JPS5814841A - 電子写真用感光体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、電子写真用感光体の製造方法に関する。

従来電子写真用感光体は、アルミニウム、銅。

ニッケルなどの導電性支持体上に、セレンを主成分とす
る感光体層を真空蒸着法などにより被着するととにより
製造されてきた。ところがこのようにして製造された感
光体表面は、完全には平滑ではなく凹凸ならびに突起が
発生するという欠点がある。

感光体表面に突起か生ずると、感光体表面の帯電時に帯
電ムラが生じたり、あるいは現像時にトナーの付着ムラ
が生じたりするため、斑点のあるコピー画像が形成され
ることになる。

まだ、ブレードを用いて感光体表面をクリーニングする
場合には、支持体ドラム表面に被着された感光体表面の
突起により、ブレードが徐々に削られ、この削られた箇
所のクリーニング性能が著しく低下する。そして最終的
には、クリーニング不良を起こし、コピー画像中に、い
わゆる黒すじが多発するようにな乙。

このように、感光体表面に突起が生ずると鮮明なコピー
画像を得ることがで微なくなるが、これらの突起は、主
として感光体層を導電体表面に真空蒸着する際に形成さ
れる。

また、感光体表面における突起発生の７つの原因として
は、支持体ドラム表面の凹凸あるいは前記表面への塵芥
の付着などが考えられ、これらを回避するため、支持体
ドラム表面に、パークレン洗浄、イヒ学エツチング、水
洗あるいはパフ研磨、電解研磨、タイヤびきなどの各種
の研磨を施すことが提案されている。

まだ、感光体表面における突起発生の他の原因としては
、感光体層を支持体ドラム上に蒸着する際に起こる蒸着
源中のセレン系材料の突沸現象が挙げられており、この
ような突沸を防止するため、いくつかの対策が施されて
いる。

さらに感光体表面の突起形成を防止するため、真空蒸着
時の蒸着源温度、支持体湯度を調節したり、蒸着後に表
面に形成された突起を削り取るなどの対策がとられて六
た。

しかしながら、感光体表面における突起の生成を防止す
るための前記対策を施しても、完全には突起の形成を防
止することはで傘ない。

本発明者は、このような感光体表面における突起の形成
される原因をさらに検討［７た結果、アルミニウム支持
体表面は感光体層を被着する前に空気中に放置されてい
るため自然に酸化されて薄いアルマイト系自然酸化物皮
膜を生じてい乙が、この自然酸化物皮膜は必ずしも均一
には形成されておらず、このためアルミニウム支持体上
に感光体層を被着すると必然的に突起か形成されること
を見出した。そして本発明者はさらに研究した結果、ア
ルミニウム支持体表面に形成ばれている自然酸化物皮膜
を除去した後に、前記支持体を、比抵抗がｉｏ　６Ω・
ｍ以上でかつ温度が６０℃以上の水中に浸漬して新たに
ベーマイト系酸化物皮膜を前記支持体表面上に形成させ
ると、均一なアルミニウム支持体表面が得られることを
見出して本発明を完成式せた。

すなわち、本発明による電、子写真用感光体の製造方法
は、アルミニウム支持体表面をアルカリエツチングなど
により処理してアルマイト系自然酸化物皮膜を除去した
後に、比抵抗がｌＯ６Ω・（１）以上でありかつ温度７
：Ｊ１６０℃以上である水中に、所定時間以上、好まし
くは少なくとも２０秒以上浸漬することにより、前記支
持体上に均一なベーマイト系酸化物皮膜を形成させる工
程を含むことを特徴としている。

アルミニウム支持体表面は、感光体層の被着前に空気中
に放置されているため、アルマイト系自然酸化物皮膜が
形成されているが、このアルマイト系自然酸化物皮膜は
、アルカリエツチング、酸エツチングなどの化学エツチ
ング法、表面研磨などの機械的エツチング法あるいはス
パッタリング法、プラズマエツチング法などにより除去
することがで六る。

アルマイト系自然酸化物皮膜をアルカリエツチングなど
により除去した後に、直ちに、比抵抗が１０６Ω・−で
あり、かつ温度が３０℃以上好ましくは７０℃以上であ
る水中に所定時間アルミニウム支持体を浸漬してベーマ
イト系、酸化物皮膜を形成させる。アル、Ｓ　ニウム支
持体の浸漬時間は、純水の水温に応じて変化し、たとえ
ば６０℃の場合にはｔ分身上であり、ざ０℃の場合には
約１分である。アルミニウム支持体の浸漬時間と前記支
持体が浸漬される水の水温との関係を図に示す。ベーマ
イト系酸化物皮膜の形成される領域を斜線で示す。この
ようにして形成されふベーマイト系、酸化物皮膜の膜厚
は、通常０．１−　／μ程度である。ベーマイト系酸化
物皮膜は、次式（Ｔ）Ｋより形成されるであろうと考え
られる。

