JPS58125352U - 走査透過電子顕微鏡 - Google Patents

走査透過電子顕微鏡

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JPS58125352U
JPS58125352U JP2220582U JP2220582U JPS58125352U JP S58125352 U JPS58125352 U JP S58125352U JP 2220582 U JP2220582 U JP 2220582U JP 2220582 U JP2220582 U JP 2220582U JP S58125352 U JPS58125352 U JP S58125352U
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JP
Japan
Prior art keywords
magnetic pole
pole piece
objective lens
electron microscope
transmission electron
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JP2220582U
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JPS6314374Y2 (ja
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本田　敏和
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Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
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Publication date
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Granted legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は試料透過電子線の検出を説明するための図、第
２図は従来装置を示す略図、第３図は第、２図の装置を
説明するための略図、第４図は本考案の一実施例装置を
示す略図及び第５図は第４図の装置を説明するための略
図である。 １：試料、２：電子線、３：光軸、４：励磁コイル、５
：ヨーク、６：上磁極片、７：下磁極片、８：スペ　　
　　　″−サー、９：試料保持部材、１０：絞り保持部
材、１１：対物レンズ絞り、１２，１３：移動機構、１
４、ｉ５：偏向コイル、１６：電子線検出装置、１７：
シンチレータ−，１８：光電子増倍管、１９ニライトパ
イプ、２０：曲線、２１：レンズ主面、２２：上磁極片
、２３：下磁極片、２４：曲線、２６：スペーサー。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 対物レンズの上磁極片と下磁極片の間隙に試料ホルダー
    と対物レンズ絞りが挿入される装置において、前記上磁
    極片の穴径を下磁極片の穴径よりも小さくすると共に、
    前記対物リンズ絞りと下磁極片との間隙に対物レンズ光
    軸と垂直な方向から挿入される電子線検出手段を鰻けた
    ことを特徴とする走査透過電子顕微鏡。
JP2220582U 1982-02-19 1982-02-19 走査透過電子顕微鏡 Granted JPS58125352U (ja)

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JP2220582U JPS58125352U (ja) 1982-02-19 1982-02-19 走査透過電子顕微鏡

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JP2220582U JPS58125352U (ja) 1982-02-19 1982-02-19 走査透過電子顕微鏡

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JPS58125352U true JPS58125352U (ja) 1983-08-25
JPS6314374Y2 JPS6314374Y2 (ja) 1988-04-22

Family

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JPS6314374Y2 (ja) 1988-04-22

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