JPH0135295B2 - - Google Patents
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- JPH0135295B2 JPH0135295B2 JP54033460A JP3346079A JPH0135295B2 JP H0135295 B2 JPH0135295 B2 JP H0135295B2 JP 54033460 A JP54033460 A JP 54033460A JP 3346079 A JP3346079 A JP 3346079A JP H0135295 B2 JPH0135295 B2 JP H0135295B2
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、工業製品等の物品のキズ等の欠陥を
検査する欠陥検査装置に関するものである。
検査する欠陥検査装置に関するものである。
従来、工業製品等の物品のキズ等の欠陥の検査
は、例えばベルトコンベヤ上を流れて来る工業製
品を、人間が目視により行つていた。従つて、斯
る従来の欠陥検査は、熟練を要し、自動的に製品
の検査を行なうには適さない等の、多くの欠点が
あつた。更に、人間の目視による検査は、その正
確さに於て問題があつた。
は、例えばベルトコンベヤ上を流れて来る工業製
品を、人間が目視により行つていた。従つて、斯
る従来の欠陥検査は、熟練を要し、自動的に製品
の検査を行なうには適さない等の、多くの欠点が
あつた。更に、人間の目視による検査は、その正
確さに於て問題があつた。
従つて、本発明の主目的は、上述した従来の欠
点を回避し、物品のキズ等の小さな欠陥の検査
を、正確且つ自動的に行ない得る欠陥装置を提供
せんとするものである。
点を回避し、物品のキズ等の小さな欠陥の検査
を、正確且つ自動的に行ない得る欠陥装置を提供
せんとするものである。
本発明による欠陥検査装置の特徴とするところ
は、テレビカメラを用いて被検査物体の欠陥を検
査する装置に於て、該装置は、上記テレビカメラ
よりの被検査物体に対応する画像信号より水平同
期信号及び不要部分のない画像信号を得る処理部
と出力部とを有し、且つ該処理部と出力部との間
に、上記処理部よりの画像信号を受け、その時間
的変化の度合が正の所定値以上の場合に信号を出
力する第１検出部と該第１検出部の出力信号を受
け上記被検査物体の検出されるべき欠陥の大きさ
に応じて定まる所定期間信号を発生する第１期間
設定部と該第１期間設定部よりの信号を受ける第
１メモリとより成る第１の直列回路と、上記処理
部よりの画像信号を受けその時間的変化の度合が
負の所定値以上の場合に信号を出力する第２検出
部と該第２検出部の出力信号を受け上記被検査物
体の検出されるべき欠陥の大きさに応じて定まる
所定期間信号を発生する第２期間設定部と該第２
期間設定部よりの信号を受ける第２メモリとより
成る第２の直列回路とを互に並列に有し、上記第
１の直列回路の第１メモリは、上記第２の直列回
路の第２検出部よりの出力信号をも受け、該出力
信号及び上記第１期間設定部よりの出力信号が共
に存在する時にのみ信号を出力し、上記第２の直
列回路の第２のメモリは、上記第１の直列回路の
第１検出部よりの出力信号をも受け、該出力信号
及び上記第２期間設定部よりの出力信号が共に存
在する時のみ信号を出力し、上記出力部は上記第
１及び第２メモリよりの信号を受け、両信号が共
に存在する時或はそれ等のいずれか一方の信号が
存在する時に欠陥検出信号を出力する一方、第１
