JPS58111491A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPS58111491A JPS58111491A JP56209105A JP20910581A JPS58111491A JP S58111491 A JPS58111491 A JP S58111491A JP 56209105 A JP56209105 A JP 56209105A JP 20910581 A JP20910581 A JP 20910581A JP S58111491 A JPS58111491 A JP S58111491A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- horizontal
- solid
- optical signal
- ccd
- readout
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
- H10F39/10—Integrated devices
- H10F39/12—Image sensors
- H10F39/15—Charge-coupled device [CCD] image sensors
- H10F39/153—Two-dimensional or three-dimensional array CCD image sensors
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発桐は固体撮像装置に関し、特に静止11111gI
のWIIglに適1.逢固体撮健装置に関する。
のWIIglに適1.逢固体撮健装置に関する。
従来ビデオカメラ用の固体撮像装置としては、例えばF
T−CCD(フレーム転送−電荷結合デバイス)、IL
−CCUCインターライン転送−電荷結合デバイス)等
がアル。
T−CCD(フレーム転送−電荷結合デバイス)、IL
−CCUCインターライン転送−電荷結合デバイス)等
がアル。
FT−CODは受光部が垂直転送部を兼ねておシ、牙1
図に示されるように、2相駆動の場合垂直転送用電極1
2.11がそれぞれクロックパルスφVl、φVlによ
り制御されて、その蓄積電向が垂直方向に転送される。
図に示されるように、2相駆動の場合垂直転送用電極1
2.11がそれぞれクロックパルスφVl、φVlによ
り制御されて、その蓄積電向が垂直方向に転送される。
この垂直転送のためにl1fl一時点では一列おきに、
即ち奇水平走査線(0し0、・・・)又は偶水平走査線
(el+ el・・・)のいずれか一方のみしか受光
できない。図示の例ではφv1がON、φv1がOFF
の状態での光信号電荷の蓄積位置が斜線部16で示され
ている。惧しここで前記奇・偶水平走査線とは第1ぼ於
いて光信号電荷の蓄積電fl113を水平方向に結んで
できる直線を指すものであって仮想的なものであるが慄
儂管に於ける水平走査線に相当するものである。
即ち奇水平走査線(0し0、・・・)又は偶水平走査線
(el+ el・・・)のいずれか一方のみしか受光
できない。図示の例ではφv1がON、φv1がOFF
の状態での光信号電荷の蓄積位置が斜線部16で示され
ている。惧しここで前記奇・偶水平走査線とは第1ぼ於
いて光信号電荷の蓄積電fl113を水平方向に結んで
できる直線を指すものであって仮想的なものであるが慄
儂管に於ける水平走査線に相当するものである。
従って本発明に於いて水平走査線とけ上述の如きものと
する。
する。
このようなCODをビデオカメラの固体撮儂嵩子として
用いた場合、インタレース走査を行なう事により垂直の
電極数、即ち画素数で決まる垂直分解能が得られるが、
スチルカメラによって静止lI!IIgIIをテレビ受
像機に再生する場合は、同一時点での同一露光時間とい
う制約があり、従って光信号電荷として使えるのは奇水
平走査(Ot −Ox・・・)又は偶水平走査Ce1.
es ・・・)のいずれが一方による1フイ一ルド分
だけであり、結果的に1列おきKしか受光できないので
、垂直解像度は、テレビ1儂の全走査線を使用した場合
の1/2になってしまう。いずれか一方のフィールドの
映像信号を1111jliフイールドに用いる擬似イン
タレースして静止画像を再生したとしても、上記の全走
査線を使用した場合には及ばない。
用いた場合、インタレース走査を行なう事により垂直の
電極数、即ち画素数で決まる垂直分解能が得られるが、
スチルカメラによって静止lI!IIgIIをテレビ受
像機に再生する場合は、同一時点での同一露光時間とい
う制約があり、従って光信号電荷として使えるのは奇水
平走査(Ot −Ox・・・)又は偶水平走査Ce1.
