JPS58196638A - 走査針 - Google Patents
走査針Info
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- JPS58196638A JPS58196638A JP8049182A JP8049182A JPS58196638A JP S58196638 A JPS58196638 A JP S58196638A JP 8049182 A JP8049182 A JP 8049182A JP 8049182 A JP8049182 A JP 8049182A JP S58196638 A JPS58196638 A JP S58196638A
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- electrode
- groove
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- needle
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B9/00—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor
- G11B9/06—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using record carriers having variable electrical capacitance; Record carriers therefor
- G11B9/07—Heads for reproducing capacitive information
- G11B9/075—Heads for reproducing capacitive information using mechanical contact with record carrier, e.g. by stylus
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は情報を静電容量の変化として記録してなる媒体
から該情報信号を抽出する走査針に関するものである。
から該情報信号を抽出する走査針に関するものである。
従来の走査針例えばＶＨＤ方式ビデオディスクに適用す
る走査針は第１図に示す針先形状を有している。すなわ
ち、ダイヤモンド等の硬脆材料よりな、る針基台（１）
は大略截頭五角錐形状に成形されており、媒体に摺接す
る底面（１ａ）と、該底面にそれぞれ下潮が画定される
５つの側面（ｌｂ） （ｌｃ） （１ａ）（ｌ ｅ）
（１ｆ）とを備えている。側面（ｔａ） （ｌｅ）は媒
体の走入側に配され、側面（１ｃ） （１ｆ）は媒体の
走出側に配される側１ｉｉ（ｌｂ）の横１１１！＋２１
を規定する。側面（１ｂ）上にはチタン等の高融点金属
からなる電極（３）が付設されている。横幅（２）は走
査針の摩耗の進行によっても所定のすなわちトラック幅
以下の値に設定する必要があるから電極内包角（４）を
極力小さく例えば３〜６程度にするようにしている。こ
れは第１図Ｃに示す破線域（５）及び（６）を除去し側
面（１ｃ）及び（１ｆ）を出す工程の精度を高く必要と
すること分意味する。最初に破線域（６）を除去すれば
次の破線域＋６１の除去時に電極（３）の横幅（２）を
制御しながら加工を行なうわけであるが、この際横幅１
２）が１μｍ以下という極めて微糸田寸法であり一方厚
さが０２μｍ程賞と横幅との比較において無視できない
厚みがあり針基台（１）との接触面積が微細であるため
研磨加工中の砥粒の衝突エネルギーやそれに起因するく
り返し応力あるいは研磨機等の振動によるエネルギーの
影響を受は電極が針基台から剥離するおそれがあった。
る走査針は第１図に示す針先形状を有している。すなわ
ち、ダイヤモンド等の硬脆材料よりな、る針基台（１）
は大略截頭五角錐形状に成形されており、媒体に摺接す
る底面（１ａ）と、該底面にそれぞれ下潮が画定される
５つの側面（ｌｂ） （ｌｃ） （１ａ）（ｌ ｅ）
（１ｆ）とを備えている。側面（ｔａ） （ｌｅ）は媒
体の走入側に配され、側面（１ｃ） （１ｆ）は媒体の
走出側に配される側１ｉｉ（ｌｂ）の横１１１！＋２１
を規定する。側面（１ｂ）上にはチタン等の高融点金属
からなる電極（３）が付設されている。横幅（２）は走
査針の摩耗の進行によっても所定のすなわちトラック幅
以下の値に設定する必要があるから電極内包角（４）を
極力小さく例えば３〜６程度にするようにしている。こ
れは第１図Ｃに示す破線域（５）及び（６）を除去し側
面（１ｃ）及び（１ｆ）を出す工程の精度を高く必要と
すること分意味する。最初に破線域（６）を除去すれば
次の破線域＋６１の除去時に電極（３）の横幅（２）を
制御しながら加工を行なうわけであるが、この際横幅１
２）が１μｍ以下という極めて微糸田寸法であり一方厚
さが０２μｍ程賞と横幅との比較において無視できない
厚みがあり針基台（１）との接触面積が微細であるため
研磨加工中の砥粒の衝突エネルギーやそれに起因するく
