JPS5821748A - 電子写真用像形成部材 - Google Patents
電子写真用像形成部材Info
- Publication number
- JPS5821748A JPS5821748A JP56121121A JP12112181A JPS5821748A JP S5821748 A JPS5821748 A JP S5821748A JP 56121121 A JP56121121 A JP 56121121A JP 12112181 A JP12112181 A JP 12112181A JP S5821748 A JPS5821748 A JP S5821748A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image forming
- photoconductive layer
- forming member
- electrophotography
- electron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording-members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat or to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/02—Charge-receiving layers
- G03G5/04—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
- G03G5/043—Photoconductive layers characterised by having two or more layers or characterised by their composite structure
- G03G5/0436—Photoconductive layers characterised by having two or more layers or characterised by their composite structure combining organic and inorganic layers
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording-members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat or to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/02—Charge-receiving layers
- G03G5/04—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
- G03G5/08—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic
- G03G5/082—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic and not being incorporated in a bonding material, e.g. vacuum deposited
- G03G5/08214—Silicon-based
- G03G5/08221—Silicon-based comprising one or two silicon based layers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、広義の意味の光(紫外光線、可視光線、赤外
光線、X線、T線等)に感受性があり、静電像形成処理
を施されて、像形成され得る電子写真用像形成部材に関
する。
光線、X線、T線等)に感受性があり、静電像形成処理
を施されて、像形成され得る電子写真用像形成部材に関
する。
電子写真用像形成部材に於ける光導電層を構成する光導
電材料としては、使用時に於いて、電気的特性が安定で
あること及び耐熱性を有すること、更に人体に対して無
公害である事、高感度、高抵抗を有し、視感度に出来る
限り近いスペクトル特性を有することが重要な点である
。面乍ら、従来の電子写真用像形成部材の光導電層を構
成する材料の8e、CAB、zrO,アモルファス水素
化シリコン(以後a −811Hと略記する)等の無機
光導電材料やlリ−yどろ?カルバソール(1?VK)
、)リニ)0フルオレン(TMIF)等の有機光導電材
料(0? O) st、上記の諸条件allてを水準以
上に必ずしも満足しているとは断言し難い。
電材料としては、使用時に於いて、電気的特性が安定で
あること及び耐熱性を有すること、更に人体に対して無
公害である事、高感度、高抵抗を有し、視感度に出来る
限り近いスペクトル特性を有することが重要な点である
。面乍ら、従来の電子写真用像形成部材の光導電層を構
成する材料の8e、CAB、zrO,アモルファス水素
化シリコン(以後a −811Hと略記する)等の無機
光導電材料やlリ−yどろ?カルバソール(1?VK)
、)リニ)0フルオレン(TMIF)等の有機光導電材
料(0? O) st、上記の諸条件allてを水準以
上に必ずしも満足しているとは断言し難い。
例えば、分光感度領域を広げる為にT・やム1を加えた
8・系光導電層を有する電子写真用像形成部材は、温度
や湿度による電気的特性の変化が大きく、又光疲労が大
きくなる為に複写画像の均質性や安定性等の欠ける欠点
を有している。
8・系光導電層を有する電子写真用像形成部材は、温度
や湿度による電気的特性の変化が大きく、又光疲労が大
きくなる為に複写画像の均質性や安定性等の欠ける欠点
を有している。