es ・・・)のいずれが一方による1フイ一ルド分
だけであり、結果的に1列おきKしか受光できないので
、垂直解像度は、テレビ1儂の全走査線を使用した場合
の1/2になってしまう。いずれか一方のフィールドの
映像信号を1111jliフイールドに用いる擬似イン
タレースして静止画像を再生したとしても、上記の全走
査線を使用した場合には及ばない。
一方、IL−CCDH牙2図に示されるように、蛍光部
21と垂直転送部22とが別個に設けられおり、従って
画像情報を回ai?に全ての受光部21に、即ち全ての
画素に与えることができ′る。しかし、蛍光部21の光
信号電荷は奇水平走査(0110鵞、・・・)による奇
フィールドと偶水平走査(eI。
21と垂直転送部22とが別個に設けられおり、従って
画像情報を回ai?に全ての受光部21に、即ち全ての
画素に与えることができ′る。しかし、蛍光部21の光
信号電荷は奇水平走査(0110鵞、・・・)による奇
フィールドと偶水平走査(eI。
C2・・・)Kよる偶フィールドとに分けて1フイール
ドずつ読み出されるので、機械的なシャッタがある場合
は良いが、無い場合は一方のフィールドの光信号電荷を
垂直転送している間(1/60 sec、)に、他方の
フィールドの受光部は露光してしまい、撮像情報に差が
出てしまう。この撮倫情−をそのまま記録再生すると良
い再生−健が得られず従って、いずれか一方のフィール
ドの映像信号しか使うことができず、前述のFT−CC
Dの場合と向1様に垂直解像度についての問題があつ逢
。
ドずつ読み出されるので、機械的なシャッタがある場合
は良いが、無い場合は一方のフィールドの光信号電荷を
垂直転送している間(1/60 sec、)に、他方の
フィールドの受光部は露光してしまい、撮像情報に差が
出てしまう。この撮倫情−をそのまま記録再生すると良
い再生−健が得られず従って、いずれか一方のフィール
ドの映像信号しか使うことができず、前述のFT−CC
Dの場合と向1様に垂直解像度についての問題があつ逢
。
本発明は上述の状況に鑑みて発明されたものであり、I
L−CCD或いはFT−CCDの撮倫面における受光部
を市松状に分布配置して再生靜1ト画倫の垂直解像度を
上げた固体撮像装置を提供するものである。
L−CCD或いはFT−CCDの撮倫面における受光部
を市松状に分布配置して再生靜1ト画倫の垂直解像度を
上げた固体撮像装置を提供するものである。
すなわち本発明に係る固体撮儂装首は、垂直転送電極と
水平読み出1−〇CDとを備え、前記垂直転送電極は上
下に隣接する2本の仮想的水平走査線に交互にダ叉する
電極をJllIiK!続配列することV(より受光部を
撮儂面に市松状に分布せしめたことを%像とする固体操
儂装置であり、さらに前記受光部の光信号電荷のうち、
奇水平走査の光信号電荷が転送される奇水平走査用水平
読み出しCODと、偶水平走査の光信号電荷が転送され
る偶水平走査用水平読み出しCCDとを設けたことを特
徴とする。
水平読み出1−〇CDとを備え、前記垂直転送電極は上
下に隣接する2本の仮想的水平走査線に交互にダ叉する
電極をJllIiK!続配列することV(より受光部を
撮儂面に市松状に分布せしめたことを%像とする固体操
儂装置であり、さらに前記受光部の光信号電荷のうち、
奇水平走査の光信号電荷が転送される奇水平走査用水平
読み出しCODと、偶水平走査の光信号電荷が転送され
る偶水平走査用水平読み出しCCDとを設けたことを特
徴とする。
以下本発明の実施例を図面に基づきながら説明する。
第3図は本発明の一実施例に係るFT−COD電極の構
成観明図であり、受光部を兼ねた垂直転送電極11i3
1.32と水平走査線との交叉部が市松状に分布配置さ
れている。従って、奇水平走査(0+ 、Ol、−)及
び偶水平走査(eve 69 m )のいずれ[4画
直方肉に対して画像情報が得られていることが解る。も
ちろん、この場合は機械シャッタを必要とする。
成観明図であり、受光部を兼ねた垂直転送電極11i3
1.32と水平走査線との交叉部が市松状に分布配置さ
れている。従って、奇水平走査(0+ 、Ol、−)及
び偶水平走査(eve 69 m )のいずれ[4画
直方肉に対して画像情報が得られていることが解る。も
ちろん、この場合は機械シャッタを必要とする。
第4図#′i第3図に示され友電極構造の受光部41
