JPH118294A - ウェハーキャリア - Google Patents
ウェハーキャリアInfo
- Publication number
- JPH118294A JPH118294A JP9161690A JP16169097A JPH118294A JP H118294 A JPH118294 A JP H118294A JP 9161690 A JP9161690 A JP 9161690A JP 16169097 A JP16169097 A JP 16169097A JP H118294 A JPH118294 A JP H118294A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- case
- wafer carrier
- carrier
- wafer case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 11
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 63
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ウェハーキャリアの構造に関する。ウェハーの
出し入れを特別の装置を用いる事なく行えるようにす
る。 【解決手段】ウェハーケース１には、第１の開口部２と
第２の開口部３、及び引出用取手４と引出用穴５を有す
る。このウェハーケース１を、ウェハーキャリア６の内
側に形成されたスロットに沿って収納する。ウェハーケ
ース１をウェハーキャリア６から取り出す場合は、ウェ
ハーケース１を直接手で引き出す方法と、引出用取手４
をつまんで引き出す方法と、引出用穴５に任意の突起物
を引っ掛けて引き出す方法がある。 【効果】手でも扱えるため、安全にウェハーの出し入れ
を行うことができる。
出し入れを特別の装置を用いる事なく行えるようにす
る。 【解決手段】ウェハーケース１には、第１の開口部２と
第２の開口部３、及び引出用取手４と引出用穴５を有す
る。このウェハーケース１を、ウェハーキャリア６の内
側に形成されたスロットに沿って収納する。ウェハーケ
ース１をウェハーキャリア６から取り出す場合は、ウェ
ハーケース１を直接手で引き出す方法と、引出用取手４
をつまんで引き出す方法と、引出用穴５に任意の突起物
を引っ掛けて引き出す方法がある。 【効果】手でも扱えるため、安全にウェハーの出し入れ
を行うことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はウェハーキャリアの
構造に関する。
構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のウェハーキャリアは図１のように
ウェハーキャリアの内側にスロットが形成され、各スロ
ットに直接ウェハーを収納する形状となっている。
ウェハーキャリアの内側にスロットが形成され、各スロ
ットに直接ウェハーを収納する形状となっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ウェハーキャリアではウェハーの汚染を避けるためにウ
ェハーキャリアへのウェハーの出し入れの際ウェハーを
手に持って行なうことができない。そのため、ウェハー
が落下してウェハーが破損するのを避けるため、ウェハ
ーをウェハーキャリアに出し入れするための装置や用具
を用いなければならないという問題を有する。
ウェハーキャリアではウェハーの汚染を避けるためにウ
ェハーキャリアへのウェハーの出し入れの際ウェハーを
手に持って行なうことができない。そのため、ウェハー
が落下してウェハーが破損するのを避けるため、ウェハ
ーをウェハーキャリアに出し入れするための装置や用具
を用いなければならないという問題を有する。
【０００４】ウェハーを落下させないための手段とし
て、ローダーやアンローダを有する装置による方法と、
ピンセットにより人が出し入れする方法がある。しかし
ながら、ローダーやアンローダーを有する装置による方
法では装置購入に投資が必要でありコストが高くなる。
て、ローダーやアンローダを有する装置による方法と、
ピンセットにより人が出し入れする方法がある。しかし
ながら、ローダーやアンローダーを有する装置による方
法では装置購入に投資が必要でありコストが高くなる。
【０００５】また、ピンセットによる方法では、人によ
る扱い方、およびピンセットの構造により最悪ウェハー
を落下させ破損するという問題も考えられる。
る扱い方、およびピンセットの構造により最悪ウェハー
を落下させ破損するという問題も考えられる。
【０００６】そこで、本発明はこのような問題点を解決
するもので、その目的はウェハーを少なくとも１枚収納
し得るウェハーケースにウェハーを収納し、このウェハ
ーケースをウェハーキャリアのスロットに収納すること
でウェハーの出し入れを特別の装置を用いる事なく、ま
た手で扱えるため安全に行うことを目的とする。
するもので、その目的はウェハーを少なくとも１枚収納
し得るウェハーケースにウェハーを収納し、このウェハ
ーケースをウェハーキャリアのスロットに収納すること
でウェハーの出し入れを特別の装置を用いる事なく、ま
た手で扱えるため安全に行うことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のウェハーキャリ
アは、少なくとも１枚のウェハーを収納するウェハーケ
ースと、内側に少なくとも１つのスロットを有し、これ
に沿って前記ウェハーケースを収納する２つを構成要素
とし、ウェハーキャリアへのウェハーの出し入れを、ウ
ェハーを収納した前記ウェハーケースにより行なうこと
を特徴とする。
アは、少なくとも１枚のウェハーを収納するウェハーケ
ースと、内側に少なくとも１つのスロットを有し、これ
に沿って前記ウェハーケースを収納する２つを構成要素