而も、S・、殊にム■、!・は人体に対して極めて有害
であり、強度的にも弱いことから、複写画像中に混入し
たり、複写機内に飛散したりして、人体に接触する原因
となる。
であり、強度的にも弱いことから、複写画像中に混入し
たり、複写機内に飛散したりして、人体に接触する原因
となる。
又、S・系光導電層は、光導電層として高暗抵抗を保有
する為にアモルファス状態に形成されるが8・の結晶化
が65℃と極めて低い温度で起る為に、使用中に於ける
画像形成プロセス中の他の部材との庫擦熱O影響を受け
て結晶化を起し、暗抵抗の低下を招き易いという耐熱性
上にも欠点がある。
する為にアモルファス状態に形成されるが8・の結晶化
が65℃と極めて低い温度で起る為に、使用中に於ける
画像形成プロセス中の他の部材との庫擦熱O影響を受け
て結晶化を起し、暗抵抗の低下を招き易いという耐熱性
上にも欠点がある。
一方、Z!10,0118等を光導電層構成材料として
所謂バインダー系光導電層を有する像形成部材は、光導
電層の電気的及び光導電的特性や物理的化学的特性を決
定するパラメーターが多く再現性が悪く歩留りの低下を
招き、又湿度依存性が着しく、電気的特性の劣化を来た
し、クリーニング性も良くない。
所謂バインダー系光導電層を有する像形成部材は、光導
電層の電気的及び光導電的特性や物理的化学的特性を決
定するパラメーターが多く再現性が悪く歩留りの低下を
招き、又湿度依存性が着しく、電気的特性の劣化を来た
し、クリーニング性も良くない。
又、a−81!11は、81とHの結合力があまり強い
ものでない為に水素が離脱し、膜質が劣化してa −8
11Hの寿命を著しく短縮する。
ものでない為に水素が離脱し、膜質が劣化してa −8
11Hの寿命を著しく短縮する。
更に画像形成時の光照射による光構造変化を起こし、電
気的特性の劣化の原因となり、湿度や周囲の雰囲気から
も影響を受け、帯電性、電荷保持力が劣化する。
気的特性の劣化の原因となり、湿度や周囲の雰囲気から
も影響を受け、帯電性、電荷保持力が劣化する。
これに対してa −81g H表面に電子受容性又は供
与性の分子を吸着層を形成させた場合は、帯電性、電荷
保持力は、向上するが*−8i:Hの寿命及び電気的特
性を決定する水素離脱、光構造変化に何の効果もなく、
膜質の向上はない。
与性の分子を吸着層を形成させた場合は、帯電性、電荷
保持力は、向上するが*−8i:Hの寿命及び電気的特
性を決定する水素離脱、光構造変化に何の効果もなく、
膜質の向上はない。
又、pvxやTN7等の有機光導電材料を使用する電子
写真用像形成部材に於いては、耐湿性、耐コロナイオン
性、クリーニング性に欠け、又光感度に欠け、光感度が
低く、可視光領域に於ける分光感度領域が狭く且つ短波
長側に片寄っている等の欠点を有し、極限定された範闘
でしか使途されていない。
写真用像形成部材に於いては、耐湿性、耐コロナイオン
性、クリーニング性に欠け、又光感度に欠け、光感度が
低く、可視光領域に於ける分光感度領域が狭く且つ短波
長側に片寄っている等の欠点を有し、極限定された範闘
でしか使途されていない。
本発明は、かかる欠点を除失したもので、その目的は、
耐熱性、耐光構変化、表面電気特性の向上にあり、特定
の表面状態を有するアモルファス弗素化シリコン(以後
a−813F:Hと記す)が、電子写真用像形成部材の
光導電層として極めて優れていることを見出した点に基
づいて成されている。
耐熱性、耐光構変化、表面電気特性の向上にあり、特定
の表面状態を有するアモルファス弗素化シリコン(以後
a−813F:Hと記す)が、電子写真用像形成部材の
光導電層として極めて優れていることを見出した点に基
づいて成されている。
本発明の電子写真用像形成部材は、支持体、& −81
$ 72 Hからなる光導電層、該光導電層表面にa−
81111Hに対して電子受容性の分子又は電子供与性
の分子の吸着層を有することを特徴とする。
$ 72 Hからなる光導電層、該光導電層表面にa−
81111Hに対して電子受容性の分子又は電子供与性
の分子の吸着層を有することを特徴とする。
この様に構成されるところの、本発明の電子写真用像形
成部材は、シリコンと水素よりはるかに結合力が強いシ
リコンと弗素結合を用いる為、6′oO℃の熱処理後も
組成及び電気的特性は変化せず700℃の熱処理後でも
光学的特性は、変化せず、結合力に起因する光構造変化
も強結合力により生じない、則ち、耐熱性、耐・光構造
変化も着しく優れている。又a−81! F ! H表
面に脱着の起き難い新たな分子を吸着させることで表面
電気特性の向上を計っている。更に周囲の雰囲気、例え
ば湿度に対しても、電気的特性は変化せず、゛疲労の面
からも耐疲労性を有している。
成部材は、シリコンと水素よりはるかに結合力が強いシ
リコンと弗素結合を用いる為、6′oO℃の熱処理後も
組成及び電気的特性は変化せず700℃の熱処理後でも
光学的特性は、変化せず、結合力に起因する光構造変化
も強結合力により生じない、則ち、耐熱性、耐・光構造
変化も着しく優れている。又a−81! F ! H表
面に脱着の起き難い新たな分子を吸着させることで表面
電気特性の向上を計っている。更に周囲の雰囲気、例え
ば湿度に対しても、電気的特性は変化せず、゛疲労の面
からも耐疲労性を有している。
又、P、n型制御については、ドーピング効率が高く、
ドーパシトであるボロン・リンが新たな欠陥となって電
気的特性の劣化を招くことも1−8i:Hより少ない。
ドーパシトであるボロン・リンが新たな欠陥となって電
気的特性の劣化を招くことも1−8i:Hより少ない。
本発明に於いては、a−81!ff!H層の表面に吸着
分子層を設ける際の吸着分子としては、電子供与性分子
として、例えばIl、:H!OSす7タレン;ビフェニ
ル;フルオレン;アントラセン;フェナントレン;アセ
ナフトレン;ア七す7チルン、クリセン;ピレン;1.
