JPH1167959A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH1167959A
JPH1167959A JP9223655A JP22365597A JPH1167959A JP H1167959 A JPH1167959 A JP H1167959A JP 9223655 A JP9223655 A JP 9223655A JP 22365597 A JP22365597 A JP 22365597A JP H1167959 A JPH1167959 A JP H1167959A
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JP
Japan
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substrate
metal plate
semiconductor device
circuit board
printed circuit
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JP9223655A
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English (en)
Inventor
Katsushi Terajima
克司 寺島
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH1167959A publication Critical patent/JPH1167959A/ja
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/851Dispositions of multiple connectors or interconnections
    • H10W72/874On different surfaces
    • H10W72/884Die-attach connectors and bond wires
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00Package configurations
    • H10W90/701Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
    • H10W90/731Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors
    • H10W90/734Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00Package configurations
    • H10W90/701Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
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  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板裏面からの水分の吸湿を防止し、実装時
の半田リフロー加熱による基板剥離、クラックを防止す
る。 【解決手段】 プリント基板2の外部端子取付け面にお
いて、金属板8が基板2の半導体素子搭載部に対応して
取り付けられている。金属板8は、外部端子9が取付け
られた基板2の裏面を覆うため、基板裏面からの水分の
吸湿が阻止されることとなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、表面実装型で外部
端子となる半田ボールを格子状に配列するBGA(BA
LL GRID ARRAY)タイプの半導体装置に関
し、特に樹脂材料からなる基板の外部端子取り付け面に
於ける構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図5は、従来のプラスティックBGA型
半導体装置を示す断面図である。プリント基板2の表面
に半導体素子1がマウント材3により搭載され、ボンデ
ィングワイヤー4にてプリント基板2上の導電配線6と
電気接続された後、封止樹脂5にて封止される。プリン
ト基板2の裏面には半田ボールからなる外部端子9が取
付けられている。また、プリント基板2にはスルーホー
ルが設けてあり、特に放熱効果を持つサーマルピア7が
プリント基板2の半導体素子搭載部に設けられており、
半導体素子1の発熱、または接地電位を基板の裏面側の
外部端子9に伝える役目をしている。前記スルーホール
はφ0.3mmの貫通孔であり、壁面には銅メッキが施
されているが、場合によっては絶縁、導電性樹脂または
金属を充填することもある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図5に
示す半導体装置は、実装時のIRリフローでクラックを
