JPS58114277A - パタ−ン検査装置 - Google Patents
パタ−ン検査装置Info
- Publication number
- JPS58114277A JPS58114277A JP56211204A JP21120481A JPS58114277A JP S58114277 A JPS58114277 A JP S58114277A JP 56211204 A JP56211204 A JP 56211204A JP 21120481 A JP21120481 A JP 21120481A JP S58114277 A JPS58114277 A JP S58114277A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- slice level
- pattern
- comparator
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
- G06V—IMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
- G06V10/00—Arrangements for image or video recognition or understanding
- G06V10/20—Image preprocessing
- G06V10/28—Quantising the image, e.g. histogram thresholding for discrimination between background and foreground patterns
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の技術分野
本発明はプリント板等のパターンの欠陥検査を行う装置
にかかり、特に２値化回路の最適スライスレベルを自動
的に決定する機能を有するツマターン検査装置に関する
。
にかかり、特に２値化回路の最適スライスレベルを自動
的に決定する機能を有するツマターン検査装置に関する
。
（２）技術の背景
近年、工場等では電子回路を形成するプリント板専用の
自動製造装置が用いられている。この自動製造装置には
当然ながら、プリント板を検査するプリント板パターン
検査装置が含まれている。
自動製造装置が用いられている。この自動製造装置には
当然ながら、プリント板を検査するプリント板パターン
検査装置が含まれている。
この装置はプリント板を製造した後にプリント板上に形
成され起プリントパターンのチェックを行う装置であり
、オーバエ°ツチングやレジスト不良等による配線のカ
ケ等の検出のために必要な装置である。
成され起プリントパターンのチェックを行う装置であり
、オーバエ°ツチングやレジスト不良等による配線のカ
ケ等の検出のために必要な装置である。
（３）従来技術と問題点
従来、前述のパターン検査装置には、レーザを用いてプ
リント板パターンを読み取り、２値化を行った後にたと
えばあらかじめ格納されているパターンデータと比較す
る方式がある。しかしながら、この方法はレーザの時間
的な出力低下や受光素子の感度低下さらには基板の反射
率の違い等があるため２値化するときのスライスレベル
を固定することができないという欠点を有していた。そ
のため、前述の方法では、最適なスライスレベルを決定
するため、校正時に計測したレーザパワーと検査時に計
測したレーザパワーとの比を求め、この比に従ってスラ
イスレベルを変更していた。
リント板パターンを読み取り、２値化を行った後にたと
えばあらかじめ格納されているパターンデータと比較す
る方式がある。しかしながら、この方法はレーザの時間
的な出力低下や受光素子の感度低下さらには基板の反射
率の違い等があるため２値化するときのスライスレベル
を固定することができないという欠点を有していた。そ
のため、前述の方法では、最適なスライスレベルを決定
するため、校正時に計測したレーザパワーと検査時に計
測したレーザパワーとの比を求め、この比に従ってスラ
イスレベルを変更していた。
しかしながら、前述の方法の装置はパワーをモニタする
ためのハーフミラ−や光を切り換えるためのシャッタ等
の光学的部品が必要となり、複雑で高価なものであった
。さらに、スライスレベルの変化マージンを知ることが
できず、最適なスライスレベルの範囲内であるか否か判
断することができなかった。
ためのハーフミラ−や光を切り換えるためのシャッタ等
の光学的部品が必要となり、複雑で高価なものであった
。さらに、スライスレベルの変化マージンを知ることが
できず、最適なスライスレベルの範囲内であるか否か判
断することができなかった。
（５）発明の目的
本発明の目的は、単純な構成でスライスレベルの変動マ
ージンが最も大きくなる最適スライスレベル値を自動的
に決定する機能の２．値化回路を有するパターン検査装
置を提供することにある。
ージンが最も大きくなる最適スライスレベル値を自動的
に決定する機能の２．値化回路を有するパターン検査装
置を提供することにある。
（５）発明の構成
本発明の特徴とするところはラスター走査によりパター
ンを電気信号に変換する手段と、前記電気信号を２値化
する２値化手段と、前記２値化手段によって得られたデ
ータを用いて前記パターンの欠陥を検出する検出手段よ
りなり、前記２値化手段は、パターン幅が既知である試
料をスライスレベルを変化させて２値化し、前記２値化
した値と実際のパターン幅とを比較照合し、最適スライ
スレベルを求める機能を有することにある。
ンを電気信号に変換する手段と、前記電気信号を２値化
する２値化手段と、前記２値化手段によって得られたデ
ータを用いて前記パターンの欠陥を検出する検出手段よ