4−ジメトキシベンゼン;ジフェニルアミン; 2 、
2 /−シナ7チルア之ン;1.5−ジェトキシナフタ
レン;2−フェニルインドール;カルバゾール;フェノ
′チアジン;2.4−ビス(4′−ジエチルアミノフェ
ニル)−1,3,4−オキシジアゾール;2゜4−ビス
(4′−ジエチルアミノフェニル)−1,3,4−)す
tゾール等とこれらと類似の多数の化合物が有効なもの
として挙げられ電子受容性吸着分子としては、03.オ
ゾン1.5−ジ旦トロナフタレン; 1,8−シエ)ロ
ナ7タレン;1.4.5−)リニトロナフタレン;2e
4m5*7−テシラ・ニトロフルオレノン;1,5−ジ
クロロナフタレン;1,4−ジブロモナフタレン;9、
10−ジブロモアントラセン;無水フタル酸;テトラク
ロロ無水フタル酸;P−クロラニル;1.2−ベンゾア
ントラキノン;ベンジル;ピレン−5アルデヒド;9−
アセチルアントラセン等とこれらと類似の多数の化学物
が有効なものとして挙げられる。
分子層を設ける際の吸着分子としては、電子供与性分子
として、例えばIl、:H!OSす7タレン;ビフェニ
ル;フルオレン;アントラセン;フェナントレン;アセ
ナフトレン;ア七す7チルン、クリセン;ピレン;1.
4−ジメトキシベンゼン;ジフェニルアミン; 2 、
2 /−シナ7チルア之ン;1.5−ジェトキシナフタ
レン;2−フェニルインドール;カルバゾール;フェノ
′チアジン;2.4−ビス(4′−ジエチルアミノフェ
ニル)−1,3,4−オキシジアゾール;2゜4−ビス
(4′−ジエチルアミノフェニル)−1,3,4−)す
tゾール等とこれらと類似の多数の化合物が有効なもの
として挙げられ電子受容性吸着分子としては、03.オ
ゾン1.5−ジ旦トロナフタレン; 1,8−シエ)ロ
ナ7タレン;1.4.5−)リニトロナフタレン;2e
4m5*7−テシラ・ニトロフルオレノン;1,5−ジ
クロロナフタレン;1,4−ジブロモナフタレン;9、
10−ジブロモアントラセン;無水フタル酸;テトラク
ロロ無水フタル酸;P−クロラニル;1.2−ベンゾア
ントラキノン;ベンジル;ピレン−5アルデヒド;9−
アセチルアントラセン等とこれらと類似の多数の化学物
が有効なものとして挙げられる。
これらの有効な吸着分子は、気体状又は液体状で、更に
は、それらをプラズマ化、イオン化又はラジカル化等の
活性化して、形成直後のa −81−18H表面に接触
させ、吸着層を形成する。同様の特性を与えるもの同志
を混合して使用することもできる。
は、それらをプラズマ化、イオン化又はラジカル化等の
活性化して、形成直後のa −81−18H表面に接触
させ、吸着層を形成する。同様の特性を与えるもの同志
を混合して使用することもできる。
本発明に於いて、支持体は、例えば、ステンレス、ムt
、Or、Mo、Au、工r、Wb、Ta、V、Ti、P
t、I’d等の合金又はこれらの合金等の導電性支持体
、又はこれらの金属が蒸着された導電性支持体、耐熱性
を示す合成i#脂のフィルム、シート、ガラス、セラミ
ック等の絶縁性支持体が有効なものとして挙げられる。
、Or、Mo、Au、工r、Wb、Ta、V、Ti、P
t、I’d等の合金又はこれらの合金等の導電性支持体
、又はこれらの金属が蒸着された導電性支持体、耐熱性
を示す合成i#脂のフィルム、シート、ガラス、セラミ
ック等の絶縁性支持体が有効なものとして挙げられる。
又必要に応じて電気絶縁性支持体の表面を導電処理をす
る。
る。
例えば、ガラスならば、工n@O@ 、S n O@
等で、ポリイミドフィルム等の合成樹脂フィルムで
あれば、ムt、 A g 、 P II、 Z !L
、 N i 、ムU。
等で、ポリイミドフィルム等の合成樹脂フィルムで
あれば、ムt、 A g 、 P II、 Z !L
、 N i 、ムU。
Qr、No@工r、Wb、Ta、V、Ti、Pt等の金
属を以って真空蒸着、電子ビーム蒸着、スパッタリング
等で処理し、その表面が導電処理される。支持体の形状
としては、円筒状、ベルト状、板状等、任意の形状とす
るが、電子写真に適用する場合には、無端ベルト状又は
円筒状とするのが望ましい。
