JPS59122180A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPS59122180A JPS59122180A JP57227703A JP22770382A JPS59122180A JP S59122180 A JPS59122180 A JP S59122180A JP 57227703 A JP57227703 A JP 57227703A JP 22770382 A JP22770382 A JP 22770382A JP S59122180 A JPS59122180 A JP S59122180A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- horizontal
- shift register
- ccd
- cod
- shift registers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/71—Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
- H04N25/713—Transfer or readout registers; Split readout registers or multiple readout registers
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/71—Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
- H04N25/73—Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors using interline transfer [IT]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
不発明は複数の画素列の画素信号を並ダリに読出す固体
撮像装置に関する。
撮像装置に関する。
従来のインターライン伝送方式Ｃ０Ｄ（以後ＩＴ−ＣＯ
Ｄと称す）の−例を第１図を用いて簡単に説明を行う。
Ｄと称す）の−例を第１図を用いて簡単に説明を行う。
ホトダイオード（以下ＰＤと称す）で形成された２ＮＸ
ＭＩ固（例えばＮ＝２５０ 、 Ｍ＝４００）の感光部
（ｐＨ・Ｐｔ１’・Ｐｉｔ・”＋２’＋ ＰＩ３ ＋・
・・＋ ”ＩＮ＋Ｐ Ｉ’Ｎ Ｉ Ｐ ２□、Ｐ′２□
＋Ｐ２□＋ ”’７７ ＋ ”２３ ＊・・・、Ｐ２Ｎ
・Ｐ’２Ｎ。
ＭＩ固（例えばＮ＝２５０ 、 Ｍ＝４００）の感光部
（ｐＨ・Ｐｔ１’・Ｐｉｔ・”＋２’＋ ＰＩ３ ＋・
・・＋ ”ＩＮ＋Ｐ Ｉ’Ｎ Ｉ Ｐ ２□、Ｐ′２□
＋Ｐ２□＋ ”’７７ ＋ ”２３ ＊・・・、Ｐ２Ｎ
・Ｐ’２Ｎ。
・・・ｒ ＰＭＩ ｒ、 Ｐ’Ｍｌ’４ Ｐ Ｍ２ ｒ
Ｐ’Ｍ２ ｒ ２Ｍ３ ｒ ・・・、ＰＭＮ。
Ｐ’Ｍ２ ｒ ２Ｍ３ ｒ ・・・、ＰＭＮ。
ＰＭＮ’） （以ＦＰｉ＋Ｐ’ｉで代表する）と、この
感光部（Ｐｉ＋Ｐｉ’）で光電変換されて畜イ★された
信号′重荷全読出すだめの框直ＣＣＤ／フトレジスタ（
ＣＩＩ Ｃ２ｒ・・ＣＶ）がＵいに水平方向に交互に配
列されている。３は谷感光部（Ｐｌ。
感光部（Ｐｉ＋Ｐｉ’）で光電変換されて畜イ★された
信号′重荷全読出すだめの框直ＣＣＤ／フトレジスタ（
ＣＩＩ Ｃ２ｒ・・ＣＶ）がＵいに水平方向に交互に配
列されている。３は谷感光部（Ｐｌ。
Ｐ１′）と細面ＣＣＤシフトレジスタ（ｃ、 ＋ ０２
＋・・・、 ＣＭ ）間の信号電荷転送を開側Ｊする
ゲート電極配線を示している。ここでＰＤは発生した信
号′電荷を俗情する蓄遺部でもある。そして１所直ＣＯ
Ｄシフトレジスタの信号電荷は、１段毎に水平ＣＯＤノ
ントレジスタ１に転送され、水平有効期間において水平
ＣＯＤシフトレジスタＩ内を転送された後順次、出力州
Ｓ２より読出される。
＋・・・、 ＣＭ ）間の信号電荷転送を開側Ｊする
ゲート電極配線を示している。ここでＰＤは発生した信
号′電荷を俗情する蓄遺部でもある。そして１所直ＣＯ
Ｄシフトレジスタの信号電荷は、１段毎に水平ＣＯＤノ
ントレジスタ１に転送され、水平有効期間において水平
ＣＯＤシフトレジスタＩ内を転送された後順次、出力州
Ｓ２より読出される。
ここで止面ＣＣＤシフトレジスタ（Ｃ，、Ｃ２・・、Ｃ
Ｍ）における継面方向の転送段数は感光部（Ｐｉ、Ｐｉ
’）の惟直方向画ｇ数・の半数のＮ（＝２５０）である
。そして通常のテレビジョン標準方式においては１フレ
ームは２クイールドより構成され、またインタレース走
査を行っている。従ってＩＴ−ＣＯＤでもこれに適合し
た撮像動作を行っており、先の２フイールドをＡ。
Ｍ）における継面方向の転送段数は感光部（Ｐｉ、Ｐｉ
’）の惟直方向画ｇ数・の半数のＮ（＝２５０）である
。そして通常のテレビジョン標準方式においては１フレ
ームは２クイールドより構成され、またインタレース走
査を行っている。従ってＩＴ−ＣＯＤでもこれに適合し
た撮像動作を行っており、先の２フイールドをＡ。
Ｂフィールドに分け、へフィールドでは垂直方向に連続
して設けられた２個のＰ Ｄ （ＰＩＩ ＋Ｐ’ｏ）＋
（Ｐｔ２ ＋ Ｐ’＋２） ｒ・・・ｒ （ＰＩＮ ｒ
ＰＩＮ’） ｒ （Ｐｔ１ ＋ Ｐｔ１’） ｒ（ｐ
、□ 、 Ｐ ２□′） ・・・ ｒ （Ｐ２Ｎ
＋ Ｐ ２ Ｎ’ ） ＊ ・・・ 、
（ＰＭＩ 、 ＰＭ１′）。
して設けられた２個のＰ Ｄ （ＰＩＩ ＋Ｐ’ｏ）＋
（Ｐｔ２ ＋ Ｐ’＋２） ｒ・・・ｒ （ＰＩＮ ｒ
ＰＩＮ’） ｒ （Ｐｔ１ ＋ Ｐｔ１’） ｒ（ｐ
、□ 、 Ｐ ２□′） ・・・ ｒ （Ｐ２Ｎ
＋ Ｐ ２ Ｎ’ ） ＊ ・・・ 、
（ＰＭＩ 、 ＰＭ１′）。
（ＰＭ２ 、ｐ、２′） 、・・・ｒ （ＰＭＮ、 Ｐ
ＭＮ’ ）で蓄積された信号電荷を合せて流出し、Ｂフ
ィールドでは一１無直方向にＡフィールドを読出した２
個のＰＤ（Ｐｌ、ＰＩ’）に対して空間的に垂直方向に
対して１８０度位相が異なる連続した２個のＰＤ（Ｐ目
′、Ｐ１□） ＋ （Ｐ１２’＋ Ｐｔ５） ・・・
＋ （Ｐｔ１’ｌ ”２２ ） １ （Ｐｔ２’＋
Ｐｔ３） ｒ・・＋ （ＰＭ Ｉ’ｒ Ｐ Ｍ ｔ ）
ｒ （Ｐ Ｍ ２’ ＋ ＰＭ ｓ ） ｒ・・・で
蓄晴された信号電荷を合せて呪出す。このような信号電
荷読出しモードをフィールド蓄積モードと呼び、この場
