JPH1174651A - プリント配線板及びその製造方法 - Google Patents
プリント配線板及びその製造方法Info
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Abstract
なく,各層の剥離を抑制し,導通用孔を正確な位置に形
成できる,プリント配線板及びその製造方法を提供す
る。 【解決手段】奇数nの導電層11〜13を,絶縁層21
〜23を介在させて積層している。第1番目の導電層1
1は部品接続層である。第n番目の導電層13は,外部
接続端子7を接合する外部接続層である。第2番目から
第(n−1)番目の導電層12は,内部電流伝達用の電
流伝達層である。第n番目の導電層13の表面は,外部
接続端子7を露出させた状態で,最外層である第n番目
の絶縁層23により被覆されている。内部の絶縁層はガ
ラスクロス入りプリプレグであり,外部の絶縁層は樹脂
からなることが好ましい。
Description
プリント配線板及びその製造方法に関し,特に,奇数の
導電層を有するプリント配線板,アディティブ法等を利
用して作製したビルドアップ層よりなるプリント配線
板,各層の導電層の間を電気的に接続する導通用孔の形
成方法,外部接続用の半田ボールと導通用孔との狭ピッ
チ化に関する。
図42に示すごとく,導電層911〜914を積層した
ものがある。各導電層911〜914は導通用孔931
〜933を通じて互いに電気的に接続している。各絶縁
層911〜914の間には,絶縁層921〜923が介
設されている。
て電子部品961に電流を導出入するための部品接続層
である。一方の最外層の導電層911と電子部品961
との間は,ボンディングワイヤー962により電気的に
接続されている。他方の最外層の導電層914は,プリ
ント配線板941に流れる電流を外部に導出入する外部
接続端子97を接合する外部接続層である。内部の導電
層912,913は,プリント配線板941の内部の電
流を伝達するための電流伝達層である。
いて説明する。まず,図43に示すごとく,絶縁層92
2の上面及び下面に,導電層912,913を形成す
る。また,絶縁層922を貫通する導通用孔932を形
成して,その内壁を金属めっき膜95により被覆する。
次いで,導通用孔932の内部に樹脂92を充填する。
21及び銅箔を,下面には絶縁層923及び銅箔を積層
し,次いで銅箔をエッチングして,導電層911,91
4を形成する。次いで,図44に示すごとく,絶縁層9
21,923に,内部の導電層912,913の表面を
露出させる導通用孔931,933を形成する。
31,933の内壁に金属めっき膜95を形成する。次
いで,最外層の導電層914の表面に外部接続端子97
を接合する。以上により,プリント配線板941が得ら
れる。
すことにより,プリント配線板941の導電層の積層数
を増加する事ができる。この場合,得られたプリント配
線板は,中心となる絶縁層922の上面及び下面の両側
に,絶縁層及び導電層が繰り返し積層されることとな
る。そのため,上述の製造方法によると,偶数の導電層
が形成される。
リント配線板の製造方法は,偶数の導電層を効率良く積
層することはできるが,奇数の導電層を積層するには不
向きである。
910〜914を積層してなるプリント配線板を製造す
る場合を例示説明すると,まず,上記と同様の製造方法
により,図46に示すごとく,第2番目から第5番目の
導電層911〜914を積層する。但し,導電層914
は,パターン形成していない銅箔である。次いで,図4
7に示すごとく,導電層914をすべて除去する。次い
で,図48に示すごとく,導通用孔931を孔明けし,
その内壁に金属めっき膜95を形成する。次いで,図4
9に示すごとく,プリプレグを積層,圧着して,絶縁層
920,924を形成する。次いで,絶縁層920,9
24の両方の表面に導電層910,914を形成する。
次いで,図50に示すごとく,絶縁層920,924に
導通用孔930,933を形成する。次いで,図45に
示すごとく,導通用孔930,933の内壁に金属めっ
き膜95を形成する。
ト配線板を製造する場合には,プレス(圧着)後のプリ
ント配線板の反りを防止するため,一旦内層の導電層9
11,914を形成した後に,一方の導電層914を除
去する操作が必要である。そのため,無駄な作業を行う
ことになり,製造上極めて非効率である。また,絶縁層
の厚みが大きくなり,プリント配線板の小型化にそぐわ
ない。
け,絶縁層920及び導電層910を形成することが考
えられる。しかし,この場合には,絶縁層920を形成
するためのプリプレグの圧着工程の際に,プリント配線
板に反りが発生する場合がある。
ては,内部に埋め込まれる内部絶縁層921,923
は,樹脂よりなるため,その吸水率は0.5〜1.0%
と高く,多くの水分を含んでいる。この水分は時間経過
と共に自然と気化し,水蒸気となり,絶縁層921と隣
接する絶縁層922,920との間,絶縁層923と隣
接する絶縁層922,924との間等に集中して溜まっ
てしまう。
剥離し易くなるおそれがあった。特に積層数が多くなる
に連れて,水分を含む内部絶縁層が多くなり,各層間で
剥離が生じる傾向が高くなる。
ては,従来,例えば,我々が先に発明した先願の特願平
8−21975号に開示した方法がある。即ち,図51
に示すごとく,S91工程において,各絶縁層に導電層
を形成する。次いで,S92工程において,各絶縁層に
導通用孔形成用の貫通孔を形成する。このS91,S9
2工程は,積層する絶縁層の枚数nだけ行う。次いで,
S93工程において,これらのn枚数の絶縁層を接着材
を介して積層し,各貫通孔が連結して導通用孔を形成す
るように位置あわせを行う。次いで,S94工程におい
て,加熱等により接着材を溶融させて,圧着して,多層
基板となす。次いで,S95工程において,導通用孔の
内部に導電性物質,例えば半田等を充填して,導通用孔
に導電性を付与する。以上により,プリント配線板を得
る。
の製造方法においては,各絶縁層ごとに,導通用孔形成
用の貫通孔を形成しなければならない。そのため,孔明
け操作が煩雑となる。また,各貫通孔の位置あわせを行
う必要がある。特に,導通用孔の狭小化に伴って,各貫
通孔の正確な位置あわせが困難となってきた。
その最表面層に半田ボールなどの外部端子を接続するた
めのパッドが設けられている。この場合,導通用孔とパ
ッドとの間を接続回路により電気的に接続する必要があ
る。しかし,接続回路に要される面積が大きくなり,基
板表面の高密度実装が妨げられる。特に多層のプリント
配線板においては,最表面部における高密度配線が要求
される。また,外部接続端子を通じて多量の電気の授受
を行う必要がある。
のプリント配線板の電気特性を向上させることができる
プリント配線板及びその製造方法を提供することを目的
とし,特に,第1に,反りの発生を防止して奇数の導電
層を効率よく積層,形成すること,第2に,各層の剥離
を抑制すること,第3に,導通用孔を正確な位置に形成
すること,第4に,外部接続用の半田ボールを通じて多
量の電気情報の授受を行い,かつ表面実装の高密度化を
図ることを目的とする。
絶縁層を介在させて積層してなるとともに各導電層は導
通用孔を通じて互いに電気的に接続してなるプリント配
線板であって,第1番目の導電層は,電子部品を搭載し
て電子部品に電流を導出入するための部品接続層であ
り,第n番目の導電層はプリント配線板に流れる電流を
外部に導出入する外部接続端子を接合する外部接続層で
あり,第2番目から第(n−1)番目の導電層はプリン
ト配線板の内部の電流を伝達するための電流伝達層であ
り,かつ,上記第n番目の導電層の表面は,上記外部接
続端子を露出させた状態で,最外層である第n番目の絶
縁層により被覆されていることを特徴とするプリント配
線板である。
は,導電層が奇数nであること,第n番目の導電層の表
面は,上記外部接続端子を露出させた状態で,最外層で
ある第n番目の絶縁層により被覆されていることであ
る。
く,3,5,7等の,2で割り切れない整数をいう。奇
数nを除くのは,1の導電層の場合には,プリント配線
板にはならないからである。
る。第1の発明のプリント配線板は,奇数nの導電層
が,奇数nの絶縁層の間に形成されている。第(n+
1)/2番目の絶縁層は中心絶縁層であり,その上面及
び下面には,同数の絶縁層を設けている。そのため,絶
縁層形成用のプリプレグの圧着の際に,プリント配線板
に反りが発生することはない。
の上面及び下面に,効率よく導電層を積層,形成するこ
とができる。従って,第1の発明のプリント配線板は,
奇数nの導電層を効率よく積層することができる構造で
ある。
である第n番目の絶縁層により被覆されている。そのた
め,第n番目の導電層は,プリント配線板の内部に埋設
されることとなる。しかし,第n番目の導電層と接続す
る外部接続端子が,最外層の第n番目の絶縁層の接合用
孔から露出している。そのため,プリント配線板の外部
