JPS58114321A - 垂直磁気記録再生用薄膜磁気ヘツド - Google Patents
垂直磁気記録再生用薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS58114321A JPS58114321A JP21053081A JP21053081A JPS58114321A JP S58114321 A JPS58114321 A JP S58114321A JP 21053081 A JP21053081 A JP 21053081A JP 21053081 A JP21053081 A JP 21053081A JP S58114321 A JPS58114321 A JP S58114321A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- recording
- magnetic
- film
- magnetic pole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
４Ｍ）０発明の技術分野
本発明は胱出しに磁気抵抗効果素子を用いた垂直磁気記
鍮再生用薄膜磁気ヘッドに関する。
鍮再生用薄膜磁気ヘッドに関する。
偉）、技術の背景
垂゛直磁気記録用磁気ヘッドとして各徨磁気ヘッドが用
いられるに至ってｂる。そのうちのヘッドには磁性薄膜
だけを用い九構成の−−のもめるが、その膜厚に再生出
力が強く依存する特性があるため、高い記録ｖ１１度で
信号を記録しうるようにすると、そのような記−一度で
記録された信号は効率よく、高分解能で読取少得ないと
云われており、そのような不具合の解決が望まれている
。
いられるに至ってｂる。そのうちのヘッドには磁性薄膜
だけを用い九構成の−−のもめるが、その膜厚に再生出
力が強く依存する特性があるため、高い記録ｖ１１度で
信号を記録しうるようにすると、そのような記−一度で
記録された信号は効率よく、高分解能で読取少得ないと
云われており、そのような不具合の解決が望まれている
。
（３）、従来技術と問題点
垂直磁気記録再生用磁気ヘッドとして、第１図に示すよ
うな補助磁極励磁方式のものがめるが、このヘッドはイ
ンダクタンスが大自くなり高速の記録、再生に適さない
ばか）でなく、励磁を磁気配縁媒体の裏側から行う丸め
基板の厚いディスクに線適用し得碌いという欠点を有す
る。１８１図において１は主磁極、２は補助磁極、３は
書込み／読み出し用コイル、４は記録磁性層でめる。
うな補助磁極励磁方式のものがめるが、このヘッドはイ
ンダクタンスが大自くなり高速の記録、再生に適さない
ばか）でなく、励磁を磁気配縁媒体の裏側から行う丸め
基板の厚いディスクに線適用し得碌いという欠点を有す
る。１８１図において１は主磁極、２は補助磁極、３は
書込み／読み出し用コイル、４は記録磁性層でめる。
上述のような不具合を回避すべく、第２ｆｌＪに示すよ
うに主構＊５に＊−）ミック製基板６に設けられた磁性
薄膜とし、この薄膜にコイル７を巻付けて構成される磁
極により記録磁性層８を直接励磁して記録する主磁極励
磁方式の磁気ヘッドがＩｌ＠発されている・しかし、こ
れらの方式のいづれの再生出力対配録密ｆｌ＃性も第３
図に示す如く、主磁極の膜厚ＰＫ強く依存する特性を有
している。
うに主構＊５に＊−）ミック製基板６に設けられた磁性
薄膜とし、この薄膜にコイル７を巻付けて構成される磁
極により記録磁性層８を直接励磁して記録する主磁極励
磁方式の磁気ヘッドがＩｌ＠発されている・しかし、こ
れらの方式のいづれの再生出力対配録密ｆｌ＃性も第３
図に示す如く、主磁極の膜厚ＰＫ強く依存する特性を有
している。
即ち、記録磁性層８の磁化反転間隔をλとすると、おお
よそ Ｐ＃２鴨λ （ｓ＝１−２−・・・）・・・（１）を満
す記１１！ＩＩＩにおいて再生出力が得られないという
特性（第３！Ｉ参照）を有している。
よそ Ｐ＃２鴨λ （ｓ＝１−２−・・・）・・・（１）を満
す記１１！ＩＩＩにおいて再生出力が得られないという
特性（第３！Ｉ参照）を有している。
従って、記録密度特性を向上させんとして主磁極膜厚Ｐ
を薄くすると、記録再生効率が著しく低下しその分解能
も低下するという好ましからざる点が上述形式の磁気ヘ
ッドに解決されないま＼残っている。
を薄くすると、記録再生効率が著しく低下しその分解能
も低下するという好ましからざる点が上述形式の磁気ヘ
ッドに解決されないま＼残っている。
（４０発明の目的
本発明の目的は製造プロセスが簡単で、記録再生効率が
高く、しかも高再生分解能を有ることＩ／ｃある。
高く、しかも高再生分解能を有ることＩ／ｃある。
（５）１発明の構成
この目的は、非磁性支持体上に主薄膜磁極を設け、その
上に書込み用多巻薄膜コイルと。
上に書込み用多巻薄膜コイルと。
薄膜磁気抵抗効果素子と、上記コイルの中心部を介して
上記主薄膜磁極と磁気的に結合し、且つ、上記薄膜磁気
抵抗効果素子と４磁気的に結合する補助薄膜磁極とを絶
縁膜を介して積層して形成するととＫよって達成される
。
上記主薄膜磁極と磁気的に結合し、且つ、上記薄膜磁気
抵抗効果素子と４磁気的に結合する補助薄膜磁極とを絶
縁膜を介して積層して形成するととＫよって達成される
。
（６）１発明の実施例
以下添付図面を参照しながら本発明の一実施例を説明す