合、垂直方向においてＡ。
ＭＮ’ ）で蓄積された信号電荷を合せて流出し、Ｂフ
ィールドでは一１無直方向にＡフィールドを読出した２
個のＰＤ（Ｐｌ、ＰＩ’）に対して空間的に垂直方向に
対して１８０度位相が異なる連続した２個のＰＤ（Ｐ目
′、Ｐ１□） ＋ （Ｐ１２’＋ Ｐｔ５） ・・・
＋ （Ｐｔ１’ｌ ”２２ ） １ （Ｐｔ２’＋
Ｐｔ３） ｒ・・＋ （ＰＭ Ｉ’ｒ Ｐ Ｍ ｔ ）
ｒ （Ｐ Ｍ ２’ ＋ ＰＭ ｓ ） ｒ・・・で
蓄晴された信号電荷を合せて呪出す。このような信号電
荷読出しモードをフィールド蓄積モードと呼び、この場
合、垂直方向においてＡ。
Ｂフィールドで読出される信号の空間的位相が１８０
ｒＫ−異なるため、感光領域全域からは２ＮＸ Ｍ １
周（＝５００Ｘ４００個）のサンプル点がずすられる。
ｒＫ−異なるため、感光領域全域からは２ＮＸ Ｍ １
周（＝５００Ｘ４００個）のサンプル点がずすられる。
このように第１図の構成でｆＪ、ｌｉｄ直ＣＣＤシフト
レジスタ（ＣＩｒ Ｃ２’ｌ・・・＋ ＣＭ ）の畦面
方向転送段数が感光部（Ｐｔ ｒ Ｐ’２ ）の継１１
方向個数の半数であるため、前述したごとく各フィール
ドにて垂直方向に卓続した２個のＰ Ｄ （Ｐｔ ｒ
Ｐ２’ ）の信号′電荷が混じ合い、このため同一フィ
ールド内で全Ｐ Ｄ ＜Ｐｔ１ Ｐｔ’）の信号電荷が
独立に取り出せない。これに対して畦１σＣＣ’ Ｄン
７トレジスタの昨直方向転送段数とＰＤ（Ｐｔ１Ｐ２’
）の向直方向ｊ１５数を同じくしたＩＴ−ＣＯＤは先に
我々が提案した構造にて実現することができる。
レジスタ（ＣＩｒ Ｃ２’ｌ・・・＋ ＣＭ ）の畦面
方向転送段数が感光部（Ｐｔ ｒ Ｐ’２ ）の継１１
方向個数の半数であるため、前述したごとく各フィール
ドにて垂直方向に卓続した２個のＰ Ｄ （Ｐｔ ｒ
Ｐ２’ ）の信号′電荷が混じ合い、このため同一フィ
ールド内で全Ｐ Ｄ ＜Ｐｔ１ Ｐｔ’）の信号電荷が
独立に取り出せない。これに対して畦１σＣＣ’ Ｄン
７トレジスタの昨直方向転送段数とＰＤ（Ｐｔ１Ｐ２’
）の向直方向ｊ１５数を同じくしたＩＴ−ＣＯＤは先に
我々が提案した構造にて実現することができる。
そのＩＴ−ＣＯＤの構成を第２図に示す。
ホトダイオード（ＰＤ）で形成されたＭ列の感光部（Ｐ
ＩＩＰ２＋・・・ＰＭ ）と、同じくＭ列の東向ＣＯＤ
（ＣＩ’Ｉ Ｃ２’ｌ・・、 Ｃ’Ｍ ）が図示の如
く父ｑに配列され、感光部の各列は（ＰＩＩ ＋ Ｐ’
Ｈ□１Ｐ１２１Ｐ′＋ ２ ＋ Ｐ １３ 、・・・”
Ｎ、”ｔＮ） ＋ （”２＋ ｒ Ｐ’２１ ｒ Ｐｔ
２ ＊”２２ ＋ Ｐｔ３ ｒ ”’ ＩＰ２Ｎ ＋
ｐ／、 Ｎ ） ＋・・・ｒ （”Ｉ ｒ Ｐ’Ｍ＋
＋、Ｐ Ｍ２ｒ Ｐ’Ｍ２ ｒ ＰＭｓ ＊・・・、Ｐ
駅、Ｐ’ＭＮ） の如＜２Ｎ個のＰＤが配置されており
、また垂直ＣＯＤの各々はＰＤに１対１に対応しテ（Ｃ
Ｉｒ ｒ Ｃ’＋＋ ＊ Ｃｓｔ、。
ＩＩＰ２＋・・・ＰＭ ）と、同じくＭ列の東向ＣＯＤ
（ＣＩ’Ｉ Ｃ２’ｌ・・、 Ｃ’Ｍ ）が図示の如
く父ｑに配列され、感光部の各列は（ＰＩＩ ＋ Ｐ’
Ｈ□１Ｐ１２１Ｐ′＋ ２ ＋ Ｐ １３ 、・・・”
Ｎ、”ｔＮ） ＋ （”２＋ ｒ Ｐ’２１ ｒ Ｐｔ
２ ＊”２２ ＋ Ｐｔ３ ｒ ”’ ＩＰ２Ｎ ＋
ｐ／、 Ｎ ） ＋・・・ｒ （”Ｉ ｒ Ｐ’Ｍ＋
＋、Ｐ Ｍ２ｒ Ｐ’Ｍ２ ｒ ＰＭｓ ＊・・・、Ｐ
駅、Ｐ’ＭＮ） の如＜２Ｎ個のＰＤが配置されており
、また垂直ＣＯＤの各々はＰＤに１対１に対応しテ（Ｃ
Ｉｒ ｒ Ｃ’＋＋ ＊ Ｃｓｔ、。
Ｃ”ｒ２１ ｃ’、 ３ ｒ ”’ ｒ自Ｎ・”” ）
ｒ （Ｃ２＋ １ ”２１１ ｃ’２２１Ｃ’２２
ｒ Ｃ２ｊ ＋ ”’ ＋ Ｃ２Ｎ＋ ｃ′２Ｎ） ｇ
・・” Ｈ（ＣＭＩ、Ｃ’Ｊ＋ＣＭ ２ ｒ Ｃ’
Ｍ ２ ＋ ＣＭ Ｓ ＋・・・、 ＣＭＮ 、 Ｃ’
ＭＮ ）の如く、２Ｎ個の転送段を有する。即ち、感光
部と垂直ＣＯＤシフトレジスタが交互に配列され、かつ
垂直ＣＯＤシフトレジスタの転送段数と非直方向ＰＤ数
は同数とされる。
ｒ （Ｃ２＋ １ ”２１１ ｃ’２２１Ｃ’２２
ｒ Ｃ２ｊ ＋ ”’ ＋ Ｃ２Ｎ＋ ｃ′２Ｎ） ｇ
・・” Ｈ（ＣＭＩ、Ｃ’Ｊ＋ＣＭ ２ ｒ Ｃ’
Ｍ ２ ＋ ＣＭ Ｓ ＋・・・、 ＣＭＮ 、 Ｃ’
ＭＮ ）の如く、２Ｎ個の転送段を有する。即ち、感光
部と垂直ＣＯＤシフトレジスタが交互に配列され、かつ
垂直ＣＯＤシフトレジスタの転送段数と非直方向ＰＤ数
は同数とされる。
ところが、このように垂直Ｃ０Ｄ７フトレジスタ（”ｌ
ｌ ”’ｔ ＊・・・ ｃｌＭ）の垂直方向の段数と
ＰＤ （ＰＩＩ Ｐｔ１・・・、ＰＭ）の昨直個数が同
じくできても、攬出し手段に問題が残る。現在テレビジ
ョン標準方式ではインタレース走査表示を行なっている
ため、例えば我国のＮＴＳＣ方式ではＡ、Ｂ谷フィール
ド約２５０本の走介線に対応する情報しか表示されない
。従って、第２図の固体撮像装置を標準方式に適合させ
ようとすると、（ａ）水平ＣＯＤソフトレジスタＩにお
いて框１亘方向に連続した２個のＰ Ｄ （Ｐ＋ ＋
Ｒ＋・・・、ｐＭ）の信号電荷を混合して取り出すか、
（ｂ）一方の１水平列の信号電荷を１水平ＩＥブランキ
ング期ｒＨｉ内にンリアルに取り出し、それら信号をＩ
Ｈメモリに入れた後、残シ１水千列の信号電荷と前Ｒｔ
Ｉ Ｈメモリに入れた信号とをパラレルに水平叶走有
効期間に出力させなければならない。
ｌ ”’ｔ ＊・・・ ｃｌＭ）の垂直方向の段数と
ＰＤ （ＰＩＩ Ｐｔ１・・・、ＰＭ）の昨直個数が同
じくできても、攬出し手段に問題が残る。現在テレビジ
ョン標準方式ではインタレース走査表示を行なっている
ため、例えば我国のＮＴＳＣ方式ではＡ、Ｂ谷フィール
ド約２５０本の走介線に対応する情報しか表示されない
。従って、第２図の固体撮像装置を標準方式に適合させ
ようとすると、（ａ）水平ＣＯＤソフトレジスタＩにお
いて框１亘方向に連続した２個のＰ Ｄ （Ｐ＋ ＋
Ｒ＋・・・、ｐＭ）の信号電荷を混合して取り出すか、
（ｂ）一方の１水平列の信号電荷を１水平ＩＥブランキ
ング期ｒＨｉ内にンリアルに取り出し、それら信号をＩ
Ｈメモリに入れた後、残シ１水千列の信号電荷と前Ｒｔ
Ｉ Ｈメモリに入れた信号とをパラレルに水平叶走有
効期間に出力させなければならない。
これら方法のうち、前者では、本来の目的であるところ
のｉｐ Ｄ （Ｐ＋ ｒ Ｐ２＋・・・、ＰＭ） の