属を以って真空蒸着、電子ビーム蒸着、スパッタリング
等で処理し、その表面が導電処理される。支持体の形状
としては、円筒状、ベルト状、板状等、任意の形状とす
るが、電子写真に適用する場合には、無端ベルト状又は
円筒状とするのが望ましい。
支持体の厚さは、可能な限り薄くされ、通常10μ以上
とされる。
とされる。
本発明に於ける光導電層は、下記のタイプの1−812
N : Hの中の一種類で形成するか、又は少くとも
二種類で構成する多層接合にするかによって得られる。
N : Hの中の一種類で形成するか、又は少くとも
二種類で構成する多層接合にするかによって得られる。
(1) n m−・・・ドナーをのみ含むか、ドナーと
アクセプターを共に含むがドナー淡度が高いもの011
P型・・・アクセプターのみを含むか、ドナーとアク
セプターを共に含むがアクセプター濃度が高いもの (1) i 型・・・アクセプター、ドナー共に含まな
いか、アクセプター濃度とドナー濃度が等しいもの。
アクセプターを共に含むがドナー淡度が高いもの011
P型・・・アクセプターのみを含むか、ドナーとアク
セプターを共に含むがアクセプター濃度が高いもの (1) i 型・・・アクセプター、ドナー共に含まな
いか、アクセプター濃度とドナー濃度が等しいもの。
本発明に於ける光導電層は、グロー放電法、スパッタリ
ング法、イオンインプランテーシ雪ン法、イオンブレー
ティング法等によって形成され、その際に、n型、P型
不純物をドーピングして制御する。使用ガスは、511
4と51H4sS114と”!、或いは不活性ガスを混
合したものを用い、水素がシリコン中に取り込まれるが
、(の量は、僅かで膜質にはほとんど影響はない。
ング法、イオンインプランテーシ雪ン法、イオンブレー
ティング法等によって形成され、その際に、n型、P型
不純物をドーピングして制御する。使用ガスは、511
4と51H4sS114と”!、或いは不活性ガスを混
合したものを用い、水素がシリコン中に取り込まれるが
、(の量は、僅かで膜質にはほとんど影響はない。
基板温度は、100℃〜500℃、高周波電力は、1〜
3001.ガス圧力は10−” 〜5 torrで&
S i : F ! 11製作を行ない、例えば、使
用ガスが8114とEiiH4でグロー放電法の場合高
周波電力は20〜100W、ガス圧力は10″″1〜1
0−”torr、基板温度は300〜″′350℃が望
ましい電気的特性のa−81ニアtH膜が得られる。
3001.ガス圧力は10−” 〜5 torrで&
S i : F ! 11製作を行ない、例えば、使
用ガスが8114とEiiH4でグロー放電法の場合高
周波電力は20〜100W、ガス圧力は10″″1〜1
0−”torr、基板温度は300〜″′350℃が望
ましい電気的特性のa−81ニアtH膜が得られる。
以下、実施例に従って、本発明の顕著なる効果を説明す
る。
る。
実施例1
清浄にされた3×7a11アル之ニウム基板をグロー放
電堆積槽内の基板ホルダーに固定し、槽内を1×10−
・torrの真空度にし、基&I!度520℃に保ち8
174と5in4を毎分80 m l一槽内に流入させ
て、槽内を10−’torrに保持する。その後電極間
に、115”tS¥HmのRF電力を投入してグロー放
電を起こし、 sSWの電力が入力されるようにマツチ
ング回路t*整した。こうして6時間放電を継続して5
μ厚のa −S i g ?1H膜を形成したのち放電
を中止させ、基板温度が150℃になるようにし吸着ガ
スの脱着を計った。これを室温にした後O,ガラス導入
し1時間放置した。こうして得られたa −S i I
F t H膜を直ちにe6KVのコロナ帯電器で帯電
した後20La工・紅の露光量で画像露光を行い、この
操作を5万回繰返した後、■荷電粉体トナーで現像した
所、良質な画像が得られた。一方e736KNのコロナ
帯電とe荷電粉体トナーの組合せでは、画像淡度、鮮明
度共に低い画像しか得られなかった。
電堆積槽内の基板ホルダーに固定し、槽内を1×10−
・torrの真空度にし、基&I!度520℃に保ち8
174と5in4を毎分80 m l一槽内に流入させ
