JPS5817018A - ウエハ移送装置 - Google Patents
ウエハ移送装置Info
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- JPS5817018A JPS5817018A JP56110001A JP11000181A JPS5817018A JP S5817018 A JPS5817018 A JP S5817018A JP 56110001 A JP56110001 A JP 56110001A JP 11000181 A JP11000181 A JP 11000181A JP S5817018 A JPS5817018 A JP S5817018A
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- track
- vehicle
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- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
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- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
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- B65G54/02—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for electrostatic, electric, or magnetic
-
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体集積回路製造ラインＯ自動化に必ｌ！な
製造装置間のウェハ移送を自動的に行う装置Ｋ１ｍする
ものて、さらに詳しくいえば、半導体ウェハを収納する
カセットを積載する走行車と、こＯ走行車が走行する軌
道とを構成要素に含むウェハ移送装置に関す為％Ｏであ
る・ 最近、半導体集積開路製造装置Ｏ自動化は著しく進展し
、カセット・ツウ・カセット（０−０）式自動化が一般
的になって自た・ そして、これらの装置においては、中導体ウエ八をカセ
ットに収納して製造装置に装置すると、自動的にウェハ
が処理され、カセットが戻されるように構成されてｂる
。従って、個々の製造装置から製造装置へ製造１椙順序
にしたがって、半導体クエへを収納するカセットを移送
し製造装置へ装填する手段があれば、半導体集積回路製
造ラインとしての自動化が可能となる・ しかして、この種のウェハ移送装置としては、エアート
ラック式つェハ一枚移送方式が広く知られて−るが、こ
れｋｉ製造装置がすべて一枚処理の自動化になるものと
して考えられ友ものであシ、複数枚のウェハを一括して
処理する０−ａ式自動製造装鐙を多数含む製造ラインの
ウェハ移送には不適当である。
製造装置間のウェハ移送を自動的に行う装置Ｋ１ｍする
ものて、さらに詳しくいえば、半導体ウェハを収納する
カセットを積載する走行車と、こＯ走行車が走行する軌
道とを構成要素に含むウェハ移送装置に関す為％Ｏであ
る・ 最近、半導体集積開路製造装置Ｏ自動化は著しく進展し
、カセット・ツウ・カセット（０−０）式自動化が一般
的になって自た・ そして、これらの装置においては、中導体ウエ八をカセ
ットに収納して製造装置に装置すると、自動的にウェハ
が処理され、カセットが戻されるように構成されてｂる
。従って、個々の製造装置から製造装置へ製造１椙順序
にしたがって、半導体クエへを収納するカセットを移送
し製造装置へ装填する手段があれば、半導体集積回路製
造ラインとしての自動化が可能となる・ しかして、この種のウェハ移送装置としては、エアート
ラック式つェハ一枚移送方式が広く知られて−るが、こ
れｋｉ製造装置がすべて一枚処理の自動化になるものと
して考えられ友ものであシ、複数枚のウェハを一括して
処理する０−ａ式自動製造装鐙を多数含む製造ラインの
ウェハ移送には不適当である。
また、半導体ウニ＾を収納したカセッシを軌道。
ある込は床に貼り九！−力に沿って走行する走行車によ