りなり、前記２値化手段は、パターン幅が既知である試
料をスライスレベルを変化させて２値化し、前記２値化
した値と実際のパターン幅とを比較照合し、最適スライ
スレベルを求める機能を有することにある。
（６）発明の実施例
以下、本発明の実施例を用いて、詳細な説明を行う。
本発明の原理はパターン幅が既知の直線パターンをレー
ザビームの走査方向に直角に配置し、このパターンを読
み取るときに２値化回路のスライスレベルヲ高い値から
順に下げ、各スライスレベルにおいて２値化されたパタ
ーン信号をカウンタ等により計測し、この値が読み奉り
許容誤差の上限、下限をよぎるスライスレベルを求め、
それらの中心値を最適スライスレベルとするようにした
ものである。
ザビームの走査方向に直角に配置し、このパターンを読
み取るときに２値化回路のスライスレベルヲ高い値から
順に下げ、各スライスレベルにおいて２値化されたパタ
ーン信号をカウンタ等により計測し、この値が読み奉り
許容誤差の上限、下限をよぎるスライスレベルを求め、
それらの中心値を最適スライスレベルとするようにした
ものである。
図は本発明の実施例を示す。レーザ１より発したビーム
はハーフミラ−２を通過して回転ミラー３で反射されＸ
ＹステージＳｘＹ上にあるパターン幅が既知の校正用プ
リント板ＰＳ記照射される。
はハーフミラ−２を通過して回転ミラー３で反射されＸ
ＹステージＳｘＹ上にあるパターン幅が既知の校正用プ
リント板ＰＳ記照射される。
前記プリント板ＰＳに照射されたビームは反射され、回
転ミラー３．ハーフミラ−２°でそれぞれ反射して光検
知器４に入る。回転ミラー３は点Ａを中心に矢印Ｂの方
向に回転する。すなわちビームは校正用プリント板ＰＳ
上を矢印Ｃの方向に走査する。
転ミラー３．ハーフミラ−２°でそれぞれ反射して光検
知器４に入る。回転ミラー３は点Ａを中心に矢印Ｂの方
向に回転する。すなわちビームは校正用プリント板ＰＳ
上を矢印Ｃの方向に走査する。
光検知器４によって光が電気信号によって変換されその
出力は増幅回路５を介して２値化回路６に入る。２値化
回路６はコンパレータ７、水晶発振器８．アンド回路９
．パルスカウンタ１０．計算８１１１．デジタル−アナ
ログ変換回路１２よりなる。２値化回路６に入った信号
はコンパレータ７の第１の入力に入る。コンパレータ７
の第２の入力すなわち基準入力端にはデジタル−アナロ
グ変換回路の出力が入る。コンパレータ７の出力は２値
化パターンデータとしてパターン検出回路１３に入ると
共に、前記２値化回路６内のアンド回路９の第１の入力
に入る。また、アンド回路９の第２の入力には水晶発振
器８の出力が入る。アンド回路９の出力はパルスカウン
タ１０の入力に入り、その出力は計算機１１に入る。計
算機１１の出力はデジタル−アナログ変換回路１２のデ
ジタル入力にはいる。
出力は増幅回路５を介して２値化回路６に入る。２値化
回路６はコンパレータ７、水晶発振器８．アンド回路９
．パルスカウンタ１０．計算８１１１．デジタル−アナ
ログ変換回路１２よりなる。２値化回路６に入った信号
はコンパレータ７の第１の入力に入る。コンパレータ７
の第２の入力すなわち基準入力端にはデジタル−アナロ
グ変換回路の出力が入る。コンパレータ７の出力は２値
化パターンデータとしてパターン検出回路１３に入ると
共に、前記２値化回路６内のアンド回路９の第１の入力
に入る。また、アンド回路９の第２の入力には水晶発振
器８の出力が入る。アンド回路９の出力はパルスカウン
タ１０の入力に入り、その出力は計算機１１に入る。計
算機１１の出力はデジタル−アナログ変換回路１２のデ
ジタル入力にはいる。
プリントパターン検査を行う前にパターン信号を２値化
するためのスライスレベルを最適に設定する必要がある
。これを自動的に行うのが本発明の装置であり、まず試
料プリント板をセットするＸＹステージの端の検査領域
にパターン幅の既知の校正用プリント板を乗せ、このパ
ターンにレーザビームを走査させる。パターンの２値化
データの最適値を求めるため、まず計算＠１１より２値
化スライスレベルのイニシャル値を発生し、デジタル−
アナログ変換回路１２に入力する。デジタル−アナログ
礎換回路１２では前記デジタルデータをアナログ値に変
換して初期スライスレベルをコンパレータ７に出力する
。そして、前述の校正用プリント板ＰＳの反射光を光検
査器４で電気信号に変換し、増幅回路５で増幅してコン
パレータ７に入力する。コンパレータでは前述のスライ
スレベルをを基準として前記信号を２値化する。この２
値化パターンはアンド回路によって１の値に比例したパ
ターンの数となる。このときのクロックは水晶発振器８
の出力を用いている。このパルスの数はパルスカウンタ
ｌＯによって計数され計算機１１に格納される。さらに
計算機１１よりデジタルデータをプラス１ずつに順次前
記動作が繰り返される。その結果、計算機１１にはスラ
イスレベルを変化させたときの２値化パターンの１の値
に比例したデジタルの各値が格納される。計算機１１で
は前記データを用いて許容読み取り誤差範囲の上限、下
限をよぎるときのスライスレベルを求め、それらのスラ
イスレベルの中心値を最適スライスレベルとして、デジ
タル−アナログ変換１１２に出力する。
するためのスライスレベルを最適に設定する必要がある
。これを自動的に行うのが本発明の装置であり、まず試
料プリント板をセットするＸＹステージの端の検査領域
にパターン幅の既知の校正用プリント板を乗せ、このパ
ターンにレーザビームを走査させる。パターンの２値化
データの最適値を求めるため、まず計算＠１１より２値
化スライスレベルのイニシャル値を発生し、デジタル−
アナログ変換回路１２に入力する。デジタル−アナログ
礎換回路１２では前記デジタルデータをアナログ値に変