て、槽内を10−’torrに保持する。その後電極間
に、115”tS¥HmのRF電力を投入してグロー放
電を起こし、 sSWの電力が入力されるようにマツチ
ング回路t*整した。こうして6時間放電を継続して5
μ厚のa −S i g ?1H膜を形成したのち放電
を中止させ、基板温度が150℃になるようにし吸着ガ
スの脱着を計った。これを室温にした後O,ガラス導入
し1時間放置した。こうして得られたa −S i I
F t H膜を直ちにe6KVのコロナ帯電器で帯電
した後20La工・紅の露光量で画像露光を行い、この
操作を5万回繰返した後、■荷電粉体トナーで現像した
所、良質な画像が得られた。一方e736KNのコロナ
帯電とe荷電粉体トナーの組合せでは、画像淡度、鮮明
度共に低い画像しか得られなかった。
同様な操作をa−9i!Hについても行なった結果を表
1に示す。
1に示す。
表 1
画像評価 ○高品質画像
Δ低品質画像
x像が殆んど形成されず
実施例2
実施例1と同様にして作られたa−81膜を0゜のかわ
りにNH,ガスを用いた場合を表2に示す表 2 実施例3 実施例1と同様にしてS1ν、及び81H4に11、ガ
スを1001p膳混合したガスでグロー放電を行ってP
型膜を積層した後、EliF4と81H,で1層を積層
し、0.ガスの吸着層を作成し、実施例1と同様に5万
回の画像露光を行なった。
りにNH,ガスを用いた場合を表2に示す表 2 実施例3 実施例1と同様にしてS1ν、及び81H4に11、ガ
スを1001p膳混合したガスでグロー放電を行ってP
型膜を積層した後、EliF4と81H,で1層を積層
し、0.ガスの吸着層を作成し、実施例1と同様に5万
回の画像露光を行なった。
同様な操作をa lit i : Hについても行な
った結果を表3に示す。
った結果を表3に示す。
表 3
実施例4
実施例5で積層したB、HO100100ppかわりに
、PH,1001)P■を混合した5114と8111
.を用いて積層を行なった後同様の試験を行った結果を
表4に示す。
、PH,1001)P■を混合した5114と8111
.を用いて積層を行なった後同様の試験を行った結果を
表4に示す。
表 4
Claims (1)
- 支持体、アモルファス弗素化シリコンから成る光導電層
、該光導電層表面に、アモルファス弗素化シリコンに対
して電子受容性の分子又は電子供与性の分子の吸着層と
を有する事を特徴とする電子写真用像形成部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56121121A JPS5821748A (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | 電子写真用像形成部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56121121A JPS5821748A (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | 電子写真用像形成部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5821748A true JPS5821748A (ja) | 1983-02-08 |
Family
ID=14803396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56121121A Pending JPS5821748A (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | 電子写真用像形成部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5821748A (ja) |
-
1981
- 1981-07-31 JP JP56121121A patent/JPS5821748A/ja active Pending
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