及び第２メモリは夫々上記処理部よりの水平同期
信号によりクリアされるようになした点に在る。
は、テレビカメラを用いて被検査物体の欠陥を検
査する装置に於て、該装置は、上記テレビカメラ
よりの被検査物体に対応する画像信号より水平同
期信号及び不要部分のない画像信号を得る処理部
と出力部とを有し、且つ該処理部と出力部との間
に、上記処理部よりの画像信号を受け、その時間
的変化の度合が正の所定値以上の場合に信号を出
力する第１検出部と該第１検出部の出力信号を受
け上記被検査物体の検出されるべき欠陥の大きさ
に応じて定まる所定期間信号を発生する第１期間
設定部と該第１期間設定部よりの信号を受ける第
１メモリとより成る第１の直列回路と、上記処理
部よりの画像信号を受けその時間的変化の度合が
負の所定値以上の場合に信号を出力する第２検出
部と該第２検出部の出力信号を受け上記被検査物
体の検出されるべき欠陥の大きさに応じて定まる
所定期間信号を発生する第２期間設定部と該第２
期間設定部よりの信号を受ける第２メモリとより
成る第２の直列回路とを互に並列に有し、上記第
１の直列回路の第１メモリは、上記第２の直列回
路の第２検出部よりの出力信号をも受け、該出力
信号及び上記第１期間設定部よりの出力信号が共
に存在する時にのみ信号を出力し、上記第２の直
列回路の第２のメモリは、上記第１の直列回路の
第１検出部よりの出力信号をも受け、該出力信号
及び上記第２期間設定部よりの出力信号が共に存
在する時のみ信号を出力し、上記出力部は上記第
１及び第２メモリよりの信号を受け、両信号が共
に存在する時或はそれ等のいずれか一方の信号が
存在する時に欠陥検出信号を出力する一方、第１
及び第２メモリは夫々上記処理部よりの水平同期
信号によりクリアされるようになした点に在る。
以下、図面を参照して、上述した特徴を有する
本発明による欠陥検査装置の一例を説明する。
本発明による欠陥検査装置の一例を説明する。
第１図は、本発明による欠陥検査装置の一例の
系統的ブロツク線図である。同図に於て、符号１
は、工業製品等の被検査物体を示し、２はこの被
検査物体１を撮像し、その画像信号ｖを出力する
テレビカメラを示し、３はテレビカメラ２よりの
画像信号ｖを処理する物体検査装置を全体として
示し、４は物体検査装置３よりの画像信号v″を受
けて被検査物体１の画像を再生するビデオモニタ
である。
系統的ブロツク線図である。同図に於て、符号１
は、工業製品等の被検査物体を示し、２はこの被
検査物体１を撮像し、その画像信号ｖを出力する
テレビカメラを示し、３はテレビカメラ２よりの
画像信号ｖを処理する物体検査装置を全体として
示し、４は物体検査装置３よりの画像信号v″を受
けて被検査物体１の画像を再生するビデオモニタ
である。
扨て、本発明に於ては、物体検査装置３を、画
像信号ｖの処理部３１、第１検出部３２、第２検
出部３３、第１期間設定部３４、第２期間設定部
３５、第１メモリ３６、第２メモリ３７及び出力
部３８より構成する。
像信号ｖの処理部３１、第１検出部３２、第２検
出部３３、第１期間設定部３４、第２期間設定部
３５、第１メモリ３６、第２メモリ３７及び出力
部３８より構成する。
処理部３１は、テレビカメラ２よりの被検査物
体１に対応する画像信号ｖを受け、これを増巾
し、不用部分を削除する等の処理をして、画像信
号v′を作り、これを第１検出部２及び第２検出部
３３に夫々送る機能と、テレビカメラ２よりの画
像信号ｖを処理して、画像信号v″をビデオモニタ
４に送る機能と、テレビカメラ２よりの画像信号
ｖにより、例えば水平同期信号ｈを作り、この信