への電気の導出入は,外部接続端子を通じて行うことが
できる。
とが好ましい。これにより,第n番目の導電層から,安
定して電気の導出入を行う事ができる。
端子を接合するとともに,その表面の第n番目の絶縁層
の表面にも第(n+1)番目の導電層を設けることがで
きる。この場合には,偶数層の導電層が形成されること
となる。また,上記第(n+1)番目の導電層の表面に
外部接続端子を接合することができる。
は,例えば,奇数nの導電層を,絶縁層を介在させて積
層してなるとともに各導電層は導通用孔を通じて互いに
電気的に接続してなるプリント配線板を製造する方法に
おいて,第2番目の導電層から第n番目の導電層の間
に,絶縁層を介設するとともに各導電層を電気的に接続
する導通用孔を形成する工程と,第2番目の導電層の表
面にはプリプレグ及び銅箔を積層し,第n番目の導電層
の表面にはプリプレグを積層し,圧着して,奇数nの絶
縁層からなる多層板を形成するとともに第2番目から第
n番目の導電層を上記多層板の内部に配置する工程と,
上記銅箔をエッチングして,第1番目の導電層を形成す
る工程と,第1番目の絶縁層に導体用孔を孔明けすると
ともに第n番目の絶縁層に接合用孔を孔明けする工程
と,第1番目の絶縁層の導体用孔の内壁に,第1番目の
導電層と第2番目の導電層とを電気的に接続する金属め
っき膜を形成する工程と,第n番目の絶縁層の導体用孔
から露出した第n番目の導電層の表面に外部接続端子を
接合する工程とからなることを特徴とするプリント配線
板の製造方法がある。
は,第2番目の導電層の表面には,プリプレグ及び第1
番目の導電層を形成するための銅箔を積層し,第n番目
の導電層の表面には銅箔を積層することなくプリプレグ
だけを積層する。そして,これらを圧着すると,第1番
目の絶縁層と第n番目の絶縁層とが,同時に圧着,形成
される。そのため,すでに積層,一体化された第2番目
から第(n−1)番目の絶縁層の上面及び下面は,圧着
時に,プリプレグから均等に熱応力を受ける。そのた
め,プリント配線板に反りが発生することはない。
プリプレグの積層,圧着により絶縁層により被覆する。
この状態では,第n番目の導電層から外部への電流の導
出入はできない。しかし,その後,最外層の絶縁層に接
合用孔を孔明けして,該接合用孔から外部接続端子を露
出させている。そのため,この外部接続端子を通じて,
最後の第n番目の導電層から外部への電流の導出入を行
う事ができる。
あることが好ましい。これにより,第n番目の導電層か
ら外部に電流を安定して導出入することができる。
ド,端子,ランド等の,絶縁基板の表面に形成し得るあ
らゆる導電性パターンをいう。導体パターンは,例え
ば,金属箔のエッチング,金属めっき等により形成す
る。上記絶縁層としては,合成樹脂単体,プリプレグ等
がある。上記合成樹脂としては,エポキシ樹脂,フェノ
ール樹脂,ポリイミド樹脂,ポリブタジエン樹脂,弗素
樹脂等がある。
えばメモリーモジュール,マルチチップモジュール,マ
ザーボード,ドーターボード,プラスチックパッケージ
などに利用できる。
孔明けは,例えば,レーザー光を絶縁層の孔明け部分に
照射する方法,化学的に絶縁層の孔明け部分を溶融する
方法,ドリルを用いる加工方法等がある。
部絶縁基板と該内部絶縁基板の表面に積層された少なく
とも一層の内部絶縁層と,該内部絶縁層の表面に積層さ
れた外部絶縁層とを有し,上記内部絶縁層の表面には内
部導体回路を,上記外部絶縁層の表面には外部導体回路
を設けたプリント配線板において,上記内部絶縁層はガ
ラスクロス入りプリプレグよりなり,上記外部絶縁層は
樹脂よりなることを特徴とするプリント配線板にある。
ラスクロスを基材としてこれに樹脂を含浸させて構成し
た材料であるが,第2の発明においては特にガラスクロ
スを30〜70重量%含有するものを使用することが好
ましい。これにより,吸水率を低く抑制し層間の剥離を
防止できる。一方,30重量%未満の場合には吸水率が
高くなり層間剥離が生ずるおそれがある。また,70重
量%を超える場合には,樹脂の絶対量が少ないため,層
間の密着性が低くなるおそれがある。また,上記外部絶
縁層を内部絶縁層と同様のプリプレグを用いて構成する
こともできる。
の内部絶縁基板,内部絶縁層,外部絶縁層には,導通用
孔,ブラインドビアホール,ビアホール等を設けること
ができる。また,外部絶縁層には半田ボール載置用のラ
ンド,外部導体回路間の絶縁等を確保するためのソルダ
ーレジスト等を設けることもできる。つまり,第2の発
明のプリント配線板についても一般的なプリント配線板
に設ける各種の構造を設けることができる。
る。第2の発明のプリント配線板においては,内部絶縁
層をガラスクロス入りプリプレグより構成し,上記外部
絶縁層を樹脂より構成する。即ち,上記内部絶縁層はガ
ラスクロスを含むため,吸水率が低く抑えられている。
このため,上記内部絶縁層全体としての吸水率が低下す
る。
絶対量が減り,これらの水分の気化により発生する水蒸
気の絶対量も減少する。このため,層間に溜まる水蒸気
の量も減少し,層間の密着性を高めることができる。つ
まり,第2の発明にかかるプリント配線板は層間の剥離
が生じ難く,信頼性の高い構造を有する。
め,ファインパターンの形成が容易となる。よって,第
2の発明にかかるプリント配線板にて高密度基板を作成
することも容易に行うことができる。
の剥離が生じ難く,より多層構造に構成した場合であっ
ても高い信頼性を維持できる,プリント配線板を提供す
ることができる。
は信頼性が高いことから,例えば,メモリーモジュー
ル,マルチチップモジュール,マザーボード,ドーター
ボード,プラスチックパッケージ等に使用することがで
きる。上記内部絶縁層は二層以上であることが好まし
い。これにより,より多層構造で信頼性の高いプリント
配線板を得ることができる。
%であることが好ましい。これにより,第2の発明にか
かる効果をより確実に得ることができる。上記吸水率が
0.1%未満であるようなプリプレグは製造し難く,一
方,吸水率が0.3%より大となった場合には,水分の
含有量が増大するため,第2の発明にかかる効果を得ら
れなくなるおそれがある。
在して積層してなり,上記導電層は導通用孔を通じて電
気的に接続してなるプリント配線板の製造方法におい
て,複数の絶縁層に導電層を形成し,次いで,上記絶縁
層を積層し,圧着して,多層基板となし,次いで,上記
多層基板の導通用孔形成部分にレーザー光を照射するこ
とにより導通用孔を孔明けするとともに該導通用孔の底
部を導電層に至らしめ,次いで,上記導通用孔に半田ボ
ールを溶融接合するとともに上記導通用孔の内部に半田
を充填することを特徴とするプリント配線板の製造方法
である。
る。第3の発明においては,絶縁層を積層した後に,レ
ーザー光を照射して,導通用孔を形成している。そのた
め,1回の孔明け操作で,各絶縁層を貫通する導通用孔
を形成することができる。また,各絶縁層ごとに導通用
孔形成用の貫通孔を形成する必要がない。ゆえに,導通
用孔を容易に形成することができる。
導通用孔を1回の孔明け操作で形成することができる。
また,従来のように,貫通孔を連結するための各絶縁層
の位置決めが不要となる。更に,狭小化した導通用孔で
あっても,正確に形成することができる。
するとともに上記導通用孔の開口部に半田ボールを溶融
接合している。そのため,内部の導電層を流れる電流
を,上記半田及び半田ボールを介して容易に外部に取り
出すことができる。
被覆することが好ましい。これにより,導通用孔に導通
性を容易に付与することができる。
ることが好ましい。10μm未満の場合には,レーザー
光の照射により,導電層に孔が空いてしまうおそれがあ
る。一方,70μmを越える場合には,導電層のパター
ン形成が困難となるおそれがある。
るフレキシブルフィルムであることが好ましい。これに
より,レーザー光による孔明け操作が容易となる。ま
た,プリント配線板の薄層化を実現することができる。
スレーザー,エキシマレーザー等を用いる。上記絶縁層
としては,例えば,合成樹脂単体,合成樹脂と無機フィ
ラーとよりなる樹脂基材,合成樹脂と無機質クロスとよ
りなるクロス基材等を用いることができる。上記合成樹
脂としては,例えば,エポキシ樹脂,フェノール樹脂,
ポリイミド樹脂,ポリブタジエン樹脂,弗化樹脂等があ
る。これらの合成樹脂のみによる絶縁層は,プリプレ
グ,ソルダーレジストとして他の絶縁層の間に積層形成
する場合がある。
ーとしては,ガラス短繊維,シリカ粉末,マイカ粉末,
アルミナ,カーボンなどがある。合成樹脂と無機フィラ
ーとの混合物よりなる基材は,合成樹脂単体の場合に比
較して強度が高い。また,上記クロス基材とは,ガラス
−エポキシ基板,ガラス−ポリイミド基板など,布状に
織成又は編成したクロスと合成樹脂とからなる基板をい
う。かかるクロス基材としては上記クロスに合成樹脂を
含浸させた基材がある。また,該クロスの材料として
は,ガラス繊維クロス,カーボンクロス,アラミドクロ
スなどがある。合成樹脂は上記と同様の材料を用いる。