蓄積部42、及び2段の水平読み出しC0D44.46
から構成された、本発明の一実施例に係る固体撮像装曾
の構成観明図である。蓄積部42と水平読み出しCCD
44との間にはゲート電極43が、水平読み出しCCD
44と46との間にはゲート電極45が設けられている
。
蓄積部42、及び2段の水平読み出しC0D44.46
から構成された、本発明の一実施例に係る固体撮像装曾
の構成観明図である。蓄積部42と水平読み出しCCD
44との間にはゲート電極43が、水平読み出しCCD
44と46との間にはゲート電極45が設けられている
。
第3図に示される1つな市松状に分布した光信号電荷は
、水平ブランキング期間中に、奇水平走査の光信号電荷
については蓄積部42、ゲート電極43、水平読み出し
CCD44及びゲート電極45を介して水平読み出しC
CD46に転送きれる。偶水平走査の光信号電荷につい
ては蓄積部及びゲート電極43を介して水平読み出しC
CD44へ転送される。この場合奇水平走査の光信号電
荷と偶水平走査の光信号電荷とは、水平方向に互いに位
相がずhているから、垂直方向に対して場合することが
なく、このため水平読み出しCCD44.46への転送
も容易な本の2なる。なお、上述の垂直転送はクロック
パルス φJ V /、φ2v′。
、水平ブランキング期間中に、奇水平走査の光信号電荷
については蓄積部42、ゲート電極43、水平読み出し
CCD44及びゲート電極45を介して水平読み出しC
CD46に転送きれる。偶水平走査の光信号電荷につい
ては蓄積部及びゲート電極43を介して水平読み出しC
CD44へ転送される。この場合奇水平走査の光信号電
荷と偶水平走査の光信号電荷とは、水平方向に互いに位
相がずhているから、垂直方向に対して場合することが
なく、このため水平読み出しCCD44.46への転送
も容易な本の2なる。なお、上述の垂直転送はクロック
パルス φJ V /、φ2v′。
φIV、 φgv、 φg1. φg2. φ
1h2.φih+、φ2h2゜ψ2h2を適宜各電極に
与えることKより行なわれる。
1h2.φih+、φ2h2゜ψ2h2を適宜各電極に
与えることKより行なわれる。
そして、奇水平走査と偶水平走査の1対の光信号電荷は
、それぞれ水平読み出しCCD44.46の出力端子4
7.48から同時に読み出される。
、それぞれ水平読み出しCCD44.46の出力端子4
7.48から同時に読み出される。
この両出力端子47.48から読み出された1対の出力
信号は、例えば磁気デスク等の記録媒体に2チヤンネル
ヘツドを使ってそれぞれ専用のトラックに1銀し、再生
の際には奇フィールドの信号を読み出すことと偶フィー
ルドの信号を読み出すことを交互にくり返し行えば、テ
レビ受僚機へのインタレース出力が容易に可能になる。
信号は、例えば磁気デスク等の記録媒体に2チヤンネル
ヘツドを使ってそれぞれ専用のトラックに1銀し、再生
の際には奇フィールドの信号を読み出すことと偶フィー
ルドの信号を読み出すことを交互にくり返し行えば、テ
レビ受僚機へのインタレース出力が容易に可能になる。
しかも、各水平走査線に映倫信号が与えられていること
から、従来のものより2倍の垂直解儂度が得られている
。
から、従来のものより2倍の垂直解儂度が得られている
。
第5図は本発明の他の実施例に係るIL−CC別個に設
けられておシ、受光−5,1(図の斜線部分)は市松状
に分布配置されている。この受光部51の光信号電荷を
読み出す友めには、垂直転送部52の電極構造は第3図
の電極構造と同一のものを採用すればよい。
けられておシ、受光−5,1(図の斜線部分)は市松状
に分布配置されている。この受光部51の光信号電荷を
読み出す友めには、垂直転送部52の電極構造は第3図
の電極構造と同一のものを採用すればよい。
この場合も各水平走f (Os、Oi、−)−(c+、
el・・・)の光−信号電荷は2段の水平読み出しC0
D(図示せず)にそれぞれ転送され、上述の実施例の場
合と同様な信号処理が行なわれる。
el・・・)の光−信号電荷は2段の水平読み出しC0
D(図示せず)にそれぞれ転送され、上述の実施例の場
合と同様な信号処理が行なわれる。
なお、以上の実施例はいずれも2相の場合であるが、4
相についても基本的には同様であることはいうまでもな
い。
相についても基本的には同様であることはいうまでもな
い。
