JPS58133637A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS58133637A JPS58133637A JP57015818A JP1581882A JPS58133637A JP S58133637 A JPS58133637 A JP S58133637A JP 57015818 A JP57015818 A JP 57015818A JP 1581882 A JP1581882 A JP 1581882A JP S58133637 A JPS58133637 A JP S58133637A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- permalloy
- medium
- recording medium
- magnetic recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は垂直記録方式に適した磁気記録媒体の製造方法
に関する。
に関する。
短波長記録特性の優れた磁気記録方式として、垂直記録
方式がある。この方式においては媒体の膜面に垂直方向
が磁化容易軸である垂直記録媒体が必要となる。このよ
うな媒体に信号を記録すると残留磁化は媒体の膜面に垂
直方向を向き、従りて信号が短波長になる程媒体内反磁
界は減少し、優れた再生出力が得られる。垂直記録媒体
は高分子材料あるいは非磁性金属等の非磁性材料から成
る基板上に、ＧｏとＣｒを主成分とし垂直方向に磁化容
易軸を有する磁性層（以下この磁性層をＣｏ −Ｃｒ垂
直磁化膜と呼ぶ）をスパッタリング法あるいは真空蒸着
法により形成したものである。しかし基板上に直接にＣ
ｏ−Ｃｒ垂直磁化膜を形成した垂直記録媒体（以下この
媒体を単層膜媒体と呼ぶ）は、信号を記録再生する際の
効率が低い。これを改善するために第１図に示すような
構造の媒体（以下この媒体を２層膜媒体と呼ぶ）が開発
されている。
方式がある。この方式においては媒体の膜面に垂直方向
が磁化容易軸である垂直記録媒体が必要となる。このよ
うな媒体に信号を記録すると残留磁化は媒体の膜面に垂
直方向を向き、従りて信号が短波長になる程媒体内反磁
界は減少し、優れた再生出力が得られる。垂直記録媒体
は高分子材料あるいは非磁性金属等の非磁性材料から成
る基板上に、ＧｏとＣｒを主成分とし垂直方向に磁化容
易軸を有する磁性層（以下この磁性層をＣｏ −Ｃｒ垂
直磁化膜と呼ぶ）をスパッタリング法あるいは真空蒸着
法により形成したものである。しかし基板上に直接にＣ
ｏ−Ｃｒ垂直磁化膜を形成した垂直記録媒体（以下この
媒体を単層膜媒体と呼ぶ）は、信号を記録再生する際の
効率が低い。これを改善するために第１図に示すような
構造の媒体（以下この媒体を２層膜媒体と呼ぶ）が開発
されている。
これは高分子材料あるいは非磁性金属等の非磁性材料か
ら成る基板１とＣｏ−０ｒ垂直磁化膜３との間に、膜面
内に磁化容易軸を有するパーマロイ薄膜より成る磁性層
２を設けたものである。ただしパーマロイとは Ｆｅ及
びＮｉを主成分とする合金の総称である。この様な構造
を有する２層膜媒体を用いれば、単層膜媒体に比べ記録
効率及び再生効率が改善され、特に第２図に示す様な補
助磁極励磁型垂直ヘッドにより信号を記録再生する際の
効率改善が顕著である。ただし第２図の４は強磁性薄膜
より成る主磁極、６は励磁巻線６の巻かれた強磁性コア
より成る補助磁極であり、両磁極で媒体をはさんでいる
。
ら成る基板１とＣｏ−０ｒ垂直磁化膜３との間に、膜面
内に磁化容易軸を有するパーマロイ薄膜より成る磁性層
２を設けたものである。ただしパーマロイとは Ｆｅ及
びＮｉを主成分とする合金の総称である。この様な構造
を有する２層膜媒体を用いれば、単層膜媒体に比べ記録
効率及び再生効率が改善され、特に第２図に示す様な補
助磁極励磁型垂直ヘッドにより信号を記録再生する際の
効率改善が顕著である。ただし第２図の４は強磁性薄膜
より成る主磁極、６は励磁巻線６の巻かれた強磁性コア
より成る補助磁極であり、両磁極で媒体をはさんでいる
。
Ｃｏ −Ｃｒ垂直磁化膜を得るためには稠密六方構造の
Ｃ軸を膜面に垂直方向に配向させることが必要であるが
、２層膜媒体の場合にはＣｏ −Ｃｒ膜のＣ軸配向性が
パーマロイ膜の配向性に影響される。
Ｃ軸を膜面に垂直方向に配向させることが必要であるが
、２層膜媒体の場合にはＣｏ −Ｃｒ膜のＣ軸配向性が
パーマロイ膜の配向性に影響される。
この原因としてはＣｏ−０ｒ膜形成時のエピタキシーの
効果が考えられ、パーマロイ膜上にＣ軸配向性の良いＣ
ｏ −Ｃｒ膜を得るためには、パーマロイの（１１１）
面が膜面に平行になるように結晶を成長させなければな
らない。
効果が考えられ、パーマロイ膜上にＣ軸配向性の良いＣ
ｏ −Ｃｒ膜を得るためには、パーマロイの（１１１）
