JPS58129337A - 半導体圧力測定器 - Google Patents
半導体圧力測定器Info
- Publication number
- JPS58129337A JPS58129337A JP1185882A JP1185882A JPS58129337A JP S58129337 A JPS58129337 A JP S58129337A JP 1185882 A JP1185882 A JP 1185882A JP 1185882 A JP1185882 A JP 1185882A JP S58129337 A JPS58129337 A JP S58129337A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- sensor
- processor
- reference pressure
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術公費〕
本発１１！は、圧力センナならびに回路系を含め九測定
システムの零点ドリフトを補正する半導体マノメーター
に関すパる。
システムの零点ドリフトを補正する半導体マノメーター
に関すパる。
半導体圧力センサは、分解能が高い、再現性が比較的阪
いなどの長所があるがｍ度ド９７Ｆの点で問題があり、
特に零点補償が変換精蜜を左右する。
いなどの長所があるがｍ度ド９７Ｆの点で問題があり、
特に零点補償が変換精蜜を左右する。
従来の構成例を第１図のブロック図で示す。１は半導体
圧力センナで、ダイヤフラ＾の片側は真空に封しられて
いる。２は補償回路、３は増幅回路、４は圧力の指示針
、５は測定圧力導入口である。
圧力センナで、ダイヤフラ＾の片側は真空に封しられて
いる。２は補償回路、３は増幅回路、４は圧力の指示針
、５は測定圧力導入口である。
一般に補償ためＫは前もってセンナの櫨寂特性はセンサ
の再現性と補償技術で決る。
の再現性と補償技術で決る。
このような、従来型の補償方法では、センナの温蜜特性
を前もって知る必要がＴｏり、そのために多くの労力を
必要とし、回路には高精蜜の部品が必要である０本質的
な欠点は、補償技術によって初期精蜜は極めて＾ｖｈ４
のができるが、センナ及び回路係の時間的ドリフＦはさ
けられないことである。
を前もって知る必要がＴｏり、そのために多くの労力を
必要とし、回路には高精蜜の部品が必要である０本質的
な欠点は、補償技術によって初期精蜜は極めて＾ｖｈ４
のができるが、センナ及び回路係の時間的ドリフＦはさ
けられないことである。
圧力測定では、圧力そのものが印加されつづけている場
合、基準圧又は零圧での出力を確めるすべはない、この
九め零圧又は基準圧での値が経時的にドリフトして精度
が悪化することかもりともきられれる。特にダイヤフラ
ム型の圧力上／すの片側を真ｇ！に封じ切抄、真空度を
測定するマノ丼−一では、使わない場合は大気圧が印加
されつづけているため、使う前に測定する側を樹じ切っ
た側と同じ真空に校正しないと精度が得られない。
合、基準圧又は零圧での出力を確めるすべはない、この
九め零圧又は基準圧での値が経時的にドリフトして精度
が悪化することかもりともきられれる。特にダイヤフラ
ム型の圧力上／すの片側を真ｇ！に封じ切抄、真空度を
測定するマノ丼−一では、使わない場合は大気圧が印加
されつづけているため、使う前に測定する側を樹じ切っ
た側と同じ真空に校正しないと精度が得られない。
本発明は、このような従来の欠点を解決する九めＫなさ
れ九もので、センサを含めたシステム全体の零点ドリフ
トを補正し、センナの分解能の極＠壇での安定性を出す
ことを目的とする。
れ九もので、センサを含めたシステム全体の零点ドリフ
トを補正し、センナの分解能の極＠壇での安定性を出す
ことを目的とする。
本発明では、測定圧力と基準圧力を自動的に切抄換え、
基準圧力測定時のデータ（誤差値）を記憶し測定圧カー
のデータから引き算を行うととＫよ抄センナを含め九シ
ステムのドリフトを職ヤ除くことＫＴｏｂ、圧力測定は
、大気圧を基準にし九王力ならびＫｇ空を基準にした絶
対圧力のいずれも測定できる。
基準圧力測定時のデータ（誤差値）を記憶し測定圧カー
のデータから引き算を行うととＫよ抄センナを含め九シ
ステムのドリフトを職ヤ除くことＫＴｏｂ、圧力測定は
、大気圧を基準にし九王力ならびＫｇ空を基準にした絶
対圧力のいずれも測定できる。
第２図及び第３図に本発明の実施例を示す、基準圧の用
い方には２通１１、第２図はセンナの測定圧力側に基準
圧と被測定圧を交互に印加する場合であ抄、センナの反
対側は大気ＫｖＩＡ放されている。第３図はセンナの反
対側くけ断えず基準圧が印加され、センナの測定圧側に
