JPH11501442A - 磁気ヘッドの製造方法およびこの製造方法によって製造された磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 電気的に導通する接続トラック（１７ａ，１７ｂ）を有する変換システム（１１Ａ）を具えるとともに電気的に導通する接続トラック（１７ａ，１７ｂ）を有するヘッド面センサシステム（１５ａ，１５ｂ）をさらに具える多重層構体を基板上に形成する。処理操作は前記ヘッド面センサシステムで行われる測定により終了するヘッド面（２３）を形成するために行う。容易に達成し得る接続トラックの簡単なパターンを得るために、前記変換システム（１１Ａ）の接続トラックの一方の一部分および前記ヘッド面センサシステム（１５ａ，１５ｂ）の接続トラックの一方の一部分を共通の接続トラック（１７ａ）として形成するとともに前記変換システムの接続トラックの他方の接続トラックの一部分および前記ヘッド面センサーシステムの接続トラック他方の接続トラックの一部分を他の共通接続トラック（１７ｂ）として形成する。

Description

【発明の詳細な説明】 磁気ヘッドの製造方法およびこの製造方法によって製造された磁気ヘッド発明の技術分野 本発明は電気的に導通する接続トラックを有する変換システムを具えるととも に電気的に導通する接続トラックを有するヘッド面センサシステムをさらに具え る多重層構体を基板上に形成し、且つ前記ヘッド面センサシステムで行われる測 定により終了するヘッド面を形成する処理操作を実行する磁気ヘッドの製造方法 に関するものである。発明の背景 この種方法はヨーロッパ特許出願公開ＥＰ−Ａ３６１ ７７８から既知である 。この既知の方法によれば、捕集ガイドおよび戻ガイドを有する磁気抵抗素子を 各々に設けられた一連の薄膜変換素子を基板上に形成する。これら変換素子を形 成すると同時に、一連の変換素子の端部に電気ラッピングガイド（ＥＬＧ）を堆 積する。磁気抵抗素子の捕集ガイドおよび戻ガイドと同様にこれら電気ラッピン グガイド（ＥＬＧ）は乗算器に接続する。ヘッド面の形成中電気ラッピングガイ ド（ＥＬＧ）の抵抗値をまず最初、測定して粗さラッピング処理を制御し、次い で、個別の磁気抵抗素子の抵抗値を測定して磁気抵抗素子の最終高さを決める密 ラッピング処理を制御し得るようにする。従って、かくして得た既知の磁気ヘッ ドでは、磁気抵抗素子はヘッド面に隣接するようになる。かかる磁気ヘッドはＳ ＩＧヘッドと称されるセンサー内蔵ギャップヘッド型に属する。既知の方法は磁 気抵抗素子がヘッド面に隣接しないで、磁気ヨークの一部分を形成する磁気ヘッ ドを製造するに好適ではない。これらヘッドはＹＭＲヘッドと称される。既知の 方法の他の著しい欠点は所望の測定接続を確立するためには多くの電気導体が必 要となり、これによって導体パターンが複雑となり、技術的観点から達成が困難 となる。その理由は薄膜磁気ヘッドの有効スペースが制限されるからである。発明の概要 本発明の目的はＳＩＧヘッドおよびＹＭＲヘッドの双方を製造し得るとともに ヘッド面センサーシステムが接続トラックの簡単なパターンを有し容易に達成し 得る上述した種類の磁気ヘッドの製造方法を提供せんとするにある。 本発明は電気的に導通する接続トラックを有する変換システムを具えるととも に電気的に導通する接続トラックを有するヘッド面センサシステムをさらに具え る多重層構体を基板上に形成し、且つ前記ヘッド面センサシステムで行われる測 定により終了するヘッド面を形成する処理操作を実行する磁気ヘッドの製造方法 において、前記変換システムの接続トラックの一方の少なくとも一部分および前 記ヘッド面センサシステムの接続トラックの一方の少なくとも一部分を共通の接 続トラクとして形成するようにしたことを特徴とする。