換して初期スライスレベルをコンパレータ７に出力する
。そして、前述の校正用プリント板ＰＳの反射光を光検
査器４で電気信号に変換し、増幅回路５で増幅してコン
パレータ７に入力する。コンパレータでは前述のスライ
スレベルをを基準として前記信号を２値化する。この２
値化パターンはアンド回路によって１の値に比例したパ
ターンの数となる。このときのクロックは水晶発振器８
の出力を用いている。このパルスの数はパルスカウンタ
ｌＯによって計数され計算機１１に格納される。さらに
計算機１１よりデジタルデータをプラス１ずつに順次前
記動作が繰り返される。その結果、計算機１１にはスラ
イスレベルを変化させたときの２値化パターンの１の値
に比例したデジタルの各値が格納される。計算機１１で
は前記データを用いて許容読み取り誤差範囲の上限、下
限をよぎるときのスライスレベルを求め、それらのスラ
イスレベルの中心値を最適スライスレベルとして、デジ
タル−アナログ変換１１２に出力する。
以上の動作により２値化回路６には最適なスライスレベ
ル値がセントされる。次に検査すべきプリント板ＰＳ上
を走査することにより、求めるべき２値化パターンが得
られ、その値はパターン検査回路に入り、パターンのカ
ケ等が検査される。
ル値がセントされる。次に検査すべきプリント板ＰＳ上
を走査することにより、求めるべき２値化パターンが得
られ、その値はパターン検査回路に入り、パターンのカ
ケ等が検査される。
以上の説明ではパターン読み取り−をレーザ走査によっ
ていたが、これはテレビカメラ等で行うことも可能であ
る。
ていたが、これはテレビカメラ等で行うことも可能であ
る。
（７）発明の効果
本発明によればスライスレベルマージンの最も大きな点
にスライスレベルを設定でき、誤検出の少ないパターン
検査装置を得ることが可能となる。
にスライスレベルを設定でき、誤検出の少ないパターン
検査装置を得ることが可能となる。
図面は本発明の実施例を示す回路構成である。
１・・・レーザ、２・・・ハーフミラ−１３・・・回転
ミラー、４・・・光検知器、６・・・２値化回路、７・
・・コンパレータ、８日・水晶発振器、９・・・アンド
回路、１ｏ・・・パルスカウンタ、１１・・・計算機、
１２・・・デジタル−アナログ変換回路、１３・・・パ
ターン検査回路。
ミラー、４・・・光検知器、６・・・２値化回路、７・
・・コンパレータ、８日・水晶発振器、９・・・アンド
回路、１ｏ・・・パルスカウンタ、１１・・・計算機、
１２・・・デジタル−アナログ変換回路、１３・・・パ
ターン検査回路。
Claims (1)
- ラスター走査によりパターンを電気信号番こ変換する手
段と、前記電気信号を２値化する２値化手段と、前記２
値化手段によって得られたデータを用いて前記パターン
の欠陥を検出する検出手段を有し、前記２値化手段は、
パターン幅が既知である試料をスライスレベルを変化さ
せて２値化し、前記２値化した値と実際のパターン幅と
を比較照合
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56211204A JPS58114277A (ja) | 1981-12-28 | 1981-12-28 | パタ−ン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56211204A JPS58114277A (ja) | 1981-12-28 | 1981-12-28 | パタ−ン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58114277A true JPS58114277A (ja) | 1983-07-07 |
Family
ID=16602074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56211204A Pending JPS58114277A (ja) | 1981-12-28 | 1981-12-28 | パタ−ン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58114277A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4959534A (ja) * | 1972-10-05 | 1974-06-10 | ||
| JPS522337A (en) * | 1975-06-24 | 1977-01-10 | Nec Corp | Slice level deciding equipment |
| JPS5259531A (en) * | 1975-11-12 | 1977-05-17 | Hitachi Ltd | Slice level switching system |
-
1981
- 1981-12-28 JP JP56211204A patent/JPS58114277A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4959534A (ja) * | 1972-10-05 | 1974-06-10 | ||
| JPS522337A (en) * | 1975-06-24 | 1977-01-10 | Nec Corp | Slice level deciding equipment |
| JPS5259531A (en) * | 1975-11-12 | 1977-05-17 | Hitachi Ltd | Slice level switching system |
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