る。
る。
第４図は本発明の実施例を示す図でるる。
ｌＯは非磁性支持体（以下基板と称す）であり、１１は
基板１０の上に形成された主薄膜磁極でらる。１２は磁
極１１の下部及びこの磁極を超えた基板１０上部の間に
樹脂等の絶縁物（膜）１３でモールドされて磁極１１及
び基板ｌＯに添着された環状の多巻薄膜コイルで小る。
基板１０の上に形成された主薄膜磁極でらる。１２は磁
極１１の下部及びこの磁極を超えた基板１０上部の間に
樹脂等の絶縁物（膜）１３でモールドされて磁極１１及
び基板ｌＯに添着された環状の多巻薄膜コイルで小る。
そして、このコイル１２の環状中心１１１４に上記主薄
膜磁極に接合された磁気的結合用埋め込み磁極１５が設
けられている。
膜磁極に接合された磁気的結合用埋め込み磁極１５が設
けられている。
磁１１１５の突出平面１６を含んで平面１７を形成する
ように絶縁保−膜１８が設けられ、この保護膜（絶縁膜
）１８の下部面に主薄膜磁極ｌＯの変換ｒｆＪｌ ９
（第５図参照）と同一平面内に変換面２０があるように
して薄膜磁気抵抗効果素子２１が添設されている（第５
図参照）、また、絶縁膜１Ｂ及び索子２１との間に絶縁
１１２２（第５図参照）を挾んで補助薄膜磁極２３が形
成され、その上に絶縁保護膜（絶縁ＩＩＩ）２４が被着
されて成る積層構造に本発明ヘッドは構成されている。
ように絶縁保−膜１８が設けられ、この保護膜（絶縁膜
）１８の下部面に主薄膜磁極ｌＯの変換ｒｆＪｌ ９
（第５図参照）と同一平面内に変換面２０があるように
して薄膜磁気抵抗効果素子２１が添設されている（第５
図参照）、また、絶縁膜１Ｂ及び索子２１との間に絶縁
１１２２（第５図参照）を挾んで補助薄膜磁極２３が形
成され、その上に絶縁保護膜（絶縁ＩＩＩ）２４が被着
されて成る積層構造に本発明ヘッドは構成されている。
ＩＡ子２１自体の層構成、バイアス方式は任意でよい。
また２５．２６は書込みコイル用埋込み端子でＴｏ）、
２７は磁気抵抗効果素子用端子である。
２７は磁気抵抗効果素子用端子である。
この構造によれば、情報の垂直記録は主薄膜磁極１１の
後端縁で生ぜしめられ、またその読出しは磁気抵抗効果
素子２１で行われるから、記録ｖ！Ｉｊ度とは全く独立
に主薄膜磁極の膜厚を厚くすることが出来、これＫより
記録効率を向上させ４ることか出来る。１え、磁気抵抗
効果素子２１の再生出力が大きく、その再往効率も向上
する。この素子は元来、５０し、上記式１から判るよう
に５０００００１Ｐ Ｉ （Ｂｉｔ Ｐｅｒ Ｉｓｃム
）以上まで再生出来る分解能を有する。従って垂直記録
媒体の高密度記録特性を活かせる 上述した構造の本発明ヘッドの製造をｊＩｓ図参照の下
にａ明する。
後端縁で生ぜしめられ、またその読出しは磁気抵抗効果
素子２１で行われるから、記録ｖ！Ｉｊ度とは全く独立
に主薄膜磁極の膜厚を厚くすることが出来、これＫより
記録効率を向上させ４ることか出来る。１え、磁気抵抗
効果素子２１の再生出力が大きく、その再往効率も向上
する。この素子は元来、５０し、上記式１から判るよう
に５０００００１Ｐ Ｉ （Ｂｉｔ Ｐｅｒ Ｉｓｃム
）以上まで再生出来る分解能を有する。従って垂直記録
媒体の高密度記録特性を活かせる 上述した構造の本発明ヘッドの製造をｊＩｓ図参照の下
にａ明する。
先ず、セラミック、ガラス吟のスライダ材として適する
非磁性基板１０上にスパッタ、蒸着、メッキ等により１
薄ｊ［磁極１１となる磁性薄膜パターンを形成する。
非磁性基板１０上にスパッタ、蒸着、メッキ等により１
薄ｊ［磁極１１となる磁性薄膜パターンを形成する。
次いで、そのパターン管含む基板１０上に絶縁された書
込み用多巻薄膜コイル１２パターンを形成する。このコ
イル１２の各巻線間に感党性兼絶縁性樹１１１３を施与
し、コイル部以外の不要部分を除去し友後、これ含熱処
１１により焼き硬める。
込み用多巻薄膜コイル１２パターンを形成する。このコ
イル１２の各巻線間に感党性兼絶縁性樹１１１３を施与
し、コイル部以外の不要部分を除去し友後、これ含熱処
１１により焼き硬める。
然る後Ｋ、メッキ等により、コイル中心部１４及び書込
み用多巻薄膜コイル１２の端子１＄２５．２６にパーマ
ロイ等の導電性磁性薄膜を２０〜３０μ惰の厚さに盛り
上げる。
み用多巻薄膜コイル１２の端子１＄２５．２６にパーマ
ロイ等の導電性磁性薄膜を２０〜３０μ惰の厚さに盛り
上げる。
これらの工程で形成された各部上に８ｉ０２゜Ａｊ、０
３等の絶縁保護膜１８ｆニスバツタリング、イオンブレ
ーティング等によ＃）２０〜３０μ集の厚さだけ横着す
る。その基板表面部を平坦に研摩し、コイル中心１ｓ１
４の磁気的結合用埋込み磁極１５及び各端子部２５．２
６を露呈させる。
３等の絶縁保護膜１８ｆニスバツタリング、イオンブレ
ーティング等によ＃）２０〜３０μ集の厚さだけ横着す
る。その基板表面部を平坦に研摩し、コイル中心１ｓ１
４の磁気的結合用埋込み磁極１５及び各端子部２５．２
６を露呈させる。
このようにして平坦化された基板表面に薄膜磁気抵抗効
果素子２１パターン並びに書込み用端子パターン（図示
せず）及び再生用端子２７パターン（第５図参照）を形
成し、その上に８４０□、Ａｌ２Ｏｇ等の絶縁保護膜２
４を成膜する。
果素子２１パターン並びに書込み用端子パターン（図示
せず）及び再生用端子２７パターン（第５図参照）を形
