JPS60163664U - 電子顕微鏡等の試料微動装置 - Google Patents

電子顕微鏡等の試料微動装置

Info

Publication number
JPS60163664U
JPS60163664U JP5070784U JP5070784U JPS60163664U JP S60163664 U JPS60163664 U JP S60163664U JP 5070784 U JP5070784 U JP 5070784U JP 5070784 U JP5070784 U JP 5070784U JP S60163664 U JPS60163664 U JP S60163664U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fine movement
specimen
electron microscopes
movement devices
specimen fine
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5070784U
Other languages
English (en)
Inventor
四伊　一生
恒 佐藤
功 松井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP5070784U priority Critical patent/JPS60163664U/ja
Publication of JPS60163664U publication Critical patent/JPS60163664U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は本考案を対物レンズ部に装着した
横断面図および縦断面図を示す。 １・・・サイドエントリー試料ステージ、２・・・トッ
プエントリー試料微動器、３・・・トップエントリー右
微動軸、４・・・スプリング、５・・・テコ、６・・・
ケース、７・・・スプリング、８・・・左微動軸、９・
・・スプリング、１０・・・センターＭ、１１・・・ケ
ース、１２・・・スプリング、１３・・・テコ、１４・
・・ツメ、１５・・・サイドエントリー試料ホルダー、
１６・・・試料、１７・・・サイドエン１り一左微動軸
、１８・・・スフリング、１９・・・試料室、２０・・
・トップエントリー試料筒、２１・・・試料交換筒、２
２・・・試料交換駆動部、２３・・・マイクロメータ、
２４・・・対物レンズ下部磁極、２５・・・対物レンズ
上部磁極、２６．２７・・・ピボット。　　　　′

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. トップエントリー、サイドエントリー試料装置を同一の
    対物レンズで共有する電子顕微鏡において上記試料装置
    の試料微動を同一の駆動により同時に可動することを特
    徴とする電子顕微鏡等の試料微動装置。
JP5070784U 1984-04-09 1984-04-09 電子顕微鏡等の試料微動装置 Pending JPS60163664U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5070784U JPS60163664U (ja) 1984-04-09 1984-04-09 電子顕微鏡等の試料微動装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5070784U JPS60163664U (ja) 1984-04-09 1984-04-09 電子顕微鏡等の試料微動装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60163664U true JPS60163664U (ja) 1985-10-30

Family

ID=30569092

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5070784U Pending JPS60163664U (ja) 1984-04-09 1984-04-09 電子顕微鏡等の試料微動装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60163664U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS60163664U (ja) 電子顕微鏡等の試料微動装置
JPS6136954U (ja) 電子顕微鏡等における試料移動装置
JPS6059458U (ja) 電子線装置
JPH0459815U (ja)
JPS58176355U (ja) 走査電子顕微鏡等の対物レンズ
JPS58144755U (ja) 電子顕微鏡等の試料微動装置
JPS5957849U (ja) 電子顕微鏡等の試料交換装置
JPS60121249U (ja) 走査電子顕微鏡等における試料装置
JPS5860851U (ja) 電子顕微鏡における試料ホルダ−
JPS6296256U (ja)
JPS5818218U (ja) 金属顕微鏡
JPS5936567U (ja) 走査電子顕微鏡の試料微動装置
JPS6059212U (ja) 顕微鏡
JPS6177543U (ja)
JPS6065967U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS6059457U (ja) 電子線装置
JPS58113255U (ja) 電子顕微鏡等における軸合せ装置
JPS59187069U (ja) 荷電粒子線分析装置
JPS5878562U (ja) 電子顕微鏡等の多試料装置
JPS5838114U (ja) コンデンサレンズ
JPS5899763U (ja) 電子顕微鏡
JPS59152656U (ja) 電子顕微鏡
JPS61188249U (ja)
JPS60142824U (ja) 光ピツクアツプ
JPS5966852U (ja) 荷電粒子分析装置の光学観察装置