ド,ランド,端子等,絶縁層の平面方向に形成された導
電性パターンをいう。導電層は,金属箔のエッチング,
金属めっき等により形成することができる。
板は,例えば,メモリーモジュール,マルチチップモジ
ュール,マザーボード,ドーターボード,プラスチック
パッケージ等に利用することができる。
孔と,該導通用孔の一方の開口部を被覆する被覆パッド
と,上記導通用孔の他方の開口部を開口させたまま該開
口部の周縁に設けた導体回路とからなり,上記被覆パッ
ドと上記導体回路との間は,上記導通用孔の内壁を被覆
する金属めっき膜を通じて電気的に接続されており,上
記被覆パッドの表面には,外部接続用の半田ボールが接
合されていることを特徴とするプリント配線板である。
る。第4の発明においては,導通用孔の一方の開口部を
被覆パッドにより被覆し,該被覆パッドの表面に半田ボ
ールを接合している。そのため,半田ボール接合用の被
覆パッドを,導通用孔とほぼ同じ位置に設けることがで
きる。
ール接合に必要な領域とを重複して設けることができ,
従来のように導通用孔用の領域と半田ボール接合用の領
域とを別々に設ける必要はない。このため,導通用孔と
半田ボールとを高密度に実装することができる。また,
導通用孔及び半田ボールに必要な領域の狭小化によっ
て,絶縁基板の表面に余剰領域が生まれ,そこに導体回
路等を設けることができる。従って,絶縁基板の表面実
装の高密度化を図ることができる。また,特に表面高密
度実装が要求される多層積層型のプリント配線板に対し
ては,第4の発明はその要求を十分に満足するものであ
る。
線上に配置されていることが好ましい。これにより,導
通用孔と半田ボールとが同一軸線上に位置することにな
るため,両者に必要とされる領域の更なる狭小化を図る
ことができる。
対してずれた位置に配置されていてもよい。この場合に
は,導通用孔及び半田ボール接合に必要とされる領域面
積が上記同一軸線上に配置する場合よりも大きくなる
が,従来のように,導通用孔形成用の領域と半田ボール
接合用の領域とを全く別々に設ける場合よりも狭い領域
に,両者を設けることができる。
より被覆されているとともに,上記導通用孔の内部には
ソルダーレジストが充填されていることが好ましい。こ
れにより,絶縁基板表面の導体回路及び導通用孔の内壁
の金属めっき膜を湿気,外傷等から保護することができ
る。なお,被覆パッドにおける半田ボール接合部は,ソ
ルダーレジストから露出させておく。また,上記半田ボ
ール以外の端子接続部を設ける場合には,その部分もソ
ルダーレジストから露出させておく。また,導通用孔の
中には,ソルダーレジストの代わりに,半田等の導電性
金属等の充填物が充填されていてもよい。
導通用孔と,該導通用孔の一方の開口部を開口させたま
ま該開口部の周縁に設けたリング状パッドと,上記導通
用孔の他方の開口部を被覆する被覆パッドと,該被覆パ
ッドと接続する導体回路とからなり,上記リング状パッ
ドと上記被覆パッドとの間は,上記導通用孔の内壁を被
覆する金属めっき膜を通じて電気的に接続されており,
上記リング状パッドの表面には,外部接続用の半田ボー
ルが接合されていることを特徴とするプリント配線板で
ある。
開口部の周縁にリング状パッドを設け,該リング状パッ
ドの表面に半田ボールを接合している。そのため,半田
ボールを,導通用孔とほぼ同じ位置に設けることができ
る。それゆえ,導通用孔に必要な領域と半田ボール接合
に必要な領域とを重複して設けることができ,従来のよ
うに導通用孔用の領域と半田ボール接合用の領域とを別
々に設ける必要はない。このため,導通用孔と半田ボー
ルとを高密度に実装することができる。また,導通用孔
と半田ボールに必要な領域の狭小化によって,絶縁基板
の表面に余剰領域が生まれ,そこに導体回路等を設ける
ことができる。従って,絶縁基板の表面実装の高密度化
を図ることができる。
線上に配置されているとともに,上記導通用孔の内部
は,半田ボールの下部の半田により充填されていること
が好ましい。これにより,導通用孔と半田ボールとが同
一軸線上に位置することになるため,両者に必要とされ
る領域の狭小化を図ることができる。
対してずれた位置に配置されていてもよい。この場合に
は,導通用孔と半田ボールとに必要とされる領域面積が
上記同一軸線上に配置する場合よりも大きくなるが,従
来のように導通用孔形成用の領域と半田ボール接合用の
領域とを全く別々に設ける場合よりも狭い領域に,両者
を設けることができる。
により被覆されていることが好ましい。これにより,絶
縁基板表面の導体回路を湿気,外傷等から保護すること
ができる。なお,被覆パッドにおける半田ボール接合部
は,ソルダーレジストから露出させておく。また,上記
半田ボール以外の端子接続部を設ける場合には,その部
分もソルダーレジストから露出させておく。
て,図1〜図9を用いて説明する。本例のプリント配線
板41は,図1に示すごとく,3層の導電層11〜13
を,絶縁層21〜23を介在させて積層してなる。各導
電層11〜13は導通用孔31,32を通じて互いに電
気的に接続している。
搭載して電子部品61に電流を導出入するための部品接
続層である。第2番目の導電層12は,プリント配線板
41の内部の電流を伝達するための電流伝達層である。
41に流れる電流を外部に導出入するための外部接続端
子7を接合する外部接続層である。第3番目の導電層1
3の表面は,外部接続端子7を露出させた状態で,最外
層である第3番目の絶縁層23により被覆されている。
外部接続端子7は,半田ボールである。
いて説明する。まず,図2に示すごとく,第2番目の絶
縁層22の上面及び下面に銅箔1を貼着する。次いで,
図3に示すごとく,ドリルを用いて,絶縁層22及び銅
箔1に導通用孔32を孔明けし,次いで,銅箔をエッチ
ングして,導電層12,13を形成する。次いで,図4
に示すごとく,導通用孔32の内壁に,化学銅めっき及
び電気銅めっき処理を行い,金属めっき膜5を形成す
る。このとき,導電層12,13の表面は,金属めっき
膜5により被覆される。
て,導通用孔32の内部に,ペースト状の樹脂2を充填
する。次いで,導電層12,13の表面に,黒化皮膜1
0を形成する。黒化皮膜10は,導電層と,その表面に
積層される絶縁層との密着性を高めるために行う。
表面にはプリプレグ20及び銅箔1を積層し,導電層1
3の表面にはプリプレグ20だけを積層し,これらを熱
圧着する。これにより,図7に示すごとく,第2番目の
絶縁層22の上面,及び下面に絶縁層21,23が形成
され,絶縁層21の表面には銅箔1が貼着する。次い
で,銅箔1をエッチングして,図8に示すごとく,第1
番目の導電層11を形成する。
21の導通用孔形成部分39に,レーザー光6を照射し
て,内部の導電層12に達する導通用孔31を明ける。
また,絶縁層23の接合用孔形成部分30にも,レーザ
ー光6を照射して,内部の導電層13に達する接合用孔
3を明ける。
処理及び電気銅めっき処理を行い,導通用孔31の内壁
に,金属めっき膜5を形成する。次いで,接合用孔3の
内部に,ボール状の半田を供給して,導電層13と接合
する外部接続端子7を形成する。以上により,プリント
配線板41が得られる。
絶縁層21の表面に,半田等の接着剤611により電子
部品61を接着する。電子部品61は,ボンディングワ
イヤー62を用いて,導電層11と電気的に接続する。
また,外部接続端子7は,マザーボード8の表面のパッ
ドと接合される。
る。本例のプリント配線板41は,図1に示すごとく,
3層の導電層11〜13が,3層の絶縁層21〜23の
間に形成されている。3層の絶縁層21〜23の中,第
2番目の絶縁層22は中心絶縁層であり,その上面及び
下面には,同数の絶縁層が設けられている。そのため,
図6,図7に示すごとく,絶縁層形成用のプリプレグ2
0の圧着の際にプリント配線板に反りが発生することは
ない。
て,その上面及び下面に,効率よく導電層11,14を
積層,形成することができる。従って,本例のプリント
配線板41は,3層の導電層11〜13を効率よく積層
することができる構造である。
外層である第3番目の絶縁層23により被覆されてい
る。そのため,第3番目の導電層13は,プリント配線
板41の内部に埋設されることとなる。しかし,第3番
目の導電層13と接続する外部接続端子7が,最外層の
第3番目の絶縁層23の接合用孔3から露出している。
そのため,プリント配線板41の外部への電気の導出入
は,外部接続端子7を通じて行うことができる。
る。そのため,内部の導電層13との接合が容易で,外
部のマザーボード8に対して,プリント配線板41を安
定して接合することができる。
おいては,図6に示すごとく,第2番目の導電層12の
表面には,プリプレグ20及び第1番目の導電層を形成
するための銅箔1を積層し,第3番目の導電層13の表
面には銅箔を積層することなくプリプレグ20だけを積
層する。そして,これらを圧着すると,第1番目の絶縁
層21と第4番目の絶縁層24とが,同時に圧着,形成
