JPS58210169A - エツチング加工品の製造方法 - Google Patents
エツチング加工品の製造方法Info
- Publication number
- JPS58210169A JPS58210169A JP57094458A JP9445882A JPS58210169A JP S58210169 A JPS58210169 A JP S58210169A JP 57094458 A JP57094458 A JP 57094458A JP 9445882 A JP9445882 A JP 9445882A JP S58210169 A JPS58210169 A JP S58210169A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- lines
- parts
- resistant film
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、エツチング加工品の製造方法に閏づるbの
【゛ある。
【゛ある。
−1−
金属板を耐食膜を使用しくjハ111!的IJ: iL
ツfングしく所定のパターンを1;することにJ、つ−
C製)ろされる加工品は8種の6のがあるが、余1ユ;
導電根t、)(の様な加7I品のm個Cある。↑屁冶電
板(,1,リートル ムとし称され、第1図に示・I
J)に、薄い金属板金(の不要部J) 4 +1i5蝕
除ノ、1.7C多数の細い枝状の金属条2からなるパタ
ーンをbつらの(゛、この金属条2は1ねにつ、Iバー
fツゾ1;1載部分3!のつJバーチツブどツイレーボ
ン7’−rング智の丁)人(・接続されるものである。
ツfングしく所定のパターンを1;することにJ、つ−
C製)ろされる加工品は8種の6のがあるが、余1ユ;
導電根t、)(の様な加7I品のm個Cある。↑屁冶電
板(,1,リートル ムとし称され、第1図に示・I
J)に、薄い金属板金(の不要部J) 4 +1i5蝕
除ノ、1.7C多数の細い枝状の金属条2からなるパタ
ーンをbつらの(゛、この金属条2は1ねにつ、Iバー
fツゾ1;1載部分3!のつJバーチツブどツイレーボ
ン7’−rング智の丁)人(・接続されるものである。
この様41金属条2の人さはIR−(ミラ1−1ン単位
のbので−あり、hビつパターン1.1通1161個の
金属板につい(多数が形成さtrるbの(・、仝陣とし
“で11へみあ−)だ状態を成りらので(しるにしかか
わらり゛、)1法粕庶が(セめ−C厳しく要5jシされ
るしの(・ある。
のbので−あり、hビつパターン1.1通1161個の
金属板につい(多数が形成さtrるbの(・、仝陣とし
“で11へみあ−)だ状態を成りらので(しるにしかか
わらり゛、)1法粕庶が(セめ−C厳しく要5jシされ
るしの(・ある。
この1=li ’jリ 1−ル ム/l!1ツfングに
J、り形成・するには、金属機上の必要’J /!l1
分(ご耐食膜を形成し・、これ以外の不要部分の金属を
化学1 y fングにJ、す、除去りる7’J法が一般
的!あるが、この方法にJ、る場合は第2図に示!JJ
、うに、耐食lIQの形= 2 − 状を仮想線で承り必要なパターンに正確に一故さt!(
b、コニツチングにより実際に得られた製品ぐは、実線
で承りように、金属条2の′コーナーがリイド]−ツチ
ングで丸くなり、シ1シーブな角を作ることが雌しい。
J、り形成・するには、金属機上の必要’J /!l1
分(ご耐食膜を形成し・、これ以外の不要部分の金属を
化学1 y fングにJ、す、除去りる7’J法が一般
的!あるが、この方法にJ、る場合は第2図に示!JJ
、うに、耐食lIQの形= 2 − 状を仮想線で承り必要なパターンに正確に一故さt!(
b、コニツチングにより実際に得られた製品ぐは、実線
で承りように、金属条2の′コーナーがリイド]−ツチ
ングで丸くなり、シ1シーブな角を作ることが雌しい。
耐食膜を形成するためのIIハ版@:0成Jる場合は、
従来は、必要なパターンをIM <のに、不必要な部分