４Ｎ号を独立に取り出すことが出来ない。後者では水平
ＣＣ’Ｄシフトレジスタ１の高速駆動と高速、広帯域Ｉ
Ｈメモリが必要である間軸を生ずる。又、上記のごとく
同一フィールド（ハ）で全ｉＩｔ！ｌ素の信号電荷を独
立に読出さない涌常勅作において水平方向の画素数が増
力口するとそれに伴ない画素読出し周波数が増加し、そ
れに対する１高速１べ動回烙を必要とする。父、第２図
にて説明した堆・頁ＣＯＤノットレジスタの東向方向転
送段数とＰＤ（Ｐｌ、Ｐ１′）の傘部方向個数が同じく
した工Ｔ−ＣＯＤを走青部とし、該赤青部上に光電変換
部である光導電膜を設けた２階建センサーでは光導電膜
の訓話を市松状に配【−１することができる。このセ／
すでは東面方向で隣シ合９２水平タリ画素はそれぞれ水
平方向に空間的に１８０″Ｎずれている。従って、該市
松画素配置２階建てセンサにおいて前記２水平ダ１１画
素信号を並列に１水平走舟期間Ｚ Ｈ，に醗出し、片方
の信号を水平方向空間的画素間＋ｔに対応させて％画素
に相当する時間すられて雨水平列信号を加算してモニタ
に接続させることによって水平方向２倍のＴ４像度の再
生画像が得られる。このためにも全＋＋ｉｉｉ素の信号
電荷をそれぞれ独立に読み出されなければならない。又
、上記の市松画素配置センサを用いてカラー撮像を行う
場合でも同様である。
のｉｐ Ｄ （Ｐ＋ ｒ Ｐ２＋・・・、ＰＭ） の
４Ｎ号を独立に取り出すことが出来ない。後者では水平
ＣＣ’Ｄシフトレジスタ１の高速駆動と高速、広帯域Ｉ
Ｈメモリが必要である間軸を生ずる。又、上記のごとく
同一フィールド（ハ）で全ｉＩｔ！ｌ素の信号電荷を独
立に読出さない涌常勅作において水平方向の画素数が増
力口するとそれに伴ない画素読出し周波数が増加し、そ
れに対する１高速１べ動回烙を必要とする。父、第２図
にて説明した堆・頁ＣＯＤノットレジスタの東向方向転
送段数とＰＤ（Ｐｌ、Ｐ１′）の傘部方向個数が同じく
した工Ｔ−ＣＯＤを走青部とし、該赤青部上に光電変換
部である光導電膜を設けた２階建センサーでは光導電膜
の訓話を市松状に配【−１することができる。このセ／
すでは東面方向で隣シ合９２水平タリ画素はそれぞれ水
平方向に空間的に１８０″Ｎずれている。従って、該市
松画素配置２階建てセンサにおいて前記２水平ダ１１画
素信号を並列に１水平走舟期間Ｚ Ｈ，に醗出し、片方
の信号を水平方向空間的画素間＋ｔに対応させて％画素
に相当する時間すられて雨水平列信号を加算してモニタ
に接続させることによって水平方向２倍のＴ４像度の再
生画像が得られる。このためにも全＋＋ｉｉｉ素の信号
電荷をそれぞれ独立に読み出されなければならない。又
、上記の市松画素配置センサを用いてカラー撮像を行う
場合でも同様である。
１本発明は上記の点に鑞みなされたもので、二次元配列
された全画素の信号電荷をそれぞれ独立に、しかも高速
駆動や高速回路を用いることなく ｉｔフｅ出すことを
可能とした固体撮像装置を提供することを目的とする。
された全画素の信号電荷をそれぞれ独立に、しかも高速
駆動や高速回路を用いることなく ｉｔフｅ出すことを
可能とした固体撮像装置を提供することを目的とする。
本発明においては、屯１ｑ ＣＣＤシフトレジスタの転
送段数が感光部の堆１頁方向岨列数と等しい第２図の構
成を基本とし、水平続出し手段として、第１、第２の少
くとも２Ｉ７１Ｊの水平Ｃ’ＣＤシフトレジスタを設け
る。そして１η直ＣＣＤシフトレジスタ列から転送され
る信号電荷をこれら第１、第２のＣＯＤシフトレジスタ
に交互に入力して、第１、第２のＣＯＤシフトレジスタ
を並タリ駆動して読出しを行う。
送段数が感光部の堆１頁方向岨列数と等しい第２図の構
成を基本とし、水平続出し手段として、第１、第２の少
くとも２Ｉ７１Ｊの水平Ｃ’ＣＤシフトレジスタを設け
る。そして１η直ＣＣＤシフトレジスタ列から転送され
る信号電荷をこれら第１、第２のＣＯＤシフトレジスタ
に交互に入力して、第１、第２のＣＯＤシフトレジスタ
を並タリ駆動して読出しを行う。
本発明によれば、感光部の全画素信号を、混合すること
なくそれぞれ独立に読出すことができる。しかも、感光
部の２水平タリの悟号′ｍｌ荷を２個の水平ＣＯＤシフ
トレジスタで・凌列に読出す゛ため、テレビジョン標準
方式に適合させる場合にも水平ＣＯＤシフトレジスタは
何ら高速駆動を要せず、また高速、高帯域のＩＨメモリ
も必要としない。
なくそれぞれ独立に読出すことができる。しかも、感光
部の２水平タリの悟号′ｍｌ荷を２個の水平ＣＯＤシフ
トレジスタで・凌列に読出す゛ため、テレビジョン標準
方式に適合させる場合にも水平ＣＯＤシフトレジスタは
何ら高速駆動を要せず、また高速、高帯域のＩＨメモリ
も必要としない。
以下図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。
第３図は本発明の固体撮像装置の構成説明図である。図
１中、感光領域については第２図と同じであり、感光部
（Ｐ、、Ｐ２１・・・、 、Ｐ Ｍ’ ）の止面方向の
数と射面ＣＯＤシフトレジスタ（Ｃ’！＋ Ｃ’２ ｒ
・・・、Ｃ’Ｍ）の４ニ直方向の段数が同じである。従
って１猿九部（Ｐ目＋Ｐ’ｌｌ ＋ ＰＩ２１Ｐ’＋２
ＩＰ１３１Ｐ２１１”２しＰ２２１Ｐ’２□ｒ Ｐ２
．ｌ ｒ ｐ、 Ｎ （Ｐ’ＩＮ ｒ Ｐ２ＮＩ Ｐ’
２Ｎ ＋ ｐＭ、 ＋ Ｐ’Ｍ＋＋Ｐ Ｍ ２ ｒ Ｐ
’ Ｍ２ 、Ｐ Ｍ ３ ｒ・・・、 ＰＭＮ、 Ｐ’
ＭＮ ）の蓄積された信号電荷は同時に瞬接の爪面ＣＣ
Ｄシフトレジスタ（ＣＩＩ ｒ Ｃ’ｌｌ ＋ ＣＩ２
ｒ ｃ／、□＋ＣＩ３＋・・・、 ＣＩＮ、 Ｃ’１
Ｎｌｃ２． ＋ Ｃ’２１ ＋ ｃ２． ＋ ｃ／、□
１ｃ２３１・・・＊ Ｃ２Ｎ ＋ ｃ／、 Ｎ ＋ ”
’ ＋Ｃ）Ｊ＋ ＋ Ｃ”Ｍ＋ 、ＣＭ２ 、 Ｃ’Ｍ
２ ｒ ＣＭｓ ＋・・・、Ｃ■ＬＣ’ＭＮ）に−転送
されることになる。そして本実施例では、第２図と異な
り、図面のように２個の水平ＣＯＤシフトレジスタ１．
，１２を並列に役ける。
１中、感光領域については第２図と同じであり、感光部
（Ｐ、、Ｐ２１・・・、 、Ｐ Ｍ’ ）の止面方向の
数と射面ＣＯＤシフトレジスタ（Ｃ’！＋ Ｃ’２ ｒ
・・・、Ｃ’Ｍ）の４ニ直方向の段数が同じである。従
って１猿九部（Ｐ目＋Ｐ’ｌｌ ＋ ＰＩ２１Ｐ’＋２
ＩＰ１３１Ｐ２１１”２しＰ２２１Ｐ’２□ｒ Ｐ２
．ｌ ｒ ｐ、 Ｎ （Ｐ’ＩＮ ｒ Ｐ２ＮＩ Ｐ’
２Ｎ ＋ ｐＭ、 ＋ Ｐ’Ｍ＋＋Ｐ Ｍ ２ ｒ Ｐ
