュータは測定コ
マンドを送信し、測定データが得られている場合演算コ
マンドを送信する。
【0022】演算制御部100は測定コマンドが送られ
てきたか否かを判断する(SP1)。測定コマンドが送
られてきたことを確認すると、レーザ測長器70からレ
ーザ光が出力されて、各リードピンの高さデータのサン
プリングを行う(SP2)。レーザ測長器70が電子部
品の高さデータDを測定する際には、電子部品Wを矢印
X1方向に移動(トレース)させ、モールド部の1辺に
のみリードピンが形成されている場合は1辺のみを測定
し、モールド部の複数の辺にリードピンが形成されてい
る場合はそのすべての辺について測定を行う。なお、モ
ールド部の矢印Y方向に向かってリードピンが形成され
ている場合には、電子部品Wを矢印Y方向に向かってト
レースさせる。すると、図6に示す線L1が形成され
る。
【0023】そして、サンプリングされた高さデータD
とホストコンピュータ200から送られてくるリードピ
ン及びモールド部の寸法データに基づいてリード分離用
しきい値を求める(SP3)。リード分離用しきい値の
具体的な求め方は後述するものとする。次に、このリー
ド分離用しきい値を用いてサンプリングされた高さデー
タDからリードピンの高さデータRDのみを抽出する
(SP4)。すなわち、サンプリングされた高さデータ
Dはリードピンの高さデータRDとモールド部の高さデ
ータMDとが混在したデータであり、その中からリード
ピンの高さデータRDのみを抽出するなお、リードピン
の高さデータRDの具体的な求め方は後述するものとす
る。
【0024】その後、1つのリードピンに対してリード
ピンの位置情報(X、Y、Z)を取得する。ホストコン
ピュータ200は演算制御部100に対して演算コマン
ドを送信し、演算制御部100は演算コマンドルーチン
を実行する(SP6)。まず、部品検査部は測定されて
いる測定辺が1本かもしくはそれ以上かを判別する(S
P7)。ここで測定辺とは、電子部品Wを形成するモー
ルド部のうち、リードピンの高さ検出等が行われた辺の
数を意味する。
【0025】測定辺が一本の場合、各リードピンの高さ
データRDに基づいて最小2乗法等を用いて仮想直線を
求める(SP8)。そして、この仮想直線の値と各リー
ドピンごとの高さデータRDを比較してその各リードピ
ンの偏差を求める。その後これらすべての偏差データの
うち、最短の偏差データと最小の偏差データをリード浮
き量として設定する(SP9)。一方、測定辺が複数あ
る場合、各リードピンの高さデータRDに基づいて最小
2乗法により仮想平面を求める(SP10)。そして、
この仮想平面の値と各リードピンごとの高さデータRD
を比較してその各リードピンの偏差を求める。その後こ
れらすべての偏差データのうち、最短の偏差データと最
小の偏差データをリード浮き量として設定する(SP1
1)。そして、最大偏差データと最小偏差データの差が
所定の許容値の範囲内にあるときは、電子部品Wに良品
であると判断してプリント配線板に装着し、許容範囲内
にないときは不良品としてプリント配線板への取り付け
は行わない(SP12)。
【0026】ところで、電子部品Wをレーザ測長器70
により測定される際、電子部品Wの姿勢はXY平面とほ
ぼ平行であることが望ましい。しかし、図5に示すよう
に実際には電子部品WがXY平面に対して角度θ分傾い
て設けられている場合もある。また、電子部品Wのモー
ルド部の形状が特殊であったり、各リードピンの長さが
違う場合がある。そこで、分離用しきい値(SP3)及
びリードピンの高さデータの抽出(SP4)において、
従来平均化により行っていたのに変えて、最小化フィル
タを用いてその測定を行う。
【0027】図6にはサンプリングされた高さデータD
と変換された最小値データDminを示すグラフ図、図
7には最小化フィルタの動作を示すフローチャート図を
それぞれ示しており、図6と図7を参照して最小化フィ
ルタについて詳しく説明する。図7においてまずカウン
タjをリセットして(SP21)、カウンタjがサンプ
リングされたデータの個数Nより小さいかどうかを判別
する(SP22)。ここでカウンタjはサンプリングし
たデータの個数をカウントするものである。そしてカウ
ンタjがデータの総個数Nより小さいときは、最小値検
出ルーチン(SP24〜SP37)が実行される。ここ
で、カウンタiは上述する区間の個数をカウントするも