を塗りつぶづ方法(ハツチング方法)ヤ輪郭を比較的太
い線で描く方法(太線輪郭>1< )が取られCいる。
従来は、必要なパターンをIM <のに、不必要な部分
を塗りつぶづ方法(ハツチング方法)ヤ輪郭を比較的太
い線で描く方法(太線輪郭>1< )が取られCいる。
さらに線幅粕瓜ヤ)形状変化、特に前述のコープ一部の
ザイドエツヂングにJ:る形状変化にだいしCは、第3
図に示すヒリフと呼ばれる特殊なパターン5をコーナー
部分付加したり、あるいは第4図に示づように、コーナ
一部分に架橋部6 (昭和57年特許出願公開 第26
′169 )3公+17.Q照)をn゛リナイドエツ
プンクよる形状変化を防11:する等、原図以外のバク
゛−ンをイ・1加りることにJ、す、問題を解決Jるこ
とが試みられている。しかるに、ハツチングの62人に
J、り作成した原版を用いてエツチング加工品を製jΔ
した場合には、パターンの密集した部分とバター 3
− ンの疎となつ(いる+’Hli分のり(1−トンf−ン
グa3が著しく異イたる結束、規格の製品を作ることが
tNしり、原版[ぐの補正が必要1、’、 !iす1作
Q /)<極め(煩刹1ぐある。しから、1ツブングす
る部分が多くなり、腐蝕液の疲労t/j\人さい。31
、lこ、比十会口ζ]人い線(・パターンの輪郭’a
ll+’+ < )’ノ法(入線輪郭法)(し、バ9−
ン密集部分で輪郭線が重なりあ(X、どの結果、線幅が
太くなり、リイドー[ツブング扮が多り<h 6o L
/たがつ(バクーン密集部分ぐIJ、特に二」、ノーが
丸くkり易い1【II向とイCる。;1、た、ヒリノV
)架橋部等の原型に無い1jI外/Cパターンを1・1
1111ることはII:ζ版作成が複tllと4ムリ、
り\゛〕、小心”A <j部分の線幅が異ムるl−め1
..113 YE’ 、1.−7ブングの)中度が変化
【2、線幅$l′1麻に影響をIIえることにならざる
をえない。
ザイドエツヂングにJ:る形状変化にだいしCは、第3
図に示すヒリフと呼ばれる特殊なパターン5をコーナー
部分付加したり、あるいは第4図に示づように、コーナ
一部分に架橋部6 (昭和57年特許出願公開 第26
′169 )3公+17.Q照)をn゛リナイドエツ
プンクよる形状変化を防11:する等、原図以外のバク
゛−ンをイ・1加りることにJ、す、問題を解決Jるこ
とが試みられている。しかるに、ハツチングの62人に
J、り作成した原版を用いてエツチング加工品を製jΔ
した場合には、パターンの密集した部分とバター 3
− ンの疎となつ(いる+’Hli分のり(1−トンf−ン
グa3が著しく異イたる結束、規格の製品を作ることが
tNしり、原版[ぐの補正が必要1、’、 !iす1作
Q /)<極め(煩刹1ぐある。しから、1ツブングす
る部分が多くなり、腐蝕液の疲労t/j\人さい。31
、lこ、比十会口ζ]人い線(・パターンの輪郭’a
ll+’+ < )’ノ法(入線輪郭法)(し、バ9−
ン密集部分で輪郭線が重なりあ(X、どの結果、線幅が
太くなり、リイドー[ツブング扮が多り<h 6o L
/たがつ(バクーン密集部分ぐIJ、特に二」、ノーが
丸くkり易い1【II向とイCる。;1、た、ヒリノV
)架橋部等の原型に無い1jI外/Cパターンを1・1
1111ることはII:ζ版作成が複tllと4ムリ、
り\゛〕、小心”A <j部分の線幅が異ムるl−め1
..113 YE’ 、1.−7ブングの)中度が変化
【2、線幅$l′1麻に影響をIIえることにならざる
をえない。
このIJ <r:ことから、規格に7,4づいlこシ1
1−、ブ4C必要パターンをbつ高品質の]ツJング加
工品を容易に1’lることがぐさ、かつl−ツブーンク
に際して、;1ル蝕液の疲労が著しく少lJ:り、した
がつ(腐蝕液の々のを永くJることが(3\(、軽1i
1的にしイ)刊−4− 2’(lツヂング加1品の製造方法の開発が望′、Lれ
(いる。
1−、ブ4C必要パターンをbつ高品質の]ツJング加
工品を容易に1’lることがぐさ、かつl−ツブーンク