’ Ｍ２ 、Ｐ Ｍ ３ ｒ・・・、 ＰＭＮ、 Ｐ’
ＭＮ ）の蓄積された信号電荷は同時に瞬接の爪面ＣＣ
Ｄシフトレジスタ（ＣＩＩ ｒ Ｃ’ｌｌ ＋ ＣＩ２
ｒ ｃ／、□＋ＣＩ３＋・・・、 ＣＩＮ、 Ｃ’１
Ｎｌｃ２． ＋ Ｃ’２１ ＋ ｃ２． ＋ ｃ／、□
１ｃ２３１・・・＊ Ｃ２Ｎ ＋ ｃ／、 Ｎ ＋ ”
’ ＋Ｃ）Ｊ＋ ＋ Ｃ”Ｍ＋ 、ＣＭ２ 、 Ｃ’Ｍ
２ ｒ ＣＭｓ ＋・・・、Ｃ■ＬＣ’ＭＮ）に−転送
されることになる。そして本実施例では、第２図と異な
り、図面のように２個の水平ＣＯＤシフトレジスタ１．
，１２を並列に役ける。
これら”、第２の水子Ｃ’ＣＤシフトレジスタ１．，１
２０間には、開側り′鴫他４を設け、垂直ＣＯＤシフト
レジスタＣ′ｌ’ ＋ Ｃ２’ ＋・・・ＣＭ′ に
より転送されてきた水平列信号電荷を、１ｔｉｌ仰電吻
４によって制御して第１、第２の水平ＣＯＤソフトレジ
スタ’Ｉｙ１２に交互に書込むようになっている。
２０間には、開側り′鴫他４を設け、垂直ＣＯＤシフト
レジスタＣ′ｌ’ ＋ Ｃ２’ ＋・・・ＣＭ′ に
より転送されてきた水平列信号電荷を、１ｔｉｌ仰電吻
４によって制御して第１、第２の水平ＣＯＤソフトレジ
スタ’Ｉｙ１２に交互に書込むようになっている。
第４図に第３図における２水平ｃｃＤ／フトレジスタ’
＋ｒ１２の部分の構造を示す。同図（ａ）は該２水平Ｃ
ＣＤシフトレジスタ部を上部より吃だ概略構成図である
。図で点＆ｐはＣＯＤチャネル部孕示す。ここで水平方
向チャオ・ル部け、第１のｙＪ＜平ＣＣＤシフトレジス
タ１１のチャネル部５ 、 ト尾２の水平ＣＣＤシフ
トレジスタ１２のチャネル＠ｉＳｓ ２に分かれ、これ
らのチャネル部、５．．５２の間に制御電極４が設けら
れている。またこれらチャネル部５□ 、５□上には図
に示すように、連続した転送電極６（６１１＋６１２
＋ ６１３１ ’５１４１６２１ ＋ ６２２ ＋ ６
□３＋６２４＋・・・、）が設けられている。この転送
電極６のうち６１４゜６２４、・・・は＠＋−［ｆｆｉ
ＣＣＤシフトレジスタのチャネル部７１１７′２ 上
に延在させて惟直ＣＣＤシフトンジスタの転τ希電他８
とを接続せしめる。
＋ｒ１２の部分の構造を示す。同図（ａ）は該２水平Ｃ
ＣＤシフトレジスタ部を上部より吃だ概略構成図である
。図で点＆ｐはＣＯＤチャネル部孕示す。ここで水平方
向チャオ・ル部け、第１のｙＪ＜平ＣＣＤシフトレジス
タ１１のチャネル部５ 、 ト尾２の水平ＣＣＤシフ
トレジスタ１２のチャネル＠ｉＳｓ ２に分かれ、これ
らのチャネル部、５．．５２の間に制御電極４が設けら
れている。またこれらチャネル部５□ 、５□上には図
に示すように、連続した転送電極６（６１１＋６１２
＋ ６１３１ ’５１４１６２１ ＋ ６２２ ＋ ６
□３＋６２４＋・・・、）が設けられている。この転送
電極６のうち６１４゜６２４、・・・は＠＋−［ｆｆｉ
ＣＣＤシフトレジスタのチャネル部７１１７′２ 上
に延在させて惟直ＣＣＤシフトンジスタの転τ希電他８
とを接続せしめる。
？
第４図（ａ）のＡ−ｐ！部の断面構造を同図（ｂ）に示
す。例えばＰ型シリコン展板９上に、前記■１制御電啄
４を項として、継面ＣＣＤシフトレジスタの転送ｔ 極
ｓ １ｆ（１に第１の水平ｃｃ’ｏシフトレジスター、
のチャネル部５．を形成するｎ 層１０１を、文対剃に
第２の水平ＣＯＤシフトレジスター２のチャネル部５２
を形成する。Ｊ１０２を設ける。またＰ型シリコン構板
９に第１の絶嫁４ Ｊ ｌを設け、この第１の絶縁層ノ
ー上に前記１１１ｉｉｉ ＣＣＤシフトレジスタの転送
電極８および制御電極４を形成せ１〜め、この＠第８゜
４上に第２の絶縁層１２を介して水平ＣＯＤシフトレジ
スター、、１２０転送電他６を形成している。ここで第
２の水平ＣＣＤ／７１＝レジスター２部のｎ１苦ＩＯ□
の不純物濃度は、第１の水平ＣＯＤシフトレジスター□
部のｎ”１−１０Ｉ より高くしている。これにより前
記水平ＣＣＤＩ伝送電偉６１４に高レベル電圧を印加し
た除、彰水十ＣＯＤ伝送電、他６．４下のチャネル電位
が図中点線で示されるように第２のｎｌ（４１０２０部
分が＄１のｎ １帝１ｏ□の部分より深くなる。−この
とき、’！’Ｉ ＃ｌｌ ’醒１参４下のチャネルＩｌ
’、 （’Ｌが第１のｎ 層１０． と琳２の１１
１４１０２のチャ坏ル′亀泣間に設定させると、例えば
第１の水平ＣＣＤシフトレジスタ１１のＨ（ｔ９１７
Ｑｒ下に↑：、ｌ 、Ｑｈされた信号゛重荷１３はこれ
より電位の深い第２の水平ＣＯＤシフトレジスタ１２の
ｎ＋：脅１０２下へ転送される。この様子は（ｂ） ｒ
こ示されている。）次に！Ｉｊｌｌ ＠ｌ ’峨４ｍ
４を低レベル重圧にすると、（Ｃ）図に示すように第２
のｎ＋１−１０２へ２θ動された信号電荷１４はｉａｌ
のｎ＋燭１０１へｒ／ｆ、Ｉ太されない。即ち！ｔａ制
御電１・對４が低ンベルＩＩＥ圧の状１１虫で継ｉｉ；
ｉ ＣＣ［）転送型１１シ８下のチャネル７、より次の
信号電荷を第１のｎ＋・＠ｊ１０１へｆｉ＋ ４ｉｊせ
しめることができる。
す。例えばＰ型シリコン展板９上に、前記■１制御電啄
４を項として、継面ＣＣＤシフトレジスタの転送ｔ 極
ｓ １ｆ（１に第１の水平ｃｃ’ｏシフトレジスター、
のチャネル部５．を形成するｎ 層１０１を、文対剃に
第２の水平ＣＯＤシフトレジスター２のチャネル部５２
を形成する。Ｊ１０２を設ける。またＰ型シリコン構板
９に第１の絶嫁４ Ｊ ｌを設け、この第１の絶縁層ノ
ー上に前記１１１ｉｉｉ ＣＣＤシフトレジスタの転送
電極８および制御電極４を形成せ１〜め、この＠第８゜
４上に第２の絶縁層１２を介して水平ＣＯＤシフトレジ
スター、、１２０転送電他６を形成している。ここで第
２の水平ＣＣＤ／７１＝レジスター２部のｎ１苦ＩＯ□
の不純物濃度は、第１の水平ＣＯＤシフトレジスター□
部のｎ”１−１０Ｉ より高くしている。これにより前
記水平ＣＣＤＩ伝送電偉６１４に高レベル電圧を印加し
た除、彰水十ＣＯＤ伝送電、他６．４下のチャネル電位
が図中点線で示されるように第２のｎｌ（４１０２０部
分が＄１のｎ １帝１ｏ□の部分より深くなる。−この
とき、’！’Ｉ ＃ｌｌ ’醒１参４下のチャネルＩｌ
’、 （’Ｌが第１のｎ 層１０． と琳２の１１
１４１０２のチャ坏ル′亀泣間に設定させると、例えば
第１の水平ＣＣＤシフトレジスタ１１のＨ（ｔ９１７
Ｑｒ下に↑：、ｌ 、Ｑｈされた信号゛重荷１３はこれ