号ｈを第１メモリ３６及び第２メモリ３７に夫夫
供給する機能とを有する。
体１に対応する画像信号ｖを受け、これを増巾
し、不用部分を削除する等の処理をして、画像信
号v′を作り、これを第１検出部２及び第２検出部
３３に夫々送る機能と、テレビカメラ２よりの画
像信号ｖを処理して、画像信号v″をビデオモニタ
４に送る機能と、テレビカメラ２よりの画像信号
ｖにより、例えば水平同期信号ｈを作り、この信
号ｈを第１メモリ３６及び第２メモリ３７に夫夫
供給する機能とを有する。
第１検出部３２は、供給される画像信号v′の時
間的変化の度合が、例えば正の所定値以上の場合
に、信号ａを発生し、これを第１期間設定部３４
及び第２メモリ３７に送る。一方、第２検出部３
３は、供給される画像信号v′の時間的変化の度合
が、例えば負の所定値以上の場合に、信号ｂを発
生し、これを第２期間設定部３５及び第１メモリ
３６に供給する。第１期間設定部３４は、第１検
出部３２よりの信号ａを受け、所定期間、信号ｃ
を発生し、これを第１メモリ３６に供給する。
又、第２期間設定部３５は、第２検出部３３より
の信号ｂを受け、所定期間信号ｄを発生し、これ
を第２メモリ３７に供給する。第１メモリ３６
は、第１期間設定部３４よりの信号ｃがあり、且
つ第２検出部３３よりの信号ｂがある時、信号ｅ
を発生し、これを出力部３８に供給する。第２メ
モリ３７は、第２期間設定部３５よりの信号ｄが
あり、且つ第１検出部３２よりの信号ａがある
時、信号ｆを発生し、これを出力部３８に供給す
る。この出力部３８は、信号ｅもしくはｆを受け
た時、あるいは、両者のいずれかでも受けた時
に、欠陥検出信号ｇを出力する。尚、第１メモリ
３６及び第２メモリ３７は、いずれも処理部３１
よりの水平同期信号ｈによつてクリアされる。
間的変化の度合が、例えば正の所定値以上の場合
に、信号ａを発生し、これを第１期間設定部３４
及び第２メモリ３７に送る。一方、第２検出部３
３は、供給される画像信号v′の時間的変化の度合
が、例えば負の所定値以上の場合に、信号ｂを発
生し、これを第２期間設定部３５及び第１メモリ
３６に供給する。第１期間設定部３４は、第１検
出部３２よりの信号ａを受け、所定期間、信号ｃ
を発生し、これを第１メモリ３６に供給する。
又、第２期間設定部３５は、第２検出部３３より
の信号ｂを受け、所定期間信号ｄを発生し、これ
を第２メモリ３７に供給する。第１メモリ３６
は、第１期間設定部３４よりの信号ｃがあり、且
つ第２検出部３３よりの信号ｂがある時、信号ｅ
を発生し、これを出力部３８に供給する。第２メ
モリ３７は、第２期間設定部３５よりの信号ｄが
あり、且つ第１検出部３２よりの信号ａがある
時、信号ｆを発生し、これを出力部３８に供給す
る。この出力部３８は、信号ｅもしくはｆを受け
た時、あるいは、両者のいずれかでも受けた時
に、欠陥検出信号ｇを出力する。尚、第１メモリ
３６及び第２メモリ３７は、いずれも処理部３１
よりの水平同期信号ｈによつてクリアされる。
上述の如き構成の本発明による欠陥検査装置の
動作は、次の如くである。尚、本発明を、被検査
物体１が、例えば白色円板状のピンの中蓋で、こ
の中蓋内の黒点等の欠陥を検査する場合を例に挙
げて、説明する。
動作は、次の如くである。尚、本発明を、被検査
物体１が、例えば白色円板状のピンの中蓋で、こ
の中蓋内の黒点等の欠陥を検査する場合を例に挙
げて、説明する。
第２図は、黒点１′を有する被検査物体、例え
ばピンの中蓋１の背景を黒として、テレビカメラ
２でとらえた時の、ビデオモニタ４の再生画面の
正面図である。第２図の直線イ及びロに示すテレ
