JPH1154862A - ハードディスクサスペンション配線基材用ポリイミドフィルム - Google Patents
ハードディスクサスペンション配線基材用ポリイミドフィルムInfo
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- JPH1154862A JPH1154862A JP21048497A JP21048497A JPH1154862A JP H1154862 A JPH1154862 A JP H1154862A JP 21048497 A JP21048497 A JP 21048497A JP 21048497 A JP21048497 A JP 21048497A JP H1154862 A JPH1154862 A JP H1154862A
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- Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Insulated Metal Substrates For Printed Circuits (AREA)
Abstract
クドライブサスペンション用のベースフィルムとして最
適なポリイミドフィルムを提供することを目的とする。 【解決手段】 芳香族ジエステル酸二無水物、テトラカ
ルボン酸二無水物、およびジアミン成分とを原料とする
ポリイミドをフィルムに形成し、所望の特性を有するフ
ィルムを得た。
Description
ムに関し、より詳しくは、ハードディスクサスペンショ
ン配線基材に用いられ得るポリイミドフィルムに関す
る。
質プリント配線板に対し、可塑性のあるフレキシブルプ
リント配線板が注目され、多く用いられている。このフ
レキシブルプリント配線板は、例えば長尺のベースフィ
ルムに接着剤を塗布して乾燥させ、ステンレス等の箔を
ラミネートした三層構造の上に、レジスト塗布、銅のエ
ッチング、およびレジスト剥離の工程からなるパターン
形成を行って、製造される。
ライブの磁気ヘッド用サスペンション配線板等において
は、ディスクの回転に伴って受ける空気浮上力とプリン
ト配線板の剛性反力とを釣り合わせて、磁気ヘッドをで
きるだけディスクに近接させて記録ビットの密度を増加
させる必要がある。ヘッドの浮上姿勢を改善するため
に、ヘッドからの配線をステンレス製の超小型支持バネ
に直接パターン形成する方が都合がよく、上記のような
方法で製造された基板が好適に用いられている。
スクサスペンション配線板の基材にパターンを形成する
時、特にエッチング処理工程において、基板の寸法が変
化する。この寸法の変化は、以下の3つの原因のいずれ
かによると考えられる。:(1)絶縁材あるいは基材で
あるベースフィルムの吸湿あるいは脱湿;(2)ステン
レス箔のラミネート時に生じるステンレス箔とベースフ
ィルムの熱膨張の差による歪み;あるいは(3)各工程
で生じる張力による歪み。このうち、特に、ベースフィ
ルムの吸湿あるいは脱湿による寸法の変化が問題とな
る。ハードディスクサスペンション配線基板をはじめと
するフレキシブルプリント配線板の製造では、洗浄工程
と乾燥工程とが繰り返され、最初の設計でその工程によ
る寸法の変化を予測して制御することが困難だからであ
る。
スペンション用配線基材では、直接配線がパターン形成
されているステンレスの熱膨張係数とベースフィルムの
熱膨張係数の値が大きく異なると基板の寸法の変化によ
って、基板が反ってしまう為、熱膨張の差による歪みも
大きな問題となる。
ディスクサスペンション配線基板の基材として用いる場
合に、できた基板の寸法変化を少なくするようなベース
フィルムを得ることが必要である。このようなベースフ
ィルムは、例えば、低吸水率でかつ適度な熱膨張係数を
有し、さらにベースフィルムの重要な特性である高弾性
率を有するものであるが、これまでのところ、そのよう
なハードディスクサスペンション配線基材に好適なフィ
ルムはなかった。
