JPH1137515A - 恒温液循環装置 - Google Patents
恒温液循環装置Info
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- JPH1137515A JPH1137515A JP9203841A JP20384197A JPH1137515A JP H1137515 A JPH1137515 A JP H1137515A JP 9203841 A JP9203841 A JP 9203841A JP 20384197 A JP20384197 A JP 20384197A JP H1137515 A JPH1137515 A JP H1137515A
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 29
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/14—Methods or arrangements for maintaining a constant temperature in parts of machine tools
- B23Q11/143—Methods or arrangements for maintaining a constant temperature in parts of machine tools comprising heating means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
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- B23Q11/141—Methods or arrangements for maintaining a constant temperature in parts of machine tools using a closed fluid circuit for cooling or heating
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25D—REFRIGERATORS; COLD ROOMS; ICE-BOXES; COOLING OR FREEZING APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F25D17/00—Arrangements for circulating cooling fluids; Arrangements for circulating gas, e.g. air, within refrigerated spaces
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-
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- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
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- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
- Control Of Temperature (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 恒温液循環装置のメンテナンス性を大きく改
善し、それと同時に製造時における組立工数の大幅な削
減を図る。 【解決手段】 負荷に対して恒温の冷媒液を循環して供
給するための恒温液循環装置において、負荷から還流し
た冷媒液を熱交換器２１において冷却するための冷却回
路部と該熱交換器２１において冷却した冷媒液を所定の
温度に加熱調節して送出する循環回路部とを備えた冷却
循環ユニット２と、起動スイッチ３１、冷媒液の温度を
設定する温度設定器３２及び動作表示装置３３を含む入
力／表示ユニット３と、シーケンサ４１を備えた制御部
ユニット４と、各種電装品を含む電装部ユニット５とを
ユニット化し、それらのユニット２〜５を機枠１上にそ
れぞれ独立して着脱自在に取り付け、各ユニットの電気
的配線を、機枠１に取り付けた中継基板６を介して電気
的に接続する。
善し、それと同時に製造時における組立工数の大幅な削
減を図る。 【解決手段】 負荷に対して恒温の冷媒液を循環して供
給するための恒温液循環装置において、負荷から還流し
た冷媒液を熱交換器２１において冷却するための冷却回
路部と該熱交換器２１において冷却した冷媒液を所定の
温度に加熱調節して送出する循環回路部とを備えた冷却
循環ユニット２と、起動スイッチ３１、冷媒液の温度を