以上の説明から明らかなように、本発明においては垂直
転送電極と水平読み出しCCDとを備え、前記垂直転送
電極は上下に隣接する2本の仮懇的水平走査線に交互に
交叉する電極を縦に連続1夕11することKより受光部
を撮儂面に市松状に分布配置し友ことKより、全ての水
平走査線に1lIii倫信号が与えられ、このため現在
の集積1★術で従来のそれよりも2倍の垂直解偉度が得
られている。[も上述のような市松状の配置をとれば、
1フイールド毎に受光部の位相が変わるので斜めカ向に
対する折返し歪がやや出やすいという弊害はあるものの
、水平解gj!度はほとんど低下せず実用上充分な性能
が得られる。
転送電極と水平読み出しCCDとを備え、前記垂直転送
電極は上下に隣接する2本の仮懇的水平走査線に交互に
交叉する電極を縦に連続1夕11することKより受光部
を撮儂面に市松状に分布配置し友ことKより、全ての水
平走査線に1lIii倫信号が与えられ、このため現在
の集積1★術で従来のそれよりも2倍の垂直解偉度が得
られている。[も上述のような市松状の配置をとれば、
1フイールド毎に受光部の位相が変わるので斜めカ向に
対する折返し歪がやや出やすいという弊害はあるものの
、水平解gj!度はほとんど低下せず実用上充分な性能
が得られる。
さらに2段の水平読み田しCODを設けて各フィールド
の映像信号を同時に読み田すことができるようにし友の
で、以後の映像信号の取扱いもきわめて容易なものにな
っている。
の映像信号を同時に読み田すことができるようにし友の
で、以後の映像信号の取扱いもきわめて容易なものにな
っている。
第1図は従来のFT−CCD電極の構成説明図、第2図
は従来のIL−CCD[極の構成説明図、第3図は本発
明の一実施例に係るFT−CCD電極の構成説明図、牙
4図は本発明の一実施一に係る固体撮gI装置の構成説
明図%第5図は本発明の一実施例に保るIL−CCD電
極の構成説明図である。 31.32・・・・・・・受光部(垂直転送部)、 5
1・・〜・・受光部、 52・・・・・・・垂直転送用
電極。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 才1図 、+2図 第4図 第5図 ト続補正書(自発) f’r+t’ll”j艮自り弓 昭和5
7年4 月28111、 ’IG 11の表示 特願昭56−209105号 2、発明の名称 固体撮像装置 3、補11をする者 ルf’lとの関(ft 特 許 出願人乙称 (1,消 日本光学工業株式会社 4、代理人 6・ 神11 の肘象 明細書O「発明の詳細な説明」
及び「図面の簡単な説明」の各欄、並びに図面 7、袖11・の内容゛ (1) 明細書第6頁第18行〜第19行1゛Φgx
rΦg!pΦlb!−Φ1hltΦIJsΦ黛hs
Jを1[Φ’1 rΦG意、01M8.Φl!!l t
Φ翼”IsΦ!H冨」と補正する。 (2)明細書第6頁第20行の後に次のとお抄挿入する
。 [この動作を第6図、第7図(8)、(ハ)により詳m
K説明する。第6図は第4図のFT−CCDを用いた固
体撮像装置の部分詳細図で第4図と同符号は同等部材を
示す。vl、 vl、v、 、 v、は11柚部42の
垂直転送電極でvlを除いて他は同一形状である。第7
図(6)、@は第6図のa−a’、b−b’断面の略図
及び■〜(!b a a −a’ s b b’ l
sf面におけるポテンシャルと信号電荷の位置を示す。 以下第7図^、(ハ)により信号電荷θの移動を説明す
る。■の状態は第6図に示した状態のポテンシャルと信
号電荷eの位置を示し、この場合Φ、V = off
、ΦmV = on 、ΦG、 = on 、Φ!II
I =on 、ΦG、 = off 、ΦlH1= 0
” sΦ!Ml = off 。 Φ−8=offである。■では■の状態からΦIV 二
OへΦIV = offとして信号電荷eを垂直に移動
させる。■ではΦo、=off、ΦGM=Qilとして
、第7図(5)では信号電荷eが水平読み出しCCD4
4゜46へ移動し、第7図0ではまだ水平読み出しCC
Dへは移動していない。■、■は第7図に)の水平読み
出しC0D44.46にある信号電荷eを水平読み出し
C0D46に移動させる為の動作であって、01m1=
off、ΦG1= offとすると止により行われる。 従って第7図0の信号電1&ec変化if −1!k