される。そのため,すでに積層,一体化された第2番目
の絶縁層22の上面及び下面に,圧着時に,表面のプリ
プレグ20から均等に熱応力を受ける。そのため,プリ
ント配線板41に反りが発生することはない。
は,絶縁層23により被覆する。この状態では,第3番
目の導電層13から外部への電流の導出入はできない。
しかし,その後,最外層の絶縁層24に接合用孔3を孔
明けして,該接合用孔3から外部接続端子7を露出させ
る。すると,この外部接続端子7を通じて,最後の第3
番目の導電層13から外部への電流の導出入を行う事が
できる。
導電層11〜15を積層している。第1番目の導電層1
1は,電子部品61を搭載して電子部品61に電流を導
出入するための部品接続層である。第2番目から第4番
目の導電層12〜14は,プリント配線板42の内部の
電流を伝達するための電流伝達層である。
42に流れる電流を外部に導出入するための外部接続端
子7を接合する外部接続層である。第5番目の導電層1
5の表面は,外部接続端子7を露出させた状態で,最外
層である第5番目の絶縁層25により被覆されている。
たっては,実施形態例1と同様に,中心の第3番目の絶
縁層23に導電層13,14,導通用孔33を形成す
る。次いで,導電層13,14の表面に,絶縁層22,
24を積層するとともに,その表面に導電層12,15
を形成する。次いで,絶縁層22,24に導通用孔3
2,34を形成し,内壁に金属めっき膜5を形成する。
形態例1と同様に,第1番目の絶縁層21,導電層1
1,及び導通用孔31を形成するとともに,第5番目の
絶縁層25,導電層15,及び接合用孔3を形成する。
以上により,5層の導電層11〜15を有するプリント
配線板42が得られる。その他は,実施形態例1と同様
である。本例においても,実施形態例1と同様の効果を
得ることができる。
き,図11を用いて説明する。図11に示すごとく,本
例のプリント配線板101は,表面に導体回路115を
設けた内部絶縁基板116と該内部絶縁基板116の表
面に積層された内部絶縁層117と,該内部絶縁層11
7の表面に積層された外部絶縁層118とを有し,上記
内部絶縁層117の表面には内部導体回路125を,上
記外部絶縁層118の表面には外部導体回路135を設
けてある。そして,上記内部絶縁層117はガラスクロ
ス入りプリプレグよりなり,上記外部絶縁層118は樹
脂よりなる。なお,上記内部絶縁層117はガラスクロ
スにエポキシ樹脂を含浸させたプリプレグよりなり,上
記外部絶縁層118はエポキシ樹脂にて構成する。
の詳細について以下に説明する。上記プリント配線板1
01における内部絶縁基板116の両表面には導体回路
115が設けてある。上記内部絶縁基板116には半田
111が充填された導通用孔110が設けてあり,該導
通用孔110によって,内層導体回路11間の導通が確
保されている。上記内層導体回路11は銅箔パターン1
12と該銅箔パターン112の表面に設けためっき膜1
13とよりなる。
116の両面にそれぞれ一層づつ設けてある。上記内部
絶縁層117には壁面にめっき膜123が形成されたブ
ラインドビアホール120が設けてある。また,上記内
部絶縁層117の表面には内部導体回路125が設けて
ある。上記内部導体回路125は銅箔パターン122と
めっき膜123とよりなる。
17の表面にそれぞれ設けてある。上記外部絶縁層11
8には壁面にめっき膜133が形成されたビアホール1
30が設けてある。また,上記外部絶縁層118の表面
には外部導体回路135が設けてある。上記外部導体回
路135は銅箔パターン132とめっき膜133とより
なる。なお,図示を略したが,上記外部絶縁層1185
の表面は部分的にソルダーレジストにより被覆され,ま
た半田ボール載置用のランドが設けられている。
につき説明する。この製造方法は,ビルドアップ法及び
アディティブ法を利用して,内部絶縁層117,外部絶
縁層118を形成し,導体回路,導通用孔を形成する方
法である。即ち,まず,その表面に銅箔を有する銅張積
層板を準備する。次に,上記銅箔をエッチングによりパ
ターニングし,銅箔パターン112とする。その後,上
記銅張積層板に対し導通用孔110を設ける。
銅箔パターン112に対し無電解銅めっきによるめっき
膜113を形成する。以上により,上記導通用孔110
と導通した導体回路11を得る。その後,上記導通用孔
110に対し半田111を充填する。
し,プリプレグ,銅箔を積層し,圧着する。これによ
り,名愛撫絶縁基板116の表面に,内部絶縁層117
を介して銅箔を積層する。次に,上記銅箔をパターニン
グし,銅箔パターン122とする。その後,レーザー光
を照射して,内部絶縁層117に対しブラインドビアホ
ール120を形成する。なお,上記レーザー光として
は,エキシマレーザー,波長248nm,出力50Wを
用いる。次に,上記ブラインドビアホール120の壁面
及び銅箔パターン122に無電解めっきを施す。これに
より,めっき膜123を形成する。
導体回路125を設けた場合と同様にして,上記内部絶
縁層117の表面にビアホール130を設けた外部絶縁
層118及び銅箔パターン132及びめっき膜133よ
りなる外部導体回路135を形成する。以上によりプリ
ント配線板101を得る。
る。本例のプリント配線板101においては,内部絶縁
層117をガラスクロス入りプリプレグより構成し,上
記外部絶縁層118を樹脂より構成する。このため,内
部絶縁層117の吸水率が低下する。
水分の絶対量が減るため,層間に溜まる水蒸気の量も減
少し,内部絶縁層117と内部絶縁基板116との間,
内部絶縁層117と外部絶縁層11との間の密着性を高
めることができる。つまり,本例のプリント配線板10
1は層間の剥離が生じ難く,信頼性の高い構造を有す
る。
が生じ難く,より多層構造に構成した場合であっても高
い信頼性を維持できる,プリント配線板101を提供す
ることができる。
101は内部絶縁基板116の両面に内部絶縁層117
を積層した構造を有するものであるが,該内部絶縁層を
片面だけに積層した構造のプリント配線板を作製し,こ
れの内部絶縁層をガラスクロス入りプリプレグで構成し
ても同様の作用効果を得ることができる。また,本例の
ごとき6層基板以外プリント配線板,例えば8層基板,
10層基板等のより多層な構造についても同様の作用効
果を得ることができる。
方法について,図12〜図24を用いて説明する。本例
により製造されるプリント配線板209は,図13に示
すごとく,第1〜第3絶縁層211〜213,及び該絶
縁層の厚み方向に設けた2層の導電層231,233よ
りなる多層基板201と,第1〜第3絶縁層211〜2
13のすべてを貫通する貫通穴210,220,230
と,該貫通穴を覆うよう多層基板201の上面側に設け
た放熱金属板202とを有している。貫通穴210,2
20,230と放熱金属板202とは,電子部品298
を搭載するための搭載用凹部214を形成している。多
層基板201には,導電層231,233に導通する導
通用孔217,218が設けられている。
の開口側には半田ボール251,252が設けられてい
る。一方の半田ボール251は,導通用孔217の下側
開口部に接合されている。そして,半田ボール251
は,導通用孔217を介して,多層基板201の内部に
設けた導電層231と,マザーボード295との間を接
続している。他方の半田ボール252は,多層基板20
1の下面側に設けた導電層233に接合されており,該
導電層233とマザーボード295との間を接続してい
る。半田ボール251,252は,マザーボード295
の表面に設けた端子296,297に溶融接合される。
概要について,図12を用いて説明する。まず,S1工
程において,n枚の絶縁層211〜213に導電層23
1,233を形成する(図16,図18,図21)。次
いで,S2,S3工程において,絶縁層211〜213
を積層し,圧着して,多層基板201となす(図2
3)。次いで,S4工程において,多層基板201の導
通用孔形成部分にレーザー光208を照射することによ
り導通用孔217,218を孔明けするとともにその底
部を導電層231,233に至らしめる(図24)。次
いで,S5工程において,導通用孔217の内部に半田
251,252を充填する(図51)。
法の詳細について,図14〜図24を用いて説明する。
まず,ガラス繊維入りエポキシ系材料からなるフレキシ
ブルフィルムを絶縁層として準備する。フレキシブルフ
ィルムは,厚み0.05mm,幅2.5〜15cmの可
撓性を有する帯状のフィルムである。このフレキシブル
フィルムは,予めロール状に巻回しておき,複数のロー
ル体を形成しておく。
フレキシブルフィルムを引き出す。そして,図14に示
すごとく,引き出した絶縁層211の下面側に,熱可塑
性のガラス繊維入りエポキシ系材料からなる絶縁性接着
剤262を接着する。次いで,図15に示すごとく,パ
ンチング加工により,絶縁層211の略中央部分に貫通
穴210を穿設する。次いで,図15に示すごとく,絶