に際して、;1ル蝕液の疲労が著しく少lJ:り、した
がつ(腐蝕液の々のを永くJることが(3\(、軽1i
1的にしイ)刊−4− 2’(lツヂング加1品の製造方法の開発が望′、Lれ
(いる。
この発明LL−に記のごとさ事情に鑑みてなされた。0
のCt’y+って、規格に基づいたシャープな必要パタ
ーンをbつ高品質の1ツ1−ングー加工品を容易にIf
fることができ、かつ]−ツチングに際しく、腐蝕液の
疲労が名しく少なり、シたがって腐蝕液のXj命を永く
することができて、経済的にも有利なエツチング加工品
の製Xli h 74を提供することを目的とりるもの
である。
のCt’y+って、規格に基づいたシャープな必要パタ
ーンをbつ高品質の1ツ1−ングー加工品を容易にIf
fることができ、かつ]−ツチングに際しく、腐蝕液の
疲労が名しく少なり、シたがって腐蝕液のXj命を永く
することができて、経済的にも有利なエツチング加工品
の製Xli h 74を提供することを目的とりるもの
である。
この]]的に対応しく、この発明の1ツブング加−1品
の製造方法は、金属板を耐食膜を用いて」ツゾングし°
C必要なパターンを1!する1ツf−ング加1品の¥J
32.方法であって、前記耐食膜を形成づるIこ・め
の原版を、必要なパターンの輪郭にリイド、[ツブング
のAフヒツ1−吊を介して沿う耐食膜非形成用の画線部
を細線にJ、って描きかつ前記画線部を前記パターン9
コーノ一部もしくは隣合う前記画線部が接近りることと
なる部分では不連続に116いてなるbのを使用−4る
ことを特徴としている。
の製造方法は、金属板を耐食膜を用いて」ツゾングし°
C必要なパターンを1!する1ツf−ング加1品の¥J
32.方法であって、前記耐食膜を形成づるIこ・め
の原版を、必要なパターンの輪郭にリイド、[ツブング
のAフヒツ1−吊を介して沿う耐食膜非形成用の画線部
を細線にJ、って描きかつ前記画線部を前記パターン9
コーノ一部もしくは隣合う前記画線部が接近りることと
なる部分では不連続に116いてなるbのを使用−4る
ことを特徴としている。
−5,−
以ト、この発明のRY’ 1+11を 太I通例合承り
図面(こ゛)い(説明りる。。
図面(こ゛)い(説明りる。。
第7図にJjいC1111,L、l ン1ンク加1−品
の一例としくのり 1ル ムであり、す〜ドフレーム1
1(ま金に11根を耐食膜を用い(1・7/ングしく不
22部5)12を除ムし、必要(、パターンの金属条1
3 /、z 113成したしの(・ある1、耐食膜を形
成″!jる〕Jめの原版14は、第8図t、二示ilJ
、うに、必要<、/(ターンの金属条13の輪郭にり、
イ1:、1ツチングσ)Aノセツト品(Iを介い沿−)
+114良股非形八用の画線部I E’j ’e 20
0 It m以−1・の細線に、J、 )U lid’
区。
の一例としくのり 1ル ムであり、す〜ドフレーム1
1(ま金に11根を耐食膜を用い(1・7/ングしく不
22部5)12を除ムし、必要(、パターンの金属条1
3 /、z 113成したしの(・ある1、耐食膜を形
成″!jる〕Jめの原版14は、第8図t、二示ilJ
、うに、必要<、/(ターンの金属条13の輪郭にり、
イ1:、1ツチングσ)Aノセツト品(Iを介い沿−)
+114良股非形八用の画線部I E’j ’e 20
0 It m以−1・の細線に、J、 )U lid’
区。
1、:だし、画線部151J金属条133の1 ノ一部
1Gにλ・1応・する部分17、もしくはFXi含う画
線一部15同志がが1′&近−りることと/、fる部分
でt、瓢不連)Cにb′)(いる。
1Gにλ・1応・する部分17、もしくはFXi含う画
線一部15同志がが1′&近−りることと/、fる部分
でt、瓢不連)Cにb′)(いる。
この様に構成された原版にJ、る耐食膜を使用しく金属
板を1−ツチングしIζ場合にIJぞの金属板は第9図
にtr−!J’ J、うに、画線部1りに)jll(賜
触部18が形成されるが、イの11;;触部18.i、
i 4:lイト1ツーfングにJ、す、画粍1部1 !
