JPS5899763U - 電子顕微鏡 - Google Patents

電子顕微鏡

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JPS5899763U
JPS5899763U JP19807681U JP19807681U JPS5899763U JP S5899763 U JPS5899763 U JP S5899763U JP 19807681 U JP19807681 U JP 19807681U JP 19807681 U JP19807681 U JP 19807681U JP S5899763 U JPS5899763 U JP S5899763U
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JP
Japan
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magnetic pole
pole piece
electronic microscope
optical axis
hole
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JP19807681U
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JPS6328518Y2 (ja
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幹夫 成瀬
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Jeol Ltd
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Jeol Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示すための図、゛３゛第２
図はこの一実施例装置の対物レンズの光軸に）８う磁界
分布を説明するための図である。 １：電子銃、２．３：集束レンズ、４：偏向コイル、５
：対物レンズ、６：ヨーク、７：励磁コイル、３ａ。 ３ｂ、　８Ｃ：磁極片、９：光軸、１０：穴、１１ａ。 １１ｂ、１１ｃ：孔、１２，１３ニスペーサ−１１４：
中間レンズ、１５：投影レンズ、１６：螢光板、１７：
二次電子検出器。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 対物レンズの上磁極片と下磁極片との間に中間磁極片を
    設けると共に、該中間磁極片に試料を光軸に対して垂直
    な方向から挿入するための穴を設けたことを特徴とする
    電子顕微鏡。
JP19807681U 1981-12-26 1981-12-26 電子顕微鏡 Granted JPS5899763U (ja)

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JP19807681U JPS5899763U (ja) 1981-12-26 1981-12-26 電子顕微鏡

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JPS5899763U true JPS5899763U (ja) 1983-07-07
JPS6328518Y2 JPS6328518Y2 (ja) 1988-08-01

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ID=30111273

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4114983Y1 (ja) * 1965-12-20 1966-07-13
JPS4912508A (ja) * 1972-05-19 1974-02-04

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4114983Y1 (ja) * 1965-12-20 1966-07-13
JPS4912508A (ja) * 1972-05-19 1974-02-04

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JPS6328518Y2 (ja) 1988-08-01

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