り害遇するカセット移送方式が提案されているが、この
方式Ｋかいては、容送中に発生するダストによるウニ八
汚染が問題であり、このため、半導体ウェハを収納した
カセットな密閉ケースに入れるなどの防塵対策が必要で
あると共に、カセットをその密閉ケースよ）出し入れす
る機構が必要である等の問題があった。
り害遇するカセット移送方式が提案されているが、この
方式Ｋかいては、容送中に発生するダストによるウニ八
汚染が問題であり、このため、半導体ウェハを収納した
カセットな密閉ケースに入れるなどの防塵対策が必要で
あると共に、カセットをその密閉ケースよ）出し入れす
る機構が必要である等の問題があった。
本発明は以上０＊＜鑑み、このような問題を解決すると
共に、かかる欠点を除去すべくなされたもので、その目
的は半導体ウェハを収納し九カセットを移送する走行車
を軌道より浮上させ、床面と非接触の状態で走行できる
ようＫＬ、塵が発生することがないりシーンなウェハ移
送装置を提供する仁とにある。
共に、かかる欠点を除去すべくなされたもので、その目
的は半導体ウェハを収納し九カセットを移送する走行車
を軌道より浮上させ、床面と非接触の状態で走行できる
ようＫＬ、塵が発生することがないりシーンなウェハ移
送装置を提供する仁とにある。
以下、図示する実施例によってそ０構成尋を詳細に説明
する。
する。
第１１１は本発明によるウェハ移送装置に用する軌道の
一実施例を示す説明図で、（−は平面図を示したもので
あり、（ｂ）は断面図を示し、（ｅ）は側面図を示した
ものである＊ＷＪにおいて、１は駆動用０複数の電磁石
、意＊、１には浮上用永久磁石、１は軌動本体（軌道）
、４は軌道本体３を覆うカバー、５．６は駆動用電磁石
１のリ−）ｅ線である。
一実施例を示す説明図で、（−は平面図を示したもので
あり、（ｂ）は断面図を示し、（ｅ）は側面図を示した
ものである＊ＷＪにおいて、１は駆動用０複数の電磁石
、意＊、１には浮上用永久磁石、１は軌動本体（軌道）
、４は軌道本体３を覆うカバー、５．６は駆動用電磁石
１のリ−）ｅ線である。
第２Ｗｉは本発明に用いる走行車〇一実施例を示す説明
図で、（−は平面図を示した一〇であ＃、（ｂ）は側面
図を示したものである０図にシｂて、１は正方形の走行
車本体（走行車）％ Ｉａｅｌｌｂ＃ｉ中導体ウニ＾を
収納すつカセットを搭載する力竜ノド載台、９ ａ ａ
＃ ｂ ｅ ＃ ｍ ａ ｍ−は走行車本体７ＫＮ方
形に配置され九浮上用永久磁石、１・は駆動用永久磁石
である。
図で、（−は平面図を示した一〇であ＃、（ｂ）は側面
図を示したものである０図にシｂて、１は正方形の走行
車本体（走行車）％ Ｉａｅｌｌｂ＃ｉ中導体ウニ＾を
収納すつカセットを搭載する力竜ノド載台、９ ａ ａ
＃ ｂ ｅ ＃ ｍ ａ ｍ−は走行車本体７ＫＮ方
形に配置され九浮上用永久磁石、１・は駆動用永久磁石
である。
つぎにこの第２図に示す実施例０作用を第１図を参照し
て［ｌＪＩする・まず、１１１１図に示す軌道本体８に
１Ｉ１２Ｗｉの捷行草本体１を乗せたとき、軌動本体３
の浮上用永久磁石２ａ４にと走行車本体７の浮上用永久
磁石９畠〜９ｄが互に同じ極、例えば）ｆ４Ｋが袈する
ように構成しであるので、それら磁石間の反撥力によ）
走行車本体７は軌道本体３上に浮上する。このとき、軌
道本体３の浮上用永久磁石２ａと永久磁石２５間の距離
を、正方形に配着された走行車本体７の浮上用永久磁石
９ａと永久磁石９＠の距離に比べ大きくしておくと、走
行車本体７の中心が軌道本体３の中心からずれた場合、
中心に戻すカが作用するため安定に浮上する。
て［ｌＪＩする・まず、１１１１図に示す軌道本体８に
１Ｉ１２Ｗｉの捷行草本体１を乗せたとき、軌動本体３
の浮上用永久磁石２ａ４にと走行車本体７の浮上用永久
磁石９畠〜９ｄが互に同じ極、例えば）ｆ４Ｋが袈する
ように構成しであるので、それら磁石間の反撥力によ）
走行車本体７は軌道本体３上に浮上する。このとき、軌
道本体３の浮上用永久磁石２ａと永久磁石２５間の距離
を、正方形に配着された走行車本体７の浮上用永久磁石
９ａと永久磁石９＠の距離に比べ大きくしておくと、走
行車本体７の中心が軌道本体３の中心からずれた場合、
中心に戻すカが作用するため安定に浮上する。
このように、軌道３と走行車ＩＫ浮上用Ｏ永久磁石を亙
に反撥力が作用するように配置し、走行車７を軌道３よ
