JPH1136055A - 電子機器用銅合金材の製造方法 - Google Patents
電子機器用銅合金材の製造方法Info
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- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C9/00—Alloys based on copper
- C22C9/06—Alloys based on copper with nickel or cobalt as the next major constituent
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- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
つ、マトリックス中における結晶粒および析出物サイズ
が微細な電子機器用銅合金材の製造方法を提供するもの
である。 【解決手段】 少なくともNiとSiを含有する銅合金
に、溶体化処理と時効処理を施してなるリードフレーム
などの電子機器用銅合金材の製造方法において、上記銅
合金に750〜810℃の温度範囲で上記溶体化処理を
施した後、その銅合金に加工率60%以上の第1次冷間
加工を施し、その後、その銅合金に370〜470℃×
0.5〜3hrの第1次時効処理を施した後、その銅合
金に再び加工率50%以下の第2次冷間加工を施し、そ
の後、その銅合金に400〜500℃×0.5〜3hr
の第2次時効処理を施すものである。
Description
材の製造方法に係り、特に、半導体部品のリードフレー
ムなどに用いる電子機器用銅合金材の製造方法に関する
ものである。
ードフレーム材の多ピン化、ピン幅・ピンピッチの縮小
化が進んでいる。こうした多ピンリードフレームには、
材料の薄板化が必要であり、これに対応できる高強度と
消費電力増に対応できる放熱性を持った銅合金が用いら
れている。
を示す合金であり、熱処理によってNiとSiの化合物
を微細な形状に析出させると、高い強度と良好な熱・電
気伝導性が得られるため、多ピンリードフレーム用の材
料に適している。
硬化性銅合金の製造方法は、銅合金インゴットに成形加
工を施して銅合金材を形成し、その銅合金材に高温加熱
(溶体化処理)を施すことにより、不均一に析出した合
金元素(析出元素)をCuマトリックス中に固溶させ、
その後、銅合金材に第1次冷間加工を施した後、所定温
度に加熱(時効処理)することにより、Cuマトリック
ス中に固溶元素を均一に析出させ、その後、第2次冷間
加工を施すものである。
に700℃以上の温度で溶体化処理を施した後、順次、
加工度95%以下の冷間加工、350〜700℃の時効
処理、加工度20〜95%の冷間加工、および150〜
800℃の熱処理を施す方法などがある(特開昭61−
250154号公報)。
金の製造方法における溶体化処理は、析出元素のマトリ
ックス中への固溶を促進させる目的から高温(900℃
程度)で施されることが多い。また、その後の冷間加工
と時効処理条件の選択については、Cu−Ni−Si系
析出硬化性銅合金の導電率や強度の向上のみを目的とす
ることも多いため、比較的高温(500〜600℃)で
時効処理することも見受けられる。
ング法とエッチング法が挙げられるが、200ピンを超
えるような高密多ピンフレームでは微細加工が比較的容
易なエッチング法が用いられている。
リードのピン幅が狭く、ワイヤボンディングに必要とさ
れるピン幅の略限界に達しており、また、ピンピッチも
狭くなるため、エッチング時にインナーリードの直線性
および寸法精度を正確にコントロールすることが重要に
なる。
ーリードの直線性および寸法精度は、エッチングの処理
条件以外にも、材料の結晶組織や析出物の形態による影
響も大きく、結晶組織における粒界部と結晶粒内部で被
エッチング性が異なることにより、結晶粒が大きく成長
した材料はエッチング面に組織模様の凹凸が生じやす
い。また、析出物の大きさもエッチング性に影響を与
え、析出物が大きい場合にはエッチング面に凹凸が生じ
やすい。このような凹凸の発生により、インナーリード
の直線性や寸法精度の悪化が生じる。
は、溶体化や時効のための熱処理工程が必要であるが、
その際、結晶粒が粗大になったり、析出物が大きく成長
するおそれがあった。
出元素のマトリックス中への固溶を促進させる目的から
溶体化処理を高温(900℃程度)で行うことが多いた
め、高温の加熱により結晶粒が成長して粗大な結晶組織
になる可能性が高い。
に進行させるために比較的高温で加熱する場合が多いた
め、結晶粒が過度に成長して粗大な結晶組織になるおそ
れがあると共に、析出物サイズが大きくなりやすい。
チングによるリード成形性に優れ、かつ、マトリックス
中における結晶粒および析出物サイズが微細な電子機器
用銅合金材の製造方法を提供することにある。
に請求項1の発明は、少なくともNiとSiを含有する
銅合金に、溶体化処理と時効処理を施してなるリードフ
レームなどの電子機器用銅合金材の製造方法において、
上記銅合金に750〜810℃の温度範囲で上記溶体化
処理を施した後、その銅合金に加工率60%以上の第1
次冷間加工を施し、その後、その銅合金に370〜47
0℃×0.5〜3hrの第1次時効処理を施した後、そ
の銅合金に再び加工率50%以下の第2次冷間加工を施
し、その後、その銅合金に400〜500℃×0.5〜
3hrの第2次時効処理を施すものである。
ともNiを1.0〜5.0wt%、Siを0.2〜1.