できるだけ剛直にして熱膨張を低く抑えることは可能で
ある。ポリイミド主鎖を構成する原料として既存のもっ
とも剛直な構造を持つピロメリット酸二無水物を用いて
合成した場合、熱膨張が低く、弾性が高い点では好まし
いが、イミド基の分極が大きくなって、低吸湿性を発現
することができなくなる。吸湿性を低くするために、フ
ッ素系樹脂を導入することもできるが、酸無水物の反応
性が低くなる上、製造コストが高くなる為に、好ましく
ない。
を解決し、吸水率が低くかつ弾性率が高く、また必要に
応じて熱膨張係数、湿度膨張係数、伸び率、あるいは厚
みを所望の特性にした優れたハードディスクサスペンシ
ョン配線基材用ポリイミドフィルムを提供することを目
的に鋭意研究を重ねた結果、本発明に到ったのである。
スクサスペンション配線基材用ポリイミドフィルムの要
旨とするところは、弾性率が500kg/mm2 以上で
かつ吸水率が2.0%以下であることにある。
基材用ポリイミドフィルムにおいて、熱膨張係数が25
ppm以下、好ましくは20ppm以下、より好ましく
は17ppm以下であることにある。
基材用ポリイミドフィルムにおいて、湿度膨張係数が1
5ppm以下、好ましくは12ppm以下であることに
ある。
ョン配線基材用ポリイミドフィルムにおいて、伸び率が
20%以上であることにある。
ョン配線基材用ポリイミドフィルムにおいて、厚みが5
0μm以下、より好ましくは25μm以下、最も好まし
くは15μm以下であることにある。
サスペンション配線基材用ポリイミドフィルムは、一般
式(1)
の有機基、R3 は、4価の有機基であり、式中R4 はC
H3 −、Cl−、Br−、F−、およびCH3 O−から
なる群より選択される1つの基のいずれかを表し、l、
mは、1以上の正の整数を表す)で表される。
し、前記R3 は化学式
す。
<100の関係式を満たす。より好ましくは、0<m/
l<9の関係式を満たし、最も好ましくは、0<m/l
<7/3の関係式を満たす。
ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸溶液を脱水によ
りイミド化し、フィルム状に形成するか、イミド化とフ
ィルム形成を同時に行うかして製造され得る。より具体
的には、例えば、ポリアミド酸溶液に脱水剤および触媒
等を必要量あるいは過剰量添加して混合し、ガラス板な
どの平板、ドラムあるいはエンドレスベルト状に流延又
は塗布してフィルム状にし、適当な温度で焼成し、これ
を引き剥がしてイミド化し、冷却することにより得られ
る。
2種類以上の酸成分のモノマーと1種類または2種類以
上のジアミン成分とを、重合させることによって得られ
る。重合は、有機極性溶媒を用いて、公知のいずれの方
法によっても行われ得る。重合の際、原料のモノマーを
反応系に加える順番および方法は任意である。例えば、
まず第1の組み合わせとして1つの酸成分と1つのジア
ミンとを有機溶媒溶液中で反応させて、別に、第2の組
み合わせとしての別の酸成分と第1の組み合わせで用い
たものと同一あるいは異なるジアミンとを反応させ、次
に、第1の反応物および第2の反応物とを混合して反応
させる方法;2種類の酸成分と2種類のジアミンとを同
時に有機溶媒溶液に存在させて重合させる方法;酸成
分、ジアミン成分を任意の順番で順次加えていく方法;
あるいは、酸成分と過剰量のジアミン成分とを反応さ
せ、予め有機溶媒に溶解させておいた酸成分を後に加え
て反応を完了させる方法; または過剰量の酸成分とジ
アミン成分とを反応させ、残りのジアミン成分を後で加
えて反応を完了させる方法の他、いずれの方法によって
も本発明のハードディスクサスペンション配線基材用ポ
リイミドフィルムの前駆体であるポリアミド酸溶液を得
ることができる。
酸成分モノマーとジアミン成分とを反応させて第一のポ
リアミド酸を生成し、続けて別の酸成分モノマーとジア
ミン成分とを反応させて第2のポリアミド酸を重合させ
る方法である。このような方法で得られたポリアミド酸
から製造されるポリイミドフィルムは特に優れた特性を
