JPS5819739A - 薄膜磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、磁性薄膜型磁気記録媒体に関し、特に膜面強
度を向上させると同時に走行性及び耐食性を改善した磁
気テープに関する。

近年、磁気記録の高密度化の目的で薄膜型の磁気記録体
すなわち非磁性フィルム上に電気メッキ、無電解メッキ
、真空蒸着、イオンブレーティング、スパッタリング等
により磁性薄膜（１μ〜数百Ｘ）を形成させた磁気記録
媒体（以下蒸着テープと称す）の研究が盛んになってい
る。しかし、この蒸着テープは塗布型テープと比べ、磁
性部（金属あるいは合金のみ）が直接露出しているので
、磁気ヘッドやテープガイド等との接触走行により、傷
つきが発生し易く、スチル特性の点でも不光分であり、
又走行性や耐食性の点でも問題があった。

従来、このような欠点を解消するため、例えば■磁性薄
膜面に高分子材料を塗布する、■ＨＬＢ値が５〜３０の
界面活性剤を塗布する、■８ｉ０ｚ等をスパッタにより
保循層を形成する、■有機滑剤と高分子物質を同時蒸着
する、等が知られているが、■及び■はスチル特性や耐
食性の点で、■は摩擦の点で、さらに■はスチルや耐食
性の点で夫々欠点があった。

本発明は、このような欠点を改良した新規な蒸着テープ
を提供せんとするものであり、具体的には非磁性支持体
上に磁性薄膜を形成したのち、こｆ７）ｌｉ性性膜膜上
固体滑材と、５ｔＯ２，ＡＱ２０３．Ｃｒｚ０３゜Ｔｉ
Ｏ２，ＺｒＯ２等の酸化物、ＳｉＣ，ＷＣ，Ｔｉｃ、Ｎ
ｂＣ，Ｂ４Ｃ等の炭化物、ＣｒＮ、　ＴｉＮ、Ｎ１）Ｎ
、　ＺｒＮ等の窒化物カラ選択した少くとも一種をスパ
ッタリング法により付着したことを特徴とするものであ
る。

固体滑材としては、２硫化モリブデン、２硫化タングス
テン等が使用可能である。強磁性薄膜としては、Ｆｅ、
Ｃｏ、Ｎｉ等の強磁性金属あるいはＦｅ−Ｃｏ、Ｆｅ−
Ｎｉ　、Ｃｏ−Ｎｉ等の磁性合金、又はこれらの金属、
合金にＣｒ、Ｔｉ、ＡＥ等の非出性金属を同時蒸着して
もよい。強磁性薄膜の製造方法としては真空蒸着法、ス
パッタリング法、イオンブレーティング法が好ましい。

又この磁性薄膜は非磁性体層を介在すせた多層構造をと
っても、非磁性支持体との間に下地層を形成したような
構造でも、あるいはバック面に滑性層等を施したもので
あっても構わな（１゜ 本発明に使用きれる非磁性支持体としては、ポリエチレ
ンテレフタレー）、ホｌＪエチレンナフタレート、ポリ
イミドあるいはポリアミド等の可撓性非磁性ベースが好
ましいが、これらだけに限定されるものではない。

以下、実施例により本発明を説明する。

磁性薄膜の形成法は、いずれの実験例でも斜め蒸着法に
よるもので次の通りである。

ベース材料　　：　厚さ１０μのポリエチレンテレフタ
レートベース 磁性材料　：Ｃ０１００％ 入射角　＝６５゜ 加　熱　法　　：　電子ビーム加熱性 真空度　：　１０−’　〜１０−”Ｉｌ’ｏｒｒ出気特
性１（ｃ　　　：　　８３０エルステツド／／　　Ｂｍ
　　：　　９８００　ガウス次で出性蒸着膜十に以下の
条件でスパッタリングを施し保饅層を形成する。

ターゲット　　：　表（１）を参照 雰囲気ガス　　：　アルゴン ガス圧力　：　　４Ｘ１０　　Ｔｏｒｒ極間電圧　：４
．ＯＫＶ このようにして得られた蒸着テープの各物理的特性は以
下に示す通りであった。

表（１） 但し、傷は１００回走行後の表面目視、耐食性は塩化ア
ンモニウム０．５％溶液を塗布し２４時間放置後のさび
の発生を目視して測定した。又ヘッド摩耗において夫々
○印は少ない、Ｘ印は多い、Δ印は中間を示す。

上述せる如く本発明は膜面強度を向上させると同時に、
走行性及び耐食性に優れた出性薄膜型磁気記録媒体を提
供できるものである。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 非磁性支持体上に磁性薄膜を形成した後、該薄膜上に固
   体滑材と、５ｉＯｚ、Ａｇ２０ａ、Ｃｒ０ａ、ＴｉＯ２
   ，ＺｒＯ２等１７）　酸化物、ＳｉＣ，ｗ２．ＴｉＣ，
   ＮｂＣ，Ｂ４Ｃ等ノ炭化物、ＣｒＮ、Ｔ　ｉＮ、ＮｂＮ
   、　ＺｒＮ等の窒化物から選択した少くとも一種をスパ
   ッタリング法により付着したことを特徴とする薄膜磁気
   記録媒体。