被Ｓ＋宇圧と基準圧を交互に印加する法で、＄に真空度
の測定に有効である。
い方には２通１１、第２図はセンナの測定圧力側に基準
圧と被測定圧を交互に印加する場合であ抄、センナの反
対側は大気ＫｖＩＡ放されている。第３図はセンナの反
対側くけ断えず基準圧が印加され、センナの測定圧側に
被Ｓ＋宇圧と基準圧を交互に印加する法で、＄に真空度
の測定に有効である。
まず第２図及び第３図で１１が圧力センナ、１２が測定
圧力導入口、１３が基準圧力配管、１４が基準圧力と測
定圧力を切換える丸めの電磁弁、１５がセンナへの圧力
配管で１６が基準圧発生器である。１７はセンナの出力
をＡ／Ｄ変換に必要なレベルまで増幅する増幅片路、１
８が入−り変換器、１９がデータの記憶・演算と電磁弁
のコントロールを行う処理器でちゃ％ ２０が演算後の
測定圧力を表示する丸めの表示器である。
圧力導入口、１３が基準圧力配管、１４が基準圧力と測
定圧力を切換える丸めの電磁弁、１５がセンナへの圧力
配管で１６が基準圧発生器である。１７はセンナの出力
をＡ／Ｄ変換に必要なレベルまで増幅する増幅片路、１
８が入−り変換器、１９がデータの記憶・演算と電磁弁
のコントロールを行う処理器でちゃ％ ２０が演算後の
測定圧力を表示する丸めの表示器である。
センナのダイヤフラムの一方側が、常に大気に開放され
ている４２図の例に対し第３図の例ではセンナの片側に
常に基準圧が印加されておＬ特Ｋ ４２２！１ｍ測定に
適している。ダイヤフラム形の圧力センナは、マクレオ
ードゲージやピラニゲージの如く、測定雰囲気中のガス
によって影響を受けないので、真空制御用には好適であ
る。第１図に示し九従来法では、センナの片側が真空に
対し切っであるため、測定しない場合はセ／すの測定圧
１１に１１１Ｋ大気圧が印加され、ダイヤフラムハ大キ
く九わんだ状態で放置されている。この未使用状態にお
けるダイヤフラムのたわみがセンナのクリープ特性を加
速し、ダイヤプラムが＃よとんど九わまない高真空賓の
測定精度を低下させる原因となっていえ、４２図（ｂ）
の例では、センナの未使用状態では両側ともに大気Ｋ１
１１放されているため、クリープ現象を生じない。真空
度測定する場合には、センナの片側に１１１に基準圧（
例えばロータリポンプによる真空排気）が加えられ、一
定時間経過後には、電磁弁１４１’Ｃよってセンサの被
測定圧側も真９！排気側に連通し、ドリフト分を回路で
記憶、出力信号から差引くようＫなりている。
ている４２図の例に対し第３図の例ではセンナの片側に
常に基準圧が印加されておＬ特Ｋ ４２２！１ｍ測定に
適している。ダイヤフラム形の圧力センナは、マクレオ
ードゲージやピラニゲージの如く、測定雰囲気中のガス
によって影響を受けないので、真空制御用には好適であ
る。第１図に示し九従来法では、センナの片側が真空に
対し切っであるため、測定しない場合はセ／すの測定圧
１１に１１１Ｋ大気圧が印加され、ダイヤフラムハ大キ
く九わんだ状態で放置されている。この未使用状態にお
けるダイヤフラムのたわみがセンナのクリープ特性を加
速し、ダイヤプラムが＃よとんど九わまない高真空賓の
測定精度を低下させる原因となっていえ、４２図（ｂ）
の例では、センナの未使用状態では両側ともに大気Ｋ１
１１放されているため、クリープ現象を生じない。真空
度測定する場合には、センナの片側に１１１に基準圧（
例えばロータリポンプによる真空排気）が加えられ、一
定時間経過後には、電磁弁１４１’Ｃよってセンサの被
測定圧側も真９！排気側に連通し、ドリフト分を回路で
記憶、出力信号から差引くようＫなりている。
以下にその動作を詳細く説明する。
まず電磁弁１４が１６の基準圧力側に接続している時の
センナのオフセット電圧をｅｌ ｅ増幅器１７のオフセ
ット電圧を６！、増幅率をＧとし％Ａ／Ｄ変換器１８の
オフセット電圧を６３とすると処理器１９が読み取る電
圧データは、 （ｅｌｌ ＋ ｅ２ ） Ｇ＋ ａ −・−
”ｉｌｌに切抄換えるよう信号を出す、切換後側定圧力
の値を処理器１９が読み込む、この時測定圧力によるセ
ンナの出力変化をｅとすると （ｅ ＋ Ｊ ＋ ６２ ） Ｇ＋ ６３ −１２
）が処理器１９のデータとなる。処理器１９は、この値
から先の基準圧力時データを引くようにプログラムされ
ている。この結果 （（ｅ ＋ｅ＋ ＋ｅ２） Ｇ＋ｅ３） −（（ｅｘ＋
ｅｚ）Ｇ＋ｅｓ）＝ｅｓＧ ・・・・・・・・・・・
（３）が真の測定圧力として得られる＊ ’１ｔＣ２＊
’３がどのような値をとっても出力には影響しない、実
際には、基準圧力のデータサンプリング（電磁弁を切り
夷えてドリフトを調べる間隔）は１周囲環境の状況に応
じて選べば艮い。
センナのオフセット電圧をｅｌ ｅ増幅器１７のオフセ
ット電圧を６！、増幅率をＧとし％Ａ／Ｄ変換器１８の