縁層211の下面側に,上記絶縁性接着剤262を介し
て,厚み35μmの銅箔230を接着する。
ッチング法により,上記銅箔より導電層231を形成す
る。次いで,導電層231の表面に,Ni/Auめっき
膜を被覆する。これにより,多層基板の上層となる第1
絶縁層211を得る。
体から引き出した絶縁層212としてのフレキシブルフ
ィルムの上面側及び下面側に,上記絶縁性接着剤262
と同じ料料からなる絶縁性接着剤263,264を接着
する。次いで,図18に示すごとく,パンチング加工に
より,絶縁層212の略中央部分に貫通穴220を穿設
する。これにより,多層基板の中層となる第2絶縁層2
12を得る。
体から引き出した絶縁層213としてのフレキシブルフ
ィルムの下面側に,上記絶縁性接着剤262と同じ材料
からなる絶縁性接着剤265を接着する。次いで,パン
チング加工により,絶縁層213の略中央部分に貫通穴
230を穿設する。次いで,図20に示すごとく,絶縁
層213の下面側を銅箔230により被覆する。
ッチング法により,銅箔230よりパターン形成を行い
導体層233を形成する。次いで,導電層233の表面
に,Ni/Auめっき膜を被覆する。次いで,図22に
示すごとく,絶縁層213の下面側に,ソルダーレジス
ト266を被覆する。これにより,多層基板の下層とな
る第3絶縁層213を得る。
絶縁層211,第2絶縁層212,第3絶縁層213
を,積層して,上記絶縁性接着剤262〜264により
熱圧着する。これにより,3層からなる多層基板201
が得られる。次いで,多層基板201の上面側に,銅製
の厚み1.0mmの放熱金属板202を,絶縁性接着剤
261を介して熱圧着する。これにより,貫通穴21
0,220,230とその上面側を被覆する放熱金属板
202とよりなる搭載用凹部214が形成される。
にレーザー光208を照射する。レーザー光208とし
ては,炭酸ガスレーザーを用いる。これにより,図24
に示すごとく,多層基板201に導通用孔217,21
8を孔明けするとともに,導通用孔217,218の底
部を導電層231,233に至らしめる。
孔217の内部に,半田254を充填する。次いで,導
通用孔217の下面側開口部及び浅い導通用孔218の
下面側開口部に,半田ボール251,252を溶融接合
する。これにより,上記プリント配線板209が得られ
る。
214に,例えば銀ペースト,半田等のダイボンド用の
接着剤269により,電子部品298を搭載する。次い
で,電子部品298と導電層231,233の先端と
を,ワイヤー281により接続する。次いで,搭載用凹
部214の内部を封止用樹脂206により被覆する。
る。本例においては,図23,図24に示すごとく,第
1〜第3絶縁層211〜213を積層した後に,レーザ
ー光208を照射して,導通用孔217,218を形成
している。そのため,1回の孔明け操作で,各絶縁層2
12,213を貫通する導通用孔217,218を形成
することができる。また,各絶縁層ごとに導通用孔形成
用の貫通孔を形成する必要がない。ゆえに,導通用孔を
容易に形成することができる。
導通用孔217,218を孔明けすることができる。ま
た,従来のように,貫通孔を連結するための各絶縁層の
位置決めが不要となる。更に,狭小化した導通用孔であ
っても,正確に形成することができる。また,導電層2
31,233の厚みは35μmであるため,レーザー光
208の照射によって導電層31,33に孔を明けるこ
となく,導通用孔217,218を形成することができ
る。
て,図25〜図32を用いて説明する。本例のプリント
配線板305は,図25に示すごとく,絶縁基板307
を貫通する導通用孔302を有する。導通用孔302の
一方の開口部は,被覆パッド311により被覆されてお
り,他方の開口部は,開口したままその周縁に導体回路
316を設けている。
は,導通用孔302の内壁を被覆する金属めっき膜32
2を通じて電気的に接続されている。被覆パッド311
の表面には,外部接続用の半田ボール303が接合され
ている。半田ボール303は,導通用孔302の中心軸
線A上に配置されている。絶縁基板307の表面はソル
ダーレジスト306により被覆されているとともに,導
通用孔302の内部にはソルダーレジスト306が充填
されている。
基板307の上面には,導通用孔302の周縁にリング
状に設けたランド312と,電子部品350を搭載する
ための搭載用パッド355を設けている。搭載用パッド
305の周囲には,電子部品350と接続するボンディ
ングワイヤー351を接合するためのボンディングパッ
ド317を設けている。電子部品350及びボンディン
グワイヤー351は,封止用樹脂359により保護され
ている。
基板307の下面には,半田ボール303を接合するた
めの多数の被覆パッド311が,導通用孔302と同一
軸線上に設けられている。半田ボール303は,相手部
材308のパッド381に対して溶融接合される。
いて説明する。まず,エポキシ系,ポリイミド系,又は
ビスマレイミドトリアジン系の樹脂とガラスファイバー
若しくはガラスクロスからなる補強材とからなる絶縁基
板を準備する。絶縁基板307の表面に,銅箔を貼着す
る。
ことにより,図29,図26に示すごとく,銅箔321
のパターンニングを行い,導体回路316,ボンディン
グパッド317及び搭載用パッド355を形成するとと
もに,絶縁基板307の一方の片面には,その導通用孔
形成部分320を被覆する被覆パッド311を形成し,
また他方の片面には,導通用孔形成部分320の周縁を
囲むリング状のランド312を形成する。
07における導通用孔形成部分320にレーザー光34
1を照射する。レーザー光341は,レーザー発振装置
342から,絶縁基板307の平面方向に移動し,導通
用孔形成部分320の位置においてスポット的に発振さ
れる。レーザー光341としては,出力エネルギーが大
きい炭酸ガスレーザー,熱影響の少ないエキシマレーザ
ー等を用いることが好ましい。
02の形成は,絶縁基板307をその高いエネルギーに
よって,気化除去させていき,順次絶縁基板307の内
方へ穴をあけていく。そして,レーザー光341の先端
が底部を被覆する被覆パッド311に到達したときに,
この銅箔からなる被覆パッド311によって反射され,
ここでレーザー光341の照射を停止する。導通用孔3
02の直径は,例えば0.1mmとする。
膜を形成すべき部分,即ちパターニングされた銅箔32
1及び導通用孔302の内壁に,厚み1μm程度の薄い
化学銅めっき膜321を形成する。次いで,絶縁基板3
07を洗浄する。
02の内壁を含めて絶縁基板307の表面に,電気銅め
っき処理を行う。電気銅めっき処理は,化学銅めっき膜
を電気リード319を通じてカソードに接続した状態
で,絶縁基板をアノードとともに電気めっき浴に浸漬す
る。電気めっき浴には,硫酸銅が含まれており,浴温は
60℃とする。この状態で,化学めっき膜323に電流
密度0.8〜1.4A/dm2 の電流を20分間流す。
し,アノードとして働く化学めっき膜の表面に銅が析出
する。これにより,銅からなる金属めっき膜322が,
導通用孔302の内壁に形成されるとともに,被覆パッ
ド311,導体回路316,ランド312,ボンディン
グパッド317及び搭載用パッド305の表面を被覆す
る(図27参照)。なお,電気リード319は,めっき
処理後エッチング,レーザ照射等により除去する。
のエネルギーは中心部で高く周縁部で低いため,図32
に示すごとく,被覆パッド311の中心部に微小な穴3
13があくことがある。この穴313は,後述するよう
に,めっき液の上下間の流通路となり,めっき液が導通
用孔の内外に十分に行き来するため,導通用孔302の
内壁に金属めっき膜322を均一に形成できる。
07の表面に,ソルダーレジスト306を被覆する。こ
のとき,導通用孔302の内部にソルダーレジスト30
6を充填する。一方,被覆パッド311の半田ボール接
合部,ボンディングパッド317及び搭載用パッド30
5の表面は,ソルダーレジストから露出させておく。
1を形成した片面を上方に向けた状態で,被覆パッド3
11の表面に,半田ボール303を供給する。次いで,
半田ボール303を加熱溶融させて,被覆パッド311
に接合する。その後,搭載用パッド305の表面に,銀
ペースト等の接着材を用いて電子部品350を搭載し,
電子部品350とボンディングパッド317との間をボ
ンディングワイヤー351により接続する。次いで,電
子部品350及びボンディングワイヤー351を,封止
用樹脂359により封止する。以上により,図25〜図
28に示すプリント配線板305が得られる。
る。本例のプリント配線板305においては,導通用孔
302の一方の開口部を被覆パッド311により被覆
し,被覆パッド311の表面に半田ボール303を接合
している。そのため,半田ボール接続用の被覆パッド3
11を,導通用孔302とほぼ同じ位置に設けることが
できる。それゆえ,導通用孔に必要な領域と半田ボール