）浮上せしめるように構成されてｈる。
に反撥力が作用するように配置し、走行車７を軌道３よ
）浮上せしめるように構成されてｈる。
つぎに、走行車１０駆動について説明する・まず、駆動
用永久磁石１０は第五図に示す駆動用電磁石１に比べそ
の直径が太き−とし、ある電磁石１の真上に位置し停止
しているとする。そして、この状態を保つには永久磁石
１０が位置する電磁石１に永久磁石１０と引き合う方向
に磁化するように電流を流し、その両側の電磁石１には
反撥する方向に電流を流せばよ−０ この状態から走行車本体７を駆動するには、永久磁石１
０が位置する電磁石１の電流を切り、その両側の２個の
電磁石１のうち走行車本体７を進めえｂ＠Ｏ電磁石１を
永久磁石１０と引き金り方向に磁化し、屓対儒Ｏ電磁石
１は永久磁石１０と反撥するように磁化すると、走行車
本体７は引き合う方向に磁化された電磁石１に向って動
くので。
用永久磁石１０は第五図に示す駆動用電磁石１に比べそ
の直径が太き−とし、ある電磁石１の真上に位置し停止
しているとする。そして、この状態を保つには永久磁石
１０が位置する電磁石１に永久磁石１０と引き合う方向
に磁化するように電流を流し、その両側の電磁石１には
反撥する方向に電流を流せばよ−０ この状態から走行車本体７を駆動するには、永久磁石１
０が位置する電磁石１の電流を切り、その両側の２個の
電磁石１のうち走行車本体７を進めえｂ＠Ｏ電磁石１を
永久磁石１０と引き金り方向に磁化し、屓対儒Ｏ電磁石
１は永久磁石１０と反撥するように磁化すると、走行車
本体７は引き合う方向に磁化された電磁石１に向って動
くので。
次にその電磁石１の電流を切り、その両側の２個Ｏ電磁
石１について各々上記の如く磁化する。
石１について各々上記の如く磁化する。
このように％頴次、電磁石１の磁化の方向を切り替えて
ゆくと、走行車本体フは連続して動すてゆく、そして、
ζＯ切り替えのタイＺングを少しづつ早めると、走行車
１はだんだん速く動くようになり、逆に遅くすると減速
できる。そして、カセット載台（カセット部）ｌＩｍ、
＄１＋はカセットが載る部分だけ切り込まれてｈるので
、走行車本体７０加減速に対し力竜ツシを安定に保持す
ることができる。
ゆくと、走行車本体フは連続して動すてゆく、そして、
ζＯ切り替えのタイＺングを少しづつ早めると、走行車
１はだんだん速く動くようになり、逆に遅くすると減速
できる。そして、カセット載台（カセット部）ｌＩｍ、
＄１＋はカセットが載る部分だけ切り込まれてｈるので
、走行車本体７０加減速に対し力竜ツシを安定に保持す
ることができる。
前述したところから明らかなように、軌道３に複数の電
磁石１を、走行車１に浮上用とは別な永久磁石１０を、
それら相互間の磁力作用によりそＯ走行車７を目的とす
る方向に駆動し得るように配置し、上記複数の電磁石１
より走行車７の駆動に必要な電磁石を選択して、その選
択された電磁石１に電流を印加し、走行車１を駆動し、
あるいは停止せしめるように構成されている。
磁石１を、走行車１に浮上用とは別な永久磁石１０を、
それら相互間の磁力作用によりそＯ走行車７を目的とす
る方向に駆動し得るように配置し、上記複数の電磁石１
より走行車７の駆動に必要な電磁石を選択して、その選
択された電磁石１に電流を印加し、走行車１を駆動し、
あるいは停止せしめるように構成されている。
３３図は本発明の動作説明に供する回転機構付交差路の
一実施例を示すｍ明図である。この第３ＩｌｌＫ′ｓＰ
ｂて第五図と同一符号のものは暢轟部分を示し、ｔ−１
，１−２，？、１−１７は軌道３の交差路に配置された
駆動用電磁石、１１は軌道３に設けた多数のノズルで、
このノズル１１よ〕空気などＯ気体を噴出し、走行車フ
Ｃ第２因参照）を浮上せしめるように構成されてｂる。
一実施例を示すｍ明図である。この第３ＩｌｌＫ′ｓＰ
ｂて第五図と同一符号のものは暢轟部分を示し、ｔ−１
，１−２，？、１−１７は軌道３の交差路に配置された
駆動用電磁石、１１は軌道３に設けた多数のノズルで、
このノズル１１よ〕空気などＯ気体を噴出し、走行車フ
Ｃ第２因参照）を浮上せしめるように構成されてｂる。
つぎにこの第！ＩＩＩＫ示す実施例の作用を第１図およ
び第２＃！Ｊを参照して説明する。
び第２＃！Ｊを参照して説明する。
まず、交差路に進んで暑た走行車本体７（第２図参照）
