JPS5812831Y2 - ゲ−ト弁 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、隔壁に開口している通孔を開閉するためのケ
ート弁の改良に関する。

例えば−第１図に示すような真空処理装置は。

処理真空室１内でスパッタリング−エツチングなどの処
理を行なうものであるが、圧力差を小さくするために処
理真空室１０両側には中間真空室２Ａ、２Ｂが隣設され
ており、各室１，２Ａ。

２Ｂを密閉するためにゲート弁３，３・・・・・・が各
隔壁４に配設されている。

一方、各室１，２Ａ。２Ｂ内には被処理物を搬送するた
めのベルトコンベア５，５．５が配設されている。

ところが、ゲート弁３の弁体は比較的厚いため、ベルト
コンベア５の端部はゲート弁３を避けるために、各室１
゜２Ａ、２Ｂを区画している隔壁４，４かもかなりの距
離離間しなげればならない。

したがって、ベルトコンベア５により被処理物全他室に
搬送する際には、ベルトコンベア５の端部間にレール、
ローラ（図示せず）等を介装しなければならなかった。

本考案は、このような点に鑑み、前述したレール、ロー
ラ等を介装しなくとも被処理物を隔壁の一側から他側へ
搬送し得るようにしたゲート弁を提供することを目的と
してなされたもので、弁体ノ背部ニベルトコンベアのよ
うな搬送装置の端部を受容し得る受容部を形威し−この
受容部内に搬送装置の端部を受容して搬送装置を隔壁に
近接せしめるようにしたものである。

包丁１本考案を図面に示す実施例により説明する０ 第２図および第３図において、室６，７の隔壁４には通
孔８が開口しており、この通孔８を介して室６から室７
へ物品（図示せず）を搬送するようになっている。

そして、この通孔８を開閉するためのゲート弁３が配設
されており、このゲート弁３は隔壁４の一側の弁座９に
接離し得る板状の弁体１０を有している。

この弁体１０は図示しない駆動装置により第２図の実線
位置と想像線位置との間を移動し得るようになっており
、実線位置で通孔８を閉し、想像線位置で通孔８を開く
ものである。

なお、前記弁座９にはシール部材１１゜１１・・・・・
・が埋設されている。

一方、前記室７内には物品搬送用の一対のベルトコンベ
ア５，５が左右に間隔を隔てて配設されている。

これらのベルトコンベア５は、固定的なブラケツＮ２，
１２に軸受（図示せず）を介して回転自在に支持された
支軸１３にプーリ１４が取付けられ、このプーリ１４に
ベルト１５が巻回されたものであり１図示しない他端部
には駆動プーリが配設されている。

そして、これらのベルトコンベア５の一端部は、ゲート
弁３の弁体１０の背部に形成された受容部１６内に臨ん
でおり、したがって１通孔８と近接している。

前記受容部１６は、弁体１０の左右中央位置の上端に開
放されており、ここから下端部にまで延在し、よって。

ベルトコンベア５の端部は弁体１０の移動を制限しない
。

前述した横取によれば、ベルトコンベア５の端部が弁体
１０の受容部１６内に臨んでいるので。

この端部は通孔８に近接し、したがって、この通孔８を
介して室６から室７に物品を搬送する際に。

通孔８およびベルトコンベア５間にレール、ローラなど
を介装する必要はない。

なお１本考案のゲート弁は真空処理装置のみに限定され
るものではない。

以上訣明したように１本考案に係るゲート弁は一弁体の
背部に、搬送装置の端部を受容し得る受容部を形成した
ので、搬送装置を隔壁の通孔に近接せしめることができ
、物品を処理する際にレール。

ローラ等を必要としないという実用的な効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は一般的な真空処理装置を示す説明図。 第２図は本考案に係るゲート弁の実施例を示す縦断面図
、第３図は第２図の相当部分の横断面図である。 １．２Ａ、２Ｂ、６．７・・・室、３・・・ゲート弁。 ４・・・隔壁−５・・・ベルトコンベア、８・・・通孔
、１０・・・弁体、１５・・・ベルト−１６・・・受容
部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 隔壁の少なくとも一喉ｌに配設された搬送装置により隔
   壁の一側から他側へ物品を搬送するために隔壁に開口し
   ている通孔を開閉する弁体を有するものにおいて、前記
   弁体の背部に、前記搬送装置の端部を受容し得る受容部
   を形成したことを特徴とするゲート弁。