接合に必要な領域とを重複して設けることができる。こ
のため,導通用孔302と半田ボール303とを高密度
に実装することができる。
に必要な領域の狭小化ができ,これにより絶縁基板30
7の表面に余剰領域が生まれる。従って,この余剰領域
に導体回路等を設けることができ,絶縁基板の表面実装
の高密度化を図ることができる。また,図29に示すご
とく,導通用孔302は,レーザー光341の照射によ
り形成しているため,微小な導通用孔302を容易にか
つ正確に形成することができ,更なる高密度実装を実現
できる。
ト配線板305においては,図33に示すごとく,半田
ボール303が,導通用孔302からずれた位置に配置
されている。図34に示すごとく,導通用孔302の一
方の開口部は,長円状の被覆パッド314により被覆さ
れている。被覆パッド314の表面には,導通用孔30
2の中心軸からずれた位置に,半田ボール303が接合
されている。半田ボール303は,導通用孔302の開
口部と一部重複した位置に配置されている。その他は,
実施形態例5と同様である。
通用孔302の中心軸からずれた位置に配置されている
ため,半田ボール接合用及び導通用孔形成用の領域を,
実施形態例5よりは多く必要とする。しかし,本例にお
いては導通用孔302の開口部を被覆する被覆パッド3
14の一部に半田ボール303を接合しているため,従
来のように半田ボール接合用領域と導通用孔形成用領域
とを全く別個に形成する必要がない。従って,本例によ
れば,従来よりも高密度の導通用孔及び半田ボールを実
装できるとともに,絶縁基板表面の高密度配線が可能で
ある。
ト配線板305においては,図35に示すごとく,半田
ボール303が,導通用孔302からわずかに離れた位
置に接合されている。図36に示すごとく,半田ボール
303は,長円状の被覆パッド315の表面に,導通用
孔302に隣接した位置に接合されている。その他は,
実施形態例6と同様である。
通用孔302に隣接した位置に接合されているため,半
田ボール接合用及び導通用孔形成用の領域を,従来より
は多く必要とする。しかし,本例においては導通用孔3
02の開口部を被覆する被覆パッド315の一部に半田
ボール303を接合しているため,実施形態例6と同様
に,従来よりも高密度に実装できるとともに,絶縁基板
表面の高密度配線が可能である。
ト配線板305は,図37に示すごとく,複数の絶縁基
板307を積層してなる多層基板370である。プリン
ト配線板305は,多層基板370の各層間を電気的に
接続するための導通用孔302を有する。導通用孔30
2の一方の開口部は,該開口部に対する位置がそれぞれ
異なる被覆パッド311,314,315により被覆さ
れている。導通用孔302の他方の開口部は開口したま
まであり,その周縁には導体回路316が設けられてい
る。なお,導通用孔302には,多層基板370を貫通
するものや,貫通しないものもある。
回路316との間は,導通用孔302の内壁を被覆する
金属めっき膜322を通じて電気的に接続されている。
被覆パッド311の表面には,相手部材308のパッド
381に接続するための半田ボール303が接合されて
いる。
02の中心軸線A上に,半田ボール303が接合されて
いる(図25参照)。また,他の被覆パッド314の表
面には,導通用孔302の中心軸線からずれた位置であ
って,その一部が導通用孔302に重複した位置に,半
田ボール303が接合されている(図34参照)。ま
た,更に他の被覆パッド315の表面には,導通用孔3
02の中心軸線からずれた位置であって,その一部が導
通用孔302とは重複しない位置,即ち導通用孔と隣接
した位置に,半田ボール303が接合されている(図3
6参照)。
段状に開口した搭載用凹部358が設けられている。搭
載用凹部358の底部には,電子部品350が搭載され
ている。電子部品350は,ボンディングワイヤー35
1によって,階段状の搭載用凹部358に露出している
ボンディングパッド317に電気的に接続されている。
搭載用凹部358の内部は,封止用樹脂359により封
止されている。
16が形成されている。各絶縁基板307は,その表面
がソルダーレジスト306により被覆されている。導通
用孔324,325の内部には,ソルダーレジスト30
6が充填されている。また,各絶縁基板307の間は,
プリプレグ等の接着材379により接着されている。そ
の他は,実施形態例5と同様である。
積層してなる多層基板370に,各層間を電気的に接続
するための,貫通又は未貫通の導通用孔302を形成し
ている。そのため,更に多層状に高密度に導体回路31
6を形成できる。また,より多くの導通用孔及び被覆パ
ッドを形成でき,より多くの半田ボール303の接合を
することができる。
ト配線板305は,図38に示すごとく,導通用孔30
2の一方の開口部の周縁にリング状パッド313を設
け,その表面に半田ボール303を接合している。即
ち,導通用孔302の一方の開口部は,開口したままで
あり,その周縁にはリング状パッド313が設けられて
いる。一方,導通用孔302の他方の開口部は,被覆パ
ッド314により被覆されている。被覆パッド314
は,導体回路316と接続されている。
心軸線A上に配置されている。導通用孔302の内部
は,半田ボール303の下部の半田330により充填さ
れている。この半田330は,半田ボール303の溶融
接合時に半田ボール303が溶融してその一部が導通用
孔302の内部に侵入したものである。
田330が充填されていることが好ましい。これによ
り,導通用孔302の上下間の電気導通を確実に行うこ
とができる。導通用孔302の内部全体に半田330を
充填するためには,半田ボール303の加熱溶融の前に
導通用孔302の内壁に形成した金属めっき膜321表
面にフラックスを塗布するか又は,予め導通用孔302
内に半田ペーストを塗布しておくとよい。絶縁基板30
7の表面は,ソルダーレジスト306により被覆されて
いる。その他は,実施形態例5と同様である。
開口部の周縁にリング状パッド313を設け,その表面
に半田ボール303を接合しているため,半田ボール3
03を,導通用孔302とほぼ同じ位置に設けることが
できる。それゆえ,導通用孔302に必要な領域と半田
ボール303接合に必要な領域とを重複して設けること
ができる。このため,導通用孔及び半田ボールを高密度
に形成することができる。また,導通用孔302及び半
田ボール303に必要な領域の狭小化によって,絶縁基
板307の表面に余剰領域が生まれ,そこに導体回路等
を設けることができる。従って,プリント配線板の表面
実装の高密度化を図ることができる。
ール303の一部である半田330が充填されているた
め,導通用孔302と半田ボール303との電気的接続
信頼性も高い。その他,実施形態例5と同様の効果を得
ることができる。
ト配線板305においては,図39に示すごとく,半田
ボール303が,導通用孔302に隣接する位置に接合
されている。導通用孔302の一方の開口部の周縁に
は,図40に示すごとく,長円状のリング状パッド31
0が設けられている。リング状パッド310の表面に
は,導通用孔302の中心軸からずれた位置に,半田ボ
ール303が接合されている。その他は,実施形態例5
と同様である。
通用孔302の中心軸からずれた位置に配置されている
ため,半田ボール接合用及び導通用孔形成用の領域を,
実施形態例9よりは多く必要とする。しかし,本例にお
いては導通用孔302の開口部周縁に設けたリング状パ
ッド310の一部に半田ボール303を接合しているた
め,従来のように半田ボール接合用領域と導通用孔形成
用領域とを全く別個に形成する必要がない。従って,本
例によれば,従来よりも高密度の導通用孔及び半田ボー
ルを実装できるとともに,プリント配線板表面の高密度
配線が可能である。その他は,実施形態例9と同様であ
る。
ト配線板305は,図41に示すごとく,複数の絶縁基
板307を積層してなる多層基板370である。プリン
ト配線板305は,多層基板370の各層間を電気的に
接続するための,貫通又は未貫通の導通用孔302を有
する。導通用孔302の一方の開口部は,開口したまま
で,その周縁には,それぞれ形状の異なるリング状パッ
ド313,310が設けられている。導通用孔302の
他方の開口部は,被覆パッド314により被覆されてい
る。被覆パッド314は導体回路316と接続してい
る。
ド314との間は,導通用孔325の内壁を被覆する金
属めっき膜322を通じて電気的に接続されている。リ
ング状パッド313,310の表面には,相手部材30
8のパッド381に接続するための半田ボール303が
接合されている。
孔302の中心軸線A上に,半田ボール303が接合さ
れている(図38参照)。また,他のリング状パッド3
10の表面には,導通用孔302の中心軸線からずれた
位置であって,その一部が導通用孔302とは重複しな
い位置,即ち導通用孔302と隣接した位置に,半田ボ