を上記ｌ！羽の如くして充分減速し、中央Ｏ電磁石１−
１ ＯＪ：に駆動用永久磁石１０（第意図参照）がき九
とき、電磁石１−１を永久磁石１・と引き合う方向に磁
化し、隣接する４個の電磁石１−２ 、１−３ 、１−
４ 、１−５の各々をすべて反撥するように磁化すると
、走行車本体７は交差路の中央に停止する。このとき、
多数のノズル１１からは空気などの気体が噴出している
ので、浮上用永久磁石２１および永久磁石２−が交差路
になくても、走行車本体７は浮上を続ける。また、駆動
用永久磁石１・と浮上用永久磁石９ｍ（または９ｂ、ま
えは９Ｃ１または９ｄ）との中心関距閣に比べ、電磁石
１−６から電磁石１−１７の各中心が電磁石１−１を中
心として形成する円の半径を小さくしておき、走行車本
体７が交差路の中央に停止したときに電磁石１−７．１
−８．１−１０．１−１１．１−１３．１−１４，１−
１６．１−１７の各々を永久磁石９ｍ、９ｂ、９ｃ、！
９１と引き合うように出出すると、例えば、永久磁石９
ａは電磁石１−７と電磁石１−８の中間に、永久磁石９
には電磁石１−１０と電磁石１−１１の中間に、永久磁
石９Ｃは電磁石１−１３と電磁石１−１４の中間に、永
久磁石９１１は電磁石１−１６と電磁石１−１７の中間
に各々停止する。そして、走行車本体７を回転させるに
は、例えば、電磁石１−８ 、１−１１ 、１−１４
。
を上記ｌ！羽の如くして充分減速し、中央Ｏ電磁石１−
１ ＯＪ：に駆動用永久磁石１０（第意図参照）がき九
とき、電磁石１−１を永久磁石１・と引き合う方向に磁
化し、隣接する４個の電磁石１−２ 、１−３ 、１−
４ 、１−５の各々をすべて反撥するように磁化すると
、走行車本体７は交差路の中央に停止する。このとき、
多数のノズル１１からは空気などの気体が噴出している
ので、浮上用永久磁石２１および永久磁石２−が交差路
になくても、走行車本体７は浮上を続ける。また、駆動
用永久磁石１・と浮上用永久磁石９ｍ（または９ｂ、ま
えは９Ｃ１または９ｄ）との中心関距閣に比べ、電磁石
１−６から電磁石１−１７の各中心が電磁石１−１を中
心として形成する円の半径を小さくしておき、走行車本
体７が交差路の中央に停止したときに電磁石１−７．１
−８．１−１０．１−１１．１−１３．１−１４，１−
１６．１−１７の各々を永久磁石９ｍ、９ｂ、９ｃ、！
９１と引き合うように出出すると、例えば、永久磁石９
ａは電磁石１−７と電磁石１−８の中間に、永久磁石９
には電磁石１−１０と電磁石１−１１の中間に、永久磁
石９Ｃは電磁石１−１３と電磁石１−１４の中間に、永
久磁石９１１は電磁石１−１６と電磁石１−１７の中間
に各々停止する。そして、走行車本体７を回転させるに
は、例えば、電磁石１−８ 、１−１１ 、１−１４
。
１−１７を永久磁石”ｍ９ｂ＊９省、９ｄと各々互に引
き合う方向に磁化すると、永久磁石９ｍ、９ｂｅｌｉｅ
、９１が各々電磁石１−８．１−１１．１−１４゜１−
１７の位置にくるように走行車本体７は回転する。りぎ
に、電磁石１−９．１−１２．１−１５ 。
き合う方向に磁化すると、永久磁石９ｍ、９ｂｅｌｉｅ
、９１が各々電磁石１−８．１−１１．１−１４゜１−
１７の位置にくるように走行車本体７は回転する。りぎ
に、電磁石１−９．１−１２．１−１５ 。
１−６を永久磁石＃ａｅｌｋ、４９ｓＪｄと互に引き金
うよ５に磁化すれば、走行車本体１はこれら電磁石Ｏ位
置まで固転する。
うよ５に磁化すれば、走行車本体１はこれら電磁石Ｏ位
置まで固転する。
ｔｏようｋして、走行車本体１は交差路中央にかいて回
転畜せることがで自る。
転畜せることがで自る。
−ｚ＊Ｋｓ例えば、永久磁石＠ ＠ ＊ ＠ ｂ ａ
＊ ＠ａ ＊ ａが各々電磁石１−１０．１−１３．１
−１６，１−７０互に引自舎つ良状態で、さらに、電磁
石１−１１．１−１４．１−１７．１−１とｔ引暑合う
ようｋすると、永久磁石１ａｊｂｅ―電、９４は各々電
磁石１−１０と電磁石１−１１０閾、電磁石１−１３と
電磁石１１−１４０ｆ！、電磁石１−１６と電磁石１−
１７の間および電磁石ｌ−７と電磁石１−８の間に停止
すゐ。
＊ ＠ａ ＊ ａが各々電磁石１−１０．１−１３．１
−１６，１−７０互に引自舎つ良状態で、さらに、電磁
石１−１１．１−１４．１−１７．１−１とｔ引暑合う
ようｋすると、永久磁石１ａｊｂｅ―電、９４は各々電
