JPS5835951B2 - 高強度窒化けい素焼結体の製造法 - Google Patents

高強度窒化けい素焼結体の製造法

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JPS5835951B2
JPS5835951B2 JP55172417A JP17241780A JPS5835951B2 JP S5835951 B2 JPS5835951 B2 JP S5835951B2 JP 55172417 A JP55172417 A JP 55172417A JP 17241780 A JP17241780 A JP 17241780A JP S5835951 B2 JPS5835951 B2 JP S5835951B2
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JP
Japan
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sintered body
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silicon nitride
strength
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JP55172417A
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正市 粂
好孝 桑原
充秀 町田
英世 田端
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National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
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Agency of Industrial Science and Technology
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は窒化けい素(5i3N4)を主成分とする高強
度窒化けい素焼給体の製造法に関する。
さらに詳しくは窒化けい素に酸化べIJ IJウム(B
eO)、酸化ガリウム(Ga20s)および酸化アルミ
ニウム(A1203)を添加して高強度化された焼結体
の製造方法に関する。
S A3 N4を主成分とする焼結体は耐熱性、高強度
および低い熱膨張係数の緒特性をもつことから、近年特
に注目を集めており、自動車用エンジン部品、ガスター
ビン部品、切削工具などに使用されている。
そして従来より高強度化、高密度化するため5i3N、
の焼結助剤としてY2O3−Al□03゜MgO、Al
□03−MgO系の化合物が試みられている。
ところが、これらの焼結助剤を添加してもなお、焼結体
の強度が充分でなかった。
ところで、本発明者らは、上記従来品に対し、なお一層
の強度を増加させることについて鋭意検討した結果、B
eO* Ga2O3、およびA1□03の3戒分を焼結
助剤として特定量添加すれば良いことを見出し、本発明
を完成した。
すなわち本発明の目的はBeO、Ga2e3の2成分か
或いはこれにAl2O3を加えた3戒分を有する新規な
高強度窒化けい素焼給体を製造する方法を提供すること
にあり、その要旨は、5t3N450〜99.9重量%
に、BeOとGa2O3とAl2O3とから成り、それ
ぞれの重量基準での成分比が、の範囲にある焼結助剤0
.1〜50重量%を加え、1300〜1850℃の温度
において焼結することを特徴とする高強度窒化けい素焼
給体の製造法にある。
以下に本発明の詳細な説明するに、本発明では813
N4が無機質原料の50〜99,9重量%を占めている
ことが必要である。
Si3N4としてはα型、β型および無定型の3種類あ
るが、本発明においては、いずれの型でも、或いはそれ
らの混合物でも使用できる。
焼結助剤として本発明ではBe02Ga203の2戒分
か、或いはこれにAl2O3を加えた3成分を使用する
。
無機質原料中に、これら焼結助剤が占める割合は0.1
〜50重量%であり、この範囲より少ない場合には焼結
が困難になる。
焼結助剤中の上記3成分は、前記■、■および■式を満
足する必要がある。
但し、5t3N4原料中に不純物としてAl 203ま
たはFe2O3が含まれるか、若しくは焼結によってA