0wt%、Znを1.0〜5.0wt%、Pを0.00
3〜0.3wt%含有すると共に、Ni/Siの重量比
が4.5〜5.5である請求項1記載の電子機器用銅合
金材の製造方法である。
する。
と規定したのは、溶体化処理温度が750℃よりも低い
と溶体化が十分に進行せず、後の時効処理において、固
溶しきれなかった析出元素の粗大化が生じ、高強度が得
られないと共に、エッチングのリード成形性が低下する
ためである。また、溶体化処理温度が810℃よりも高
いと析出元素の固溶は十分に進行するが、結晶粒の粗大
化が生じ、最終材において微細な結晶粒が得られないと
共に、エッチングのリード成形性が低下するためであ
る。
定したのは、加工率が60%よりも低いと結晶粒の微細
化が不十分になるおそれがあると共に、次の時効処理工
程における微細析出物の析出が不十分になるおそれがあ
るためである。
5〜3hrと規定したのは、時効処理温度・時間が37
0℃よりも低い又は0.5時間よりも短いと、時効によ
る固溶元素の析出が十分に進行せず、最終材において良
好な強度および導電率が得られないためである。また、
時効処理温度・時間が470℃よりも高い又は3時間よ
りも長いと、時効により粗大析出物の析出が生じ、最終
材において高強度が得られないと共に、再結晶が進行し
て結晶粒径が大きくなるためである。
定したのは、加工率が50%よりも高いと次の時効処理
によって粗大析出物が析出しやすくなると共に、最終材
での残留歪みが大きくなり、リード成形時に反りが生じ
るためである。
5〜3hrと規定したのは、時効処理温度・時間が40
0℃よりも低い又は0.5時間よりも短いと、新たな析
出物の析出が十分に進行しないと共に、残留歪みが大き
くなり、リード成形時に反りが生じ易くなるためであ
る。また、時効処理温度・時間が500℃よりも高い又
は3時間よりも長いと、時効により粗大析出物の析出が
生じ、最終材において高強度が得られないと共に、再結
晶が進行して結晶粒径が大きくなるためである。
0〜5.0wt%、0.2〜1.0wt%と規定したの
は、時効処理後の固溶元素量を減少させるためであり、
添加量がそれぞれ1.0wt%、0.2wt%よりも少
ないと、析出による高強度化が十分ではなく、添加量が
それぞれ5.0wt%、1.0wt%よりも多いと、析
出しきれない固溶元素量が増加するためである。
定したのは、NiとSiがNi2 Siとして析出するも
のであり、余剰分として存在するNi若しくはSiの量
を少なくするためである。
あり、Znの添加量を1.0〜5.0wt%と規定した
のは、添加量が1.0wt%よりも少ないと前述した効
果が十分ではなく、添加量が5.0wt%よりも多いと
特に導電性を低下させるためである。
造時のSiの酸化による悪影響を防止する効果があり、
Pの添加量を0.003〜0.3wt%と規定したの
は、添加量が0.003wt%よりも少ないと前述した
効果が十分ではなく、添加量が0.3wt%よりも多い
と特に導電性を低下させるためである。
iを含有する銅合金に、溶体化処理と時効処理を施して
なるリードフレームなどの電子機器用銅合金材の製造方
法において、上記銅合金に750〜810℃の温度範囲
で上記溶体化処理を施した後、その銅合金に加工率60
%以上の第1次冷間加工を施し、その後、その銅合金に
370〜470℃×0.5〜3hrの第1次時効処理を
施した後、その銅合金に再び加工率50%以下の第2次
冷間加工を施し、その後、その銅合金に400〜500
℃×0.5〜3hrの第2次時効処理を施すため、エッ
チングによるリード成形性に優れ、かつ、マトリックス
中における結晶粒および析出物サイズが微細な電子機器
用銅合金材を得ることができる。
する。
は、先ず、所定の化学組成の銅合金インゴットに、成形
加工(押出加工、冷間加工など)を施して銅合金材を形
成する。
1.0〜5.0wt%、Siを0.2〜1.0wt%、
Znを1.0〜5.0wt%、Pを0.003〜0.3
wt%含有するものであり、Ni/Siの重量比は4.