本発明によればヘッド面 センサーシステムの接続トラックまたはその一部分を移送システムの接続トラッ クまたはその一部分と一体に形成して技術的観点から容易に設け得る接続トラッ クの簡単なパターンを得ることができる。使用する手段により、所望の外部接続 を確立するに要する接続面の数を制限保持することができる。接続トラックの簡 単なパターンおよび接続面の制限数の双方は磁気ヘッド特にウエファから得られ る部分の寸法を小さく保持するための好適なファクタである。好適な例では、前 記変換システムの接続トラックの他方の接続トラックの少なくとも一部分および 前記ヘッド面センサーシステムの接続トラック他方の接続トラックの少なくとも 一部分を他の共通接続トラックとして形成するようにする。本発明方法はＳＩＧ っへおよびヘッド面センサーシステムの抵抗測定を行う同一配列を用い得るＹＭ Ｒヘッドの製造に適用することができる。 本発明方法の一例では、前記ヘッド面センサーを有するヘッド面センサーシス テムは２つのヘッド面ンサー間に変換システムの少なくとも１つの変換素子が形 成されたヘッド面センサーシステムとして形成し、共通接続トラックを２つのヘ ッド面センサーの一方に接続し、他方の共通接続トラックを２つのヘッド面セン サーの他方に接続し得るようにする。この場合には、少なくとも２つの、または 少なくともほぼ２つの接続トラックを節約することができる。 本発明方法の他の例では、前記共通接続トラックに関連しない接続トラックお よび前記ヘッド面センサーシステムの他の共通接続トラックは共通導電体として 実現し得るようにする。本例に用いる手段は接続トラックの好適なパターンを達 成するに充分な可能性を提供するとともに好適なレイアウトを行う大きな自由度 を提供する事ができる。追加の重要な利点は共通導体を使用することによって接 続トラックの少なくとも一部分のシステムの電気抵抗を小さくすることができる 。共通導体は多重層構体の電気的接続層として実現することができる。この多重 層構体は満足な導電率を有する材料を蒸着またはスパッタリングのような既知の 堆積法により堆積することによって導電基板または非導電性基板上に実現する事 ができる。好適な材料としては例えば銅、金のような金属またはＮｉＦｅのよう な導電性金属合金がある。原理的には導電層は構成する必要はない。 本発明方法の一例では、前記基板は導電材料から形成するとともに多重構体へ の共通導電体として接続し得るようにする。この例では、共通導体を外部的に簡 単に達成することができる。基板を形成し得る好適な導電材料はＡｌ₂Ｏ₂／Ｔｉ Ｃ，ＭｎＺｎフェライト、またはドープされたシリコンのような半導体材料とす ることができる。 本発明方法の一例では、前記ヘッド面センサーは抵抗測定を行う回路に組込む ようにする。かかる測定を本発明本発明に用いて例えば研削および／またはラッ ピングおよび／または研磨によってこのヘッド面の形成し中少なくとも一部分形 成されたヘッド面の位置および可能には一方のヘッド面センサーから他方のセン サーに見た傾斜に関する情報を得て、任意所望瞬時または連続処理でヘッド面を 形成する機械加工処理を制御し得るようにする。 本発明方法の一例では、前記ヘッド面形成後、前記ヘッド面センサーシステム は前記共通接続トラックおよび他の共通接続トラックから電気的に減結合し得る ようにする。これがため、磁気ヘッドの使用中、変換システムの可能な不所望の 負荷を防止することができる。