設定する温度設定器３２及び動作表示装置３３を含む入
力／表示ユニット３と、シーケンサ４１を備えた制御部
ユニット４と、各種電装品を含む電装部ユニット５とを
ユニット化し、それらのユニット２〜５を機枠１上にそ
れぞれ独立して着脱自在に取り付け、各ユニットの電気
的配線を、機枠１に取り付けた中継基板６を介して電気
的に接続する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、恒温部を有する各
種産業分野の機械装置に対して恒温の冷媒液を供給する
恒温液循環装置に関するものであり、更に具体的には、
その構成部品を主要要素毎にユニット化した恒温液循環
装置に関するものである。
種産業分野の機械装置に対して恒温の冷媒液を供給する
恒温液循環装置に関するものであり、更に具体的には、
その構成部品を主要要素毎にユニット化した恒温液循環
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体の製造装置のように、恒温
部を有する各種機械装置においては、該装置の恒温部
（負荷）に恒温の冷媒液を連続的に供給し、負荷を所定
の温度に維持する必要があり、そのため、恒温液循環装
置を備え、この恒温液循環装置から恒温の冷媒液を供給
し、負荷において温度が上昇した冷媒液を恒温液循環装
置に還流させ、恒温液循環装置においては、熱交換器で
冷却した後にヒータで加熱して所定の温度の冷媒液と
し、この冷媒液を負荷に循環的に供給するようにしてい
る。
部を有する各種機械装置においては、該装置の恒温部
（負荷）に恒温の冷媒液を連続的に供給し、負荷を所定
の温度に維持する必要があり、そのため、恒温液循環装
置を備え、この恒温液循環装置から恒温の冷媒液を供給
し、負荷において温度が上昇した冷媒液を恒温液循環装
置に還流させ、恒温液循環装置においては、熱交換器で
冷却した後にヒータで加熱して所定の温度の冷媒液と
し、この冷媒液を負荷に循環的に供給するようにしてい
る。
【０００３】この恒温液循環装置は、上述したところか
らわかるように、上記半導体製造装置ばかりでなく、温
度制御が必要とされる各種産業分野の機械装置に付設
し、その動作を支援するものであり、そのため、この恒
温液循環装置の故障や動作不良は、それを付設した機械
装置の停止につながり、多大の損失を発生させる可能性
があるため、故障や動作不良が発生しないように配慮す
る必要があると同時に、万一それらが発生した場合に
は、極めて迅速に正常な動作状態に復帰させる必要があ
る。
らわかるように、上記半導体製造装置ばかりでなく、温
度制御が必要とされる各種産業分野の機械装置に付設
し、その動作を支援するものであり、そのため、この恒
温液循環装置の故障や動作不良は、それを付設した機械
装置の停止につながり、多大の損失を発生させる可能性
があるため、故障や動作不良が発生しないように配慮す
る必要があると同時に、万一それらが発生した場合に
は、極めて迅速に正常な動作状態に復帰させる必要があ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、上記恒温液循環装置のメンテナンス性を大きく改善
することにあり、また、それと同時に製造時における組
立工数の大幅な削減を図ることにある。
は、上記恒温液循環装置のメンテナンス性を大きく改善
することにあり、また、それと同時に製造時における組
立工数の大幅な削減を図ることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の恒温液循環装置は、負荷から還流した冷媒液
を熱交換器において冷却するための冷却回路部と、該熱
交換器において冷却した冷媒液を所定の温度に加熱調節
して送出する循環回路部と、それらを動作させるための
機器とを備え、負荷に対して恒温の冷媒液を循環して供
給するための恒温液循環装置であって、当該装置におけ
る独立して機能する主要構成要素を各構成要素毎にユニ
ット化し、それらのユニットを機枠上にそれぞれ独立し
て着脱自在に取り付け、各ユニットに設けた電気的配線
の接続のためのコネクタを、上記機枠に取り付けた中継
基板に着脱自在に接続し、この中継基板を介して各ユニ
ットを相互に電気的に接続したことを特徴とするもので
ある。
の本発明の恒温液循環装置は、負荷から還流した冷媒液
を熱交換器において冷却するための冷却回路部と、該熱
交換器において冷却した冷媒液を所定の温度に加熱調節
して送出する循環回路部と、それらを動作させるための
機器とを備え、負荷に対して恒温の冷媒液を循環して供
給するための恒温液循環装置であって、当該装置におけ
る独立して機能する主要構成要素を各構成要素毎にユニ
ット化し、それらのユニットを機枠上にそれぞれ独立し
て着脱自在に取り付け、各ユニットに設けた電気的配線
の接続のためのコネクタを、上記機枠に取り付けた中継