のであり、またDmimはその区間での最小値データを
示している。
【0028】この最小値検出ルーチンはデータがもつ前
後K個の区間にある高さデータDの中から一番小さいデ
ータDmimを抽出する。この所定の区間とは測定され
た高さデータDのうち連続している区画を意味し、具体
的にはリードピッチ間隔ごとに区画が分かれている。そ
してこの作業をすべての区間の個数Kの回数だけ繰り返
し、各区間について1つの最小値データM(j)を抽出
する。
【0029】これらの処理を、最初のサンプルデータD
(0)から最後のサンプルデータD(N−1)まで繰り
返すことにより、各サンプルデータDに対する最小値フ
ィルタ値M(j)が求めることができる。
【0030】次にリードピンの抽出処理を行うため、カ
ウンタiをクリアして(SP38)、カウンタiがNよ
り小さい間に以下の処理を行う(SP39)。まず、各
サンプルデータD(i)毎に設定するリードピンとモー
ルド部の分離用しきい値T(i)に最小値データM
(i)とオフセット値OFの和が入力される(SP4
0)。このオフセット値OFは予めリードピンとモール
ド部の高さにより算出される。すると、図6に示すよう
に最小値フィルタのデータM(i)は線L2のように描
かれ、分離用しきい値データT(i)が線L3のように
描かれる。次に各サンプリングデータD(i)と分離用
しきい値データT(i)とを比較し、分離用しきい値デ
ータT(i)がD(i)より大きいときは、リードピン
が合ったと判断してリードピン有無データL(i)に
「1」を格納する(SP42)。逆に分離用しきい値デ
ータT(i)がD(i)より小さいときは、リードピン
でない測定値、すなわちモールド部の測定データである
と判断して、リードピン有無データL(i)に「0」を
格納する(SP43)。最後に、カウンタiがNと同じ
になった場合に(SP39)、リード抽出処理が終了す
る(SP45)。
【0031】この際、最小化フィルタの波形に対してフ
ィード浮き許容値を情報にオフセットし、このリード浮
き許容値を例えば0.2mmとした場合、図6のような
ラインが形成される。このラインと測定データ値とを比
較して、ラインより低いデータをリードピンのデータと
する。そして、これらの検出の結果電子部品Wの良否を
判定して、良品のみをプリント配線板に固定させる。な
お、垂直リード曲がり検出とは、各リードピンの矢印Z
方向に対する曲がり具合が許容範囲内にあるか否か、す
なわちプリント基板に装着できる範囲であるか否かを検
出することを意味する。
【0032】上記実施の形態によると、従来IC等のリ
ードピンがモールド部側面に大きくでている電子部品の
垂直リード曲がり測定しかできなかった垂直リード曲が
り検出を、特殊な形状をもつ電子部品のリード曲がり測
定を可能とすることができる。また、電子部品Wの保持
状態が許容範囲内のおいて傾いている場合であっても、
最小化フィルタルーチンを経ることにより電子部品Wの
正確な検査を行うことができる。さらに、各リードピン
とそれ以外のリードピンの分離は、リード分離用しきい
値より大きいか小さいかによって決定されるため、各リ
ードピンの長さがそれぞれ異なっていても、正確に分離
を行うことができる。
【0033】ところで、本発明は、上記実施の形態に限
定されない。上記実施の形態における部品検査方法は、
電子部品装着装置に限らず、部品の外観検査装置やハン
ドリング装置でのリード曲がり検出にも応用できる。ま
た、電子部品Wを保持する際に吸引手段により保持して
いるが、クランプ等の機械的機構により保持するように
してもよい。
【0034】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
多種多様な電子部品の検査を行うことができる部品検査
方法及び電子部品装着装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の部品装着方法の好ましい実施の形態を
示す概略斜視図。
【図2】本発明の部品装着装置におけるレーザ測長器の
周辺部位を示す斜視図。
【図3】本発明の部品装着方法を実行するための構成を
示すブロック図。
【図4】本発明の部品検査方法の好ましい実施の形態を
示すフローチャート図。
【図5】本発明の部品装着装置におけるレーザ測長器の
周辺部位を示す斜視図。
【図6】本発明の部品装着方法における測定データおよ