これがため、特定な例では、前記ヘッド面センサ ーシステムは電気負荷を供給することにより前記共通接続トラックに直列に配列 されたフューズおよび前記ヘッド面センサーシステムの他の共通接続トラックに 直列に配列された他のフューズをブローすることによって遮断せしめるようにす る。かかるフーズはヘッド面センサーシステムに一体化するとともにセンサーを 構成する。 また、本発明はかかる磁気ヘッドの製造方法によって製造された磁気ヘッドに 関するものである。かかる本発明磁気ヘッドは変換システムが設けられた、且つ この変換システムの接続トラックのパターンの少なくとも２つの接続トラックま たはその一部分がヘッド面センサーシステムの接続トラックのパターンの少なく とも２つの接続トラックまたはその一部分と一体となるようにする。かかる磁気 ヘッドを使用または実現することに応じて、ヘッド面センサーシステムは磁気ヘ ッドに完全に組込むまれるとともに部分的にも存在させることができる。図面の簡単な説明 図１は本発明磁気ヘッドの第１例を形成する層構体を有する基板を具える磁気 ヘッド構体の一例を示す断面図、 図２は図１の磁気ヘッド構体のII−II線上に沿って見た平面図、 図３は本発明磁気ヘッドの第１例を示す断面図、 図４は図３の磁気ヘッド構体のIV−IV線上に沿って見た平面図 図５は本発明磁気ヘッドの第２例を示す断面図、 図６は本発明磁気ヘッドの第３例を形成する磁気ヘッド構体の断面図、 図７は本発明磁気ヘッドの第４例を形成する磁気ヘッド構体の断面図 図８は本発明磁気ヘッドの第５例を形成する磁気ヘッド構体の断面図 図９は抵抗測定を行うヘッド面センサーを具える回路の第１例を示す回路説明 図、 図１０はヘッド面センサーを具える回路の第２例を示す回路説明図である。発明を実施するための最良の形態 図１および２は本発明磁気ヘッド構体を示す。この磁気ヘッド構体は本例では 例えば多重層構体、特に、薄膜構体が設けられたＭｎＺｎフェライトの軟磁性ど で基板１を具える。本例では、多重層構体は、例えば銅の構造導電層３、例えば 、ＮｉＦｅ合金の軟磁性層５、例えば、金の導電層７、例えば、ＮｉＦｅ合金の 構造軟磁性層９、および例えば、ＮｉＦｅ合金の磁気抵抗層１１を具える。また 、多重層構体には例えば、ＳｉＯ₂またはＡｌ₂Ｏ₂の絶縁層１３を設け、これに より多重層構体が基板および前記層３，５，７，９および１１間の同様の絶縁層 に隣接し得るようにする。変換システムが設けられた本発明磁気ヘッドはハイブ リッド製品と見なされる磁気ヘッド構体から形成する。本例では、変換システム は導電層３から形成された誘導性変換素子と、既知の等電位細条構体が設けられ た磁気抵抗層１１から形成する磁気抵抗素子１１Ａとおおを具える。テストおよ び／またはバイアス巻線は導電層７から形成する。 図示の多重層構体はヘッド面センサーシステムを具え、このヘッド面センサー システムには本例では製造中磁気抵抗層１１と同時に形成される例えば金の導電 層部分１１ａおよび１１ｂから形成した２つのヘッド面センサー１５ａおよび１ ５ｂ設ける。磁気ヘッドの製造中、変換システムおよびヘッド面センサーシステ ムの導電接続トラックは多重層に設ける。この多重層構体は特に接続トラック１ ７ａおよび他の接続トラック１７ｂを具え、これら接続トラックは磁気抵抗層１ １にでんきてきに接続するとともに接続面２０ａおよび他の接続面２０ｂでそれ ぞれ終了する。また、接続トラック１７ａおよび１７ｂも層部分１５ａおよび１ ５ｂにそれぞれ接続して接続トラック１７ａおよび１７ｂが一方では磁気抵抗素 子１１Ａの共通接続トラックを構成するとともに他方ではヘッド面センサー１５ ａおよび１５ｂの共通接続トラックを構成し得るようにする。