磁石１−１０と電磁石１−１１０閾、電磁石１−１３と
電磁石１１−１４０ｆ！、電磁石１−１６と電磁石１−
１７の間および電磁石ｌ−７と電磁石１−８の間に停止
すゐ。
このようにして、９ ｄ”、１８０１”、２７Ｇ”、３
６１の回転位置ＫＥＩＩＫ走行車本体１を固転させるこ
とができる。
６１の回転位置ＫＥＩＩＫ走行車本体１を固転させるこ
とができる。
そして、この交差路より走行車本体１を目的とする方向
に動かすには前述の第１図、菖２図で説明した如く、駆
動用電磁石１および電磁石！−１゜１−１１−３．１−
４．１−５．１−１１．１−９．１−１２．１−１１１
０磁化を制御して行う。
に動かすには前述の第１図、菖２図で説明した如く、駆
動用電磁石１および電磁石！−１゜１−１１−３．１−
４．１−５．１−１１．１−９．１−１２．１−１１１
０磁化を制御して行う。
前述したところから明らかなように、軌道３に設は九多
数のノズル１１よシ空気等の気体を噴出し、走行車７を
浮上せしめるように構成すると共に、その軌道３に複数
の電磁石１．１−１〜１−１７を、また、走行車ＩＫ駆
動用永久磁石１０を、それらの相互間の磁力作用により
その走行車７を目的とする方向に駆動し得るように配置
し、その複数の電磁石１−１−１−１７よ勤走行車７０
駆動に必要な電磁石を選択して、その選択された電磁石
に電流を印加し、走行車１を駆動し、あるｉは停止せし
めるように構成されている。
数のノズル１１よシ空気等の気体を噴出し、走行車７を
浮上せしめるように構成すると共に、その軌道３に複数
の電磁石１．１−１〜１−１７を、また、走行車ＩＫ駆
動用永久磁石１０を、それらの相互間の磁力作用により
その走行車７を目的とする方向に駆動し得るように配置
し、その複数の電磁石１−１−１−１７よ勤走行車７０
駆動に必要な電磁石を選択して、その選択された電磁石
に電流を印加し、走行車１を駆動し、あるｉは停止せし
めるように構成されている。
第４図は本発明によるウェハ移送装置を製造装置へ適用
しえ場合の一実施例を示す説明図である。
しえ場合の一実施例を示す説明図である。
この第４図におｈて第ｉｓａおよび第２図と同一符号の
ものは相轟部分を示し、１２ｍ、１２に鉱上下および左
右に動くアームｓ ｆ８ａｅｔｓｋは開閉可能なハンド
、１番は処理すべき半導体ウエノ１を収納したカセット
、ＩＩＩは空力セット、１・は０−０式自動製造装置、
１７はウニ＾処理部、１１１１Ｆｉローダ、１−は７ノ
ローダである・なシ、＠ａ、＠ｂはカセット載台てあ為
。
ものは相轟部分を示し、１２ｍ、１２に鉱上下および左
右に動くアームｓ ｆ８ａｅｔｓｋは開閉可能なハンド
、１番は処理すべき半導体ウエノ１を収納したカセット
、ＩＩＩは空力セット、１・は０−０式自動製造装置、
１７はウニ＾処理部、１１１１Ｆｉローダ、１−は７ノ
ローダである・なシ、＠ａ、＠ｂはカセット載台てあ為
。
りｔＫｅＯｊ１４ｒＩＡＫ示す夾麹例の動作を説明する
。走行車本体１（第！ＷｉｌＩ参照）のカセット載台Ｉ
ａＫ４Ｇ履すべ自早導体會エバを収納したカセット１番
を積み込み、移送して１１九走行車本体１は、まず、−
−ダ１畠ａよ）カセット載台ｓｂに空力竜ッ）１！Ｉの
積み込みが行える位置に停止し、アーＡｌｊｌａ とハ
ｙｒ１８ｍによ〕ローダ１＠Ｋ”Ｔｏゐ空カセツ）ＩＩ
をカセット載台１１ｂＫＩＩみ込む。つぎに、走行車本
体１を処理ナベき半導体ウェハを収納し九カセット１４
をローダ１ｓに装填できる位置まで移動させ、アーム１
２ｍとハンド１３１ｍを用ｉてローダＩＩＫ！ｉ項する
。これと同様にして、空力セット１ｓをアーム１２にと
ハンド１３ｂを用いてγノローダ１参に装填すると％０
−ｃ式自動製造装置１・には鵡履ナベ自半導体ウェハを
収納し九力竜ット１４と処理の終った半導体ウェハを収
納する空２７竜ツ）１Ｂが各々ローダ１畠およびアンロ
ー＃−１１１に＄填できたので、ウェハ錫層を行うむと
ができる。
。走行車本体１（第！ＷｉｌＩ参照）のカセット載台Ｉ
ａＫ４Ｇ履すべ自早導体會エバを収納したカセット１番
を積み込み、移送して１１九走行車本体１は、まず、−
−ダ１畠ａよ）カセット載台ｓｂに空力竜ッ）１！Ｉの
積み込みが行える位置に停止し、アーＡｌｊｌａ とハ
ｙｒ１８ｍによ〕ローダ１＠Ｋ”Ｔｏゐ空カセツ）ＩＩ
をカセット載台１１ｂＫＩＩみ込む。つぎに、走行車本