：ｌ　Ａｌ　＋　ｕＨ２０−ｅコム１．０・ＯＨ＋　３
Ｈ，”・（Ｔ）比抵抗が１Ｏ６ｃｒｎ・Ω以下の水を用
いた場合には、水中に１ｅ、２＋、Ｍｇ１．０α１など
の金属イオンが比較的多量に含まれており、このためア
ルミニウム金属表面にこれら金属イオンが付着し、上式
（１）に従う水利反応が阻害され、その結果ベーマイト
系酸化物皮膜の生成が不充分となるため好まＬ〈ない。

以下本発明を実施例により説明するが１本発明はこれら
の実施例に限定されるものではない。

実施例１ １ＯＯφＸφ００ｗ５、肉厚！、Ｏｙｍのアルきニウム
支持体ドラム上に、以下の手順に従って電子写真用感光
体を被着させる。

／）アルミニウム支持体表面を研磨した。

コ）前記支持体表面を、１００−　／コＯ℃に加熱した
パークレンで二分間洗浄した。

３）前記支持体表面を、それぞれ１分間コ度にわたって
水洗した。

リ　前記支持体表面を、アルカリエッチしてアルマイト
系自然酸化物皮膜を除去した。

Ｓ）アルマイト系自然酸化物皮膜を除去後、直ちに、比
抵抗が３．０　Ｘ　１０６Ω・副であり、かつ７３”Ｃ
±３℃に加熱保温したイオン交換水中に前記支持体を７
分間浸漬した。

６）前記支持体を温風により乾燥後、真空蒸着装置内に
セットし、ｔｘｔｏ−５１°ｏｒｒに排気した。

？）前記支持体を２００℃に保ち、ムａ、Ｂｅ、を入れ
たタンタルボート蒸着源をφｏｏ”ｃまで昇温させた。

前記支持体を回転させながら、諏分間ムａ、８ｅ、を蒸
着させた。

このようにして得られた感光体表面を光学顕微鏡で観察
したところ、ＳＯ２以上の突起は全体で５個以下であっ
た。

実施例２ １００φＸψ００１ＩｌＫ、肉厚３．０ｍｍのアルミニ
ウム支持体ドラム上に、以下の手順に従って電子写真用
感光体を被着させた。

ｌ）アルミニウム支持体表面を研磨した。

ユ）前記支持体表面を、１００−１２０　’ＣＶｒ−加
熱したパークレンで２分間洗浄した。

３）前記支持体を、５重量％のリン酸ナトリウム水溶液
中［７分間浸漬して酸化物皮膜を除去した。

参）前記支持体を、それぞれ１分間コ度にわたって水洗
した。

Ｓ）前記支持体を、１０重量％の硝酸溶液中にχ秒間浸
漬して、アルマイト系酸化物皮膜をさらに除去した。

６）前記支持体を、それぞれ１分間コｌ’ｌ［Ｋわたっ
て水洗した。

７）前記支持体を、比抵抗が３．０　Ｘ　１０６Ω・−
でかつ温度がｔ３℃±３℃に加熱保温したイオン交換水
中にＳ分間浸漬【７た。

ｔ）前記支持体を温風により乾燥後、真空蒸着装置内に
セットし、＃　Ｘ　１Ｏ−５ＴＯｒｒ　Ｋ排気した。

リ　前記支持体をｉｔｓ℃に保ち、Ａｓ、Ｂｅ、を入れ
たタンタルボート蒸着源をμｔｏ′ｃｉで昇温ζせた。

前記支持体を（ロ）転させながら、３０分分間へＳθ、
を前記支持体表面に蒸着させた。

このようにして得られた感光体表面を光学顕微鏡で観察
したところ、ＳＯ２以上の突起は認められなかった。

比較例 上記実施例ノの手続りおよびＳ）を行なわなかった以外
は、すべて実施例１と同様にして電子写真用感光体を製
造した。

得られた感光体表面を実施例１と同様にして観察したと
ころ、５０μ以上の突起が少なくとも、ｑｏ個以上認め
られた。

【図面の簡単な説明】

図は、水温とアルミニウム支持体浸漬時間との関係を示
すものである。 出願人代理人　　　猪　股　　　　清

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. アルミニウム支持体上に感光体層を設けて電子写真用感
   光体を製造するに際し、前記アルミニウム支持体表面上
   の自然酸化物皮膜を除去し、次いで前記支持体を、比抵
   抗ｌｏ６Ω・釧以上でかつ温度が６０℃以上である水中
   に浸ｉｔツせる工程を含むことを％徴とする電子写真用
   感光体の製造方法。