より電位の深い第２の水平ＣＯＤシフトレジスタ１２の
ｎ＋：脅１０２下へ転送される。この様子は（ｂ） ｒ
こ示されている。）次に！Ｉｊｌｌ ＠ｌ ’峨４ｍ
４を低レベル重圧にすると、（Ｃ）図に示すように第２
のｎ＋１−１０２へ２θ動された信号電荷１４はｉａｌ
のｎ＋燭１０１へｒ／ｆ、Ｉ太されない。即ち！ｔａ制
御電１・對４が低ンベルＩＩＥ圧の状１１虫で継ｉｉ；
ｉ ＣＣ［）転送型１１シ８下のチャネル７、より次の
信号電荷を第１のｎ＋・＠ｊ１０１へｆｉ＋ ４ｉｊせ
しめることができる。
このような構成として、いま、１水平列（Ｐ’ｌＮ 、
Ｐ’２Ｎ 、・・、 Ｐ’ＭＮ ）の信号電荷が第１
０水千〇ＣＤ／フトンジスタ１１へ転送されたとき、制
御電極４に一定の制御電圧を印加することによって前記
信号電荷を第２の水平ｃＣＤシフトレジスタ１２に転送
する。そして次の水平タリ（ＰＩＮ、 Ｐ２Ｎ＋・・・
、ＰＭＮ）の信号電荷が第１の水平ＣＯＤシフトレジス
タ１１へ転送されてた時、前記第２の水平ＣＯＤシフト
レジスタ１２の信号゛重荷と混じらないように前記制御
電極に別の制御電圧を印加せしめる。これにより１水平
走査量間のブランキング期間に連続した２水平列（ＰＩ
Ｎ 、 Ｐ２Ｎ ＋・・・ＩＰＭＮ）と（ｐｕｓ 、
Ｐ’、Ｎ ｒ・・・。
Ｐ’２Ｎ 、・・、 Ｐ’ＭＮ ）の信号電荷が第１
０水千〇ＣＤ／フトンジスタ１１へ転送されたとき、制
御電極４に一定の制御電圧を印加することによって前記
信号電荷を第２の水平ｃＣＤシフトレジスタ１２に転送
する。そして次の水平タリ（ＰＩＮ、 Ｐ２Ｎ＋・・・
、ＰＭＮ）の信号電荷が第１の水平ＣＯＤシフトレジス
タ１１へ転送されてた時、前記第２の水平ＣＯＤシフト
レジスタ１２の信号゛重荷と混じらないように前記制御
電極に別の制御電圧を印加せしめる。これにより１水平
走査量間のブランキング期間に連続した２水平列（ＰＩ
Ｎ 、 Ｐ２Ｎ ＋・・・ＩＰＭＮ）と（ｐｕｓ 、
Ｐ’、Ｎ ｒ・・・。
〆）詣）の信号１．に荷をそれぞれ前記第１、第２の水
平ＣＯＤ’／フトレジスタ１．，１２に分配して転送す
ることができる。そして第１、第２の水平ＣＣＤシフト
レジスタｋｒ１２の共通転送屯億６にクロックパルス′
は圧を印加することにより、２つの出力部２＋１２２
より並行して時系列に２水平列（Ｐ！Ｎ＋Ｐ２Ｎ＋・・
・、ＰＭＮ）と（Ｐ、’Ｎ 、 ＰつＮ、・・・、Ｐ餐
Ｎ）の信号′載荷を１水平走貞Ｍ効期間に呪出すことが
できる。以上の動作を順次繰返し行うことによって、全
感光部の信号電荷をそれぞれ独立に絖出すことができる
。
平ＣＯＤ’／フトレジスタ１．，１２に分配して転送す
ることができる。そして第１、第２の水平ＣＣＤシフト
レジスタｋｒ１２の共通転送屯億６にクロックパルス′
は圧を印加することにより、２つの出力部２＋１２２
より並行して時系列に２水平列（Ｐ！Ｎ＋Ｐ２Ｎ＋・・
・、ＰＭＮ）と（Ｐ、’Ｎ 、 ＰつＮ、・・・、Ｐ餐
Ｎ）の信号′載荷を１水平走貞Ｍ効期間に呪出すことが
できる。以上の動作を順次繰返し行うことによって、全
感光部の信号電荷をそれぞれ独立に絖出すことができる
。
以上のように本実施例によれば、チャネル電位の深を異
ならせた２本の水平ＣＣＤンフシフトスタを並設して、
非直ＣＯＤシフトレジスタで読出された信号電荷を第１
、第２の水平ＣＯＤシフトレジスタに父何に移して２水
平列毎に並列に仇出すことによって、全画￥の信号′縦
向を混合することなく独立に出力することができる、じ
かも２水平列の信号電荷は並列に読出すから、全画素の
信号電荷を同一フィールド内に水平ＣＯＤシフトレジス
タの高速駆動を饗せず、また高速、広帯域のＩＨメモリ
を用いることなく読出すことができる。
ならせた２本の水平ＣＣＤンフシフトスタを並設して、
非直ＣＯＤシフトレジスタで読出された信号電荷を第１
、第２の水平ＣＯＤシフトレジスタに父何に移して２水
平列毎に並列に仇出すことによって、全画￥の信号′縦
向を混合することなく独立に出力することができる、じ
かも２水平列の信号電荷は並列に読出すから、全画素の
信号電荷を同一フィールド内に水平ＣＯＤシフトレジス
タの高速駆動を饗せず、また高速、広帯域のＩＨメモリ
を用いることなく読出すことができる。
また、感光部を市松状に配タリした国体毀像装竹（ｆｃ
Ｉｆ４用すれば、第１、第２の水平ＣＣＤン７シフト
スタの出力信号を、一方を僅かに遅延させてｌＪＯ算す
る処理を施すことにより、水平方向解像度を２倍にした
再生画像を得ることができる。
Ｉｆ４用すれば、第１、第２の水平ＣＣＤン７シフト
スタの出力信号を、一方を僅かに遅延させてｌＪＯ算す
る処理を施すことにより、水平方向解像度を２倍にした
再生画像を得ることができる。
上記実施例では、第１、第２の水平ＣＯＤシフトレジス
タのチャネル電位の深さを異ならせる構造として、第４
図（ｂ）に示したようにｎｌ−ＩＯ＋ 、１０□の不純
物′ｆ４度を異ならせるｆ！ｌを示した。第５図は同様
の目的を達成する別のｔ清造例である。この例では、ｎ
＋＋曲１０Ｈｒ １０２の不純物濃度は同じとし、それ
ぞれの上の絶−膜厚を異ならせている。
タのチャネル電位の深さを異ならせる構造として、第４
図（ｂ）に示したようにｎｌ−ＩＯ＋ 、１０□の不純
物′ｆ４度を異ならせるｆ！ｌを示した。第５図は同様
の目的を達成する別のｔ清造例である。この例では、ｎ
＋＋曲１０Ｈｒ １０２の不純物濃度は同じとし、それ
ぞれの上の絶−膜厚を異ならせている。
なお、以上の実施例で示したように、第１、第２の水平
ＣＯＤシフトレジスタにつ（八でそのチャネルＭ（■を
異ならせると、両者の出力波７１が異なったものになる
という雑煮がある。これは、水平ＣＣＤンフシフトレジ
スタ本の場合にはそれ桿１才題にならないとしても、３
本以上Ｙ役ける場合には垂直ＣＯＤシフトレジスタに近
い部分と遠い部分でのチャネル電位の差や；大きくなり
、出力波形の差も犬きくなって、出力波Ｊ杉処理が碓し
くなる。この点を解決した実施例を第６図（ａ）〜（Ｃ
）を用いて説明する。
ＣＯＤシフトレジスタにつ（八でそのチャネルＭ（■を
異ならせると、両者の出力波７１が異なったものになる
という雑煮がある。これは、水平ＣＣＤンフシフトレジ
スタ本の場合にはそれ桿１才題にならないとしても、３
本以上Ｙ役ける場合には垂直ＣＯＤシフトレジスタに近
い部分と遠い部分でのチャネル電位の差や；大きくなり
、出力波形の差も犬きくなって、出力波Ｊ杉処理が碓し