ール303が接合されている(図39,図40参照)。
と反対側に,放熱板304がプリプレグ等の接着剤39
0により接着されている。放熱板304は,多層基板3
70に階段状に開口した搭載穴357を被覆し,その表
面には半田ペースト等の接着剤379により電子部品3
50を接着している。その他は,実施形態例8と同様で
ある。
積層してなる多層基板に,各層間を電気的に接続するた
めの導通用孔302を設けている。そのため,実施形態
例9と同様に,導体回路316,導通用孔302及び半
田ボール303の高密度実装化を実現できる。
の電気特性を向上させることができるプリント配線板及
びその製造方法を提供することができる。特に,第1
に,反りの発生を防止して奇数の導電層を効率よく積
層,形成すること,第2に,各層の剥離を抑制するこ
と,第3に,導通用孔を正確な位置に形成すること,第
4に,外部接続用の半田ボールを通じて多量の電気情報
の授受を行い,かつ表面実装の高密度化を図ることがで
きる。
ける,絶縁層の断面図。
層の断面図。
形成した,第2番目の絶縁層の断面図。
絶縁層の断面図。
第2番目の絶縁層の断面図。
断面図。
1番目から第3番目の絶縁層の断面図。
第1番目から第3番目の絶縁層の断面図。
面説明図。
造方法の説明図。
面図。
法を示すための絶縁層の断面図。
図。
面図。
法を示すための,絶縁層の断面図。
形成した絶縁層の断面図。
法を示すための,絶縁層の断面図。
図。
面図。
絶縁層の断面図。
熱金属板を積層,圧着してなる多層基板の断面図。
層基板の断面図。
部断面図。
面図。
面図。
面図。
を穿設する方法を示す説明図。
っき処理を施す方法を示すための説明図。
っき処理を施す方法を示すための説明図。
液流通用の穴があいた場合の,めっきの形成状態を示す
説明図。
部断面図。
図。
部断面図。
図。
板の断面図。
部断面図。
要部断面図。
示す説明図。
線板の断面図。
ント配線板の断面図。
めの,最外層に導電層を形成する方法を示す説明図。
示す説明図。
ント配線板の断面図。
ント配線板の製造方法を示すための,第2〜第5番目の
導電層を形成してなる絶縁層の説明図。
なる絶縁層の説明図。
を形成してなる絶縁層の説明図。
成してなる絶縁層の説明図。
なる絶縁層の説明図。
法を示すための説明図。
Claims (18)
- 【請求項1】 奇数nの導電層を,絶縁層を介在させて
積層してなるとともに各導電層は導通用孔を通じて互い
に電気的に接続してなるプリント配線板であって,第1
番目の導電層は,電子部品を搭載して電子部品に電流を
導出入するための部品接続層であり,第n番目の導電層
はプリント配線板に流れる電流を外部に導出入する外部
接続端子を接合する外部接続層であり,第2番目から第
(n−1)番目の導電層はプリント配線板の内部の電流
を伝達するための電流伝達層であり,かつ,上記第n番
目の導電層の表面は,上記外部接続端子を露出させた状
態で,最外層である第n番目の絶縁層により被覆されて
いることを特徴とするプリント配線板。 - 【請求項2】 請求項1において,上記外部接続端子
は,半田ボールであることを特徴とするプリント配線
板。 - 【請求項3】 奇数nの導電層を,絶縁層を介在させて
積層してなるとともに各導電層は導通用孔を通じて互い
に電気的に接続してなるプリント配線板を製造する方法
において,第2番目の導電層から第n番目の導電層の間
に,絶縁層を介設するとともに各導電層を電気的に接続
する導通用孔を形成する工程と,第2番目の導電層の表
面にはプリプレグ及び銅箔を積層し,第n番目の導電層
の表面にはプリプレグを積層し,圧着して,奇数nの絶
縁層からなる多層板を形成するとともに第2番目から第
n番目の導電層を上記多層板の内部に配置する工程と,
上記銅箔をエッチングして,第1番目の導電層を形成す
る工程と,第1番目の絶縁層に導体用孔を孔明けすると
ともに第n番目の絶縁層に接合用孔を孔明けする工程
と,第1番目の絶縁層の導体用孔の内壁に,第1番目の
導電層と第2番目の導電層とを電気的に接続する金属め
っき膜を形成する工程と,第n番目の絶縁層の導体用孔
から露出した第n番目の導電層の表面に外部接続端子を
接合する工程とからなることを特徴とするプリント配線
板の製造方法。 - 【請求項4】 表面に導体回路を設けた内部絶縁基板と
該内部絶縁基板の表面に積層された少なくとも一層の内
部絶縁層と,該内部絶縁層の表面に積層された外部絶縁
層とを有し,上記内部絶縁層の表面には内部導体回路
を,上記外部絶縁層の表面には外部導体回路を設けたプ
リント配線板において,上記内部絶縁層はガラスクロス
入りプリプレグよりなり,上記外部絶縁層は樹脂よりな
ることを特徴とするプリント配線板。 - 【請求項5】 請求項4において,上記内部絶縁層は二
層以上であることを特徴とするプリント配線板。 - 【請求項6】 請求項4または5において,上記内部絶
縁層の吸水率は0.1〜0.3%であることを特徴とす
るプリント配線板。 - 【請求項7】 複数の導電層を絶縁層を介在して積層し
てなり,上記導電層は導通用孔を通じて電気的に接続し
てなるプリント配線板の製造方法において,複数の絶縁
層に導電層を形成し,次いで,上記絶縁層を積層し,圧
着して,多層基板となし,次いで,上記多層基板の導通
用孔形成部分にレーザー光を照射することにより導通用
孔を孔明けするとともに該導通用孔の底部を導電層に至
らしめ,次いで,上記導通用孔に半田ボールを溶融接合
するとともに上記導通用孔の内部に半田を充填すること
を特徴とするプリント配線板の製造方法。 - 【請求項8】 請求項7において,上記導通用孔の内壁
には,金属めっき膜を被覆することを特徴とするプリン
ト配線板の製造方法。 - 【請求項9】 請求項7又は8において,上記導電層の
厚みは,10〜70μmであることを特徴とするプリン
ト配線板の製造方法。 - 【請求項10】 請求項7〜9のいずれか1項におい
て,上記絶縁層は,ガラス繊維入り樹脂からなるフレキ
シブルフィルムであることを特徴とするプリント配線板
の製造方法。 - 【請求項11】 絶縁基板を貫通する導通用孔と,該導
通用孔の一方の開口部を被覆する被覆パッドと,上記導
通用孔の他方の開口部を開口させたまま該開口部の周縁
に設けた導体回路とからなり,上記被覆パッドと上記導
体回路との間は,上記導通用孔の内壁を被覆する金属め
っき膜を通じて電気的に接続されており,上記被覆パッ
ドの表面には,外部接続用の半田ボールが接合されてい
ることを特徴とするプリント配線板。 - 【請求項12】 請求項11において,上記半田ボール
は,上記導通用孔の中心軸線上に配置されていることを
特徴とするプリント配線板。 - 【請求項13】 請求項11において,上記半田ボール
は,上記導通用孔に対してずれた位置に配置されている
ことを特徴とするプリント配線板。 - 【請求項14】 請求項11〜13のいずれか1項にお
いて,上記絶縁基板の表面はソルダーレジストにより被
覆されているとともに,上記導通用孔の内部にはソルダ
ーレジストが充填されていることを特徴とするプリント
配線板。 - 【請求項15】 絶縁基板を貫通する導通用孔と,該導
通用孔の一方の開口部を開口させたまま該開口部の周縁
に設けたリング状パッドと,上記導通用孔の他方の開口
部を被覆する被覆パッドと,該被覆パッドと接続する導
体回路とからなり,上記リング状パッドと上記被覆パッ
ドとの間は,上記導通用孔の内壁を被覆する金属めっき
膜を通じて電気的に接続されており,上記リング状パッ
ドの表面には,外部接続用の半田ボールが接合されてい
ることを特徴とするプリント配線板。 - 【請求項16】 請求項15において,上記半田ボール
は,上記導通用孔の中心軸線上に配置されているととも
に,上記導通用孔の内部は,半田ボールの下部の半田に
より充填されていることを特徴とするプリント配線板。 - 【請求項17】 請求項15において,上記半田ボール
は,上記導通用孔に対してずれた位置に配置されている
ことを特徴とするプリント配線板。 - 【請求項18】 請求項15〜17のいずれか1項にお
いて,上記絶縁基板の表面は,ソルダーレジストにより
被覆されていることを特徴とするプリント配線板。
Priority Applications (11)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10041399A JPH1174651A (ja) | 1997-03-13 | 1998-02-05 | プリント配線板及びその製造方法 |
| KR1020037015661A KR100560624B1 (ko) | 1997-03-13 | 1998-03-09 | 프린트배선판 |
| DE69839486T DE69839486D1 (de) | 1997-03-13 | 1998-03-09 | Gedruckte leiterplatte und verfahren zu deren herstellung |