有し、ハードディスクサスペンション配線基材として用
いるのに特に好ましい。
〜40重量%、好ましくは10〜30重量%溶解されて
いるものが取り扱いの面から好ましいが、これに限定は
されない。また、このポリアミド酸溶液の粘度は100
0〜5,000ポイズ、好ましくは、1,500〜30
00ポイズの範囲にあることが流延によるフィルム形成
の容易さから好ましいが、これに限定されない。ポリア
ミド酸の平均分子量は、10,000〜1,000,0
00であることが好ましい。平均分子量が10,000
未満ではできあがったフィルムが脆くなり、一方、1,
000,000を超えるとポリアミド酸ワニスの粘度が
高くなり過ぎ取り扱いが難しくなって好ましくない。
一般式
テル酸二無水物;あるいは一般式
ン酸二無水物である。
無水物とテトラカルボン酸二無水物の割合は、特に限定
されないが、芳香族ジエステル酸二無水物:テトラカル
ボン酸二無水物=100:1〜1:100の範囲が好ま
しい。ここで、R1 は、
は1種以上の1種以上の4価の有機基である。R4 は、
CH3 −、Cl−、Br−、F−、およびCH3 O−か
らなる群より選択される1つの基のいずれかを表し、す
べて同一の基であってもよいが、必ずしも同じ基でなく
てもよく、任意の組み合わせが選択され得る。
あり得る。
ンゼンあるいはトルエン等の溶媒中、ピリジンの存在下
で無水トリメリット酸とフェノール類とを反応させる方
法か、あるいは高沸点溶媒中、無水トリメリット酸とジ
アセテート類のエステル交換反応を行わせる方法等によ
り得られる。
式
有機極性溶媒としては、例えば、ジメチルスルホキシ
ド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、
N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホル
ムアミドなどのホルムアミド系溶媒、N,N−ジメチル
アセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミドなどのア
セトアミド系溶媒、N−メチル−2−ピロリドン、Nー
ビニルー2ーピロリドンなどのピロリドン系溶媒、フェ
ノール、o−、m−、またはp−クレゾール、キシレノ
ール、ハロゲン化フェノール、カテコールなどのフェノ
ール系溶媒、あるいはヘキサメチルホスホルアミド、Γ
ーブチロラクトンなどをあげることができる。これらの
有機極性溶媒を単独あるいは2以上の組み合わせで用い
ることが好ましい。さらに必要に応じて、これらの有機
極性溶媒とキシレンあるいはトルエンなどの芳香族炭化
水素とを組み合わせて用いることもできる。
ポリアミド酸溶液を調製した後、酸化防止剤、光安定
剤、難燃剤、帯電防止剤、熱安定剤、紫外線吸収剤、あ
るいは無機のフィラー類、その他の強化剤を混合し、最
終的に得られるフィルムに所望の特性を付与することも
できる。
ポリイミドを得る。イミド化の方法は、ポリアミド酸溶
液を熱処理して脱水する熱的方法、脱水剤を用いて脱水
する化学的方法のいずれも用いられる。このうち、化学
的方法によると、イミド化に要する時間が短くてすみ、
生成するポリイミドの伸び、あるいは引張り強度等の機
械特性にも影響がない為、好ましい。熱的方法および化
学的方法とを組み合わせることもできる。
酢酸等の脂肪族酸無水物、および芳香族酸無水物等があ
げられる。
る。触媒の例としては、トリエチルアミンなどの脂肪族
第3級アミン類、ジメチルアニリン等の芳香族第3級ア
ミン類、ピリジン、ピコリン、イソキノリン等の複素環
第3級アミン類などがあげられる。
剤、難燃剤、帯電防止剤、熱安定剤、紫外線吸収剤、あ
るいは無機のフィラー類、またはそのほかの強化剤を混
合してもよい。
ムは、フレキシブルプリント配線基板、特にハードディ
スクドライブのサスペンション用配線基材に好適な特性
を有し得る。すなわち、弾性率が500kg/mm2 〜
3,000kg/mm 2まででかつ吸水率が0以上2.
