JPS61177106A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPS61177106A JPS61177106A JP1500085A JP1500085A JPS61177106A JP S61177106 A JPS61177106 A JP S61177106A JP 1500085 A JP1500085 A JP 1500085A JP 1500085 A JP1500085 A JP 1500085A JP S61177106 A JPS61177106 A JP S61177106A
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- JP
- Japan
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- vehicle
- drive
- truck
- cover
- drive vehicle
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- Pending
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 13
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 241000282414 Homo sapiens Species 0.000 description 1
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- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体製造工場等の塵埃をきらう場所での搬送
装置に関する。
装置に関する。
塵埃をきらう場所に設置する搬送装置において駆動車の
外周全域をカバーし、その駆動車に対応してカバーの外
に台車を磁気浮上させることにより、搬送装置からの発
塵を予防したものである。
外周全域をカバーし、その駆動車に対応してカバーの外
に台車を磁気浮上させることにより、搬送装置からの発
塵を予防したものである。
半導体等の製造は極めて清浄な環境が必要とされ、いわ
ゆるクリーンベンチ内である工程がなされ、終了すると
次の工程のクリーンベンチへ加工物を受渡しながら製造
される。この受渡しには従来人が搬送用の密封容器にワ
ークを収納し、その後人手あるいは手押し車を用いて次
の工程へ運んでいるのが実情である。
ゆるクリーンベンチ内である工程がなされ、終了すると
次の工程のクリーンベンチへ加工物を受渡しながら製造
される。この受渡しには従来人が搬送用の密封容器にワ
ークを収納し、その後人手あるいは手押し車を用いて次
の工程へ運んでいるのが実情である。
しかし上記の方法であると人間が搬送するため人間から
発塵して室搬送物を汚染する、迅速な搬送ができない、
ワークにショックをあたえてワークに微小なカケができ
ワークを汚染する等の欠点があった。
発塵して室搬送物を汚染する、迅速な搬送ができない、
ワークにショックをあたえてワークに微小なカケができ
ワークを汚染する等の欠点があった。
そこでこの発明は従来のこのような欠点を解決するため
、人手をわずられせず無人で、迅速で、無発塵で、ショ
ックの少ない搬送を目的としている。
、人手をわずられせず無人で、迅速で、無発塵で、ショ
ックの少ない搬送を目的としている。
上記問題点を解決するため、本発明は駆動車と駆動車の
外周全域を走行方向に連続的におおうカバーとそのカバ
ーの外部に前記駆動車と対応して配置された台車とから
なり、前記台車が磁気により浮上し、及び駆動されるこ
とにより、迅速、無発塵、無衝撃に搬送することを目的
としている。
外周全域を走行方向に連続的におおうカバーとそのカバ
ーの外部に前記駆動車と対応して配置された台車とから
なり、前記台車が磁気により浮上し、及び駆動されるこ
とにより、迅速、無発塵、無衝撃に搬送することを目的
としている。
上記のように構成された搬送装置で搬送すると駆動車か
ら発生する塵埃はカバーにより外部にもれず、又台車は
磁気浮上しているため、接触部が無いので搬送時に発塵
がなく室内を汚染することがない。又駆動車の速度をコ
ントロールすることにより、搬送物にショックを与え微
細破損をおこすこともない。
ら発生する塵埃はカバーにより外部にもれず、又台車は
磁気浮上しているため、接触部が無いので搬送時に発塵
がなく室内を汚染することがない。又駆動車の速度をコ
ントロールすることにより、搬送物にショックを与え微
細破損をおこすこともない。
以下にこの発明の実施例を図面にもとずいて説明する。
第１図、第２図、第３図において、１は搬送物を載せる
ための台車、２は台車を駆動するための駆動車、３は駆
動車２を駆動するモータ、４は駆動輪、５，６は駆動歯
車、７は動力、信号を伝える給電線でベース８に固定さ
れている。９は給電線７からの動力、信号を受ける集電
子で駆動車２に固定されている。１０はベース８に固定
された２本の軌道、Ｍｌ、Ｍ２．Ｍ３．Ｍ４は台車１の
水平方向の位置を制御するための電磁石、Ｍ５．Ｍ６．
Ｍ７．Ｍ８は台車１の垂直方向の位置を制御する電磁石
、８１〜Ｓ８は電磁石Ｍ１〜Ｍ８に対応して配置され、
台車ｌの位置を検出する位置検出器であり、上記電磁石
と位置検出器は駆動車２に固定されている。Ｇ１〜Ｇ８
は電磁石Ｍ１〜Ｍ８に相対して台車１に固定されている
磁性体であり各々電磁石と磁気回路を構成している。
ための台車、２は台車を駆動するための駆動車、３は駆
動車２を駆動するモータ、４は駆動輪、５，６は駆動歯
車、７は動力、信号を伝える給電線でベース８に固定さ