体１を処理ナベき半導体ウェハを収納し九カセット１４
をローダ１ｓに装填できる位置まで移動させ、アーム１
２ｍとハンド１３１ｍを用ｉてローダＩＩＫ！ｉ項する
。これと同様にして、空力セット１ｓをアーム１２にと
ハンド１３ｂを用いてγノローダ１参に装填すると％０
−ｃ式自動製造装置１・には鵡履ナベ自半導体ウェハを
収納し九力竜ット１４と処理の終った半導体ウェハを収
納する空２７竜ツ）１Ｂが各々ローダ１畠およびアンロ
ー＃−１１１に＄填できたので、ウェハ錫層を行うむと
ができる。
そして、クヱ＾処雇が終ると、アンローダＩＩよ１１１
Ｉ＆１１０終ったクエ八〇人２九カセットをカセット載
台１１ａＫアーム１！ｂ、ハｙ）’１３ｂ Ｋｌ〉積
与込み、走行車本体１は次Ｏ＃！＆環を行う製造装置へ
移動する。
Ｉ＆１１０終ったクエ八〇人２九カセットをカセット載
台１１ａＫアーム１！ｂ、ハｙ）’１３ｂ Ｋｌ〉積
与込み、走行車本体１は次Ｏ＃！＆環を行う製造装置へ
移動する。
このようにして、半導体集積回路の連続自動化ライｙを
実現す為ことができる。
実現す為ことができる。
以上本発−を走行車本体１にカセット載台８ｍ。
８ｋが２個Ｏ場舎を例にとって説明したが、本発明はこ
れに＠定されるものではなく、走行車本体ＩＫカセット
載台が１個Ｏ走行車本体１によるウェハ移送も可能てあ
ゐφ まえ、上紀夷膣例に訃−では、走行車本体７が正方形の
場合を例にとりて説明したが、本発明はこれに限定され
るものではなく、長方形１円形などでも本妬−は実施す
ることができる。また、軌道を−げ九−場合には、軌道
Ｏ外部０１点を中心とする同心りの円弧をＳ成すゐよう
に、永久磁石２＆、２１１訃よび電磁石１を配置すれば
できる。
れに＠定されるものではなく、走行車本体ＩＫカセット
載台が１個Ｏ走行車本体１によるウェハ移送も可能てあ
ゐφ まえ、上紀夷膣例に訃−では、走行車本体７が正方形の
場合を例にとりて説明したが、本発明はこれに限定され
るものではなく、長方形１円形などでも本妬−は実施す
ることができる。また、軌道を−げ九−場合には、軌道
Ｏ外部０１点を中心とする同心りの円弧をＳ成すゐよう
に、永久磁石２＆、２１１訃よび電磁石１を配置すれば
できる。
以上説明し良ように、本発明では、走行車を浮上せしめ
る手段を備えて−るので、走行車は軌道に接することな
く走行することができ、走行により〆ストが発生するこ
とがなく、クリ−／なウェハ移送が＊＊″Ｃ龜為と共に
、処理ウェハはカセットに収納して移送するので、ロフ
ト管理がカセット単位で行え、また、種々の装置トラブ
ルに対してもウェハが破損することがない等多くの利点
を有する。
る手段を備えて−るので、走行車は軌道に接することな
く走行することができ、走行により〆ストが発生するこ
とがなく、クリ−／なウェハ移送が＊＊″Ｃ龜為と共に
、処理ウェハはカセットに収納して移送するので、ロフ
ト管理がカセット単位で行え、また、種々の装置トラブ
ルに対してもウェハが破損することがない等多くの利点
を有する。
このように、本発明によれば、従来のこの種の装置に比
して多大Ｏ効果があり、半導体集積回路展造ツインの自
動化に必要な製造装置間Ｏウェハ移送装置としては独自
のものである。
して多大Ｏ効果があり、半導体集積回路展造ツインの自
動化に必要な製造装置間Ｏウェハ移送装置としては独自
のものである。
ｔ ｉｉａｍｏ簡単な説明
ｊ１１図は本発−によるウェハ移送装置ＫＭ％Ａる軌道
〇一実施例を示す説明図、＃Ｉ２図は本発Ｉ！ｊｌＩＫ
ｊ１％／％ゐ滝行車Ｏ−実施例を示すｌＫ＠閣、ｇａ園
は本発−ｏｗｈ作説明に供する交差路〇一実施例を示す
説―図、第４１Ｉは本発明を製造装置へ適用した場合の
ウェハ移送装置の一実施例を示す説明図である・ １．１−１〜１〜１７・・・・駆動用電磁石、２＊、２
ｂ・・・・浮上用永久磁石、３・・・・軌道本体、７・
・・・走行車本体、９ａｘ９ｄ・・・・浮上用永久磁石
、１０・・・・駆動用永久磁石、１１・・・・ノズル、
１４・・・嗜カセット。
〇一実施例を示す説明図、＃Ｉ２図は本発Ｉ！ｊｌＩＫ
ｊ１％／％ゐ滝行車Ｏ−実施例を示すｌＫ＠閣、ｇａ園
は本発−ｏｗｈ作説明に供する交差路〇一実施例を示す
説―図、第４１Ｉは本発明を製造装置へ適用した場合の
ウェハ移送装置の一実施例を示す説明図である・ １．１−１〜１〜１７・・・・駆動用電磁石、２＊、２