ビカメラ２の１水平走査線部分の画像信号は、例
えば、夫々第３図Ａ及び４図Ａのv1及びv2の如き
波形をとる。第１検出部３２は、例えば第３図Ａ
及び４図Ａの如き画像信号v1及びv2を受けると、
第３図Ｂ及び４図Ｂに示す如く、画像信号v1及び
v2の立上り時点で、パルス信号a1及びa2，a3を
夫々発生する。一方、第２検出部３３は、第３図
Ａ及び４図Ａの如き画像信号v1及びv2を受ける
と、第３図Ｃ及び４図Ｃに示す如く、画像信号v1
及びv2の立ち下り時点で、パルス信号b1及びb2，
b3を夫夫発生する。第１期間設定部３４は、第１
検出部３２よりの第３図Ｂ及び４図Ｂのパルス信
号a1及びa2，a3を受けて、第３図Ｄ及び４図Ｄに
示す如き、各パルス信号の立ち上りより立ち上
り、パルス巾t1なるパルス信号c1及びc2，c3を発
生する。又、第２期間設定３５は、第２検出部３
３よりの第３図Ｃ及び４図Ｃのパルス信号b1及び
b2，b3を受けて、第３図Ｅ及び４図Ｅに夫々示す
如き、各パルス信号の立ち上りより立ち上り、パ
ルス巾t2なるパルス信号d1及びd2，d3を発生す
る。この場合、各パルス信号c1，c2，c3，d1，d2
及びd3の期間又はパルス巾t1及びt2を検出したい
欠陥１′の大きさに応じ、適宜に設定しておく。
ばピンの中蓋１の背景を黒として、テレビカメラ
２でとらえた時の、ビデオモニタ４の再生画面の
正面図である。第２図の直線イ及びロに示すテレ
ビカメラ２の１水平走査線部分の画像信号は、例
えば、夫々第３図Ａ及び４図Ａのv1及びv2の如き
波形をとる。第１検出部３２は、例えば第３図Ａ
及び４図Ａの如き画像信号v1及びv2を受けると、
第３図Ｂ及び４図Ｂに示す如く、画像信号v1及び
v2の立上り時点で、パルス信号a1及びa2，a3を
夫々発生する。一方、第２検出部３３は、第３図
Ａ及び４図Ａの如き画像信号v1及びv2を受ける
と、第３図Ｃ及び４図Ｃに示す如く、画像信号v1
及びv2の立ち下り時点で、パルス信号b1及びb2，
b3を夫夫発生する。第１期間設定部３４は、第１
検出部３２よりの第３図Ｂ及び４図Ｂのパルス信
号a1及びa2，a3を受けて、第３図Ｄ及び４図Ｄに
示す如き、各パルス信号の立ち上りより立ち上
り、パルス巾t1なるパルス信号c1及びc2，c3を発
生する。又、第２期間設定３５は、第２検出部３
３よりの第３図Ｃ及び４図Ｃのパルス信号b1及び
b2，b3を受けて、第３図Ｅ及び４図Ｅに夫々示す
如き、各パルス信号の立ち上りより立ち上り、パ
ルス巾t2なるパルス信号d1及びd2，d3を発生す
る。この場合、各パルス信号c1，c2，c3，d1，d2
及びd3の期間又はパルス巾t1及びt2を検出したい
欠陥１′の大きさに応じ、適宜に設定しておく。
即ち、第２図の水平走査線部分イの場合、第３
図に示す如く、第１メモリ３６は、第１期間設定
部３４よりのパルス信号c1のある期間t1に、第２
検出部３３よりのパルス信号b1を受けることはな
く、又、第２メモリ３７は第２期間設定部３５よ
りの信号d1がある期間t2に、第１検出部３４の信
号a1を受けることはない。従つて、この第２図の
水平走査線部分イに相当する部分では、第１メモ
リ３６及び第２メモリ３７は、第３図Ｆ及びＧに
示す如く、信号ｅ及びｆを出力しない。一方、第
２図の水平走査線部分ロの場合、第４図に示す如
く、第１メモリ３６は、第１期間設定部３４より
の信号c2，c3のある期間t1に、第２検出部３３の
信号b1，b2を受けることはない。従つて、この第
２図の水平走査線部分ロに相当する部分では、第