成し、その上に８４０□、Ａｌ２Ｏｇ等の絶縁保護膜２
４を成膜する。
そして、基板表面の研摩に↓）端子パターンを露出させ
てクエハプロセスを完了させる。
てクエハプロセスを完了させる。
これに加えて、その基板を切断、ラップ仕上は等によシ
これをスライダ形状に加工すると共に、そのスロートハ
イドを所１’ｉ１６に仕上ける。
−（ｎ０発明の効果 以上の説明から明らかなように、本発＠によれば、主薄
膜磁極のｊＩ厚を記録密度に関係なく厚くし記録効率を
向上させ、その記−を膜厚の薄いｌｌ展磁気抵抗効果素
子にて読取るから再生効率が向上するばかりでなく再生
分解能も向上している。従って、従来のように記録密度
を向上させんとして主薄ａｍ極の膜厚管薄くした場合に
生じてしまう不具合は可及的に除去し得ることＫなった
。
これをスライダ形状に加工すると共に、そのスロートハ
イドを所１’ｉ１６に仕上ける。
−（ｎ０発明の効果 以上の説明から明らかなように、本発＠によれば、主薄
膜磁極のｊＩ厚を記録密度に関係なく厚くし記録効率を
向上させ、その記−を膜厚の薄いｌｌ展磁気抵抗効果素
子にて読取るから再生効率が向上するばかりでなく再生
分解能も向上している。従って、従来のように記録密度
を向上させんとして主薄ａｍ極の膜厚管薄くした場合に
生じてしまう不具合は可及的に除去し得ることＫなった
。
第１図及び８１２図は従来の垂直磁気記―再生用磁気ヘ
ッドの構成を示す１、第３図は第ｉｍｌ及び第２図ヘッ
ドの再生出カー配縁ｌＩ駄轡性―縮図、第４図及び第５
図はそれぞれ本発明ヘッドの一部切欠斜視図及び縦断面
図である。 図中、１０は非磁性支持体、１１は主薄膜磁極、１２は
書込み用多巻薄膜コイル、２１＃ｉ薄膜磁気抵抗効果素
子、２３は補助薄膜磁極、１８．２２．２４は絶縁膜で
ある。 特 許 出 願 人 富士通株式会社第１図 第２図 第４図 第５図
ッドの構成を示す１、第３図は第ｉｍｌ及び第２図ヘッ
ドの再生出カー配縁ｌＩ駄轡性―縮図、第４図及び第５
図はそれぞれ本発明ヘッドの一部切欠斜視図及び縦断面
図である。 図中、１０は非磁性支持体、１１は主薄膜磁極、１２は
書込み用多巻薄膜コイル、２１＃ｉ薄膜磁気抵抗効果素
子、２３は補助薄膜磁極、１８．２２．２４は絶縁膜で
ある。 特 許 出 願 人 富士通株式会社第１図 第２図 第４図 第５図
Claims (1)
- 磁気記録媒体に垂直磁気記録を行う主薄膜磁極を非磁性
支持体に設け、その上に書込み用多巻薄膜コイルと、薄
膜磁気抵抗効果素子と、上記書込与用多番薄膜コイルの
中心部を通って上記主薄膜磁極と磁気的に結合し且つ上
記薄膜磁気抵抗効果素子とも磁気的に結合する補助薄膜
磁極とを絶縁膜を介して積層して形成したことを特徴と
する重置磁気記録再生用薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21053081A JPS58114321A (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | 垂直磁気記録再生用薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21053081A JPS58114321A (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | 垂直磁気記録再生用薄膜磁気ヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58114321A true JPS58114321A (ja) | 1983-07-07 |
| JPH0313643B2 JPH0313643B2 (ja) | 1991-02-25 |
Family
ID=16590882
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21053081A Granted JPS58114321A (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | 垂直磁気記録再生用薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58114321A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6083213A (ja) * | 1983-10-14 | 1985-05-11 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
| JPS60177420A (ja) * | 1984-02-23 | 1985-09-11 | Nec Corp | 複合型薄膜磁気ヘツド及びその製造方法 |
| JPS61145718A (ja) * | 1984-12-19 | 1986-07-03 | Nec Corp | 複合薄膜磁気ヘツド |
| US5726839A (en) * | 1993-12-08 | 1998-03-10 | Fujitsu Limited | Magnetic head having bypass magnetic path and set magnetic reluctance relationship |