起こす不具合(ポップコーンクラック)があった。これ
は、半導体装置の構成材料が有機材料であるため、吸湿
した水分がリフロー時の加熱により急激に気化膨張し、
プリント基板2と半導体素子1との間で剥離を引き起こ
し、クラックに至るためである。
【0004】図5に示す従来の半導体装置の吸湿経路
は、プリント基板2の裏面からの水分浸透が支配的と考
えられており、特にスルーホールは水分の浸透が最も多
いと考えられている。このスルーホールには、樹脂、ま
たは金属を充填するものもあるが、ポップコーンを十分
に回避するほど水分浸透を防ぐには至っておらず、信頼
性、コスト、作業性の面も含めて、根本的な解決策が開
発されていない。
【0005】また、スルーホールの中でも、特に半導体
素子搭載部に当たる箇所に設けたものを放熱効果の役目
からサーマルピアと呼ぶ。プリント基板2は熱伝導性が
悪く、半導体素子1の発熱を基板裏面の外部端子9に伝
えるためには、このスルーホール内の銅配線を経由して
熱伝導させる。
【0006】しかし、プリント基板2が厚くなると、放
熱性は悪くなり、その効果も低下してくる。放熱性に関
しては、プリント基板2の板厚の薄い方が好ましいが、
半導体装置の強度確保、反り防止、加えて水分の吸湿低
減の観点からは、プリント基板2の板厚は厚い方が好ま
しい。したがって、この相反する効果を回避するために
は、プリント基板2の裏面からの吸湿が低く、かつ放熱
性の高い半導体装置が必要となる。
【0007】本発明の目的は、基板裏面からの水分の吸
湿を防止し、かつ、実装時の半田リフロー加熱による基
板剥離、クラックを防止した半導体装置を提供すること
にある。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る半導体装置は、半導体素子を基板に搭
載し、該素子を基板の導体配線と電気的に接続し、かつ
基板の外部端子に電気的に接続した半導体装置におい
て、前記基板の外部端子取付け面を金属板にて被覆した
ものである。
【0009】また、前記金属板は、少なくとも半導体素
子搭載部に対応する範囲、或いは外部端子の取付位置よ
り内周側に配置されたものである。
【0010】また、前記金属板は、前記基板に設けたス
ルーホールの少なくとも一部を覆うように取り付けられ
たものである。
【0011】また、前記金属板は、前記基板に設けた開
口の底部を覆うように取り付けられ、半導体素子を搭載
するキャビティを前記基板に形成したものである。
【0012】また、前記金属板の高さは、前記外部端子
の高さより0.3mm以下に設定したものである。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
【0014】(実施形態1)図1は、本発明の実施形態
1に係る半導体装置を示す断面図である。なお、図1に
おいて、図4の従来例と同一の構成要素には同一の符号
を付してある。
【0015】図1において、本発明の実施形態1に係る
半導体装置は、プリント基板2の一主面に半導体素子1
をマウント材3により搭載し、ボンディングワイヤー4
でプリント基板2上の導電配線6と電気接続した後に封
止樹脂5にて封止してある。また、封止樹脂から露出し
たプリント基板2の裏面には、半田ボールからなる外部
端子9を取り付けている。
【0016】さらに、プリント基板2の半導体素子搭載
部から基板裏面に貫通するサーマルピア7を設けてお
り、半導体素子1からの熱をサーマルピア7を通して基
板裏面側に伝熱して放熱するようになっている。
【0017】また外部端子9は、プリント基板2の裏面
周辺部にのみ格子状に配置されており、外部端子9より
内側のプリント基板2の裏面には、半導体素子搭載部に
対応して金属板8を取付けている。金属板8は、アルミ
ニウム等に黒化処理、または電極酸化等により酸化膜を
施す、或いはニッケル、金等のメッキを施しても良い。
また、金属板8のプリント基板2への取付けは、ソルダ
ーレジスト等の絶縁樹脂、金属フィラー入り導電性樹
脂、または低融点半田を用いて行うが、これらは、金属
板8の外装処理に応じて適宜選択される。
【0018】本発明の実施形態1では、プリント基板2
の裏面を金属板8により覆ったため、プリント基板2へ
の水分の吸湿を防止することができる。
【0019】さらに、金属板8には、選択的に半田ボー
ル91を取付けても良く、半田ボール91を取付けること
によって、金属板8を通した放熱、または接地電位の強
化を行うことができる。
【0020】(実施形態2)図2は、本発明の実施形態
2を示す断面図である。
【0021】図2に示す本発明の実施形態2では、金属
板8の板厚を半田ボール9の直径とほぼ等しくなるよう
に厚くしたことを特徴とするものである。金属板8と半
田ボール9との高差は0.3mm以下が好ましい。それ
は、実装後の半田ボール9のつぶれ高さが低くなるた
め、その低くなる高さ分を予め金属板8を低く見積もっ
ている。その他の構成は、実施形態1と同じである。
【0022】これは、金属板8を直接半田付けすること
を可能にせしめるためで、実装後は金属板8がスタンド