オフセット電圧を６３とすると処理器１９が読み取る電
圧データは、 （ｅｌｌ ＋ ｅ２ ） Ｇ＋ ａ −・−
”ｉｌｌに切抄換えるよう信号を出す、切換後側定圧力
の値を処理器１９が読み込む、この時測定圧力によるセ
ンナの出力変化をｅとすると （ｅ ＋ Ｊ ＋ ６２ ） Ｇ＋ ６３ −１２
）が処理器１９のデータとなる。処理器１９は、この値
から先の基準圧力時データを引くようにプログラムされ
ている。この結果 （（ｅ ＋ｅ＋ ＋ｅ２） Ｇ＋ｅ３） −（（ｅｘ＋
ｅｚ）Ｇ＋ｅｓ）＝ｅｓＧ ・・・・・・・・・・・
（３）が真の測定圧力として得られる＊ ’１ｔＣ２＊
’３がどのような値をとっても出力には影響しない、実
際には、基準圧力のデータサンプリング（電磁弁を切り
夷えてドリフトを調べる間隔）は１周囲環境の状況に応
じて選べば艮い。
なお差圧測定時には、基準圧力側と測廁圧力側に差圧を
加えれば良いことはいうまでもない。
加えれば良いことはいうまでもない。
以上詳述したように１本発明を用いることｋよって、従
来の真空計測技術の問題点でちった１Ｏ−３ｔａｒｔ値
の正確な測定が可能になった。従来、この真空域は水銀
マクレオードゲージあるいはピラニゲージで測定してい
九が、両者ともにガス分圧の影響を受は易く、水銀マク
レオードゲージでは１桁以上も実際の圧力と異る場合が
あっ九。これに対し本発明は、気体の圧力を直接感知す
る方式であるから、ガス成分で影響されることは全く無
い。
来の真空計測技術の問題点でちった１Ｏ−３ｔａｒｔ値
の正確な測定が可能になった。従来、この真空域は水銀
マクレオードゲージあるいはピラニゲージで測定してい
九が、両者ともにガス分圧の影響を受は易く、水銀マク
レオードゲージでは１桁以上も実際の圧力と異る場合が
あっ九。これに対し本発明は、気体の圧力を直接感知す
る方式であるから、ガス成分で影響されることは全く無
い。
４４、図面の簡単な説明
第１図は従来例を示す図、第２図及び第３図は本発明の
実権例を示す図である。
実権例を示す図である。
１１・・・圧力センサ、１２・・・測定圧力導入口、１
３・・・基準圧力配管、１４・・・電磁弁、１５・・・
圧力配管、１６・・・基準圧発生器、１７・・・増幅回
路、１Ｂ・・・λ／Ｄ変換器、１９・・・処理器、２０
・・・表示器。
３・・・基準圧力配管、１４・・・電磁弁、１５・・・
圧力配管、１６・・・基準圧発生器、１７・・・増幅回
路、１Ｂ・・・λ／Ｄ変換器、１９・・・処理器、２０
・・・表示器。
Claims (1)
- 半導体圧力センサとこれに印加せしめる丸めの基準圧力
又は真空を発生せしめるための装置と、核センサ泰らの
信号出力を増幅、Ａ／Ｄ変換および演算せしめるための
処理器とから構成され、一定時間毎に該演算器の指令に
従って、前記基準圧力（真空）を前記センサに印加せし
めて、全体の基準信号レベルのドリフトを除去すること
を特徴とすも半導体圧力測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1185882A JPS58129337A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 半導体圧力測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1185882A JPS58129337A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 半導体圧力測定器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58129337A true JPS58129337A (ja) | 1983-08-02 |
Family
ID=11789418
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1185882A Pending JPS58129337A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 半導体圧力測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58129337A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6311827A (ja) * | 1986-07-01 | 1988-01-19 | Kubota Ltd | 差圧計の零点補正装置 |