り返し応力あるいは研磨機等の振動によるエネルギーの
影響を受は電極が針基台から剥離するおそれがあった。
従って、電極膜の形成においては再生時の媒体との相対
運動によって生ずる電極剥離強度工りも大きい加工時の
剥離力に対する強度を確保するため例えばイオン注入と
いった高度な技術が必要とされた。かかる従来の走査針
は針先形状を５角錐状に成形する加工性の悪さと、加工
時の電極剥離の対策を必要とすることなど生産性に劣る
ものであった。
運動によって生ずる電極剥離強度工りも大きい加工時の
剥離力に対する強度を確保するため例えばイオン注入と
いった高度な技術が必要とされた。かかる従来の走査針
は針先形状を５角錐状に成形する加工性の悪さと、加工
時の電極剥離の対策を必要とすることなど生産性に劣る
ものであった。
本発明はかかる欠点に鑑みなされたものであり電極幅を
規定する丸めの加工を必要とせずに針基台に電極幅相当
の凹溝を設けこの凹溝に電極金属を付設する事とし、針
基台の形状は例えばオーディオ針と同様の円錐加工され
たものを基本的に大きく後加工を加えずに形成すること
を特徴とする走査針を提供しようとすふものである。
規定する丸めの加工を必要とせずに針基台に電極幅相当
の凹溝を設けこの凹溝に電極金属を付設する事とし、針
基台の形状は例えばオーディオ針と同様の円錐加工され
たものを基本的に大きく後加工を加えずに形成すること
を特徴とする走査針を提供しようとすふものである。
次に本発明を実施例に基づき説明する。第２図ａ、ｂは
走査針の全体形状を示す正面図と平面図であり、第３図
ａ、１３は針先部分の拡大正面図と底面図である。走査
針（Ｅ＋）は基本的には針基台（１０）と電極−とから
構成されている。また針基台１１０１はダイヤモンド（
或いはサファイヤ）等の硬脆材料からなる円錐状の針先
端部（ｌｌｉと、該針先端部に連らなる円錐状部及び円
柱状部を形成するチタン等の金属からなる針基部（７４
ツク） １２１とを備えている。
走査針の全体形状を示す正面図と平面図であり、第３図
ａ、１３は針先部分の拡大正面図と底面図である。走査
針（Ｅ＋）は基本的には針基台（１０）と電極−とから
構成されている。また針基台１１０１はダイヤモンド（
或いはサファイヤ）等の硬脆材料からなる円錐状の針先
端部（ｌｌｉと、該針先端部に連らなる円錐状部及び円
柱状部を形成するチタン等の金属からなる針基部（７４
ツク） １２１とを備えている。
この針基台１（２）は第２図に示すように、円錐を形成
する斜面（側面）（１罎と記録媒体に摺接する走査面（
底面）（１４とを備えており、側面（１３１上には斜面
に市って電極を付設するだめの電極幅相当の条溝１１１
１、が形成されている。この条（ＩｔＯＦ８の形成方法
としでは例えば１μｍ以下に絞った電子ビームやアルゴ
ン、ＹＡＧ等のレーザを斜面に添って走★させることで
比較的容易に得ることができる。例えばレーザを用いて
条溝加工を行なう場合レーザビームを１μｍ以下に絞る
ためその光学系対物レンズ＆ｉ１ｍ ＆−ｉ ５ Ｃ１
〜１００ｍ（７）４゜えよいえｏ１□１エ １物で
ある針基台が硬くて覚いダイヤモンド（或いはサファイ
ヤ）であるためレーザの波長５００゜〜１００ＯＡに対
し反射率が高くそれ相当のパワーを与えなけ几ばならな
い。しかしレーザパワーを太きくした場合ダイヤモンド
の加工開始時パワーにおいても加工幅が著しく大きなも
のとなり必要な１７Ｌｍ以下の条溝加工は出来ない。そ
こで、針基台をレーザの波長に対して吸収率のすぐれた
例、ｔばり・ローム、ニッケル、チタン等で被穆し、レ
ーザを照射することで容易に所定の幅の１０付設溝を得
ることができる。
する斜面（側面）（１罎と記録媒体に摺接する走査面（
底面）（１４とを備えており、側面（１３１上には斜面
に市って電極を付設するだめの電極幅相当の条溝１１１
１、が形成されている。この条（ＩｔＯＦ８の形成方法
としでは例えば１μｍ以下に絞った電子ビームやアルゴ
ン、ＹＡＧ等のレーザを斜面に添って走★させることで
比較的容易に得ることができる。例えばレーザを用いて
条溝加工を行なう場合レーザビームを１μｍ以下に絞る
ためその光学系対物レンズ＆ｉ１ｍ ＆−ｉ ５ Ｃ１
〜１００ｍ（７）４゜えよいえｏ１□１エ １物で
ある針基台が硬くて覚いダイヤモンド（或いはサファイ
ヤ）であるためレーザの波長５００゜〜１００ＯＡに対
し反射率が高くそれ相当のパワーを与えなけ几ばならな
い。しかしレーザパワーを太きくした場合ダイヤモンド
の加工開始時パワーにおいても加工幅が著しく大きなも
のとなり必要な１７Ｌｍ以下の条溝加工は出来ない。そ
こで、針基台をレーザの波長に対して吸収率のすぐれた
例、ｔばり・ローム、ニッケル、チタン等で被穆し、レ
ーザを照射することで容易に所定の幅の１０付設溝を得
ることができる。
電極μｓは条溝（ｌ［ＱＩ’［電極材であるハフニウム
、チタン、ジルコニウム、モリブデン等の高融改金属を
イオンブレーティングやスパッタリングにて付着される
ものである。この付設時、第４図に示す如く電極膜ｅｖ
ｉｌは必要な条１Ｎ！１１５ｉ内だけでなくこの条溝の