び演算データを示すグラフ図。
【図7】本発明の部品装着方法における最小かフィルタ
ルーチンを示すフローチャート図。
【図8】従来の部品装着装置の一例を示す構成図。
【図9】従来の別の部品装着装置の一例を示す構成図。
【図10】従来の別の部品装着装置の一例を示す構成
図。
【符号の説明】
10・・・部品装着装置、30・・・部品保持部、、7
0・・・レーザ測長器、100・・・演算制御部、PB
・・・プリント配線板(基板)W・・・電子部品。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 本体部と本体部に形成されている複数の
    突起部とからなる部品に対してレーザ光を照射して、こ
    のレーザ光が部品から反射することにより得られる反射
    光に基づいて、レーザ光を出力するレーザ測長器と部品
    との距離を測定して、部品の突起部の状態の検査を行う
    部品検査方法において、 部品の本体部及び複数の突起部とレーザ測長器との距離
    データを測定して、 測定された距離データを所定の区間に分割して、 これらの区間内における最小値の距離データを抽出し
    て、 これらの区間内のすべての距離データを最小値の距離デ
    ータに変換して、これらの変換データを用いて本体部と
    突起部を分離するための分離しきい値を作成し、 分離しきい値と複数の突起部の距離データを用いて、突
    起部の距離データとそれ以外の距離データとに分別し
    て、 部品に配置されている複数の突起部を検査することを特
    徴とする部品装着方法。
  2. 【請求項2】 複数の突起部の検査は、複数の突起部の
    長さを測定するとともに、複数の突起部の形状が曲がっ
    ているか否かの検査を行う請求項1に記載の部品検査方
    法。
  3. 【請求項3】 分離しきい値は、最小値の距離データと
    予め定められている部品の突起部の長さとの和である請
    求項1に記載の部品装着方法。
  4. 【請求項4】 複数の突起部は本体部に対して所定の間
    隔で形成されており、所定の区間はこの所定の間隔とほ
    ぼ同じに設定する請求項1に記載の部品検査方法。
  5. 【請求項5】 部品は電子部品であって、本体部はモー
    ルド部であり複数の突起部はリードピンである請求項1
    に記載の部品装着方法。
  6. 【請求項6】 モールド部に複数のリードピンを有する
    電子部品を供給する部品供給部と、供給された電子部品
    を保持して基板に対して部品を装着する部品保持部と、
    部品保持部に保持されている電子部品に対してレーザ光
    を照射するレーザ測長器と、その反射光を用いて電子部
    品の検査を行う電子部品装着装置において、 モールド部及び複数のリードピンとレーザ測長器との距
    離データを測定する部品検査部と、 測定された距離データを所定の区間に分割して、これら
    の区間内における最小値の距離データを抽出して、これ
    らの区間内のすべての距離データを最小値の距離データ
    に変換して、この変換データを用いて本体部と突起部を
    分離するための分離しきい値を作成し、分離しきい値と
    各リードピンの距離データを用いて、各リードピンの距
    離データとそれ以外の距離データとに分別して、電子部
    品に配置されている複数のリードピンを検査する演算制
    御部と、 からなることを特徴とする電子部品装着装置。
JP10148060A 1998-05-28 1998-05-28 部品検査方法及び電子部品装着装置 Pending JPH11340699A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014225500A (ja) * 2013-05-15 2014-12-04 ヤマハ発動機株式会社 判定装置、表面実装機、及び判定方法
JP2016004987A (ja) * 2014-06-19 2016-01-12 Juki株式会社 電子部品実装装置、及び電子部品実装方法
WO2023095213A1 (ja) * 2021-11-24 2023-06-01 株式会社Fuji 部品実装機及び補正値の算出方法

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