基板に着脱自在に接続し、この中継基板を介して各ユニ
ットを相互に電気的に接続したことを特徴とするもので
ある。
【０００６】上記恒温液循環装置においては、主要構成
要素のユニットを、負荷から還流した冷媒液を熱交換器
において冷却するための冷却回路部と該熱交換器におい
て冷却した冷媒液を所定の温度に加熱調節して送出する
循環回路部とを備えた冷却循環ユニットと、起動スイッ
チ、冷媒液の温度を設定する温度設定器及び動作表示装
置を含む入力／表示ユニットと、シーケンサを備えた制
御部ユニットと、各種電装品を含む電装部ユニットとに
より構成するのが適切である。
要素のユニットを、負荷から還流した冷媒液を熱交換器
において冷却するための冷却回路部と該熱交換器におい
て冷却した冷媒液を所定の温度に加熱調節して送出する
循環回路部とを備えた冷却循環ユニットと、起動スイッ
チ、冷媒液の温度を設定する温度設定器及び動作表示装
置を含む入力／表示ユニットと、シーケンサを備えた制
御部ユニットと、各種電装品を含む電装部ユニットとに
より構成するのが適切である。
【０００７】このような構成を有する恒温液循環装置に
よれば、独立して機能するユニット化した主要構成要素
ユニット、即ち、冷却循環ユニット、入力／表示ユニッ
ト、制御部ユニット並びに電装部ユニット等を、機枠上
にそれぞれ独立して着脱自在に取り付けているので、そ
れらのいずれかのユニットが故障したり動作不良になっ
たとしても、そのユニットのみを取り外して、一時的に
正常なユニットと交換し、直ちに正常な状態に回復させ
ることができ、故障や動作不良を起こしたユニットは工
場に持ち帰って丹念に修理することが可能になる。しか
も、上記各ユニットの交換に際し、それらのユニットに
おける電気的配線は、中継基板と接続しているコネクタ
を離脱するだけで全て取り外すことができ、また、新し
いユニットにおける電気的配線の接続は、そのコネクタ
を機枠上の中継基板に接続するだけでよく、配線の接続
も容易に行うことができる。従って、恒温液循環装置の
メンテナンス性を大きく改善することができ、それと同
時に製造時における組立工数の大幅な削減を図ることが
可能になる。
よれば、独立して機能するユニット化した主要構成要素
ユニット、即ち、冷却循環ユニット、入力／表示ユニッ
ト、制御部ユニット並びに電装部ユニット等を、機枠上
にそれぞれ独立して着脱自在に取り付けているので、そ
れらのいずれかのユニットが故障したり動作不良になっ
たとしても、そのユニットのみを取り外して、一時的に
正常なユニットと交換し、直ちに正常な状態に回復させ
ることができ、故障や動作不良を起こしたユニットは工
場に持ち帰って丹念に修理することが可能になる。しか
も、上記各ユニットの交換に際し、それらのユニットに
おける電気的配線は、中継基板と接続しているコネクタ
を離脱するだけで全て取り外すことができ、また、新し
いユニットにおける電気的配線の接続は、そのコネクタ
を機枠上の中継基板に接続するだけでよく、配線の接続
も容易に行うことができる。従って、恒温液循環装置の
メンテナンス性を大きく改善することができ、それと同
時に製造時における組立工数の大幅な削減を図ることが
可能になる。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１及び図２は、本発明に係る恒
温液循環装置の実施例を示している。この恒温液循環装
置は、基本的には、各種機械装置における恒温部（負
荷）に対して恒温の冷媒液を循環して連続的に供給する
ための装置であり、主として、負荷から還流した冷媒液
を熱交換器において冷却するための冷却回路部と、該熱
交換器において冷却した冷媒液を所定の温度に加熱調節
して送出する循環回路部と、それらを動作させるための
各種機器とを備えている。
温液循環装置の実施例を示している。この恒温液循環装
置は、基本的には、各種機械装置における恒温部（負
荷）に対して恒温の冷媒液を循環して連続的に供給する
ための装置であり、主として、負荷から還流した冷媒液
を熱交換器において冷却するための冷却回路部と、該熱
交換器において冷却した冷媒液を所定の温度に加熱調節
して送出する循環回路部と、それらを動作させるための
各種機器とを備えている。
【０００９】上記恒温液循環装置の構成は、独立して機
能する主要構成要素を各構成要素毎にユニット化し、図
１に示すように、それらのユニットをそれぞれ独立して
取り付ける機枠１を備え、上記各ユニットをこの機枠１
上に着脱自在に取り付けたものである。主要構成要素の
ユニットとしては、上述したように、独立して機能する
ものであり、しかも、電気的配線のみによって他のユニ
ットと連結できる適宜構成要素をユニット化して構成す
ることができるが、図１及び図２に例示したように、負
荷から還流した冷媒液を熱交換器で冷却するための冷却
回路部と該熱交換器において冷却した冷媒液を所定の温