0%以下、好ましくは1.6%以下のポリイミドフィル
ムである。さらに、熱膨張係数が−10以上25ppm
以下、好ましくは20ppm以下、より好ましくは17
ppm以下、湿度膨張係数が0以上15ppm以下、好
ましくは12ppm以下、伸び率が20%〜500%、
好ましくは30%以上であり得る。さらに、本発明のハ
ードディスクサスペンション配線基材用ポリイミドフィ
ルムは、フィルムの厚みを50μm以下、好ましくは2
5μm以下、より好ましくは2μm〜15μmにまで薄
くしても、上記の特性を有し得る。
材としてハードディスクサスペンション配線基板を製造
すれば、フィルムが空気中もしくは加工工程において吸
湿せず、基板のそりやカールの発生が抑えられる。
線基板は、ある程度の浮上力を有する必要がある為、基
材であるフィルムは、軽量化すなわち薄膜化するのが好
ましい。本発明のポリイミドフィルムは、薄くしても、
弾性率が高く、フィルムの取り扱いが容易であり、ハー
ドディスクサスペンション配線用基材として特に有用な
性質を有する。
説明するが、これらの実施例は本発明を説明するための
ものであり、限定するためのものではない。当業者は、
本発明の範囲を逸脱することなく、種々の変更、修正、
および改変を行い得る。
略号を用いる。 PMDA:ピロメリット酸二無水物 TMHQ:p−ビフェニルビス(トリメリット酸モノエ
ステル酸無水物) ODA:4、4ージアミノジフェニルエーテル p−PDA:パラフェニレンジアミン DMF:ジメチルホルムアミド DMAc:ジメチルアセトアミド AA:無水酢酸 IQ:イソキンリン
を1当量ずつとり、ODAが完全に溶解するまで室温で
よく攪拌した。次に、粉状のPMDA0.85当量を徐
々に加え、その後、40分間攪拌した。次にDMFに溶
解したPMDA0.15当量を徐々に加え、その後、1
時間攪拌しながら冷却し、反応を行わせ、ポリアミド酸
溶液を得た。DMFに投入するジアミン類および酸無水
物のモノマーの量は、仕込み濃度が18重量%になるよ
うにした。
よびIQと混合し、混合液をガラス板上に流延塗布し
て、約100℃にて約5分間乾燥後、ポリアミド酸塗膜
をガラス板より剥がし、その塗膜を支持枠に固定して、
その後約100℃にて約5分間、約200℃にて約5分
間、約300℃にて約5分間、さらに約400℃で約5
分間加熱し、脱水閉環乾燥して、約10μmのポリイミ
ドフィルムを得た。
DAを8当量とp−PDAを5当量とり、混合して、O
DAおよびp−PDAが完全に溶解するまで室温でよく
攪拌した。次に、粉状のTMHQおよびPMDAを、そ
れぞれ5当量および6.05当量ずつ徐々に加え、その
後、40分間攪拌した。次にDMAcに溶解したPMD
A1.95当量を徐々に加え、その後、1時間攪拌しな
がら冷却し、反応を行わせ、ポリアミド酸溶液を得た。
DMAcに投入するジアミン類および酸無水物のモノマ
ーの量は、仕込み濃度が18重量%になるようにした。
よびIQと混合し、混合液をガラス板上に流延塗布し
て、約100℃にて約5分間乾燥後、ポリアミド酸塗膜
をガラス板より剥がし、その塗膜を支持枠に固定して、
その後約100℃にて約5分間、約200℃にて約5分
間、約300℃にて約5分間、さらに約400℃で約5
分間加熱し、脱水閉環乾燥して、約10μmのポリイミ
ドフィルムを得た。
DAを12当量とp−PDAを11当量とり、混合し
て、ODAおよびp−PDAが完全に溶解するまで室温
でよく攪拌した。次に、粉状のTMHQおよびPMDA
を、それぞれ15当量および4.55当量ずつ徐々に加
え、その後、40分間攪拌した。次にDMAcに溶解し
たPMDA3.45当量を徐々に加え、その後、1時間
攪拌しながら冷却し、反応を行わせ、ポリアミド酸溶液
を得た。DMAcに投入するジアミン類および酸無水物
のモノマーの量は、仕込み濃度が18重量%になるよう
にした。
よびIQと混合し、混合液をガラス板上に流延塗布し
て、約100℃にて約5分間乾燥後、ポリアミド酸塗膜
をガラス板より剥がし、その塗膜を支持枠に固定して、
その後約100℃にて約5分間、約200℃にて約5分
間、約300℃にて約5分間、さらに約400℃で約5
分間加熱し、脱水閉環乾燥して、約10μmのポリイミ
ドフィルムを得た。
ジアミンとを反応させて1種類のポリマー(A成分)を
調製し、次に別の種類の酸無水物とジアミンを反応させ
て別の種類のポリマー(B成分)を調製し、A成分とB
成分との混合を行って、本発明のポリイミドフィルムを
製造した。
MAcをとり、ODAを2当量とp−PDAを3当量と
り、混合して、ODAおよびp−PDAが完全に溶解す
るまで室温でよく攪拌した。次に、粉状のTMHQ4.