くなる。この点を解決した実施例を第６図（ａ）〜（Ｃ
）を用いて説明する。
第６図（ａ）〜（Ｃ）は第４図（ａ）〜（Ｃ）に対応さ
せて示したもので、第４図（ａ）〜（Ｃ）と対応する部
分にはこれと同一符号を付しである。この実施例では、
先の実測例と異なり、第１、第２の水平ＣＯＤシフトレ
ジスタＩＩ ＋１２についてｎ Ｉ俗１０＋ ｒＩθ
２の不純物ａ度およびその上の絶縁膜厚共に等しく、従
って印加′市、圧が同じならばチャネル電ｆ電の深さは
等しい。そして男１、第２のＣＣＤシフトレジヌタ１．
．１２ に開環に嘲直ＣＣＤシフトレジヌタからの信号
′電荷を蓄積するために、Ｉ卜ｍ、 ＣＣｏシフトレジ
スタのチャネルｔｆｌＳ７ ＋ ＋ ７’２につなが
る１蔽送電４ホロ□４１６２４をそれぞれ７８１、第２
の水平ＣＯＤシフトレジスタ１．７１□毎に独立した転
送’１４．６ｋ ６１４ａ＋ ６１４ ｂ＋６２４ａ
ｒ ６２４ｂとして設けている。それ以外の転送′直他
６目１１５１２＋６１５・６２１・６２２，６２３・°
“°は先の実施例とｔＦＩＩ様、＃通である。
せて示したもので、第４図（ａ）〜（Ｃ）と対応する部
分にはこれと同一符号を付しである。この実施例では、
先の実測例と異なり、第１、第２の水平ＣＯＤシフトレ
ジスタＩＩ ＋１２についてｎ Ｉ俗１０＋ ｒＩθ
２の不純物ａ度およびその上の絶縁膜厚共に等しく、従
って印加′市、圧が同じならばチャネル電ｆ電の深さは
等しい。そして男１、第２のＣＣＤシフトレジヌタ１．
．１２ に開環に嘲直ＣＣＤシフトレジヌタからの信号
′電荷を蓄積するために、Ｉ卜ｍ、 ＣＣｏシフトレジ
スタのチャネルｔｆｌＳ７ ＋ ＋ ７’２につなが
る１蔽送電４ホロ□４１６２４をそれぞれ７８１、第２
の水平ＣＯＤシフトレジスタ１．７１□毎に独立した転
送’１４．６ｋ ６１４ａ＋ ６１４ ｂ＋６２４ａ
ｒ ６２４ｂとして設けている。それ以外の転送′直他
６目１１５１２＋６１５・６２１・６２２，６２３・°
“°は先の実施例とｔＦＩＩ様、＃通である。
このような構成として、継面ＣＯＤソフトレジスタの信
号電荷を第１、男２の水平ＣＣＤシフトレジスタ１．．
１２に父Ｑ、に分配するには次のようにする。垂直ＣＣ
Ｄシフトレジスタの１つのチャイル７、に着目すると、
転送電極６１４ａ、制御′を惟４、転送電極６＋＜ｂに
順に市電圧を印加する。この状態で垂直ＣＣＤシフトレ
ジスタのチャネル７Ｉ より信号電荷が注入されると、
この信号電荷１３は第１の水平ＣＯＤシフトレジヌタ１
１のチャネルから制御電極４下を経て第２の水平ＣＯＤ
シフトレジスタ１２のチャネルへ転送される。この様子
は第６図（ｂ）に示したとおりである。次に制御電極４
を低レベル電圧にすると、同図（Ｃ）に示したように第
２の水平ＣＣ’Ｄ’／フトレジスタに転送された信号電
荷１４は閉じ込められる。そして次の画素信号電荷１５
を＠直ＣＣＤシフトレジスタから第１の水平ｃｃ Ｄ’
／フトレジスタ１１へ注入する。
号電荷を第１、男２の水平ＣＣＤシフトレジスタ１．．
１２に父Ｑ、に分配するには次のようにする。垂直ＣＣ
Ｄシフトレジスタの１つのチャイル７、に着目すると、
転送電極６１４ａ、制御′を惟４、転送電極６＋＜ｂに
順に市電圧を印加する。この状態で垂直ＣＣＤシフトレ
ジスタのチャネル７Ｉ より信号電荷が注入されると、
この信号電荷１３は第１の水平ＣＯＤシフトレジヌタ１
１のチャネルから制御電極４下を経て第２の水平ＣＯＤ
シフトレジスタ１２のチャネルへ転送される。この様子
は第６図（ｂ）に示したとおりである。次に制御電極４
を低レベル電圧にすると、同図（Ｃ）に示したように第
２の水平ＣＣ’Ｄ’／フトレジスタに転送された信号電
荷１４は閉じ込められる。そして次の画素信号電荷１５
を＠直ＣＣＤシフトレジスタから第１の水平ｃｃ Ｄ’
／フトレジスタ１１へ注入する。
このとき制御′に倹４は低レベル電圧に設定されており
、ａｘ、第ｚの水平ＣＣＤンフシフトスタの信号電荷１
４．１５は混じることはない。
、ａｘ、第ｚの水平ＣＣＤンフシフトスタの信号電荷１
４．１５は混じることはない。
ソシテ％ 嘲＠ＣＯＤシフトレジスタの転送電極８を低
レベル電圧にした後、転送電極６Ｉ４ａと６□４ｂ１６
２４ａと６２４ｂ＋・・・をそれぞれ一体の転送電他と
みなして４相のクロックパルスφ工〜φ４を印加して、
第１、第２の水平ＣＯＤシフトレジスタ２＋＋２２の信
号電荷と同時に並列に出力部へ転送して読出す。
レベル電圧にした後、転送電極６Ｉ４ａと６□４ｂ１６
２４ａと６２４ｂ＋・・・をそれぞれ一体の転送電他と
みなして４相のクロックパルスφ工〜φ４を印加して、
第１、第２の水平ＣＯＤシフトレジスタ２＋＋２２の信
号電荷と同時に並列に出力部へ転送して読出す。
従ってこの笑廟例によれば、第１、ポ２の水平ＣＣＤ／
フトレジスタからの画素信号波形を同僚のものとするこ
とができ、出力信号処理が容易になる。
フトレジスタからの画素信号波形を同僚のものとするこ
とができ、出力信号処理が容易になる。
本発明は上記各実施例に限られず、史に紳々変形実施す
ることができる。例えば、感光部をＵＯＳ型とし１．洸
出しレジスタにＣ’ＣＤを用いだいをゆるＣＰＤにも本
発明を適用できる。また従来のホトダイオードをそのま
ま蓄頂ダイオードとして用い、光電及換部としてアモル
ファスＳｉ寺の光導電体膜を積層した構造にも本発明を
適用できる。また実施例では、テレビジョン標準方式に
適合させたカメラを前提として説明しだが１．標準方式
に適合させない出合でも本発明は有用である。その場合
、水平ＣＯＤシフトレジスタは３本以上並役してもよい
。更に水平ＣＣＤシフトレジスタは４相駆動でなくても
よい。また、実施例では垂＠ ＣＯＤシフトレジスタ列
がそれぞれ水平ＣＯＤシフトレジスタのクロックパルス
φ４が印加される転送段に対向するようにしたが、他の
クロックパルスφ１〜φ３のいずれが印加される転送段
に対向させてもよいし、水平Ｃ’ＣＤシフトレジスタの
１段に複数の堆直ＣＯＤシフトレジスタ列が対向する構
成であってもよい。
ることができる。例えば、感光部をＵＯＳ型とし１．洸
出しレジスタにＣ’ＣＤを用いだいをゆるＣＰＤにも本
発明を適用できる。また従来のホトダイオードをそのま
ま蓄頂ダイオードとして用い、光電及換部としてアモル
ファスＳｉ寺の光導電体膜を積層した構造にも本発明を
適用できる。また実施例では、テレビジョン標準方式に
適合させたカメラを前提として説明しだが１．標準方式