l/&+a次に■でΦ−g=Onとし、■でΦ冨マ=o
ff、Φ婁マ=onとすることにより第7図@O撫直転
送電極V、にある信号電荷eを垂直に移動させる。そし
て■でΦaB=off として水平読み出しCCD44
への移動を完了する。 この様にして第7図に)の信号電荷eは水平読み出しC
CD46へ、0.の信号電荷eは水平読み出しCCD4
4へそれぞれ移動されて、両信号が混ざり合うことはな
い。このボランシャル状1を保ちなからΦy11.Φ1
1gとΦ!111 tΦIHmを操作して水平読み出し
を行う。■ではΦGg=On。 ΦIH1= On 、Φgag:=offとして■の状
態に戻る。 以上の操作を繰り返すことにより奇フィールドの信号は
水平読み出しCCD46から、また偶フィールドの信号
は水平読み出しCCD44からそれぞれ出力されること
になる。」 (3)明細書第9頁第12行[構成図Jの後に次のとお
り挿入する。 「第6図は第4図に示す固体撮像装置の部分詳細図、第
7図(5)、(ハ)は第6図に示すa −a’、 b
−b’断面の略図及びポテンシャルと信号電荷の移1を
示す図」 (4)別紙のとおり、第6図及び第7閣内、@を補充す
る。 以 上 −A7 7 cA) ″−l−−丁」 ■ (8) 1ト旺ト」−一一
は従来のIL−CCD[極の構成説明図、第3図は本発
明の一実施例に係るFT−CCD電極の構成説明図、牙
4図は本発明の一実施一に係る固体撮gI装置の構成説
明図%第5図は本発明の一実施例に保るIL−CCD電
極の構成説明図である。 31.32・・・・・・・受光部(垂直転送部)、 5
1・・〜・・受光部、 52・・・・・・・垂直転送用
電極。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 才1図 、+2図 第4図 第5図 ト続補正書(自発) f’r+t’ll”j艮自り弓 昭和5
7年4 月28111、 ’IG 11の表示 特願昭56−209105号 2、発明の名称 固体撮像装置 3、補11をする者 ルf’lとの関(ft 特 許 出願人乙称 (1,消 日本光学工業株式会社 4、代理人 6・ 神11 の肘象 明細書O「発明の詳細な説明」
及び「図面の簡単な説明」の各欄、並びに図面 7、袖11・の内容゛ (1) 明細書第6頁第18行〜第19行1゛Φgx
rΦg!pΦlb!−Φ1hltΦIJsΦ黛hs
Jを1[Φ’1 rΦG意、01M8.Φl!!l t
Φ翼”IsΦ!H冨」と補正する。 (2)明細書第6頁第20行の後に次のとお抄挿入する
。 [この動作を第6図、第7図(8)、(ハ)により詳m
K説明する。第6図は第4図のFT−CCDを用いた固
体撮像装置の部分詳細図で第4図と同符号は同等部材を
示す。vl、 vl、v、 、 v、は11柚部42の
垂直転送電極でvlを除いて他は同一形状である。第7
図(6)、@は第6図のa−a’、b−b’断面の略図
及び■〜(!b a a −a’ s b b’ l
sf面におけるポテンシャルと信号電荷の位置を示す。 以下第7図^、(ハ)により信号電荷θの移動を説明す
る。■の状態は第6図に示した状態のポテンシャルと信
号電荷eの位置を示し、この場合Φ、V = off
、ΦmV = on 、ΦG、 = on 、Φ!II
I =on 、ΦG、 = off 、ΦlH1= 0
” sΦ!Ml = off 。 Φ−8=offである。■では■の状態からΦIV 二
OへΦIV = offとして信号電荷eを垂直に移動
させる。■ではΦo、=off、ΦGM=Qilとして
、第7図(5)では信号電荷eが水平読み出しCCD4
4゜46へ移動し、第7図0ではまだ水平読み出しCC
Dへは移動していない。■、■は第7図に)の水平読み
出しC0D44.46にある信号電荷eを水平読み出し
C0D46に移動させる為の動作であって、01m1=
off、ΦG1= offとすると止により行われる。 従って第7図0の信号電1&ec変化if −1!k
l/&+a次に■でΦ−g=Onとし、■でΦ冨マ=o
ff、Φ婁マ=onとすることにより第7図@O撫直転
送電極V、にある信号電荷eを垂直に移動させる。そし
て■でΦaB=off として水平読み出しCCD44
への移動を完了する。 この様にして第7図に)の信号電荷eは水平読み出しC
CD46へ、0.の信号電荷eは水平読み出しCCD4