| JPH0776034A (ja) * | 1993-09-08 | 1995-03-20 | Nissei Plastics Ind Co | 射出成形機の圧力検出方法及び装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54151078A (en) * | 1978-05-19 | 1979-11-27 | Toshiba Corp | Automatic calibrating device of pressure |
| JPS574530A (en) * | 1980-06-11 | 1982-01-11 | Hitachi Ltd | Pressure detector |
-
1982
- 1982-01-29 JP JP1185882A patent/JPS58129337A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54151078A (en) * | 1978-05-19 | 1979-11-27 | Toshiba Corp | Automatic calibrating device of pressure |
| JPS574530A (en) * | 1980-06-11 | 1982-01-11 | Hitachi Ltd | Pressure detector |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6311827A (ja) * | 1986-07-01 | 1988-01-19 | Kubota Ltd | 差圧計の零点補正装置 |
| JPH0776034A (ja) * | 1993-09-08 | 1995-03-20 | Nissei Plastics Ind Co | 射出成形機の圧力検出方法及び装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR870010392A (ko) | 힘의 측정장치 | |
| JP6426371B2 (ja) | 投込式水位計の校正システム、その校正方法、および校正機能付き投込式水位計 | |
| JPS58129337A (ja) | 半導体圧力測定器 | |
| JPS6135497B2 (ja) | ||
| JP3166859B2 (ja) | 軽質のガスを用いたテストガス漏れ検査のための真空・漏れ検査装置 | |
| CN86108566A (zh) | 测定值的校正方法 | |
| RU2112946C1 (ru) | Способ контроля герметичности в атмосферных условиях систем крупногабаритных космических аппаратов, имеющих в своем составе ампулизированную систему | |
| JPH0222341B2 (ja) | ||
| SU1270586A1 (ru) | Устройство дл измерени давлени и температуры | |
| US3056299A (en) | Miniature mercury pressure gauge, particularly for measuring the bloodpressure | |
| JPS6311827A (ja) | 差圧計の零点補正装置 | |
| GB2169720A (en) | Detecting rate of change of signals | |
| JPS63151836A (ja) | 材料試験機の変位補正装置 | |
| JPS60257314A (ja) | 非直線性補正装置 | |
| JPS6025739B2 (ja) | 隔膜電極による微少酸素分圧差測定法 | |
| JPH04204133A (ja) | 基準真空計の校正装置 | |
| JPH0623676B2 (ja) | 吸着量測定装置 | |
| JPH0222666Y2 (ja) | ||
| JPS58117433A (ja) | 圧力測定装置 | |
| JPS59214725A (ja) | 蒸気圧温度計 | |
| JPS62200255A (ja) | ガス濃度測定装置 | |
| Benado et al. | Water activity calculation by direct measurement of vapor pressure | |
| JPH0749296A (ja) | ガス放出速度測定装置 | |
| SU569887A1 (ru) | Устройство дл измерени давлени | |
| JP3751958B2 (ja) | 洩れ検査装置の校正方法、洩れ検査装置 |