に適合させない出合でも本発明は有用である。その場合
、水平ＣＯＤシフトレジスタは３本以上並役してもよい
。更に水平ＣＣＤシフトレジスタは４相駆動でなくても
よい。また、実施例では垂＠ ＣＯＤシフトレジスタ列
がそれぞれ水平ＣＯＤシフトレジスタのクロックパルス
φ４が印加される転送段に対向するようにしたが、他の
クロックパルスφ１〜φ３のいずれが印加される転送段
に対向させてもよいし、水平Ｃ’ＣＤシフトレジスタの
１段に複数の堆直ＣＯＤシフトレジスタ列が対向する構
成であってもよい。
再１図および第２図は従来のインクライン転送方式ｃ
ｃ Ｄ！４ｉ＆装置の構成例を示す図、第３図は本発明
の一実施例のインタライン転送方式〇〇Ｄ撮像装置の構
成を示す図、第４図（ａ）〜（Ｃ）はその水平ＣｌＣＤ
シフトレジスタ部の具体的構造およびチャネル′ば立方
相を示す図、第５図は他の実癩例の水平Ｃ’ＣＤシフト
レジスタ部の構造を示す図、第６図（ａ）〜（Ｃ） ？
−ｊ：更に他の実施例の水平ＣＯＤシフトレジスタ部の
具体的構造およびチャネルｔｍ分布を示す図である。 ｐ、、ｐ２ ｔ・・・、ＰＭ・・・感光部、Ｃ１’ｐＣ
ｉ’ｒ・・・ＩｃＭ’・・・非直ＣＯＤシフトレジ、ツ
タ、１し１□・・・水平ＣＣＤシフトレジスタ、２．．
２゜・・・出力部、３・・・ゲート電極配線、４・・・
制御電極、５、．５ｇ、・・・チャネル部、６（６，Ｉ
Ｉ ＋ ６１２１６１３ ＋６１４＋ ６ｔ＊ａ ＋
６１４’ｏ ｒ ６２＋ ＋ ６２２＋ ６２３＋ ６
ｔ＜＋ ６２４ａ１６ｚ＋ｂ＋・・・） ・・・転送電
極、７１．７．・・・チャネル部、８・・・転送【１９
・・・ｐ型Ｓｉ基板、１ｏ、・Ｊ ０２・ ｎ”ｉｉ、
ｌｌ、１２−・・絶縁層、１３゜１４．１５・・・信号
電荷。 出願人代理人 弁理士 錦 江 武 彦第４図 第５図
ｃ Ｄ！４ｉ＆装置の構成例を示す図、第３図は本発明
の一実施例のインタライン転送方式〇〇Ｄ撮像装置の構
成を示す図、第４図（ａ）〜（Ｃ）はその水平ＣｌＣＤ
シフトレジスタ部の具体的構造およびチャネル′ば立方
相を示す図、第５図は他の実癩例の水平Ｃ’ＣＤシフト
レジスタ部の構造を示す図、第６図（ａ）〜（Ｃ） ？
−ｊ：更に他の実施例の水平ＣＯＤシフトレジスタ部の
具体的構造およびチャネルｔｍ分布を示す図である。 ｐ、、ｐ２ ｔ・・・、ＰＭ・・・感光部、Ｃ１’ｐＣ
ｉ’ｒ・・・ＩｃＭ’・・・非直ＣＯＤシフトレジ、ツ
タ、１し１□・・・水平ＣＣＤシフトレジスタ、２．．
２゜・・・出力部、３・・・ゲート電極配線、４・・・
制御電極、５、．５ｇ、・・・チャネル部、６（６，Ｉ
Ｉ ＋ ６１２１６１３ ＋６１４＋ ６ｔ＊ａ ＋
６１４’ｏ ｒ ６２＋ ＋ ６２２＋ ６２３＋ ６
ｔ＜＋ ６２４ａ１６ｚ＋ｂ＋・・・） ・・・転送電
極、７１．７．・・・チャネル部、８・・・転送【１９
・・・ｐ型Ｓｉ基板、１ｏ、・Ｊ ０２・ ｎ”ｉｉ、
ｌｌ、１２−・・絶縁層、１３゜１４．１５・・・信号
電荷。 出願人代理人 弁理士 錦 江 武 彦第４図 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１１半導体哉板に、二次元配列された感光部と、各感
光部配列にそれぞれ隣接して設けられ同感光部で光電変
換されて蓄積された信号電荷を３−＆出すｎ＝直ＣＣＤ
シフトレジスタタ１ｊと、この東面ＣＣＤ７ノトンジス
タタリにより転送された信号電荷を並列−１１夕１］変
換して、坑出す水平続出し手段とを集積して、調成され
る固体撮像装置において、前記水平、恍出し手段として
８ｄ１．ｉ２の少くとも２ダリの水子Ｃ’ＣＤソフトレ
ジスタを有し、前記継面ＣＯＤシフトレジスタ列からの
信号゛成句をこれら第１１．カ２の水平ＣＣＤ／フトレ
ジスタに父はに入力してｓｉ、ｉ２の水平ＣＣＤシフト
レジスタを並夕１１琳動してＩｒ、出すようにしたこと
を特徴とするｆ古１体・°１１屯１家・１点（け。 １２）前記第１ 、 ａ巳２の水平ＣＣＤシフトレジス
タは、各段の転送電極が共通であって両チャネル間に制
＠１電極が設けられ、かつ前記感光部配列から遠い方の
チャイル電位が近い方に比べて深く復電されている特許
請求の範囲第１項記載の固体撮像装置。 （３）前記第１、第２の水平ＣＣ’Ｄシフトレジスタは
、前記％直ＣＣＤソフトレジスタチャネルに接続する股
の転送電極をそれぞれ別個に設けて残りの転送゛亀陰は
共通とし、両チャネル間に制仰電極が設けられている特
許請求の範囲第１項記載の固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57227703A JPS59122180A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57227703A JPS59122180A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 固体撮像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59122180A true JPS59122180A (ja) | 1984-07-14 |
| JPH0560303B2 JPH0560303B2 (ja) | 1993-09-02 |
Family
ID=16865021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57227703A Granted JPS59122180A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59122180A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009519585A (ja) * | 2005-11-21 | 2009-05-14 | パウル・シェラー・インスティトゥート | 単一の光子計数用の読み出しチップ |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS504948A (ja) * | 1973-05-16 | 1975-01-20 | ||
| JPS5143632A (en) * | 1974-10-11 | 1976-04-14 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | 2 jigenjohoyomidashisochi |