5〜5.5である。ここで、特に好ましい化学組成範囲
は、Niが1.5〜2.5wt%、Siが0.3〜0.
5wt%、Znが1.5〜3.0wt%、Pが0.01
〜0.05wt%である。
ると共に、析出元素を十分に固溶させるべく、750〜
810℃の温度範囲で溶体化処理を施す。ここで、特に
好ましい溶体化処理の温度範囲は、780〜800℃で
ある。
加工率60%以上の第1次冷間加工を施す。この第1次
冷間加工によって、銅合金材の結晶粒を微細化させると
共に、固溶元素析出の起点となる格子欠陥を導入し、第
1次時効処理時における微細析出物の形成を促進させ
る。特に、エッチング時のリード成形性を向上させるた
めには、銅合金材の結晶粒を十分に微細化させることが
必要であり、この第1次冷間加工の加工率を高めること
により、結晶粒微細化の効果が大きくなる。
第1次時効処理を施す。第1次時効処理においては、固
溶元素を微細な形状で多量に析出させることが重要であ
るが、本発明においては、第1次冷間加工の加工率が高
いため、固溶元素の析出が進行し易いと共に、粗大析出
物が析出し易くなっている。このため、第1次時効処理
の温度・時間条件を370〜470℃×0.5〜3hr
とし、粗大析出物の析出を抑えると共に、固溶元素を微
細な形状で多量に析出させる。ここで、特に好ましい第
1次時効処理の温度・時間条件は、440〜460℃×
1〜2hrである。
固溶元素が析出しきれないため、第1次時効処理後にお
いても固溶状態で残留する合金元素がある。このため、
このままでは最終材において良好な導電率を達成するこ
とが不十分となる。そこで、固溶状態で残留する合金元
素を析出させるための起点となる格子欠陥を導入すべ
く、第1次時効処理後の銅合金材に、加工率50%以下
の第2次冷間加工を施す。
第2次時効処理を施す。第2次時効処理においては、粗
大析出物の発生を抑えると共に、結晶粒径を微細に保ち
ながら、新たな析出物を発生させ、固溶元素量を減らす
ことが重要である。このため、第2次時効処理の温度・
時間条件は400〜500℃×0.5〜3hrとする。
ここで、特に好ましい第2次時効処理の温度・時間条件
は、400〜460℃×1〜2hrである。
って、最終材である電子機器用銅合金材を得る。
製造方法によれば、銅合金材に対する溶体化処理温度、
各冷間加工の加工率、および各時効処理の処理温度を規
定しているため、得られる電子機器用銅合金材は、エッ
チングによるリード成形性に優れ、かつ、マトリックス
中における結晶粒および析出物サイズが微細になる。
び析出物サイズが微細であるため、高強度および良好な
電気・熱伝導性を有している。
優れているため、本発明の製造方法により得られた電子
機器用銅合金材を、より小型・多ピンのリードフレーム
の材料として供することができる。
に、Ni、Si、Zn、Pを適宜添加し、この溶湯を鋳
型に注入して直径30mm、長さ250mm、かつ、化
学組成が、Ni:2.5wt%、Si:0.5wt%、
Zn:1.5wt%、P:0.03wt%、Ni/Si