さらに、接続トラ ック１９ａおよび１９ｂはヘッド面センサー１５ａおよび１５ｂに電気的に接続 し、これらトラックは本例では接続部２１ａ２１ｂを経て共通導体、例えば、導 電基板１に接続し、この基板１は貫通接続部２１ｃを経て接続面２２で終了し得 るようにする。この多重層構体はＡｌ₂Ｏ₃／ＴｉＣの対向ブロックによって保護 することができる。 図３および図４に示す本発明磁気ヘッドは図１および図２に示す磁気ヘッド構 体から得ることができる。この目的のため、処理操作、例えば、研削および／ま たは研磨および／またはラッピングを磁気ヘッド構体で行って、ヘッド面を形成 してし得るようにする。形成すべきヘッド面の正しい位置および方向を決めるた めには、ヘッド面センサー１５ａおよび１５ｂを形成すべきヘッド面を越えてま ず最初延在させるとともに磁気ヘッド構体に設けるようにし、このヘッド面セン サーを磁気抵抗素子１１Ａの両側に存在させるが、これらヘッド面センサー１５ ａおよび１５ｂの抵抗値はヘッド面２３の形成中に抵抗測定によって決めるよう にする。得られた瞬時抵抗値に基づき、処理走査を制御して予め規定されたヘッ ド面を正確に得ることができる。完成させるためには、本発明による図示の磁気 ヘッドは磁性層５から形成された磁束ガイド５Ａと、磁性層９から形成された中 断磁束ガイド５Ａとを具える。また、磁気ヘッドは導電層３から形成した書込み 巻線３Ａと、導電層７から形成したバイアスおよび／またはテスト巻線７Ａとを 具える。 図１および２に示す磁気ヘッド構体および図３および４に示す磁気ヘッド構体 には軟磁性構体は設けず、例えば、Ａｌ₂Ｏ₃／ＴｉＣの非磁性基板および例えば ＮｉＦｅ合金の磁性層の組合せを設けることができる。 図５に示す本発明磁気ヘッド図１および２に示される型の磁気ヘッド構体から 形成する。図３および４に示す磁気ヘッドに対し、図５に示す磁気ヘッドは中断 ヘッド面センサー１５ａおよび１５ｂを有する。かかるセンサーはこれらが溶融 するに充分な程度まで電気的に負荷されることによって得ることができる。従っ て、こらセンサーはヒューズとして作用する。ヘッド面センサーに直列に個別の ヒューズを設けることもできる。 明瞭のために、図５に見られる磁気ヘッドの部分は図３および４に示す磁気ヘ ッドの対応する部分と同一の符号を付して示す。 図６に示す本発明磁気ヘッド構体は書込み形成された１０３Ａと、形成すべき ヘッド面１２３によって形成される区域に延在する２つのヘッド面センサー１１ ９ａおよび１１９ｂを有するヘッド面センサーシステムとを具える。書込巻線１ １７Ａの端部およびヘッド面センサー１１９ａの端部は共通接続トラック１１７ ａおよび１１７ｂを経て接続面１２０ａに電気的に接続するが、書込巻線１１７ Ａの他方の端部およびヘッド面センサー１１９ｂの端部は共通接続トラック１１ ７ｂを経て接続面１２０ｂに電気的に接続する。ヘッド面センサー１１５ａおよ び１１５ｂの他方の端部は接続トラック１１９ａおよび１１９ｂに電気的にそれ ぞれ接続する。接続トラック１１９ａおよび１１９ｂは貫通接続部１２１ａおよ び１２１ｂをそれぞれ経て例えば磁気ヘッド構体の構造または非構造導電層によ って構成された共通導体に接続する。この共通導体は貫通接続部１２１ｃを経て 接続面１２２に電気的に接続する。このヘッド面は機械加工処理によって形成し 得るとともにこのヘッド面をヘッド面センサーシステムで行われる測定に用いる ようにする。 図７に示す磁気ヘッド構体はバイアスおよび／またはテスト形成される０７Ａ を具え、これを接続トラック２１７ａおよび２１７ｂによって接続面２２０ａお よび２２０ｂに電気的に接続する。また、磁気ヘッド構体には形成される０７Ａ の平面に位置する２つのヘッド面センサー２１５ａおよび２１５ｂを有するヘッ ド面センサーシステムを設ける。