れている。９は給電線７からの動力、信号を受ける集電
子で駆動車２に固定されている。１０はベース８に固定
された２本の軌道、Ｍｌ、Ｍ２．Ｍ３．Ｍ４は台車１の
水平方向の位置を制御するための電磁石、Ｍ５．Ｍ６．
Ｍ７．Ｍ８は台車１の垂直方向の位置を制御する電磁石
、８１〜Ｓ８は電磁石Ｍ１〜Ｍ８に対応して配置され、
台車ｌの位置を検出する位置検出器であり、上記電磁石
と位置検出器は駆動車２に固定されている。Ｇ１〜Ｇ８
は電磁石Ｍ１〜Ｍ８に相対して台車１に固定されている
磁性体であり各々電磁石と磁気回路を構成している。
１１は上記電磁石、モータを制御する制御装置であり駆
動車２上にある。１２は駆動車２の外周を駆動車２の走
行方向に連続的におおっているカバーでベース８に固定
されている。１４は台車１に固定されている補助輪であ
る。
動車２上にある。１２は駆動車２の外周を駆動車２の走
行方向に連続的におおっているカバーでベース８に固定
されている。１４は台車１に固定されている補助輪であ
る。
次に動作について説明する。
駆動車２は集電子９ａ、９ｂを通して電力をうけている
、台車上は駆動車２上の電磁石Ｍ１〜Ｍ８からの磁気の
吸引力により浮上されている。この磁気浮上は公知なも
のであるが、図４のブロック図を用いて１実施例を説明
する。距離検出器Ｓ１により台車１の右側面までの距離
を検出し同様に距離検出器Ｓ２により台車ｌの左側面ま
での距離を検出する。この信号をブリッジ回路２０で処
理し、基準信号と比較器２１で比較し、電磁石ＭＩＭ２
への適正な電流値を信号処理回路２２で演算して各電流
を増幅回路２３により増幅して電磁石ＭＬ、Ｍ２の磁力
の強度を制御して台車ｌが駆動車２に対して水平方向中
央の位置にくるようにする。同様に電磁石Ｍ３．Ｍ４位
置検出器３３．Ｓ４により台車１の水平方向位置を保ち
、電磁石Ｍ５〜Ｍ８．位置検出器８５〜Ｓ８により台車
１の垂直方向位置を適正に保つ。以上の様に台車ｌが磁
気力により浮上された状態において外部からの発車信号
、方向信号を給電線７、集電子９Ｃと９ｄを通して制御
装置１１が受けると、モータ３が回転し駆動歯車５，６
、駆動輪４が回転し駆動車２は軌道４上を移動する。駆
動車２が移動すると電磁石Ｍ１〜Ｍ８の磁気力により台
車１も同時に移動して台車上の搬送物を搬送する事がで
きる。
、台車上は駆動車２上の電磁石Ｍ１〜Ｍ８からの磁気の
吸引力により浮上されている。この磁気浮上は公知なも
のであるが、図４のブロック図を用いて１実施例を説明
する。距離検出器Ｓ１により台車１の右側面までの距離
を検出し同様に距離検出器Ｓ２により台車ｌの左側面ま
での距離を検出する。この信号をブリッジ回路２０で処
理し、基準信号と比較器２１で比較し、電磁石ＭＩＭ２
への適正な電流値を信号処理回路２２で演算して各電流
を増幅回路２３により増幅して電磁石ＭＬ、Ｍ２の磁力
の強度を制御して台車ｌが駆動車２に対して水平方向中
央の位置にくるようにする。同様に電磁石Ｍ３．Ｍ４位
置検出器３３．Ｓ４により台車１の水平方向位置を保ち
、電磁石Ｍ５〜Ｍ８．位置検出器８５〜Ｓ８により台車
１の垂直方向位置を適正に保つ。以上の様に台車ｌが磁
気力により浮上された状態において外部からの発車信号
、方向信号を給電線７、集電子９Ｃと９ｄを通して制御
装置１１が受けると、モータ３が回転し駆動歯車５，６
、駆動輪４が回転し駆動車２は軌道４上を移動する。駆
動車２が移動すると電磁石Ｍ１〜Ｍ８の磁気力により台
車１も同時に移動して台車上の搬送物を搬送する事がで
きる。
この時給電線７と集電子９．駆動輪４と軌道１０駆動歯
車５と６の間ですべり接触やころがり接触がおこるので
発塵する。しかしこの塵はカバー１２があるためカバー
より外へは出ない。又台車１は摺動部がなく無接触に移
動するためまった（発塵しない。このため搬送装置を設
置している室や、搬送物をまったく汚染することがない
。又モータ３を公知の速度制御方法で制御することによ
り、搬送物に衝撃力を与えることがないので搬送ワーク
に微小のカケができるということも防げる。なお台車１
上の補助輪１４は非常時に電源が切れた時台車１は磁気
浮上されなくなり落下するのでその時ベース８で受ける
為のものである。又ベース８に継手１３を設置し真空ポ
ンプ等で空気を吸引し、カバー１２の内部を負圧にする
ことによりさらに完全にカバー内で発生した塵による汚
染を防ぐことができる。又第５図に示すように駆動モー
タ３を駆動車２の外部に配置し駆動ワイヤー１５を使用
して駆動車２を駆動すると、駆動車２の重量が減り、よ
り高速度の移動が可能になる。
車５と６の間ですべり接触やころがり接触がおこるので
発塵する。しかしこの塵はカバー１２があるためカバー
より外へは出ない。又台車１は摺動部がなく無接触に移
動するためまった（発塵しない。このため搬送装置を設
置している室や、搬送物をまったく汚染することがない
。又モータ３を公知の速度制御方法で制御することによ
り、搬送物に衝撃力を与えることがないので搬送ワーク
に微小のカケができるということも防げる。なお台車１
上の補助輪１４は非常時に電源が切れた時台車１は磁気
浮上されなくなり落下するのでその時ベース８で受ける
為のものである。又ベース８に継手１３を設置し真空ポ
ンプ等で空気を吸引し、カバー１２の内部を負圧にする
ことによりさらに完全にカバー内で発生した塵による汚
染を防ぐことができる。又第５図に示すように駆動モー
タ３を駆動車２の外部に配置し駆動ワイヤー１５を使用
して駆動車２を駆動すると、駆動車２の重量が減り、よ
り高速度の移動が可能になる。
この発明は以上説明したように摺動部をもつため発塵を
する駆動車をカバーでおおい、搬送物を載せる台車を駆