とし、ウェハーキャリアへのウェハーの出し入れを、ウ
ェハーを収納した前記ウェハーケースにより行なうこと
を特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】図２は本発明の実施例におけるウ
ェハーケースの見取り図である。図２に示されるよう
に、ウェハーケース１には第１の開口部２と第２の開口
部３、及び引出用取手４と引出用穴５を有する。ウェハ
ーをウェハーケースへ収納する場合、およびウェハーを
ウェハーケースから取り出す場合、ウェハーは第１の開
口部２を通る。また、第２の開口部３によりウェハーケ
ースにウェハーを収納した状態でウェハーの表面を観察
することができるため、外観検査も問題無く実施でき
る。
ェハーケースの見取り図である。図２に示されるよう
に、ウェハーケース１には第１の開口部２と第２の開口
部３、及び引出用取手４と引出用穴５を有する。ウェハ
ーをウェハーケースへ収納する場合、およびウェハーを
ウェハーケースから取り出す場合、ウェハーは第１の開
口部２を通る。また、第２の開口部３によりウェハーケ
ースにウェハーを収納した状態でウェハーの表面を観察
することができるため、外観検査も問題無く実施でき
る。
【０００９】図３は本発明の実施例におけるウェハーキ
ャリアの見取り図である。図３に示されるように前記ウ
ェハーケース１を、ウェハーキャリア６の内側に形成さ
れたスロットに沿って収納する。ここで、ウェハーはウ
ェハーケース１に収納されており、ウェハーケース１は
手で扱うこともできるため、特別な装置を用いることな
く安全にウェハーケース１をウェハーキャリア６に収納
することが出来る。
ャリアの見取り図である。図３に示されるように前記ウ
ェハーケース１を、ウェハーキャリア６の内側に形成さ
れたスロットに沿って収納する。ここで、ウェハーはウ
ェハーケース１に収納されており、ウェハーケース１は
手で扱うこともできるため、特別な装置を用いることな
く安全にウェハーケース１をウェハーキャリア６に収納
することが出来る。
【００１０】ウェハーケース１をウェハーキャリア６か
ら取り出す場合は、ウェハーケース１を直接手で引き出
す方法と引出用取手４をつまんで引き出す方法と引出用
穴５に任意の突起物を引っ掛けて引き出す方法がある。
また、前記引出用穴以外で、引っ掛けることができるな
ら形状は問わない。
ら取り出す場合は、ウェハーケース１を直接手で引き出
す方法と引出用取手４をつまんで引き出す方法と引出用
穴５に任意の突起物を引っ掛けて引き出す方法がある。
また、前記引出用穴以外で、引っ掛けることができるな
ら形状は問わない。
【００１１】
【発明の効果】以上述べたように、本発明のウェハーキ
ャリアを用いることによりウェハーキャリアへのウェハ
ーの出し入れを手で行なうことができる。ウェハーを手
で取り扱うことによりウェハーの落下によるウェハーの
破損を防止し、ウェハーキャリアへのウェハーの出し入
れを伴う作業を容易に、安全に行うことが出来る。
ャリアを用いることによりウェハーキャリアへのウェハ
ーの出し入れを手で行なうことができる。ウェハーを手
で取り扱うことによりウェハーの落下によるウェハーの
破損を防止し、ウェハーキャリアへのウェハーの出し入
れを伴う作業を容易に、安全に行うことが出来る。
【図１】従来のウェハーキャリアの例を示す見取り図。
【図２】本発明におけるウェハーケースの実施の形態を
示す見取り図。
示す見取り図。
【図３】本発明におけるウェハーキャリアとウェハーケ
ースの実施例を示す見取り図。
ースの実施例を示す見取り図。
１．ウェハーケース ２．第１の開口部 ３．第２の開口部 ４．引出用取手 ５．引出用穴 ６．ウェハーケース ７．スロット
Claims (1)
- 【請求項１】ウェハーを少なくとも１枚収納し得るウェ
ハーケースと、このウェハーケースを収納し得る、少な
くとも１つのスロットを内部に有することを特徴とする
ウェハーキャリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9161690A JPH118294A (ja) | 1997-06-18 | 1997-06-18 | ウェハーキャリア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9161690A JPH118294A (ja) | 1997-06-18 | 1997-06-18 | ウェハーキャリア |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH118294A true JPH118294A (ja) | 1999-01-12 |
Family
ID=15740017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9161690A Withdrawn JPH118294A (ja) | 1997-06-18 | 1997-06-18 | ウェハーキャリア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH118294A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019087706A (ja) * | 2017-11-10 | 2019-06-06 | 三菱電機株式会社 | ウエハ容器 |
-
1997
- 1997-06-18 JP JP9161690A patent/JPH118294A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019087706A (ja) * | 2017-11-10 | 2019-06-06 | 三菱電機株式会社 | ウエハ容器 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040907 |