J、J、すC3人くなり、シー 6 − の結ψ、腐蝕部I J3の内側が金属条13の所q!の
輪tJRど−敗し、また、画11AN115の不連続部
しリーイドニ[ツチングの結束、腐蝕部18は連続し、
不要部分12は腐蝕部18によって必要な金属条13か
ら切離されて11v2落し、ついに所望の金属条13を
得る。
板を1−ツチングしIζ場合にIJぞの金属板は第9図
にtr−!J’ J、うに、画線部1りに)jll(賜
触部18が形成されるが、イの11;;触部18.i、
i 4:lイト1ツーfングにJ、す、画粍1部1 !
J、J、すC3人くなり、シー 6 − の結ψ、腐蝕部I J3の内側が金属条13の所q!の
輪tJRど−敗し、また、画11AN115の不連続部
しリーイドニ[ツチングの結束、腐蝕部18は連続し、
不要部分12は腐蝕部18によって必要な金属条13か
ら切離されて11v2落し、ついに所望の金属条13を
得る。
この様に、この発明のエツヂング加工品の製造方法では
、所望の製品の形状を得るのにヒリフや架橋部のよう−
な、原版」−で原図にはないパターンを(=J加覆る必
要がなく、原図パターンの一部を削除Jることで実痛が
(・キるため、原版作成が極め(容易である。また、規
格に基づいたシIF−ブな必要パターンをbつ高品質の
−しツヂング加工品を容易にIJることができる。しか
もエツチングが細い腐蝕部18の範囲のみで行なわれ、
不要部分を全部腐蝕除去ざUる必要がないから、腐蝕液
の疲労が七しく少なく、したがって腐蝕液の寿命を永く
りることがでさて、経済的にも有利である。
、所望の製品の形状を得るのにヒリフや架橋部のよう−
な、原版」−で原図にはないパターンを(=J加覆る必
要がなく、原図パターンの一部を削除Jることで実痛が
(・キるため、原版作成が極め(容易である。また、規
格に基づいたシIF−ブな必要パターンをbつ高品質の
−しツヂング加工品を容易にIJることができる。しか
もエツチングが細い腐蝕部18の範囲のみで行なわれ、
不要部分を全部腐蝕除去ざUる必要がないから、腐蝕液
の疲労が七しく少なく、したがって腐蝕液の寿命を永く
りることがでさて、経済的にも有利である。
画線部15と不連続部の配置は、゛第8図に示1Jもの
に限られないのIJ (> b論ぐあって、第10図か
−7− ら第1 l1図に4.すJ、うな8(・トのj′旧I(
が可(i’aぐある。
に限られないのIJ (> b論ぐあって、第10図か
−7− ら第1 l1図に4.すJ、うな8(・トのj′旧I(
が可(i’aぐある。
第1図(、象り一ドフレームの一例を承り拡大平面図、
第2図はリードフレームの金属条を示J拡人中面図、第
3図(1ハツブング法を承すJ11図、り14図は太わ
;j輪郭法を承り説明図、第5図はヒリノを示ν拡人平
面図、第6図は架橋部を示1J拡大甲面図、第7図はこ
の発明の一実/+l Ir1lに関4′ノるり一トル−
ムを小り弘人′11面、“111分図、第E3図はこの
発明の一実施例に関わる1liJ食膜1)成用ハ;ミ版
を示り拡大平面部分図、5419図(Lこの発明の一実
施例に関わるり I・ル−11の1ツJング状態を、j
(り拡大平面図、第10図は他の実施例に関わる1京版
の画線部を示′!J説明図、第11図は他の実施例に関
わる原版の画線部を丞り説明図、第12図は曲の実施例
に関わる1車版の画線部をtJ’x l iJ2明図、
第13図は他の実施例(、薯Mlねるlllf版の画線
部を承り説明図、及び第17′1図(31,他の実施例
に関わる原版の画線部を承り説明図である。 −8− ′11・・・リードフレーム 12・・・不要部分゛
13・・・金属条 14・・・原版 15・・・画
線部1G・・・コーナ一部 17・・・対応部分
18・・・腐蝕部 特許出願人 共同印刷株式会相代理人
弁理士 川 JE 冶 ソ3−
9 − 一3′。 第1図 (Q’) (b) 第、。 第6(!l 第7図 711 ( 第8図 4 〕 #l!9・図 313 第10図 第11図 第13図 第12図 第14図
第2図はリードフレームの金属条を示J拡人中面図、第
3図(1ハツブング法を承すJ11図、り14図は太わ
;j輪郭法を承り説明図、第5図はヒリノを示ν拡人平
面図、第6図は架橋部を示1J拡大甲面図、第7図はこ
の発明の一実/+l Ir1lに関4′ノるり一トル−
ムを小り弘人′11面、“111分図、第E3図はこの
発明の一実施例に関わる1liJ食膜1)成用ハ;ミ版
を示り拡大平面部分図、5419図(Lこの発明の一実
施例に関わるり I・ル−11の1ツJング状態を、j
(り拡大平面図、第10図は他の実施例に関わる1京版
の画線部を示′!J説明図、第11図は他の実施例に関
わる原版の画線部を丞り説明図、第12図は曲の実施例