4へそれぞれ移動されて、両信号が混ざり合うことはな
い。このボランシャル状1を保ちなからΦy11.Φ1
1gとΦ!111 tΦIHmを操作して水平読み出し
を行う。■ではΦGg=On。 ΦIH1= On 、Φgag:=offとして■の状
態に戻る。 以上の操作を繰り返すことにより奇フィールドの信号は
水平読み出しCCD46から、また偶フィールドの信号
は水平読み出しCCD44からそれぞれ出力されること
になる。」 (3)明細書第9頁第12行[構成図Jの後に次のとお
り挿入する。 「第6図は第4図に示す固体撮像装置の部分詳細図、第
7図(5)、(ハ)は第6図に示すa −a’、 b
−b’断面の略図及びポテンシャルと信号電荷の移1を
示す図」 (4)別紙のとおり、第6図及び第7閣内、@を補充す
る。 以 上 −A7 7 cA) ″−l−−丁」 ■ (8) 1ト旺ト」−一一
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Tll −直転送電極と水平読み出しCCDとを備え
、前記垂直転送電極は上下に隣接する2本の仮想的水平
走査@に交互に交叉する電極を縦に連続配夕IJするこ
とにより受光部を撮像面に市松状に分布せしめたことを
特徴とする固体撮像装置。 (2) 前配水平読み出しCCDは前記受光部の光信
号電荷のうち奇水平走査の光信号電荷が転送される奇水
平走査用水平読み出しCODと、偶水平走査の光信号電
荷が転送される偶水平走査用水平読み出しCCDとより
構成されることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
の固体撮倫装fjIt。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56209105A JPS58111491A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | 固体撮像装置 |
| US06/451,599 US4566037A (en) | 1981-12-25 | 1982-12-20 | Solid-state area imaging apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56209105A JPS58111491A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | 固体撮像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58111491A true JPS58111491A (ja) | 1983-07-02 |
| JPH0335871B2 JPH0335871B2 (ja) | 1991-05-29 |
Family
ID=16567367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56209105A Granted JPS58111491A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | 固体撮像装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
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| US (1) | US4566037A (ja) |
| JP (1) | JPS58111491A (ja) |
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- 1981-12-25 JP JP56209105A patent/JPS58111491A/ja active Granted
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1982
- 1982-12-20 US US06/451,599 patent/US4566037A/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
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