面が膜面に平行になるように結晶を成長させなければな
らない。
本発明は真空蒸着法により・パーマロイ膜を移動しつつ
ある基板上に連続的に形成する際に（１’１１）面が膜
面に平行に配向し、かつ膜形成時の付着効率の良いパー
マロイ膜の製造方法を提供するものである。以下に図面
を用いて本発明を説明する。
ある基板上に連続的に形成する際に（１’１１）面が膜
面に平行に配向し、かつ膜形成時の付着効率の良いパー
マロイ膜の製造方法を提供するものである。以下に図面
を用いて本発明を説明する。
真空蒸着法により基板を円筒状キャンの周側面に沿って
移動させつつ、薄膜の形成を行なうとテ図に示すように
基板１は円筒状キャン７の周側面に石って矢印Ａの向き
に走行する。蒸発源１１と円筒状キャン７との間にはマ
スク１０が配置されており、蒸発原子はスリットＳを通
って基板１に付着する。８，９はそれぞれ基板１の供給
ロール及び巻取りロールである。ψ、は膜形成初期にお
ける蒸発原子の入射角（膜の法線方向と蒸発原子の基板
への平均の入射方向とのなす鋭角を入射角と呼ぶ）、ψ
２は膜形成後期における蒸発原子の入射角を示す。
移動させつつ、薄膜の形成を行なうとテ図に示すように
基板１は円筒状キャン７の周側面に石って矢印Ａの向き
に走行する。蒸発源１１と円筒状キャン７との間にはマ
スク１０が配置されており、蒸発原子はスリットＳを通
って基板１に付着する。８，９はそれぞれ基板１の供給
ロール及び巻取りロールである。ψ、は膜形成初期にお
ける蒸発原子の入射角（膜の法線方向と蒸発原子の基板
への平均の入射方向とのなす鋭角を入射角と呼ぶ）、ψ
２は膜形成後期における蒸発原子の入射角を示す。
第３図に示されるような真空蒸着装置によりパーマロイ
膜を形成する場合に、スリットＳの幅を狭くすることに
よりψ、及び句を小さくすると、（１１１）面の配向性
が良くなり、（１１１）面がより膜面に平行に配向する
ようになる。第４図はψ１＝ψ２；ψとした場合の、パ
ーマロイ蒸着膜のψと（１１１）面の配向性との関係を
示す図である。た禿し配向性は（’１１１）面に関する
ロッキングカーブの半値幅Δθ６゜で表現している。
膜を形成する場合に、スリットＳの幅を狭くすることに
よりψ、及び句を小さくすると、（１１１）面の配向性
が良くなり、（１１１）面がより膜面に平行に配向する
ようになる。第４図はψ１＝ψ２；ψとした場合の、パ
ーマロイ蒸着膜のψと（１１１）面の配向性との関係を
示す図である。た禿し配向性は（’１１１）面に関する
ロッキングカーブの半値幅Δθ６゜で表現している。
Δθ６゜Ｆｉ（１１１）面の配向の分散を表現している
と考えられ、この値が小さい程配向性が良い。
と考えられ、この値が小さい程配向性が良い。
第４図よりψが小さい程、すなわちスリット幅が狭い程
パーマロイ膜の配向性が良くなり、従って優れた特性を
有する２層膜媒体が得られる。しかしスリット幅を狭く
すると蒸発原子の付着効率ηが小さくなってしまう。た
だし、ηは で定義される。第６図にはψと付着効率ηとの関係を示
す。本発明はパーマロイ膜の（１１１）面の配向性を劣
化させずに付着効率ηを大きくするおいて検討した結果
について述べたが、ψ、よりも 々を大きくすることに
より、（１１１）面の配向性が良くかつ付着効率ηの大
きなノ（−マロイ膜が得られることが実験の結果間らか
になった。
パーマロイ膜の配向性が良くなり、従って優れた特性を
有する２層膜媒体が得られる。しかしスリット幅を狭く
すると蒸発原子の付着効率ηが小さくなってしまう。た
だし、ηは で定義される。第６図にはψと付着効率ηとの関係を示
す。本発明はパーマロイ膜の（１１１）面の配向性を劣
化させずに付着効率ηを大きくするおいて検討した結果
について述べたが、ψ、よりも 々を大きくすることに
より、（１１１）面の配向性が良くかつ付着効率ηの大
きなノ（−マロイ膜が得られることが実験の結果間らか
になった。
第６図は ψ、を１ｏ０一定として、ψ２を変化させた
場合のΔθ６゜及びηを示す。曲線１２．１３はそれぞ
れΔθ６゜とψ２との関係及びηとψ２との関係を示す
。この場合には第４図と異なり、へが３°〜３６９の範
囲で変化してもΔθ６゜は殆ど変わらない。一方々を大
きくする′とηは大きくなり、例えばψ３＝３０°に設
定するとηは０．６となる。以上に対しψ２・′を１０
°一定として、ψ。
場合のΔθ６゜及びηを示す。曲線１２．１３はそれぞ
れΔθ６゜とψ２との関係及びηとψ２との関係を示す
。この場合には第４図と異なり、へが３°〜３６９の範
囲で変化してもΔθ６゜は殆ど変わらない。一方々を大
きくする′とηは大きくなり、例えばψ３＝３０°に設
定するとηは０．６となる。以上に対しψ２・′を１０
°一定として、ψ。
を変化させた場合のΔθ５゜及びηを第７図に示す。
曲線１４．１５はそれぞれΔθ６゜とψ、との関係及び