ｂ・・・・浮上用永久磁石、３・・・・軌道本体、７・
・・・走行車本体、９ａｘ９ｄ・・・・浮上用永久磁石
、１０・・・・駆動用永久磁石、１１・・・・ノズル、
１４・・・嗜カセット。
特許出願人 日本電信電話公社
Claims (2)
- （１）宇導体つエノ１を収納するカセットを積載する走
行車と、この走行車が走行する軌道とを構成要素に含む
ウェハ移送装置において、前記軌道と前記走行車に浮上
用の永久磁石を互に反撥力が作用するように設置し、該
走行車を該軌道より浮上せしめる手段と、前記軌道に複
数の電磁石を、前記走行車に浮上用とは別な駆動用の永
久磁石を、それら相互間の磁力作用によシ紋走行車を目
的とすゐ方向に駆動し得るように配置し、帥紀複数の電
磁石より該走行車の駆動に必要な電磁石を選択して、そ
の選択された電磁石に電流を印加し、該走行車を駆動し
、あるいは停止せしめる手段とを偏見えことを特徴とす
るウェハ移送装置。 - （２）＃、導体ウェハを収納するカセットを積載する走
行車と、この走行車が走行する軌導とを構成要素に含む
ウェハ移送装置において、前記軌道に設は九複歇Ｏノズ
ルよ）空気等の気体を噴出し前記走行車を浮上せしめ１
手段と、前記軌道に複数Ｏ電磁石を、前記走行車に駆動
ＭＯ永久磁石を、それら暢亙聞Ｏ磁力作ｊｌｌＫよ！Ｉ
＃走行車を目的とする方向に駆動し得るように配置し、
前記複数の電磁石よｐ該滝行軍の駆動に必要な電磁石を
選択して、そＯ選択され九電磁石に電流を印加し、皺走
行車を駆動し、あるいは停止せしめる手段とを備えたこ
とを特徴とするウェハ移送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56110001A JPS5817018A (ja) | 1981-07-16 | 1981-07-16 | ウエハ移送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56110001A JPS5817018A (ja) | 1981-07-16 | 1981-07-16 | ウエハ移送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5817018A true JPS5817018A (ja) | 1983-02-01 |
Family
ID=14524576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56110001A Pending JPS5817018A (ja) | 1981-07-16 | 1981-07-16 | ウエハ移送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5817018A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59230921A (ja) * | 1983-06-13 | 1984-12-25 | Tatsuo Tsubouchi | 物品の浮揚移動装置 |
| JPS60107451A (ja) * | 1983-11-17 | 1985-06-12 | 株式会社東芝 | 移送装置 |
| JPS6194925A (ja) * | 1984-10-12 | 1986-05-13 | Mitsubishi Chem Ind Ltd | 搬送用装置 |
| JPS61177106A (ja) * | 1985-01-29 | 1986-08-08 | Seiko Seiki Co Ltd | 搬送装置 |
| JPS61217434A (ja) * | 1985-03-20 | 1986-09-27 | Mitsubishi Chem Ind Ltd | 搬送用装置 |
| US5213658A (en) * | 1990-10-26 | 1993-05-25 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Plasma processing method |
| US5228940A (en) * | 1990-10-03 | 1993-07-20 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Fine pattern forming apparatus |