形成すべきヘッド面２２３を越えて延在するこ れらセンサーは接続トラック２１７ａおよび接続トラック２１９ａ間に、且つ、 および接続トラック２１７ｂおよび接続トラック２１９ｂ間にそれぞれ電気的に 配列する。接続トラック２１９ａおよび２１９ｂは貫通接続部２２１ａおよび２ ２１ｂ、他の面に存在する共通導体および貫通接続部２１２ｃを経て接続面２２ ２に接続することができる。測定、特に、ヘッド面センサー２１５ａおよび２１ ５ｂの抵抗値の測定によって、ヘッド面２３３を形成する処理の過程を磁気ヘッ ド構体の製造中モニターすることができる。正確に規定されたヘッド面を有する 磁気ヘッドを得ることができる。 図８に示す本発明磁気ヘッド構体は図１および２に示す構体に相当する。しか し、変換システムの変換素子の数は相違する。本例では、変換システムは２つの 磁気抵抗素子３１１Ａおよび３１１Ｂを具える。変換素子の数を変更し多数とし 得ることは勿論である。抵抗素子はそれぞれ接続トラック３１７ａ，３１７ｂお よび３１７ｃを経て接続面３２０ａ，３２０ｂおよび３２０ｃに接続し、接続ト ラック３１７ｃは磁気抵抗素子３１１Ａおよび３１１Ｂの双方に対する共通接続 トラックとして用いる。ヘッド面センサー３１５ａおよび３１５ｂは磁気抵抗素 子の組の両側に位置させる。磁気ヘッド構体で行われる機械加工処理中、ヘッド 面センサー３１５ａおよび３１５ｂによって形成すべきヘッド面の位置および方 向に関する情報を得るとともにこの情報に基づきヘッド面２３２を形成する機械 加工処理を終了する。ヘッド面センサー３１５ａおよび３１５ｂは磁気抵抗素子 ３の面に位置させるとともに接続トラック３１７ａおよび接続トラック３１９ａ 間に、且つ、接続トラック３１７ｂおよび接続トラック３１９ｂ間にそれぞれ電 気的に配列する。接続トラック３１９ａおよびｂは可能には貫通接続部３２１ａ および３２１ｂを経て共通導体に接続し、この共通導体は終端させるか、または 可能には貫通接続部３２１ｃを経て共通接続面３２２に電気的に接続する。 図９は本発明方法を実施するために用いられる本発明回路を示す。本発明によ り製造すべき磁気ヘッドは線図的に破線４００で示す。磁気ヘッド４００はヘッ ド面４２３を有するとともに例えば１つ以上の磁気抵抗素子および／または１つ 以上の誘導素子を有する変換システム４１２を具える。この変換システム４１２ によって共通接続トラック４１７ａをヘッド面センサー４１５ａと分割するとと もに他の共通接続トラック４１７ｂをヘッド面センサー４１５ｂと分割する。接 続トラック４１７ａおよび４１７ｂはそれぞれ接続面３２０ａおよび４２０ｂで 終端する。ヘッド面センサー４１５ａおよび４１５ｂは少なくとも部分的に共通 導電体４１９ａ／４１９ｂを経て共通接続面４２２に接続する。抵抗値を測定す る既知の測定装置４３０ａおよび４３０ｂはそれぞれ接続面４２０ａおよび４２ ０ｂに接続するが、接続面４２２は接地する。斯様にして、ヘッド面センサー４ １５ａおよび４１５ｂの両端間の抵抗値は個別に測定して形成されるヘッド面の 位置と方向に関する情報を得ることができる。ヘッド面４２３の形成後、ヒュー ズ４１６ａおよび４１６ｂにそれぞれ電気的過負荷を印加することによってヘッ ド面センサー４１５ａおよび４１５ｂは接続トラック４１７ａおよび４１７ｂか ら減結合することができる。 図１０は抵抗を並列に測定する回路を示す。図１０において図９と同一部分に は同一符号を付して示す。抵抗を測定する測定装置４３０を接続面４２０ａおよ び４２０ｂに接続するが、接続面４２２は接地する。