の重量比:5.0の銅合金インゴット(試料A)を鋳造
する。
0mm、長さ250mm、かつ、化学組成が、Ni:
3.5wt%、Si:0.7wt%、Zn:3.5wt
%、P:0.03wt%、Ni/Siの重量比:5.0
の銅合金インゴット(試料B)を鋳造する。
0mm、長さ250mm、かつ、化学組成が、Ni:
6.0wt%、Si:1.2wt%、Zn:1.5wt
%、P:0.03wt%、Ni/Siの重量比:5.0
の銅合金インゴット(試料C)を鋳造する。
0mm、長さ250mm、かつ、化学組成が、Ni:
2.0wt%、Si:0.5wt%、Zn:1.5wt
%、P:0.03wt%、Ni/Siの重量比:4.0
の銅合金インゴット(試料D)を鋳造する。
0mm、長さ250mm、かつ、化学組成が、Ni:
3.0wt%、Si:0.5wt%、Zn:1.5wt
%、P:0.03wt%、Ni/Siの重量比:6.0
の銅合金インゴット(試料E)を鋳造する。実施例1、
2および比較例1〜3の銅合金インゴットの化学組成を
表1に示す。
いて、電子機器用銅合金材を作製する。
を850℃に加熱すると共に、銅合金インゴットに押出
加工を施して、幅20mm、厚さ8mmの板状に形成す
る。この板状銅合金材に冷間圧延加工を施し、厚さ0.
7mmの薄板状銅合金材に形成する。
熱した後、水中に投入して急冷し、薄板状銅合金材に溶
体化処理を施す。溶体化後の薄板状銅合金材に加工率7
0%の第1次冷間圧延加工を施し、厚さ0.21mmに
形成する。
1hrの第1次時効処理を施す。この薄板状銅合金材に
加工率約29%の第2次冷間圧延加工を施し、厚さ0.
15mmに形成する。
1hrの第2次時効処理を施して、電子機器用銅合金材
(試料No.1)を作製する。
を用い、第1次時効処理を440℃×1hr、第2次時
効処理を420℃×1hrとする以外は実施例3と同様
にして電子機器用銅合金材(試料No.2)を作製す
る。
を用い、第1次時効処理を400℃×1hr、第2次時
効処理を450℃×1hrとする以外は実施例3と同様
にして電子機器用銅合金材(試料No.3)を作製す
る。
を用い、溶体化処理温度を830℃とする以外は実施例
3と同様にして電子機器用銅合金材(試料No.4)を
作製する。
を用い、溶体化処理温度を740℃とする以外は実施例
3と同様にして電子機器用銅合金材(試料No.5)を
作製する。
を用い、第1次冷間加工の加工率を50%とする以外は
実施例3と同様にして電子機器用銅合金材(試料No.
6)を作製する。
を用い、第1次時効処理を480℃×1hr、第2次時
効処理を380℃×1hrとする以外は実施例3と同様
にして電子機器用銅合金材(試料No.7)を作製す
る。
を用い、第1次時効処理を360℃×1hr、第2次時
効処理を460℃×1hrとする以外は実施例3と同様
にして電子機器用銅合金材(試料No.8)を作製す
る。
を用い、第2次冷間加工の加工率を60%とする以外は
実施例3と同様にして電子機器用銅合金材(試料No.