l2O3またはFe2O3を生ずる不純物が含まれてい
る場合には、その不純物量に対応する量のAl2O3を
上記の焼結助剤中から除くことができる。
■式において好ましくはGa2O3の値が3.75eO 〜8.24であると良く、更に好ましくは4.27〜7
.50であると最も焼結性が良く従って強度も最大とな
る。
■式において好ましくはAl2O3の値が2.04eO 以下であると良く、更に好ましくは1.75以下である
と焼結体の強度が大きくなる。
■式においてAl2O3の値は0.41以下であるGa
2O3 ことが最も好ましい。
Ga2O3としてはα型でもβ型でも使用可能であり、
Al2O3としてはα型でもγ型でも使用できる。
また焼結助剤として加える酸化物BeO。Ga2O3お
よびAl2O3は、最初からこれらのものでなくとも、
焼結過程でこれらの酸化物になるベリリウム、ガリウム
およびアルミニウムの塩類でも使用でき、このような場
合も本発明に含まれる。
また、BeO= Ga2O3およびAl2O3は独立し
た酸化物原料として加える代0に、予め反応させてべI
J IJウムガレイト型結晶構造をもつ複酸化物固溶体
としたものでも使用できる。
またA1□03は、これを成分として加える代りに、5
t3N4とBeOとGa 20 sとをアルミナ製ポッ
トミルまたはアルミナ製ボールを用いて粉砕する際に混
入してくるものを利用してもよい。
以上の原料より本発明の高強度窒化けい本焼結体を製造
するには、まずSi3N4粉末、BeO粉末、Ga2O
3粉末、Al2O3粉末を所定の組成比に選び、混合し
て調製する。
次いでこの混合物に、必要に応じて粘結剤を加えプレス
して所定の成形体を得る。
しかる後この成形体を空気または弱酸化性雰囲気、例え
ばCO2ガス中、或いは非酸化性雰囲気中、例えばN2
ガス、Arガス中において、1300〜1850℃、好
ましくは1400〜1800℃で加圧しながら焼結する
。
但し焼結助剤の割合が、BeO+ Ga203 + A
I 20 g 。
値、 o、 1゜SiN + BeO+ Ga2O3+
Al2O34 〜0.50の範囲にある場合は必ずしも加圧を必要とし
ない。
加圧による焼結は、通常黒鉛型Oこよる一軸ホットプレ
ス、または熱間静水圧プレスで行われる。
その圧力は一般(こ高い程良好な結果が得られるが、黒
鉛型では100〜400 kg/d、熱間静水圧プレス
では1000〜2000kVdが普通である。
このようにして焼結すると、ベリリウムガレイト型結晶
構造を有するBeGa2O,−BeAl 204系の固
溶体とS i3 N4との酸窒化物固溶体相を含む新規
な窒化けい本焼結体が得られる。
該新規焼結体の組成は殆んどがβ型に移行した813N
4 と上記の酸窒化物固溶体相とから成る結晶相のみで
あって、ガラス相は殆んど含まれない。
以上の本発明方法により製造された新規な高強度窒化け
い本焼結体は1300℃以下(こおける強度において従
来の窒化けい本焼結体より優れている。
そのため、この焼結体は衝撃や疲労等の応力集中が問題
となる構造体の材料に適する。
その理由はBeGa 204− BeAl 204系に
おけるべIJ IJウムガレイト型結晶構造を有する複
酸化物固溶体がβ型Si3N4と類似の結晶構造と格子
定数を持つため、焼結過程において、この固溶体が5t
sN4と容易に反応して酸窒化物固溶体を形成し、粒子
−粒子間に異質の結晶相あるいはガラス相を形成するこ
となく、均一組成、均一組織をもった焼結体となるため
と考えられる。
またべIJ IJウムガレイト型固溶体の熱膨張係数は
a軸方向、C軸方向共に約3X10’/’Cの程度の値
をとり、β型Si3N4の熱膨張係数と非常に近い値で
あるために粒界相を含めた焼結体全体の熱膨張係数が低
く、熱衝撃に対する抵抗が大きく、高温での強度も大き
い焼結体が得られるものと考えられる。
さらに、従来の焼結体においては強度低下の原因となっ
ていたAl2O3,Fe2O3等の不純物が、ベリリウ
ムガレイト型のBeGa O−BeA12044 系固溶体中にとり込まれ、均一な組織の焼結体となるこ
とも強度向上の原因の一つと考えられる。
以下に本発明を実施例によって更(こ詳細に説明するが
、本発明はその要旨を越えない限り、以下の実施例に限
定されるものではない。
実施例 1 純度99%、平均粒径(50%径)0.7μmのα型9
0%、β型10%よりなる窒化けい素粉末90重量%に
、純度99.9%の酸化べIJ IJウム1.3重量%