１メモリ３６は、第４図Ｆの如く、出力ｅをだす
ことはないが、第２メモリ３７は、第２期間設定
部３５よりの信号d2のある期間t2に、第１検出部
３２よりのa3を受けるので、この場合、第２メモ
リ３７は、第４図Ｇの如く、パルス信号ｆを出力
する。従つて、上述の如く、出力部３８を、第２
メモリ３７よりの出力信号ｆを受けた時に、出力
信号ｇを出す如く設定しておけば、上述の如く、
第２メモリ３７が出力信号ｆを発生した時に、出
力部３８は、欠陥検出信号ｇを発生する。換言す
れば、被検査物体１に、欠陥１′がある時にのみ、
出力部３８は欠陥検出信号ｇを出力する。この出
力ｇを、例えばブザー又はランプの如き表示装置
５に供給して、欠陥を知らせればよい。なお、第
３図Ｉおよび第４図Ｉは、夫々水平同期信号ｈを
示す。
図に示す如く、第１メモリ３６は、第１期間設定
部３４よりのパルス信号c1のある期間t1に、第２
検出部３３よりのパルス信号b1を受けることはな
く、又、第２メモリ３７は第２期間設定部３５よ
りの信号d1がある期間t2に、第１検出部３４の信
号a1を受けることはない。従つて、この第２図の
水平走査線部分イに相当する部分では、第１メモ
リ３６及び第２メモリ３７は、第３図Ｆ及びＧに
示す如く、信号ｅ及びｆを出力しない。一方、第
２図の水平走査線部分ロの場合、第４図に示す如
く、第１メモリ３６は、第１期間設定部３４より
の信号c2，c3のある期間t1に、第２検出部３３の
信号b1，b2を受けることはない。従つて、この第
２図の水平走査線部分ロに相当する部分では、第
１メモリ３６は、第４図Ｆの如く、出力ｅをだす
ことはないが、第２メモリ３７は、第２期間設定
部３５よりの信号d2のある期間t2に、第１検出部
３２よりのa3を受けるので、この場合、第２メモ
リ３７は、第４図Ｇの如く、パルス信号ｆを出力
する。従つて、上述の如く、出力部３８を、第２
メモリ３７よりの出力信号ｆを受けた時に、出力
信号ｇを出す如く設定しておけば、上述の如く、
第２メモリ３７が出力信号ｆを発生した時に、出
力部３８は、欠陥検出信号ｇを発生する。換言す
れば、被検査物体１に、欠陥１′がある時にのみ、
出力部３８は欠陥検出信号ｇを出力する。この出
力ｇを、例えばブザー又はランプの如き表示装置
５に供給して、欠陥を知らせればよい。なお、第
３図Ｉおよび第４図Ｉは、夫々水平同期信号ｈを
示す。
上述の説明は、黒色の背景中に白地の被検査物
体があり、その白地中の黒点の如き欠陥を検出す
る場合であるが、これとは逆に、白色の背景中に
黒地の被検査物体があり、その黒地中の白点の如
き欠陥を検出する場合には、出力部３８が第１メ
モリ３６よりの出力信号ｅを受けた時、欠陥検出
信号ｇを発生する如くすればよい。
体があり、その白地中の黒点の如き欠陥を検出す
る場合であるが、これとは逆に、白色の背景中に
黒地の被検査物体があり、その黒地中の白点の如
き欠陥を検出する場合には、出力部３８が第１メ
モリ３６よりの出力信号ｅを受けた時、欠陥検出
信号ｇを発生する如くすればよい。
尚、被検査物体の色、背景の色、欠陥の色等が
上述の白又は黒と異る場合でも、夫々をテレビカ
メラで撮影すれば、白又は黒に対応するレベルの
画像信号が得られるので、これ等の場合にも、本
発明を適用し得ることは、明らかであろう。
上述の白又は黒と異る場合でも、夫々をテレビカ
メラで撮影すれば、白又は黒に対応するレベルの
画像信号が得られるので、これ等の場合にも、本
発明を適用し得ることは、明らかであろう。
上述の如く、本発明によれば、被検査物体の欠
陥を、確実且つ自動的に検査し得て、当該分野に
