JPS5957849U - 電子顕微鏡等の試料交換装置 - Google Patents

電子顕微鏡等の試料交換装置

Info

Publication number
JPS5957849U
JPS5957849U JP15294782U JP15294782U JPS5957849U JP S5957849 U JPS5957849 U JP S5957849U JP 15294782 U JP15294782 U JP 15294782U JP 15294782 U JP15294782 U JP 15294782U JP S5957849 U JPS5957849 U JP S5957849U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
sample exchange
exchange equipment
electron microscopes
chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15294782U
Other languages
English (en)
Inventor
誠 石田
小松原　岳雄
真鍋　修
幸 松谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jeol Ltd filed Critical Jeol Ltd
Priority to JP15294782U priority Critical patent/JPS5957849U/ja
Publication of JPS5957849U publication Critical patent/JPS5957849U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は電子顕微鏡等の試料交換装置の従来装置の構成
略図、第２図は本考案の一実施例装置の構成略図、第３
図は他の実施例を示す構成略図である。 １：フイラメレト、２：加熱電源、３：加速電源、４：
電子線、５：集束レンズ、６：対物レンズ、７：試料ホ
ルダ、８：試料室、９：試料交換室、１０：真空仕切弁
、１１：試料交換棒、１２：遮蔽板、１３：マイクロス
イッチ、１４：電源、１５：スイッチ、１６：電磁弁、
１７：ストツバ、１８：増幅器、１９：電源、２０：電
気軸合わせ等の偏向コイル。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ゛　　　内部が真空に排気される試料室と、該試料室と
    仕切弁で仕切られた試料交換室とを備えた装置において
    、前記試料室内の試料への電子線の照射番阻止するため
    の電子線遮断機構を設け、該遮断機構の制御を前記仕切
    弁の操作と連動させるように構成したことを特徴とする
    電子懸顕微鏡等の試料−交換装置。
JP15294782U 1982-10-08 1982-10-08 電子顕微鏡等の試料交換装置 Pending JPS5957849U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15294782U JPS5957849U (ja) 1982-10-08 1982-10-08 電子顕微鏡等の試料交換装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15294782U JPS5957849U (ja) 1982-10-08 1982-10-08 電子顕微鏡等の試料交換装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5957849U true JPS5957849U (ja) 1984-04-16

Family

ID=30338524

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15294782U Pending JPS5957849U (ja) 1982-10-08 1982-10-08 電子顕微鏡等の試料交換装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5957849U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6171952U (ja) * 1984-10-16 1986-05-16

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6171952U (ja) * 1984-10-16 1986-05-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS58110956U (ja) 荷電粒子照射装置
GB1193159A (en) Improvements in or relating to Corpuscular Beam Apparatus
JPS6010272Y2 (ja) 試料汚染防止装置
GB721521A (en) Improvements in electron-beam diffraction apparatus
JPS59152560U (ja) 試料装置
JP3064335B2 (ja) 透過型電子顕微鏡
JPS582856U (ja) 透過走査像観察装置
JPS58176355U (ja) 走査電子顕微鏡等の対物レンズ
JPS60163664U (ja) 電子顕微鏡等の試料微動装置
JPS5997458U (ja) イオン電子線照射装置
JPS5988858U (ja) 電子顕微鏡
JPS5945849U (ja) イオン注入装置
JPS59192257U (ja) 荷電粒子線装置
JPS6065966U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS6065967U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS56152145A (en) Electron microscope
JPS5879852U (ja) 電子顕微鏡等に於けるシヤツタ−装置
GB1127543A (en) A deflection chamber for an electron microscope
JPS6176675U (ja)
JPS5899763U (ja) 電子顕微鏡
JPS5828970U (ja) 電子顕微鏡等の試料加熱装置
JPS5768031A (en) Axis aligning mechanism for electron beam exposure device
JPS58165968U (ja) 電子線走査型分析装置
JPS594408U (ja) 透過電子顕微鏡
JPS63128661U (ja)