動車に対して磁気浮上させ摺動部を無くしたため搬送時
に発塵がなく、設置場所や搬送物を汚染しないという大
きな効果がある。
する駆動車をカバーでおおい、搬送物を載せる台車を駆
動車に対して磁気浮上させ摺動部を無くしたため搬送時
に発塵がなく、設置場所や搬送物を汚染しないという大
きな効果がある。
又駆動モータを制御することにより搬送時のショックを
無くして、搬送物に微小なカケを作るというようなこと
もないという効果もある。
無くして、搬送物に微小なカケを作るというようなこと
もないという効果もある。
第１図は本発明の１実施例の正面図、第２図は第１図の
断面ＡＡ図、第３図は駆動車２における電磁石の配置図
、第４図は磁気軸受のプロ・ツク線図、第５図は他の実
施例の側面図である。 １ −ｍ＝台車 ２ −ｍ−駆動車 Ｍ１〜ＭＳ−ｍ−電磁石 ８１〜Ｓ８−ｍ−位置検出器 ４ −ｍ−駆動輪 １０ −ｍ−軌道 １２ −一一カバー
断面ＡＡ図、第３図は駆動車２における電磁石の配置図
、第４図は磁気軸受のプロ・ツク線図、第５図は他の実
施例の側面図である。 １ −ｍ＝台車 ２ −ｍ−駆動車 Ｍ１〜ＭＳ−ｍ−電磁石 ８１〜Ｓ８−ｍ−位置検出器 ４ −ｍ−駆動輪 １０ −ｍ−軌道 １２ −一一カバー
Claims (4)
- （１）駆動車と前記駆動車の外周全域を走行方向に連続
的におおうカバーとそのカバーの外部に位置し、前記駆
動車と対応して配置された台車とからなり、前記台車は
前記台車及び前記駆動車に設けられた磁力手段により浮
上し台車と共に駆動されることを特徴とする搬送装置。 - （２）前記駆動車が前記駆動車上にあるモータを駆動源
とすることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の搬
送装置。 - （３）前記駆動車がワイヤーによって駆動されることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の搬送装置。 - （４）前記カバー内を負圧にすることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1500085A JPS61177106A (ja) | 1985-01-29 | 1985-01-29 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1500085A JPS61177106A (ja) | 1985-01-29 | 1985-01-29 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61177106A true JPS61177106A (ja) | 1986-08-08 |
Family
ID=11876641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1500085A Pending JPS61177106A (ja) | 1985-01-29 | 1985-01-29 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61177106A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62114403A (ja) * | 1985-11-13 | 1987-05-26 | Fuji Electric Co Ltd | 搬送装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5817018A (ja) * | 1981-07-16 | 1983-02-01 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ウエハ移送装置 |
| JPS5939103U (ja) * | 1982-08-31 | 1984-03-13 | 越田 逸之助 | 突切バイト |
| JPS59108616A (ja) * | 1982-12-15 | 1984-06-23 | Tokyo Kasoode Kenkyusho:Kk | コンベア装置 |
| JPS60107451A (ja) * | 1983-11-17 | 1985-06-12 | 株式会社東芝 | 移送装置 |
-
1985
- 1985-01-29 JP JP1500085A patent/JPS61177106A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5817018A (ja) * | 1981-07-16 | 1983-02-01 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ウエハ移送装置 |
| JPS5939103U (ja) * | 1982-08-31 | 1984-03-13 | 越田 逸之助 | 突切バイト |
| JPS59108616A (ja) * | 1982-12-15 | 1984-06-23 | Tokyo Kasoode Kenkyusho:Kk | コンベア装置 |
| JPS60107451A (ja) * | 1983-11-17 | 1985-06-12 | 株式会社東芝 | 移送装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62114403A (ja) * | 1985-11-13 | 1987-05-26 | Fuji Electric Co Ltd | 搬送装置 |
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