於て果す利益は大きい。
陥を、確実且つ自動的に検査し得て、当該分野に
於て果す利益は大きい。
第１図は本発明の一例の系統的ブロツク線図、
第２図はビデオモニタの画面の正面図、第３図Ａ
乃至及び第４図Ａ乃至は第１図の例の動作の
説明に供する波形図である。 図に於て、１は被検査物体、２はテレビカメ
ラ、３は物体検査装置、４はビデオモニタ、３１
は処理部、３２及び３３は第１及び第２検出部、
３４及び３５は第１及び第２期間設定部、３６及
び３７は第１及び第２メモリ、３８は出力部を
夫々示す。
第２図はビデオモニタの画面の正面図、第３図Ａ
乃至及び第４図Ａ乃至は第１図の例の動作の
説明に供する波形図である。 図に於て、１は被検査物体、２はテレビカメ
ラ、３は物体検査装置、４はビデオモニタ、３１
は処理部、３２及び３３は第１及び第２検出部、
３４及び３５は第１及び第２期間設定部、３６及
び３７は第１及び第２メモリ、３８は出力部を
夫々示す。
Claims (1)
- １ テレビカメラを用いて被検査物体の欠陥を検
査する装置に於て、該装置は、上記テレビカメラ
より被検査物体に対応する画像信号つり水平同期
信号及び不要部分のない画像信号を得る処理部と
出力部とを有し、且つ該処理部と出力部との間
に、上記処理部より画像信号を受け、その時記的
変化の度合が正の所定値以上の場合に信号を出力
する第１検出部と該第１検出部の出力信号を受け
上記被検査物体の検出されるべき欠陥の大きさに
応じて定まる所定期間信号を発生する第１期間設
定部と該第１期間設定部よりの信号を受ける第１
メモリより成る第１の直列回路と、上記処理部よ
りの画像信号を受けその時間的変化の度合が負の
所定値以上の場合に信号を出力する第２検出部と
該第２検出部の出力信号を受け上記被検査物体の
検出されるべき欠陥の大きさに応じて定まる所定
期間信号を発生する第２期間設定部と該第２期間
設定部よりの信号を受ける第２メモリとより成る
第２の直列回路とを互に並列に有し、上記第１の
直列回路の第１メモリは、上記第２の直列回路の
第２検出部よりの出力信号をも受け、該出力信号
及び上記第１期間設定部よりの出力信号が共に存
在する時にのみ信号を出力し、上記第２の直列回
路の第２メモリは、上記第１の直列回路の第１検
出部よりの出力信号をも受け、該出力信号及び上
記第２期間設定部よりの出力信号が共に存在する
時のみ信号を出力し、上記出力部は上記第１及び
第２メモリよりの信号を受け、両信号が共に存在
する時或はそれ等のいずれか一方の信号が存在す
る時に欠陥検出信号を出力する一方、上記第１及
び第２メモリは夫々上記処理部よりの水平同期信
号によりクリアされることを特徴とする欠陥検査
装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3346079A JPS55125439A (en) | 1979-03-22 | 1979-03-22 | Defect inspection device |
| FR8006170A FR2452100A1 (fr) | 1979-03-22 | 1980-03-19 | Appareil pour le controle de defauts sur un objet |
| CA348,135A CA1126857A (en) | 1979-03-22 | 1980-03-21 | Defect inspection apparatus |
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