ヘッド面センサー４１５ａ および４１５ｂの両端間の並列抵抗は測定装置４３０によって測定し形成される ヘッド面４２３に関する情報が得られるようにする。 本発明は上述した例にのみ限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲内 で種々の変形や変更が可能である。例えば、本発明方法は読取ヘッド、書込ヘッ ドのような種々の型の磁気ヘッドまたは１つ以上の変換素子および１つ以上のヘ ッド面センサーが存在する読取りおよび書込みヘッドの組合せの製造にも用いる 事ができる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．電気的に導通する接続トラックを有する変換システムを具えるとともに電気 的に導通する接続トラックを有するヘッド面センサシステムをさらに具える多重 層構体を基板上に形成し、且つ前記ヘッド面センサシステムで行われる測定によ り終了するヘッド面を形成する処理操作を実行する磁気ヘッドの製造方法におい て、前記変換システムの接続トラックの一方の少なくとも一部分および前記ヘッ ド面センサシステムの接続トラックの一方の少なくとも一部分を共通の接続トラ ックとして形成するようにしたことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 ２．前記変換システムの接続トラックの他方の接続トラックの少なくとも一部分 および前記ヘッド面センサーシステムの他方の接続トラックの接続トラックの少 なくとも一部分を他の共通接続トラックとして形成するようにしたことを特徴と する請求項１に記載の磁気ヘッドの製造方法。 ３．前記ヘッド面センサーを有するヘッド面センサーシステムは２つのヘッド面 センサー間に変換システムの少なくとも１つの変換素子が形成されたヘッド面セ ンサーシステムとして形成し、共通接続トラックを２つのヘッド面センサーの一 方に接続し、他方の共通接続トラックを２つのヘッド面センサーの他方に接続す るようにしたことを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドの製造方法。 ４．前記共通接続トラックに関連しない接続トラックおよび前記ヘッド面センサ ーシステムの他の共通接続トラックは共通導電体として実現するようにしたこと を特徴とする請求項２または３に記載の磁気ヘッドの製造方法。 ５．前記基板は導電材料から形成するとともに多重構体への共通導電体として接 続するようにしたことを特徴とする請求項４に記載の磁気ヘッドの製造方法。 ６．前記ヘッド面センサーは抵抗測定を行う回路に組込むようにしたことを特徴 とする請求項２または３に記載、且つ請求項４および／または５に記載の双方に 組合せの磁気ヘッドの製造方法。 ７．前記ヘッド面形成後、前記ヘッド面センサーシステムは前記共通接続トラッ クおよび他の共通接続トラックから電気的に減結合するようにしたことを特徴 とする請求項２，３，４，５または６に記載の磁気ヘッドの製造方法。 ８．前記ヘッド面センサーシステムは電気負荷を供給することにより前記共通接 続トラックに直列に配列されたフューズおよび前記ヘッド面センサーシステムの 他の共通接続トラックに直列に配列された他のフューズをブローすることによっ て遮断せしめるようにしたことを特徴とする請求項７に記載の磁気ヘッドの製造 方法。 ９．変換システムが設けられた、且つこの変換システムの接続トラックのパター ンの少なくとも２つの接続トラックまたはその一部分がヘッド面センサーシステ ムの接続トラックのパターンの少なくとも２つの接続トラックまたはその一部分 と一体となる請求項１〜３の何れかの項に記載の磁気ヘッドの製造方法によって 製造された磁気ヘッド。