9)を作製する。
トを用い、第2次時効処理を380℃×1hrとする以
外は実施例3と同様にして電子機器用銅合金材(試料N
o.10)を作製する。
トを用い、第2次時効処理を520℃×1hrとする以
外は実施例3と同様にして電子機器用銅合金材(試料N
o.11)を作製する。
を用い、実施例3と同様にして電子機器用銅合金材(試
料No.12)を作製する。
トを用い、実施例3と同様にして電子機器用銅合金材
(試料No.13)を作製する。
トを用い、実施例3と同様にして電子機器用銅合金材
(試料No.14)を作製する。
トを用い、実施例3と同様にして電子機器用銅合金材
(試料No.14)を作製する。
機器用銅合金材の製造条件を表2に示す。
強さ(MPa)、導電率(%IACS)、結晶粒径(μ
m)を測定した。その測定結果を表3に示す。
び12は、本発明の電子機器用銅合金材の製造方法に基
づいて作製しているため、700MPa以上の引張強
さ、40%IACS以上の導電率、微細な結晶粒が得ら
れた。
化処理温度(830℃、740℃)が規定範囲(750
〜810℃)外であるため、溶体化処理温度が高すぎる
試料No.4においては結晶粒が粗大(200μm)に
なっており、逆に、溶体化処理温度が低すぎる試料N
o.5においては引張強さが700MPa以下(628
MPa)となると共に、導電率が40%IACS以下
(38.0%IACS)となっている。
(50%)が規定範囲(60%以上)外であるため、結
晶粒が粗大(120μm)になっている。
(480℃、360℃)が規定範囲(370〜470
℃)外であるため、第1次時効処理温度が高すぎる試料
No.7においては引張強さが700MPa以下(63
6MPa)となると共に、結晶粒が粗大(120μm)
になっており、逆に、第1次時効処理温度が低すぎる試
料No.8においては引張強さが700MPa以下(6
10MPa)、導電率が40%IACS以下(39.6
%IACS)となっていると共に、結晶粒が粗大(12
0μm)になっている。
(60%)が規定範囲(50%以下)外であるため、引
張強さが700MPa以下(630MPa)となってい
る。
温度(380℃、520℃)が規定範囲(400〜50
0℃)外であるため、第2次時効処理温度が低すぎる試
料No.10においては導電率が40%IACS以下
(39.2%IACS)となっており、逆に、第2次時
効処理温度が高すぎる試料No.11においては引張強
さが700MPa以下(580MPa)となっていると
共に、結晶粒が粗大(200μm)になっている。
成において、Ni/Siの重量比(5.0)は規定範囲
(4.5〜5.5)内であるものの、NiおよびSiの
含有量(それぞれ、6.0wt%、1.2wt%)が規
定範囲(それぞれ、1.0〜5.0wt%、0.2〜
1.0wt%)外であるため、導電率が40%IACS
以下(36.4%IACS)となっている。
成において、NiおよびSiの含有量(それぞれ、2.
0wt%、0.5wt%)は規定範囲(それぞれ、1.
0〜5.0wt%、0.2〜1.0wt%)内であるも
のの、Ni/Siの重量比(4.0)が規定範囲(4.
5〜5.5)外であるため、引張強さが700MPa以
下(656MPa)となっている。
成において、NiおよびSiの含有量(それぞれ、3.
0wt%、0.5wt%)は規定範囲(それぞれ、1.
0〜5.0wt%、0.2〜1.0wt%)内であるも
のの、Ni/Siの重量比(6.0)が規定範囲(4.
5〜5.5)外であるため、引張強さが700MPa以
下(680MPa)となっていると共に、導電率が40
%IACS以下(38.8%IACS)となっている。
に対する溶体化処理温度、各冷間加工の加工率、および
各時効処理の処理温度を規定することで、得られる電子
機器用銅合金材は、エッチングによるリード成形性に優
れ、かつ、マトリックス中における結晶粒および析出物
サイズが微細になるという優れた効果を発揮する。
Claims (2)
- 【請求項1】 少なくともNiとSiを含有する銅合金
に、溶体化処理と時効処理を施してなるリードフレーム
などの電子機器用銅合金材の製造方法において、上記銅
合金に750〜810℃の温度範囲で上記溶体化処理を
施した後、その銅合金に加工率60%以上の第1次冷間
加工を施し、その後、その銅合金に370〜470℃×
0.5〜3hrの第1次時効処理を施した後、その銅合
金に再び加工率50%以下の第2次冷間加工を施し、そ
の後、その銅合金に400〜500℃×0.5〜3hr
の第2次時効処理を施すことを特徴とする電子機器用銅
合金材の製造方法。 - 【請求項2】 上記銅合金が、少なくともNiを1.0
〜5.0wt%、Siを0.2〜1.0wt%、Znを
1.0〜5.0wt%、Pを0.003〜0.3wt%
含有すると共に、Ni/Siの重量比が4.5〜5.5
である請求項1記載の電子機器用銅合金材の製造方法。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19149997A JP3465541B2 (ja) | 1997-07-16 | 1997-07-16 | リードフレーム材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| Publication Number | Publication Date |
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| JPH1136055A true JPH1136055A (ja) | 1999-02-09 |
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ID=16275676
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