度に加熱調節して送出する循環回路部とを備えた冷却循
環ユニット２、起動スイッチや冷媒液の温度を設定する
温度設定器の他に、現に動作している状態を表示する動
作表示装置を含む入力／表示ユニット３、一連の動作や
各種の制御をするシーケンサを備えた制御部ユニット
４、並びに、各種電装品を含む電装部ユニット５により
構成するのが適切である。
能する主要構成要素を各構成要素毎にユニット化し、図
１に示すように、それらのユニットをそれぞれ独立して
取り付ける機枠１を備え、上記各ユニットをこの機枠１
上に着脱自在に取り付けたものである。主要構成要素の
ユニットとしては、上述したように、独立して機能する
ものであり、しかも、電気的配線のみによって他のユニ
ットと連結できる適宜構成要素をユニット化して構成す
ることができるが、図１及び図２に例示したように、負
荷から還流した冷媒液を熱交換器で冷却するための冷却
回路部と該熱交換器において冷却した冷媒液を所定の温
度に加熱調節して送出する循環回路部とを備えた冷却循
環ユニット２、起動スイッチや冷媒液の温度を設定する
温度設定器の他に、現に動作している状態を表示する動
作表示装置を含む入力／表示ユニット３、一連の動作や
各種の制御をするシーケンサを備えた制御部ユニット
４、並びに、各種電装品を含む電装部ユニット５により
構成するのが適切である。
【００１０】上記構成要素毎にユニット化した各ユニッ
ト２〜５は、それぞれ機枠１上に独立して着脱自在に取
り付けるように構成する必要がある。独立して着脱自在
とは、いずれのユニットを着脱する場合でも、他のユニ
ットを取り外したりすることなく、図示を省略している
ボルト等の取付け手段により、機枠１の任意部分に対し
て独立して着脱できることを意味している。なお、上記
各ユニットを機枠１に取り付けた場合に、その機枠１に
おける各種ユニットの取付け部分に必要に応じてカバー
を付することができる。そして、これらのカバーも機枠
１の一部を構成し、従って、上記ユニットのうちで小型
のものは、該カバーに取り付けることもできる。
ト２〜５は、それぞれ機枠１上に独立して着脱自在に取
り付けるように構成する必要がある。独立して着脱自在
とは、いずれのユニットを着脱する場合でも、他のユニ
ットを取り外したりすることなく、図示を省略している
ボルト等の取付け手段により、機枠１の任意部分に対し
て独立して着脱できることを意味している。なお、上記
各ユニットを機枠１に取り付けた場合に、その機枠１に
おける各種ユニットの取付け部分に必要に応じてカバー
を付することができる。そして、これらのカバーも機枠
１の一部を構成し、従って、上記ユニットのうちで小型
のものは、該カバーに取り付けることもできる。
【００１１】また、これらの各ユニットを着脱するに際
しては、それぞれのユニット２〜５を他のユニットの所
要部分に電気的に接続し、あるいはその接続を外す必要
があり、これらを個別的に行うことは装置の組立やメン
テナンスを非常に複雑化するため、ここでは、各ユニッ
ト２〜５にそれぞれ電気的配線の接続のためのコネクタ
を設け、これを上記機枠１に対して独立して取り付けた
中継基板６上のコネクタ２ａ〜５ａに着脱自在に接続可
能とし、この中継基板６を介して各ユニット２〜５の電
源への接続及びそれらのユニット相互間の電気的信号線
の接続ができるようにしている。
しては、それぞれのユニット２〜５を他のユニットの所
要部分に電気的に接続し、あるいはその接続を外す必要
があり、これらを個別的に行うことは装置の組立やメン
テナンスを非常に複雑化するため、ここでは、各ユニッ
ト２〜５にそれぞれ電気的配線の接続のためのコネクタ
を設け、これを上記機枠１に対して独立して取り付けた
中継基板６上のコネクタ２ａ〜５ａに着脱自在に接続可
能とし、この中継基板６を介して各ユニット２〜５の電
源への接続及びそれらのユニット相互間の電気的信号線
の接続ができるようにしている。
【００１２】次に、上記各ユニット２〜５の構成につい
て更に具体的に説明する。まず、冷却循環ユニット２
は、図２に示すように、負荷において温度が上昇した冷
媒液を熱交換器において冷却するための冷却回路部と、
冷却した冷媒液を所定の温度に加熱調節して送出する循
環回路部とを備えている。上記冷却回路部は、一般に、
冷媒を圧縮して高温高圧のガスとする圧縮機１１と、こ
のガスを冷却凝縮して高圧の冷媒（液）とする凝縮器１
２と、この冷媒を減圧する減圧器（減圧弁）１３と、そ
こで減圧した冷媒を蒸発させて低温化する蒸発器１４
と、アキュムレータ１５とを、順次直列に接続したもの
として構成される。更に、上記冷却回路部は、蒸発器１
４の負荷が大きいときに圧縮機１１で圧縮した冷媒を直
接アキュムレータ１５に還流させる過熱防止回路１６
と、該回路中の過熱防止弁１６ａとを備え、過熱防止弁
１６ａがアキュムレータ１５の上流の冷媒温度を検出す
