JPS58182202A - サ−ミスタの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は作業性容易にして応答性の優れたサーミスタを
安価に提供しようとするサーミスタの製造法に関するも
のである。

従来における薄膜サーミスタの製造は、印刷により電極
が多数設けられたセラミック板上に薄膜サーミスタ層を
蒸着する際に、それぞれの電極の引出電極となる部分に
マスクを使用してサーミスタ層を゛蒸着しないようにし
ている。そして、このように形成されたものを１チツプ
づつ切断して製造するものであった。

このような製造によるものは、電極の寸法精度が製品の
特性バラツキに大きく影響するものであった。また、サ
ーミスタ層の蒸着時にマスクを使用するため、生産時の
作業性も悪いといった欠点を有していた。

本発明は以上のような従来の欠点を除去するサーミスタ
の製造法を提案するものであり、以下その一実施例につ
いて第１図〜第７図と共に説明する。

まず、図において１は熱伝導性に優れたアルミナ板等の
セラミック基板で、第１図に示すように多数の穴２が整
列状に開けられている。この基板１の片面に電極材、料
を印刷し、この時に穴２の中にその電極材料が流れ込み
、完全に電極材料が穴２を埋めるようにする。この状態
を第２図に示しており、−上記基板１の片面に設けられ
た導電部３は穴２内に達している。つぎに、上記基板１
のもう一方の而に上記と同じ電極材料を印刷し、第３図
に示すように導電部４を形成する。これにより上記導電
部３．４は多数の穴２を通して電気的に完全な導通状態
となる。ついで、上記基板１の片面の上記導電部３−ヒ
に第４図に示すようにサーミスタ特性を有する材料を蒸
着して薄膜サーミスタ層５を形成し、さらにそのサーミ
ス層５の」ユに」−記と同じかまたは異なる電極材料を
印刷または蒸着して第５図に示すように導電部６を形成
する。

その後、多数の穴２によって上記導電部３．４が導通し
ている状態のものを第°６図に示すように切断線７のと
ころで９ノ断じ、穴２の１つでそれぞれ１チツプが導通
している形に切断する。このようにしてサーミスタは製
造されるのであり、第７図に１チツプになった状態のサ
ーミスタを示しでいる。

このような製造どすることべよって、セラミック基板と
して用いる例えばアルミナ板は薄く熱伝導性に優れてい
るため、応答性の優れたものとなる。ま、た、従来のよ
うにマスクを使用しないため位置合せの作業がなく、作
業上の向−にが図れる。

以上のように本発明の製造法によれば、熱伝導性に優れ
たセラミック基板の而に薄膜サーミスタ層を形成す不こ
とによって、高品質で組立ての作業性もきわめて優五た
ものとなり、安価にして製、作できるという実用的価値
を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の詳細な説明するだめのセラミック基板
の斜視図、第２図〜第６図は同製造工程順の状態を示す
断面図、第６図は同しく切断工程を示す斜視図、第７図
は同じく切断によりサーミスタが１チツプになった状態
を示す斜視図である。 １・・・・・セラミック基板、　　２・・・・・穴、３
・４・・・・・第１、第２の導電部、５ｏ・・・薄膜サ
ーミスタ層、６・・・・・第３の導電部。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 第２図　　　　　　３ 第６図 第７図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 熱伝導性に優れた複数の穴を有するセラミック基板の両
   面にその穴を通して印刷により第１、第２の導電部を設
   け、上記セラミック基板の片面の上記導電部上にサーミ
   スタ特性を有する材料を蒸着して薄膜サーミスタ層を形
   成し、この薄膜サーミスタ層の上に導電材料を蒸着また
   は印刷して第３の導電部を設け、その後多数の穴によっ
   て」二記第１、第２の導電部が導通している状態のもの
   を１ケの穴によって導通している形に切断することを特
   徴とするサーミスタの製造法。