| US6407891B1 (en) | 1999-05-24 | 2002-06-18 | International Business Machines Corporation | Magnetic read/write head having electromagnetic field cancellation element |
-
1981
- 1981-12-26 JP JP21053081A patent/JPS58114321A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6083213A (ja) * | 1983-10-14 | 1985-05-11 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
| JPS60177420A (ja) * | 1984-02-23 | 1985-09-11 | Nec Corp | 複合型薄膜磁気ヘツド及びその製造方法 |
| JPS61145718A (ja) * | 1984-12-19 | 1986-07-03 | Nec Corp | 複合薄膜磁気ヘツド |
| US5726839A (en) * | 1993-12-08 | 1998-03-10 | Fujitsu Limited | Magnetic head having bypass magnetic path and set magnetic reluctance relationship |
| US6407891B1 (en) | 1999-05-24 | 2002-06-18 | International Business Machines Corporation | Magnetic read/write head having electromagnetic field cancellation element |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0313643B2 (ja) | 1991-02-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5703740A (en) | Toroidal thin film head | |
| JP2728487B2 (ja) | 録再分離複合型磁気ヘッド | |
| US4195323A (en) | Thin film magnetic recording heads | |
| EP0091812A1 (en) | A playback head for perpendicular magnetic recordings | |
| JPS6118249B2 (ja) | ||
| US4489484A (en) | Method of making thin film magnetic recording heads | |
| GB1453288A (en) | Record-replay magnetic transducers | |
| JP3394266B2 (ja) | 磁気書込／読取ヘッドの製造方法 | |
| JPS58114321A (ja) | 垂直磁気記録再生用薄膜磁気ヘツド | |
| JPH0196814A (ja) | 複合型薄膜磁気ヘッド | |
| JPS59195311A (ja) | 垂直磁気ヘツド | |
| JPS6035315A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPH0630130B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS6059517A (ja) | 垂直磁気記録用記録再生複合ヘッド | |
| JP2948182B2 (ja) | 録再分離複合型磁気ヘッド | |
| Kanai et al. | High track density thin-film tape heads | |
| JP2816150B2 (ja) | 複合型磁気ヘッド | |
| JPS63117308A (ja) | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド及びその製造方法 | |
| JPS5971124A (ja) | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド | |
| JPH0546943A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPS62164203A (ja) | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 | |
| JP3171183B2 (ja) | 録再分離複合型磁気ヘッド | |
| JPH1131311A (ja) | シールド型磁気抵抗効果薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH11328632A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS6132215A (ja) | 磁気抵抗効果型ヘツド |