る温度センサ１６ｂによって過熱防止回路１６を開閉す
るものとすることができる。
て更に具体的に説明する。まず、冷却循環ユニット２
は、図２に示すように、負荷において温度が上昇した冷
媒液を熱交換器において冷却するための冷却回路部と、
冷却した冷媒液を所定の温度に加熱調節して送出する循
環回路部とを備えている。上記冷却回路部は、一般に、
冷媒を圧縮して高温高圧のガスとする圧縮機１１と、こ
のガスを冷却凝縮して高圧の冷媒（液）とする凝縮器１
２と、この冷媒を減圧する減圧器（減圧弁）１３と、そ
こで減圧した冷媒を蒸発させて低温化する蒸発器１４
と、アキュムレータ１５とを、順次直列に接続したもの
として構成される。更に、上記冷却回路部は、蒸発器１
４の負荷が大きいときに圧縮機１１で圧縮した冷媒を直
接アキュムレータ１５に還流させる過熱防止回路１６
と、該回路中の過熱防止弁１６ａとを備え、過熱防止弁
１６ａがアキュムレータ１５の上流の冷媒温度を検出す
る温度センサ１６ｂによって過熱防止回路１６を開閉す
るものとすることができる。
【００１３】一方、上記循環回路部は、負荷によって温
度が上昇して還流した冷媒液を上記低温化した蒸発器１
４との間で熱交換して冷却する熱交換器２１と、ヒータ
２３を組み込んだ冷媒液のタンク２２と、ヒータ２３で
所定の温度に加熱された冷媒液を負荷に供給して循環さ
せるポンプ２４とを備え、それらを順次直列に接続した
ものとして構成される。そのため、負荷によって温度が
上昇した冷媒液は、熱交換器２１に設けた蒸発器１４を
流れる冷却回路部の冷媒によって冷却される。
度が上昇して還流した冷媒液を上記低温化した蒸発器１
４との間で熱交換して冷却する熱交換器２１と、ヒータ
２３を組み込んだ冷媒液のタンク２２と、ヒータ２３で
所定の温度に加熱された冷媒液を負荷に供給して循環さ
せるポンプ２４とを備え、それらを順次直列に接続した
ものとして構成される。そのため、負荷によって温度が
上昇した冷媒液は、熱交換器２１に設けた蒸発器１４を
流れる冷却回路部の冷媒によって冷却される。
【００１４】また、タンク２２の出口近くに、その冷媒
液の温度を検出して信号として出力する温度センサ２５
を備えると共に、その出力信号に基づいてヒータ２３へ
の通電量を制御する温度コントローラ２６を循環回路部
に付設し、この温度コントローラ２６において、温度セ
ンサ２５が検出した温度を入力／表示ユニット３に予め
設定した冷媒液の設定温度と対比して、ヒータ２３への
通電量、即ちタンク２２における加熱量を制御するよう
にしている。この温度コントローラ２６を設けることな
く、温度センサ２５の出力信号を中継基板６を介して制
御部ユニット４に送り、制御部ユニット４において上記
温度コントローラ２６の機能を負担させることもでき
る。
液の温度を検出して信号として出力する温度センサ２５
を備えると共に、その出力信号に基づいてヒータ２３へ
の通電量を制御する温度コントローラ２６を循環回路部
に付設し、この温度コントローラ２６において、温度セ
ンサ２５が検出した温度を入力／表示ユニット３に予め
設定した冷媒液の設定温度と対比して、ヒータ２３への
通電量、即ちタンク２２における加熱量を制御するよう
にしている。この温度コントローラ２６を設けることな
く、温度センサ２５の出力信号を中継基板６を介して制
御部ユニット４に送り、制御部ユニット４において上記
温度コントローラ２６の機能を負担させることもでき
る。
【００１５】一方、入力／表示ユニット３は、恒温液循
環装置における入力及び表示用のパネルを構成するもの
で、一般的に、起動スイッチ３１や冷媒液の温度を設定
する温度設定器３２、現に動作している状態を表示する
動作表示装置３３の他、入力や動作が不適切である場合
にそれを操作者に伝えるアラーム機器等を含むものであ
る。入力／表示ユニット３における上記各構成要素は、
任意の構造のものとすることができるが、それらをタッ
チパネルに表示される指示に応じてタッチ入力するよう
な構成とすることもできる。
環装置における入力及び表示用のパネルを構成するもの
で、一般的に、起動スイッチ３１や冷媒液の温度を設定
する温度設定器３２、現に動作している状態を表示する
動作表示装置３３の他、入力や動作が不適切である場合
にそれを操作者に伝えるアラーム機器等を含むものであ
る。入力／表示ユニット３における上記各構成要素は、
任意の構造のものとすることができるが、それらをタッ
チパネルに表示される指示に応じてタッチ入力するよう
な構成とすることもできる。
【００１６】また、上記制御部ユニット４は、一連の動
作を制御するシーケンサプログラマブル・ロジック・コ
ントローラ４１を備えるもので、必要に応じてそれに各
種の制御機能を付設したものとすることができる。な
お、ここでは、上記冷却循環ユニット２における各部に
設ける動作確認用のセンサや、その出力に基づく恒温液