に関わる1車版の画線部をtJ’x l iJ2明図、
第13図は他の実施例(、薯Mlねるlllf版の画線
部を承り説明図、及び第17′1図(31,他の実施例
に関わる原版の画線部を承り説明図である。 −8− ′11・・・リードフレーム 12・・・不要部分゛
13・・・金属条 14・・・原版 15・・・画
線部1G・・・コーナ一部 17・・・対応部分
18・・・腐蝕部 特許出願人 共同印刷株式会相代理人
弁理士 川 JE 冶 ソ3−
9 − 一3′。 第1図 (Q’) (b) 第、。 第6(!l 第7図 711 ( 第8図 4 〕 #l!9・図 313 第10図 第11図 第13図 第12図 第14図
Claims (1)
- 金属板を耐食膜を用いてエツチングして必要なパターン
を1!するエツチング加工品の製造方法であつ(1、前
記耐食膜を形成りるための原版を、必!!iなパターン
の輪郭にりfド]ニッチングのAフしツ1−h1を介し
て沿う耐食膜ノ1形成用の画線部を細線にJ、つC描さ
かつ前記画線部を前記パ々−ンの二1ノ一部b L =
’、 lま隣i’i )前記画線部が接近りることどイ
fる部分で1.1.不連続に描いCなるものを使用づる
ことを1:r mとリイ)」ツヂング加工品の製造方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57094458A JPS58210169A (ja) | 1982-06-02 | 1982-06-02 | エツチング加工品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57094458A JPS58210169A (ja) | 1982-06-02 | 1982-06-02 | エツチング加工品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58210169A true JPS58210169A (ja) | 1983-12-07 |
| JPH0159358B2 JPH0159358B2 (ja) | 1989-12-15 |
Family
ID=14110819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57094458A Granted JPS58210169A (ja) | 1982-06-02 | 1982-06-02 | エツチング加工品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58210169A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6297256A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-05-06 | エマ−ソン・エレクトリツク・カンパニ− | 密閉容器用のカバ−の安全ガス抜きの製造方法及び密閉容器用のカバ− |
| JPS62151548U (ja) * | 1986-03-18 | 1987-09-25 | ||
| JPS62151547U (ja) * | 1986-03-18 | 1987-09-25 | ||
| JPH02106744A (ja) * | 1988-10-17 | 1990-04-18 | Hitachi Cable Ltd | フォトエッチングマスク |
-
1982
- 1982-06-02 JP JP57094458A patent/JPS58210169A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6297256A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-05-06 | エマ−ソン・エレクトリツク・カンパニ− | 密閉容器用のカバ−の安全ガス抜きの製造方法及び密閉容器用のカバ− |
| JPS62151548U (ja) * | 1986-03-18 | 1987-09-25 | ||
| JPS62151547U (ja) * | 1986-03-18 | 1987-09-25 | ||
| JPH02106744A (ja) * | 1988-10-17 | 1990-04-18 | Hitachi Cable Ltd | フォトエッチングマスク |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0159358B2 (ja) | 1989-12-15 |
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