オフ値になり、実装後の半田ボール9の高さは金属板8
と等しくなるように設定するのが好ましい。
【0023】(実施形態3)図3は、本発明の実施形態
3を示す断面図である。
【0024】図3に示す本発明の実施形態3では、プリ
ント基板2に半導体素子1を搭載する貫通口を設け、基
板裏面の外部端子取付け面に金属板8を取り付け、金属
板8で貫通口を閉塞してプリント基板2の中央部にキャ
ビティ10を形成し、キャビティ10内に半導体素子1
を収容するようになっている。また、金属板8は、外部
端子9より内側に位置している。その他の構成は、実施
形態1と同じである。
【0025】本発明の実施形態3によれば、半導体素子
1は、キャビティ10内に収容されて直接金属板8に搭
載可能なため、熱伝導の悪いプリント基板2を介さず
に、半導体素子1の熱を金属板8から放熱することによ
り、放熱性を飛躍的に向上させることができる。さら
に、半導体素子1を基板2のキャビティ10内に収納す
ることができるため、半導体装置本体の高さを基板の厚
さ分だけ縮小することができる。
【0026】(実施形態4)図4は、本発明の実施形態
4に係る半導体装置を示す断面図である。実施形態4で
は、プリント基板21の裏面全体に拡大して金属板8を
取り付けている。金属板8には、周辺部に開口11を設
け、開口11内に外部端子9を収容して基板裏面に電気
接続している。その他の構成は、実施形態1と同じであ
る。
【0027】本実施形態4によれば、基板裏面の露出部
分を極力ゼロに近付けられるため、基板裏面からの吸湿
を最小限に押さえることができる。金属板8に酸化膜等
の絶縁被膜をしておけば、外部端子9,9間の短絡を防
止することができる。また、基板2と金属板8の取付け
に当たって、金属板8をフレーム状に連結しておくと良
く、基板2と金属板8の両者がフレーム状であれば、金
属板8の基板2への取付けが容易で、取付けの精度、工
数の低減が可能となる。
【0028】なお、本発明の実施形態は、BGA構造の
ものを対象として説明したが、リード付き当てタイプの
バットリード(BUTT LEAD)PGAタイプにも
同様に適用することができる。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、プ
リント基板の裏面を金属板で被覆することにより、水分
の吸湿を防止して、実装時のリフロークラックを最小限
に押さえることができる。実験の結果、実装前の放置時
間を2倍以上に延長することができた。
【0030】さらに、プリント基板の裏面に金属板が設
けられているため、半導体素子の放熱性を2割以上向上
させることができ、しかも直接金属板に半導体素子をマ
ウントし、実装基板に半田付けした場合には、半導体素
子の放熱性を5割以上も向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態1を示す断面図である。
【図2】本発明の実施形態2を示す断面図である。
【図3】本発明の実施形態3を示す断面図である。
【図4】本発明の実施形態4を示す断面図である。
【図5】従来例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 半導体素子 2 プリント基板 3 マウント材 4 ボンディングワイヤ 5 封止樹脂 6 導電配線 7 サーマルピア 8、金属板 9 外部端子 10 キャビティ 11 開口

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体素子を基板に搭載し、該素子を基
    板の導体配線と電気的に接続し、かつ基板の外部端子に
    電気的に接続した半導体装置において、 前記基板の外部端子取付け面を金属板にて被覆したもの
    であることを特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】 前記金属板は、少なくとも半導体素子搭
    載部に対応する範囲、或いは外部端子の取付位置より内
    周側に配置されたものであることを特徴とする請求項1
    に記載の半導体装置。
  3. 【請求項3】 前記金属板は、前記基板に設けたスルー
    ホールの少なくとも一部を覆うように取り付けられたも
    のであることを特徴とする請求項2に記載の半導体装
    置。
  4. 【請求項4】 前記金属板は、前記基板に設けた開口の
    底部を覆うように取り付けられ、半導体素子を搭載する
    キャビティを前記基板に形成したものであることを特徴
    とする請求項1叉は2に記載の半導体装置。
  5. 【請求項5】 前記金属板の高さは、前記外部端子の高
    さより0.3mm以下に設定したものであることを特徴
    とする請求項2、3叉は4に記載の半導体装置。
JP9223655A 1997-08-20 1997-08-20 半導体装置 Pending JPH1167959A (ja)

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