循環装置の各種制御について、具体的には説明しない
が、一般的に用いられている各種センサを取り付け、そ
れらに基づいて一般的に行われている各種制御を実施さ
せることができる。更に、上記電装部ユニット５は、例
えばブレーカーやタイマーその他の各種電装品を含み、
これらを一括して機枠１に取付け可能にするものであ
る。
作を制御するシーケンサプログラマブル・ロジック・コ
ントローラ４１を備えるもので、必要に応じてそれに各
種の制御機能を付設したものとすることができる。な
お、ここでは、上記冷却循環ユニット２における各部に
設ける動作確認用のセンサや、その出力に基づく恒温液
循環装置の各種制御について、具体的には説明しない
が、一般的に用いられている各種センサを取り付け、そ
れらに基づいて一般的に行われている各種制御を実施さ
せることができる。更に、上記電装部ユニット５は、例
えばブレーカーやタイマーその他の各種電装品を含み、
これらを一括して機枠１に取付け可能にするものであ
る。
【００１７】このような構成を有する恒温液循環装置に
よれば、冷却循環ユニット２、入力／表示ユニット３、
制御部ユニット４並びに電装部ユニット５等を、機枠１
上にそれぞれ独立してボルト等により着脱自在に取り付
けているので、それらのいずれかのユニットが故障した
り動作不良になったとしても、そのユニットのみを取り
外して、一時的に正常なユニットと交換し、恒温液循環
装置を直ちに正常な状態に回復させることができ、故障
や動作不良を起こしたユニットは、工場に持ち帰って丹
念に修理することが可能になる。
よれば、冷却循環ユニット２、入力／表示ユニット３、
制御部ユニット４並びに電装部ユニット５等を、機枠１
上にそれぞれ独立してボルト等により着脱自在に取り付
けているので、それらのいずれかのユニットが故障した
り動作不良になったとしても、そのユニットのみを取り
外して、一時的に正常なユニットと交換し、恒温液循環
装置を直ちに正常な状態に回復させることができ、故障
や動作不良を起こしたユニットは、工場に持ち帰って丹
念に修理することが可能になる。
【００１８】しかも、上記各ユニット２〜５の交換に際
し、それらのユニットにおける電気的配線は、中継基板
６と接続しているコネクタを離脱するだけで全て取り外
すことができ、また、新しいユニットにおける電気的配
線の接続は、そのコネクタを機枠１上の中継基板６に接
続するだけでよく、配線の接続も容易に行うことができ
る。従って、恒温液循環装置のメンテナンス性を大きく
改善することができ、それと同時に製造時における組立
工数の大幅な削減を図り、組立性を改善することが可能
になる。
し、それらのユニットにおける電気的配線は、中継基板
６と接続しているコネクタを離脱するだけで全て取り外
すことができ、また、新しいユニットにおける電気的配
線の接続は、そのコネクタを機枠１上の中継基板６に接
続するだけでよく、配線の接続も容易に行うことができ
る。従って、恒温液循環装置のメンテナンス性を大きく
改善することができ、それと同時に製造時における組立
工数の大幅な削減を図り、組立性を改善することが可能
になる。
【００１９】
【発明の効果】以上に詳述した本発明の恒温液循環装置
によれば、恒温液循環装置のメンテナンス性を大きく改
善し、また、それと同時に製造時における組立工数の大
幅な削減を図ることができる。
によれば、恒温液循環装置のメンテナンス性を大きく改
善し、また、それと同時に製造時における組立工数の大
幅な削減を図ることができる。
【図１】本発明に係る恒温液循環装置の構成を示す説明
図である。
図である。
【図２】同ブロック構成図である。
１ 機枠 ２ 冷却循環ユニット ３ 入力／表示ユニット ４ 制御部ユニット ５ 電装部ユニット ６ 中継基板 ２１ 熱交換器
Claims (2)
- 【請求項１】負荷から還流した冷媒液を熱交換器におい
て冷却するための冷却回路部と、該熱交換器において冷
却した冷媒液を所定の温度に加熱調節して送出する循環
回路部と、それらを動作させるための機器とを備え、負
荷に対して恒温の冷媒液を循環して供給するための恒温
液循環装置であって、 当該装置における独立して機能する主要構成要素を各構
成要素毎にユニット化し、それらのユニットを機枠上に
それぞれ独立して着脱自在に取り付け、 各ユニットに設けた電気的配線の接続のためのコネクタ
を、上記機枠に取り付けた中継基板に着脱自在に接続
し、この中継基板を介して各ユニットを相互に電気的に
接続した、ことを特徴とする恒温液循環装置。 - 【請求項２】主要構成要素のユニットを、負荷から還流
した冷媒液を熱交換器において冷却するための冷却回路
部と該熱交換器において冷却した冷媒液を所定の温度に
加熱調節して送出する循環回路部とを備えた冷却循環ユ
ニットと、起動スイッチ、冷媒液の温度を設定する温度
設定器及び動作表示装置を含む入力／表示ユニットと、