| US5246532A (en) * | 1990-10-26 | 1993-09-21 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Plasma processing apparatus |
| WO1994001354A1 (fr) * | 1992-07-07 | 1994-01-20 | Ebara Corporation | Dispositif de transport en levitation magnetique |
| CN103420165A (zh) * | 2013-08-06 | 2013-12-04 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种基片传输装置 |
| EP3746384A4 (en) * | 2018-01-31 | 2021-10-20 | Laitram, LLC | HYGIENIC MAGNETIC BOWL AND CONVEYOR |
-
1981
- 1981-07-16 JP JP56110001A patent/JPS5817018A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59230921A (ja) * | 1983-06-13 | 1984-12-25 | Tatsuo Tsubouchi | 物品の浮揚移動装置 |
| JPS60107451A (ja) * | 1983-11-17 | 1985-06-12 | 株式会社東芝 | 移送装置 |
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| JPS61177106A (ja) * | 1985-01-29 | 1986-08-08 | Seiko Seiki Co Ltd | 搬送装置 |
| JPS61217434A (ja) * | 1985-03-20 | 1986-09-27 | Mitsubishi Chem Ind Ltd | 搬送用装置 |
| US5228940A (en) * | 1990-10-03 | 1993-07-20 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Fine pattern forming apparatus |
| US5292401A (en) * | 1990-10-03 | 1994-03-08 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method of forming a fine pattern |
| US5213658A (en) * | 1990-10-26 | 1993-05-25 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Plasma processing method |
| US5246532A (en) * | 1990-10-26 | 1993-09-21 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Plasma processing apparatus |
| WO1994001354A1 (fr) * | 1992-07-07 | 1994-01-20 | Ebara Corporation | Dispositif de transport en levitation magnetique |
| CN103420165A (zh) * | 2013-08-06 | 2013-12-04 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种基片传输装置 |
| EP3746384A4 (en) * | 2018-01-31 | 2021-10-20 | Laitram, LLC | HYGIENIC MAGNETIC BOWL AND CONVEYOR |
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