、純度99.99%の酸化ガリウム7.8重量%および
純度99.9%の酸化アルミニウム0.9重量%を加え
アルミナ製ポットおよびアルミナ製ボールを用いて振動
ミルによって100時間粉砕混合し、直径40闘厚さ約
1ONMの円板状にα型し、窒素ガス中温度1750℃
、圧力300kgAdで30分間加圧焼結した。
得られた焼結体を3X3X251!*の角棒に加工した
後、抗折試験を行ない抗折強度を測定した。
抗折強度値およびX線回折lこよって同定した構成物質
を表1に示す。
実施例 2 実施例1に用いたものと同じ窒化けい素粉末90重量%
、酸化べIJ IJウム1.5重量%、酸化ガリウム6
.5重量%、酸化アルミニウム20重量%に、トリクロ
ロトリフルオロエタンを加えてアルミナ製ポットとアル
ミナ製ボールを用いて2001*時間湿式粉砕した。
この粉末混合物を実施例1と同じ条件で加圧焼結し、実
施例1と同様の抗折試験を行なった。
その結果を表Iに示す。実施例 3 純度99.9%、平均粒径0.35μ扉、α型85%、
β型15%よりなる窒化けい素粉末95重量%(こ、実
施例1で用いた酸化べIJ IJウム0.9重量%およ
び酸化ガリウム4.1重量%を加え、アルミナ製ポット
とアルミナ製ボールを用いて、エタノールを添加して湿
式粉砕を行なった。
粉砕方式は振動ミルで200時間粉砕後の粉末を乾燥し
、実施例1と同様にα型した後、アルゴンガス中で温度
1700℃、圧力200kg/aiで30分間加圧焼結
した。
この焼結体を実施例1と同じ寸法に加工し、抗折強度を
測定した。
その結果を表1に示す。
実施例 4 純度99.9%、平均粒径3.5μ扉、α型30%、β
型70%よりなる窒化けい素粉末94重量%に、実施例
1で使用した酸化べIJ IJウムおよび酸化ガリウム
をそれぞれ0.8重量%、5.2重量%加え、アルミナ
製ポットとアルミナ製ボールを用いて100時間乾式粉
砕を行なった。
この混合粉末を実施例1と同様の寸法の円板に成型した
後、窒素ガス中温度1700℃、圧力250に9/dで
60分間加圧焼結した。
この焼結体を実施例1と同様の寸法の角柱に加工して抗
折試験を行なった。
抗折強度および試料中の構成物質を表1に示す。
表1で判るように、本発明による実施例1〜4は室温に
於ける抗折強度が98〜118#/−と非常に大きい値
を示すが、これは添加物として加えたBeOt Ga2
O3t Al2O3およびアルミナ製ポットミルおよび
アルミナ製ボール(こよる粉砕過程で混入したAl2O
3が焼結の過程で反応してβ−Si3N4と同じ結晶構
造を持つBeGa204固溶体相を粒界に形威し、さら
にこの固溶体相と/!5L−8L3N4粒子との間にも
固溶体が形成されて粒子間が強固に結合されているため
と考えられる。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 I S ia N450〜99.9重量%に、BeO
    とGa2O3とA1□03とから戒り、それぞれの重量
    基準での成分比が、 の範囲にある焼結助剤0.1〜50重量%を加え、13
    00〜1850℃の温度において焼結することを特徴と
    する高強度窒化けい素焼給体の製造法。
JP55172417A 1980-12-06 1980-12-06 高強度窒化けい素焼結体の製造法 Expired JPS5835951B2 (ja)

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JP55172417A JPS5835951B2 (ja) 1980-12-06 1980-12-06 高強度窒化けい素焼結体の製造法
US06/317,542 US4365022A (en) 1980-12-06 1981-11-02 Method for manufacture of high-strength sintered article of substances having β-silicon nitride type crystal structure

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Publication Number Publication Date
JPS5795874A JPS5795874A (en) 1982-06-14
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