シーケンサを備えた制御部ユニットと、各種電装品を含
む電装部ユニットとにより構成した、ことを特徴とする
請求項１に記載の恒温液循環装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20384197A JP3324686B2 (ja) | 1997-07-14 | 1997-07-14 | 恒温液循環装置 |
| TW091213813U TW532469U (en) | 1997-07-14 | 1998-06-06 | Isothermal-liquid circulating apparatus with modular units |
| US09/094,471 US6000458A (en) | 1997-07-14 | 1998-06-10 | Isothermal-liquid circulating apparatus with modular units |
| EP98305204A EP0892229B1 (en) | 1997-07-14 | 1998-06-30 | Isothermal-liquid circulating apparatus |
| DE69814252T DE69814252T2 (de) | 1997-07-14 | 1998-06-30 | Umlaufgerät für isotherme Flüssigkeit |
| KR1019980027821A KR100303627B1 (ko) | 1997-07-14 | 1998-07-10 | 항온액순환장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20384197A JP3324686B2 (ja) | 1997-07-14 | 1997-07-14 | 恒温液循環装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1137515A true JPH1137515A (ja) | 1999-02-12 |
| JP3324686B2 JP3324686B2 (ja) | 2002-09-17 |
Family
ID=16480595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20384197A Expired - Fee Related JP3324686B2 (ja) | 1997-07-14 | 1997-07-14 | 恒温液循環装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
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| EP (1) | EP0892229B1 (ja) |
| JP (1) | JP3324686B2 (ja) |
| KR (1) | KR100303627B1 (ja) |
| DE (1) | DE69814252T2 (ja) |
| TW (1) | TW532469U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2007198715A (ja) * | 2006-01-30 | 2007-08-09 | Harman Pro:Kk | 加熱調理器 |
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|---|---|---|---|---|
| DE19609699C2 (de) * | 1996-03-13 | 2001-11-22 | Loh Kg Rittal Werk | Schaltschrank mit einem modularen Gehäuseaufbau |
| DE19818131A1 (de) * | 1998-04-23 | 1999-10-28 | Gwk Ges Waerme Kaeltetechnik M | Mehrkreistemperiersystem |
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| US9092039B2 (en) | 2010-11-19 | 2015-07-28 | Google Inc. | HVAC controller with user-friendly installation features with wire insertion detection |
| US9046898B2 (en) | 2011-02-24 | 2015-06-02 | Google Inc. | Power-preserving communications architecture with long-polling persistent cloud channel for wireless network-connected thermostat |