| PCT/JP1998/000960 WO1998040914A1 (fr) | 1997-03-13 | 1998-03-09 | Carte imprimee et son procede de fabrication |
| EP06011137A EP1703555A3 (en) | 1997-03-13 | 1998-03-09 | Printed wiring board and method for manufacturing the same |
| KR1020057009097A KR100572143B1 (ko) | 1997-03-13 | 1998-03-09 | 프린트배선판 및 그 제조방법 |
| US09/380,994 US7339118B1 (en) | 1997-03-13 | 1998-03-09 | Printed wiring board and method for manufacturing the same |
| KR1019997004221A KR100544969B1 (ko) | 1997-03-13 | 1998-03-09 | 프린트배선판 및 그 제조방법 |
| KR10-2003-7015662A KR20040006002A (ko) | 1997-03-13 | 1998-03-09 | 프린트배선판 및 그 제조방법 |
| EP98905817A EP1011139B1 (en) | 1997-03-13 | 1998-03-09 | Printed wiring board and method for manufacturing the same |
| US11/420,421 US7612295B2 (en) | 1997-03-13 | 2006-05-25 | Printed wiring board and method for manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8204097 | 1997-03-13 | ||
| JP8221397 | 1997-03-15 | ||
| JP17101697 | 1997-06-11 | ||
| JP9-82040 | 1997-06-17 | ||
| JP9-82213 | 1997-06-17 | ||
| JP17768797 | 1997-06-17 | ||
| JP9-177687 | 1997-06-17 | ||
| JP9-171016 | 1997-06-17 | ||
| JP10041399A JPH1174651A (ja) | 1997-03-13 | 1998-02-05 | プリント配線板及びその製造方法 |
Related Child Applications (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004351404A Division JP4207885B2 (ja) | 1997-03-13 | 2004-12-03 | プリント配線板 |
| JP2004351406A Division JP4131261B2 (ja) | 1997-03-13 | 2004-12-03 | プリント配線板 |
| JP2004351405A Division JP2005064543A (ja) | 1997-03-13 | 2004-12-03 | プリント配線板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1174651A true JPH1174651A (ja) | 1999-03-16 |
Family
ID=27522163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10041399A Pending JPH1174651A (ja) | 1997-03-13 | 1998-02-05 | プリント配線板及びその製造方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
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| US (2) | US7339118B1 (ja) |
| EP (2) | EP1011139B1 (ja) |
| JP (1) | JPH1174651A (ja) |
| KR (4) | KR20040006002A (ja) |
| DE (1) | DE69839486D1 (ja) |
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- 1998-02-05 JP JP10041399A patent/JPH1174651A/ja active Pending
- 1998-03-09 KR KR10-2003-7015662A patent/KR20040006002A/ko not_active Ceased
- 1998-03-09 KR KR1020037015661A patent/KR100560624B1/ko not_active Expired - Lifetime
- 1998-03-09 EP EP98905817A patent/EP1011139B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-03-09 US US09/380,994 patent/US7339118B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-03-09 KR KR1020057009097A patent/KR100572143B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 1998-03-09 KR KR1019997004221A patent/KR100544969B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 1998-03-09 EP EP06011137A patent/EP1703555A3/en not_active Withdrawn
- 1998-03-09 DE DE69839486T patent/DE69839486D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-03-09 WO PCT/JP1998/000960 patent/WO1998040914A1/ja not_active Ceased
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100560624B1 (ko) | 2006-03-16 |
| KR100572143B1 (ko) | 2006-04-24 |
| US7339118B1 (en) | 2008-03-04 |
| US20060202344A1 (en) | 2006-09-14 |
| KR20050059338A (ko) | 2005-06-17 |
| DE69839486D1 (de) | 2008-06-26 |
| EP1011139A1 (en) | 2000-06-21 |
| EP1703555A3 (en) | 2006-09-27 |
| KR20000053243A (ko) | 2000-08-25 |
| EP1703555A2 (en) | 2006-09-20 |
| WO1998040914A1 (fr) | 1998-09-17 |
| EP1011139B1 (en) | 2008-05-14 |
| US7612295B2 (en) | 2009-11-03 |
| KR100544969B1 (ko) | 2006-01-24 |
| KR20040006001A (ko) | 2004-01-16 |
| EP1011139A4 (en) | 2001-03-28 |
| KR20040006002A (ko) | 2004-01-16 |
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Legal Events
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041005 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A521 | Request for written amendment filed |
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|
| A02 | Decision of refusal |
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