ηとψ、との関係を示す。この場合Δθ６゜とψ、との
関係は第４図と同様に、ψ、を大きくするとΔθ６゜も
大きくなってしまうために、高い付着効率で（１１１）
配向の良いノく一マロイ膜を得ることは困難である。
ηとψ、との関係を示す。この場合Δθ６゜とψ、との
関係は第４図と同様に、ψ、を大きくするとΔθ６゜も
大きくなってしまうために、高い付着効率で（１１１）
配向の良いノく一マロイ膜を得ることは困難である。
本発明によると以上述べた様に ψ、をなるべく小さな
角度に設定しくただしψ、をどの程度まで大きくできる
かということは蒸、着装置や蒸着条件によって異る）、
ψ２をψ、よりも大なるように設定することにより、高
い付着効率で配向性の良いパーマロイ膜が得られ、この
パーマロイ膜上にα−Ｃｒ膜を形成することにより特性
の優れた２層膜が得られる。
角度に設定しくただしψ、をどの程度まで大きくできる
かということは蒸、着装置や蒸着条件によって異る）、
ψ２をψ、よりも大なるように設定することにより、高
い付着効率で配向性の良いパーマロイ膜が得られ、この
パーマロイ膜上にα−Ｃｒ膜を形成することにより特性
の優れた２層膜が得られる。
第１図は磁気記録媒体の一つである２層膜媒体を示す断
面図、第２図は補助磁極励磁型垂直ヘッドを用い上記２
層膜媒体に磁気記録を行う様子を示す図、第３図は真空
蒸着装置の内部構造を示す図、第４図は蒸発原子の入射
角とパーマロイ膜の（１１１）面の配向性との関係を示
す図、第５図は蒸発原子の入射角と付着効率との関係を
示す図、第６図、第７図はそれぞれ蒸発原子の入射角と
パーマロイ膜の（１１１）面の配向性及び付着効率との
関係を示す図である。 １・・・・・・基板１２・・・・・・′９−マロイ薄膜
１３・、、、、、、 Ｃｏ −Ｃｒ垂直磁化膜、７ ＠
＠１．６＠キャ７．１゜・・・・・・マスク１１１・・
・・・・蒸発源０代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏
男 ほか１名１１図 ｌ２Ｗ４ 第 ３ 図 第 ４ 図 ＬＰｃ度） 第５図 第７Ｍ４ 男（７［） 男（度）
面図、第２図は補助磁極励磁型垂直ヘッドを用い上記２
層膜媒体に磁気記録を行う様子を示す図、第３図は真空
蒸着装置の内部構造を示す図、第４図は蒸発原子の入射
角とパーマロイ膜の（１１１）面の配向性との関係を示
す図、第５図は蒸発原子の入射角と付着効率との関係を
示す図、第６図、第７図はそれぞれ蒸発原子の入射角と
パーマロイ膜の（１１１）面の配向性及び付着効率との
関係を示す図である。 １・・・・・・基板１２・・・・・・′９−マロイ薄膜
１３・、、、、、、 Ｃｏ −Ｃｒ垂直磁化膜、７ ＠
＠１．６＠キャ７．１゜・・・・・・マスク１１１・・
・・・・蒸発源０代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏
男 ほか１名１１図 ｌ２Ｗ４ 第 ３ 図 第 ４ 図 ＬＰｃ度） 第５図 第７Ｍ４ 男（７［） 男（度）
Claims (1)
- 基板上にパーマロイ薄膜が形成され、さらにその上に膜
面に垂直方向に磁化容易軸を有しＣｏとＣｒを主成分と
する磁性層が形成されてなる磁気記録媒体を製造するに
際して、上記パーマロイ薄膜を膜形成開始期における蒸
発原子の入射角が膜形成終期における入射角よりも小な
るようにして、
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57015818A JPS58133637A (ja) | 1982-02-02 | 1982-02-02 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57015818A JPS58133637A (ja) | 1982-02-02 | 1982-02-02 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58133637A true JPS58133637A (ja) | 1983-08-09 |
Family
ID=11899424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57015818A Pending JPS58133637A (ja) | 1982-02-02 | 1982-02-02 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58133637A (ja) |
-
1982
- 1982-02-02 JP JP57015818A patent/JPS58133637A/ja active Pending
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