囲りの針基台（ゆ表面にも付着される。電極膜の不咬部
分の除去には、例えば針基台を円錐加工する方法を適用
し、条溝１１１６１内の電極の厚さが所要の厚さ例えば
２０００ムになるように加工する。
、チタン、ジルコニウム、モリブデン等の高融改金属を
イオンブレーティングやスパッタリングにて付着される
ものである。この付設時、第４図に示す如く電極膜ｅｖ
ｉｌは必要な条１Ｎ！１１５ｉ内だけでなくこの条溝の
囲りの針基台（ゆ表面にも付着される。電極膜の不咬部
分の除去には、例えば針基台を円錐加工する方法を適用
し、条溝１１１６１内の電極の厚さが所要の厚さ例えば
２０００ムになるように加工する。
本発明の走査針は針基台の条溝内Ｋｔｆｆｌ全ｆｆ埋設
し−Ｃいるので、針基台と電極膜の付着面が一面であつ
九従来例に比べ針基台と電極の付着面が拡大されそれだ
け付着強度が確保できるためイオンブレーティングやス
パッタリングといった電極形成法でも実用上十分の付着
強度を得ることができる。また、針基台を円錐状とすれ
ば従来のオーディオ針加工技術が適用でき量産性が確保
できる。
し−Ｃいるので、針基台と電極膜の付着面が一面であつ
九従来例に比べ針基台と電極の付着面が拡大されそれだ
け付着強度が確保できるためイオンブレーティングやス
パッタリングといった電極形成法でも実用上十分の付着
強度を得ることができる。また、針基台を円錐状とすれ
ば従来のオーディオ針加工技術が適用でき量産性が確保
できる。
さらに、電極幅か−、定幅であるため走査面の加工に当
たり電極幅を考慮せずに行なえ歩留も向上する。
たり電極幅を考慮せずに行なえ歩留も向上する。
第１図ａ％ｂ、ｃは従来の走査針の針先部分を示し、ａ
は斜視図、ｂは正面図、Ｃは底面図である。第２図ａ％
ｂは本発明の走査針の全体形状を示す正面図と平面図で
ある。第３図ａ、ｂは本発明の走査針の針先部分の拡大
正面図と底面図である。第４図は電極付設法の説明に供
する中間品の横断面図である。 主な図番の説明 １１０１・・・針基台、・ユ・・・電極、＋１〕・・・
条溝。 出願人 三洋゛屯纒床式会社 第１図 Ｏｂ 第２図 Ｏｂ 第３図
は斜視図、ｂは正面図、Ｃは底面図である。第２図ａ％
ｂは本発明の走査針の全体形状を示す正面図と平面図で
ある。第３図ａ、ｂは本発明の走査針の針先部分の拡大
正面図と底面図である。第４図は電極付設法の説明に供
する中間品の横断面図である。 主な図番の説明 １１０１・・・針基台、・ユ・・・電極、＋１〕・・・
条溝。 出願人 三洋゛屯纒床式会社 第１図 Ｏｂ 第２図 Ｏｂ 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｌ 媒体に摺接する底面を持つ錨状針基台の側面に前記
底面から上方に電在しかつ電極層に相当する幅及び深さ
の条溝を設け、該条溝内に電極金属を埋設してなる走査
針。 ２、 前記針基台はダイヤモンド或いはす７アイヤ等の
硬脆性材料からなる円錐状の針先端部と、該針先端部に
連らセる円錐状部及び円柱状部を形成する金属からなる
針基部とを備えており、前記条溝は前記針基部に及んで
いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の走査
針。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8049182A JPS58196638A (ja) | 1982-05-12 | 1982-05-12 | 走査針 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8049182A JPS58196638A (ja) | 1982-05-12 | 1982-05-12 | 走査針 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58196638A true JPS58196638A (ja) | 1983-11-16 |
Family
ID=13719760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8049182A Pending JPS58196638A (ja) | 1982-05-12 | 1982-05-12 | 走査針 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58196638A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63141004U (ja) * | 1988-01-08 | 1988-09-16 |
-
1982
- 1982-05-12 JP JP8049182A patent/JPS58196638A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63141004U (ja) * | 1988-01-08 | 1988-09-16 |
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