| US9448567B2 (en) | 2010-11-19 | 2016-09-20 | Google Inc. | Power management in single circuit HVAC systems and in multiple circuit HVAC systems |
| US8944338B2 (en) | 2011-02-24 | 2015-02-03 | Google Inc. | Thermostat with self-configuring connections to facilitate do-it-yourself installation |
| US8621377B2 (en) | 2011-03-24 | 2013-12-31 | Honeywell International Inc. | Configurable HVAC controller terminal labeling |
| JP6983429B2 (ja) * | 2019-10-04 | 2021-12-17 | 世越科技有限公司 | ４方向電磁弁を介して工作機械の部材に昇降温効果を生じる補助装置 |
| CN113606753B (zh) * | 2021-07-19 | 2023-01-10 | 启北公司 | 温控器功能配置方法、装置、计算机设备及可读存储介质 |
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| US3771321A (en) * | 1972-10-04 | 1973-11-13 | Climate Control Systems Inc | Modular air conditioning equipment |
| GB1521464A (en) * | 1975-10-15 | 1978-08-16 | Thorn Automation Ltd | Mounting of electrical equipment for cooling |
| WO1986000977A1 (en) * | 1984-07-24 | 1986-02-13 | Conry Ronald D | Modular refrigeration system |
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-
1997
- 1997-07-14 JP JP20384197A patent/JP3324686B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-06-06 TW TW091213813U patent/TW532469U/zh not_active IP Right Cessation
- 1998-06-10 US US09/094,471 patent/US6000458A/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-06-30 EP EP98305204A patent/EP0892229B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-06-30 DE DE69814252T patent/DE69814252T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-07-10 KR KR1019980027821A patent/KR100303627B1/ko not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007198715A (ja) * | 2006-01-30 | 2007-08-09 | Harman Pro:Kk | 加熱調理器 |
Also Published As
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| KR100303627B1 (ko) | 2002-10-19 |
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| EP0892229A3 (en) | 2000-05-03 |
| EP0892229A2 (en) | 1999-01-20 |
| DE69814252T2 (de) | 2003-12-04 |
| KR19990013758A (ko) | 1999-02-25 |
| TW532469U (en) | 2003-05-11 |
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