25当量を徐々に加え、その後、40分間攪拌した。次
にDMAcに溶解したTMHQ0.75当量を徐々に加
え、その後、1時間攪拌しながら冷却し、反応を行わ
せ、ポリアミド酸溶液を得た。DMAcに投入するジア
ミン類および酸無水物のモノマーは、仕込み濃度が18
重量%になるようにした。
MFをとり、ODAを3当量とp−PDAを1当量と
り、混合して、ODAおよびp−PDAが完全に溶解す
るまで室温でよく攪拌した。次に、粉状のPMDA3.
4当量を徐々に加え、その後、40分間攪拌した。次に
DMAcに溶解したPMDA0.6当量を徐々に加え、
その後、1時間攪拌しながら冷却し、反応を行わせ、ポ
リアミド酸溶液を得た。DMFに投入するジアミン類お
よび酸無水物のモノマーの量は、仕込み濃度が18重量
%になるようにした。
して1:1でとり、攪拌混合した。この混合ポリアミド
酸溶液をAAおよびIQと混合し、混合液をガラス板上
に流延塗布して、約100℃にて約5分間乾燥後、ポリ
アミド酸塗膜をガラス板より剥がし、その塗膜を支持枠
に固定して、その後約100℃にて約5分間、約200
℃にて約5分間、約300℃にて約5分間、さらに約4
00℃で約5分間加熱し、脱水閉環乾燥して、約10μ
mのポリイミドフィルムを得た。
MAcをとり、ODAを2当量とp−PDAを3当量と
り、混合して、ODAおよびp−PDAが完全に溶解す
るまで室温でよく攪拌した。次に、粉状のTMHQ4.
25当量を徐々に加え、その後、40分間攪拌した。次
にDMAcに溶解したTMHQ0.75当量を徐々に加
え、その後、1時間攪拌しながら冷却し、反応を行わ
せ、ポリアミド酸溶液を得た。DMAcに投入するジア
ミン類および酸無水物のモノマーの量は、仕込み濃度が
18重量%になるようにした。
MFをとり、ODAを3当量とp−PDAを1当量と
り、混合して、ODAおよびp−PDAが完全に溶解す
るまで室温でよく攪拌した。次に、粉状のPMDA3.
4当量を徐々に加え、その後、40分間攪拌した。次に
DMAcに溶解したPMDA0.6当量を徐々に加え、
その後、1時間攪拌しながら冷却し、反応を行わせ、ポ
リアミド酸溶液を得た。DMFに投入するジアミン類お
よび酸無水物のモノマーの量は、仕込み濃度が18重量
%になるようにした。
して3:1でとり、攪拌混合した。この混合ポリアミド
酸溶液をAAおよびIQと混合し、混合液をガラス板上
に流延塗布して、約100℃にて約5分間乾燥後、ポリ
アミド酸塗膜をガラス板より剥がし、その塗膜を支持枠
に固定して、その後約100℃にて約5分間、約200
℃にて約5分間、約300℃にて約5分間、さらに約4
00℃で約5分間加熱し、脱水閉環乾燥して、約10μ
mのポリイミドフィルムを得た。
−PDAを1当量とり、p−PDAが完全に溶解するま
で室温でよく攪拌した。次に粉状のTMHQ0.99当
量を徐々に加え、その後、40分間攪拌した。次に粉状
のODAを1当量とり徐々に加え、その後40分間攪拌
した。次に、粉状のPMDA0.90当量を徐々に加
え、その後、40分間攪拌した。次にDMAcに溶解し
たPMDA0.11当量を徐々に加え、その後、1時間
攪拌しながら冷却し、反応を行わせ、ポリアミド酸溶液
を得た。DMAcに投入するジアミン類および酸無水物
のモノマーの量は、仕込み濃度が18重量%になるよう
にした。
よびIQと混合し、混合液をガラス板上に流延塗布し
て、約100℃にて約5分間乾燥後、ポリアミド酸塗膜
をガラス板より剥がし、その塗膜を支持枠に固定して、
その後約100℃にて約5分間、約200℃にて約5分
間、約300℃にて約5分間、さらに約400℃で約5
分間加熱し、脱水閉環乾燥して、約10μmのポリイミ
ドフィルムを得た。
たポリイミドフィルムの熱膨張係数、湿度膨張係数、吸
水率、弾性率、および引張伸び率を測定した。それぞれ
の特性は、以下のようにして測定した。
00℃にて、理学電気製TMA 8140で常法により
測定した。
にて30分間乾燥させ、重量を測定した(W1)その
後、24時間蒸留水に浸漬した後、表面の水滴を拭き取
って再び重量を測定した(W2)。W1とW2から、下
記の式により吸水率を算出した。 吸水率(%)=(W2−W1)÷W1×100
