JPS58176355U - 走査電子顕微鏡等の対物レンズ - Google Patents
走査電子顕微鏡等の対物レンズInfo
- Publication number
- JPS58176355U JPS58176355U JP7461082U JP7461082U JPS58176355U JP S58176355 U JPS58176355 U JP S58176355U JP 7461082 U JP7461082 U JP 7461082U JP 7461082 U JP7461082 U JP 7461082U JP S58176355 U JPS58176355 U JP S58176355U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic pole
- hole
- scanning electron
- objective lens
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図乃至第３図は本考案の一実施例を示す断面図であ
る。 １：試料室、２：試料ステージ、３：ホルダー、４：試
料、７：２次電子検出器、８：対物レンズ、１１：上磁
極、１２：下磁極、１４：２次電子検出器、１５：位置
合せガイド、１６：補助磁極片、１８：挿脱機構、１９
ａ、１９ｂ：枠体、２０：押し上げカム、２１：駆動棒
、２２ａ、２２ｂ：突起。
る。 １：試料室、２：試料ステージ、３：ホルダー、４：試
料、７：２次電子検出器、８：対物レンズ、１１：上磁
極、１２：下磁極、１４：２次電子検出器、１５：位置
合せガイド、１６：補助磁極片、１８：挿脱機構、１９
ａ、１９ｂ：枠体、２０：押し上げカム、２１：駆動棒
、２２ａ、２２ｂ：突起。
Claims (1)
- 試料室内に置かれたステージ上の試料に対向する対物レ
ンズ下磁極の穴の直径を試料又はそのホルダ一部が入る
程度に太き（なし、該下磁極の穴内に適合するような犬
きさをもち微小な穴が穿たれた補助磁極片を前記対物レ
ンズの下磁極の穴に挿脱可能となし、該補助磁極片を保
持し、前記磁極の穴内へ挿脱させ、且つ軸上位置から大
きくずらすための補助磁極片挿脱機構を備えてなる走査
電子顕微鏡等の対物レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7461082U JPS58176355U (ja) | 1982-05-21 | 1982-05-21 | 走査電子顕微鏡等の対物レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7461082U JPS58176355U (ja) | 1982-05-21 | 1982-05-21 | 走査電子顕微鏡等の対物レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58176355U true JPS58176355U (ja) | 1983-11-25 |
Family
ID=30084027
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7461082U Pending JPS58176355U (ja) | 1982-05-21 | 1982-05-21 | 走査電子顕微鏡等の対物レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58176355U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007119873A1 (ja) * | 2006-04-12 | 2007-10-25 | Hitachi High-Technologies Corporation | 走査型電子顕微鏡 |
| JP2009212010A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Nagaoka Univ Of Technology | 軟ｘ線発生装置及び該軟ｘ線発生装置を用いた除電装置 |
| JP2009238600A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Tohken Co Ltd | Ｘ線管用磁気シールド板 |
-
1982
- 1982-05-21 JP JP7461082U patent/JPS58176355U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007119873A1 (ja) * | 2006-04-12 | 2007-10-25 | Hitachi High-Technologies Corporation | 走査型電子顕微鏡 |
| JPWO2007119873A1 (ja) * | 2006-04-12 | 2009-08-27 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査型電子顕微鏡 |
| JP2009212010A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Nagaoka Univ Of Technology | 軟ｘ線発生装置及び該軟ｘ線発生装置を用いた除電装置 |
| JP2009238600A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Tohken Co Ltd | Ｘ線管用磁気シールド板 |
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