| JPS57181274A (en) * | 1981-04-30 | 1982-11-08 | Sony Corp | Solid-state image pickup element |
| JPS58111491A (ja) * | 1981-12-25 | 1983-07-02 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 固体撮像装置 |
| JPS58119278A (ja) * | 1982-01-08 | 1983-07-15 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 固体撮像装置 |
| JPS5954383A (ja) * | 1982-09-22 | 1984-03-29 | Hitachi Ltd | 固体撮像装置の駆動方法 |
-
1982
- 1982-12-28 JP JP57227703A patent/JPS59122180A/ja active Granted
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS504948A (ja) * | 1973-05-16 | 1975-01-20 | ||
| JPS5143632A (en) * | 1974-10-11 | 1976-04-14 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | 2 jigenjohoyomidashisochi |
| JPS57181274A (en) * | 1981-04-30 | 1982-11-08 | Sony Corp | Solid-state image pickup element |
| JPS58111491A (ja) * | 1981-12-25 | 1983-07-02 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 固体撮像装置 |
| JPS58119278A (ja) * | 1982-01-08 | 1983-07-15 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 固体撮像装置 |
| JPS5954383A (ja) * | 1982-09-22 | 1984-03-29 | Hitachi Ltd | 固体撮像装置の駆動方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009519585A (ja) * | 2005-11-21 | 2009-05-14 | パウル・シェラー・インスティトゥート | 単一の光子計数用の読み出しチップ |
| US8039784B2 (en) | 2005-11-21 | 2011-10-18 | Paul Scherrer Institut | Readout chip with binary counter for fast single photon counting |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0560303B2 (ja) | 1993-09-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0522668A (ja) | 固体撮像装置 | |
| US6185270B1 (en) | Solid state imaging device and method for driving the same | |
| EP0869664B1 (en) | Method for driving a solid state image sensor | |
| JP2000201355A (ja) | 固体撮像装置およびその駆動方法並びにカメラシステム | |
| JPS59122180A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JP3008578B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
| JPH08307774A (ja) | カラーカメラ | |
| JP2504845B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
| JP3731732B2 (ja) | Ｃｃｄ撮像素子及びその駆動方法 | |
| JPS5838026B2 (ja) | 色彩信号発生装置 | |
| EP0520605A2 (en) | A solid-state imaging device and a method for driving same | |
| JP2658443B2 (ja) | 固体撮像装置の駆動方法 | |
| JPS6016155B2 (ja) | 色彩信号発生装置 | |
| JPS5834996B2 (ja) | カラ−コタイサツゾウソウチ | |
| JP2966740B2 (ja) | 固体撮像素子及びその駆動方法 | |
| JP2001186418A (ja) | 固体撮像装置およびその駆動方法並びにカメラシステム | |
| JP2000050289A (ja) | 固体撮像素子の駆動方法及びそれを用いたカメラ | |
| JPH0946716A (ja) | 固体撮像装置の駆動方法 | |
| JPS59128876A (ja) | 固体撮像装置 | |
| Abe et al. | 400 K pixel full frame reading out FIT-CCD color pick up system | |
| JPH0468879A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JPH1084506A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JPH0246075A (ja) | 電子シャッター | |
| JPS6118917B2 (ja) | ||
| JPH09271029A (ja) | 単板式カラーカメラおよび色信号の分離方法 |