試験機に24時間放置し、フィルム寸法を測定し(L
1)、次にそのフィルムを50℃80%Rhの環境試験
機に24時間放置し、フィルム寸法を測定し(L2)、
下記式により湿度膨張係数を算出した。 湿度膨張係数(ppm)=(L2−L1)÷L1÷(8
0−30)×106
80により行った。
ムの特性を以下の表1に示す。
係数がステンレスと同等の15ppm以下で、湿度膨張
係数が15ppm以下、吸水率が2.0%以下、フィル
ムの伸び率が30%以上でかつフィルムの厚みが50μ
m以下のポリイミドフィルムが提供される。このような
ポリイミドフィルムは、フレキシブルプリント配線板、
特に、ハードディスクドライブのサスペンション配線基
板に都合よく用いられ得る。
Claims (7)
- 【請求項1】 弾性率が500kg/mm2 以上でかつ
吸水率が2.0%以下であることを特徴とする、ハード
ディスクサスペンション配線基材用ポリイミドフィル
ム。 - 【請求項2】 熱膨張係数が25ppm以下であること
を特徴とする、請求項1に記載のハードディスクサスペ
ンション配線基材用ポリイミドフィルム。 - 【請求項3】 湿度膨張係数が15ppm以下であるこ
とを特徴とする、請求項1または2に記載のハードディ
スクサスペンション配線基材用ポリイミドフィルム。 - 【請求項4】 伸び率が20%以上であることを特徴と
する、請求項1から3までのいずれかに記載のハードデ
ィスクサスペンション配線基材用ポリイミドフィルム。 - 【請求項5】 厚みが50μm以下であることを特徴と
する、請求項1から4までのいずれかに記載のハードデ
ィスクサスペンション配線基材用ポリイミドフィルム。 - 【請求項6】 一般式(1) 【化1】 (式中、R1 は、化2 【化2】 から選択される2価の有機基、R2 は2価の有機基、R
3 は、4価の有機基であり、式中R4 はCH3 −、Cl
−、Br−、F−、およびCH3 O−からなる群より選
択される1つの基のいずれかを表し、l、mは、1以上
の正の整数を表す)で表される構成であることを特徴と
する、請求項1から5までのいずれかに記載のハードデ
ィスクサスペンション配線基材用ポリイミドフィルム。 - 【請求項7】 前記R2 が化3 【化3】 から選択される1つの基のいずれかを表し、前記R3 が
化4 【化4】 から選択される1つの基のいずれかを表すことを特徴と
する、請求項6に記載のハードディスクサスペンション
配線基材用ポリイミドフィルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21048497A JP3794446B2 (ja) | 1997-08-05 | 1997-08-05 | ハードディスクサスペンション配線基材用ポリイミドフィルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21048497A JP3794446B2 (ja) | 1997-08-05 | 1997-08-05 | ハードディスクサスペンション配線基材用ポリイミドフィルム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1154862A true JPH1154862A (ja) | 1999-02-26 |
| JP3794446B2 JP3794446B2 (ja) | 2006-07-05 |
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ID=16590119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21048497A Expired - Lifetime JP3794446B2 (ja) | 1997-08-05 | 1997-08-05 | ハードディスクサスペンション配線基材用ポリイミドフィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3794446B2 (ja) |
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