JPS5837604A - 光導波路の製法 - Google Patents
光導波路の製法Info
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- JPS5837604A JPS5837604A JP56135985A JP13598581A JPS5837604A JP S5837604 A JPS5837604 A JP S5837604A JP 56135985 A JP56135985 A JP 56135985A JP 13598581 A JP13598581 A JP 13598581A JP S5837604 A JPS5837604 A JP S5837604A
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- Japan
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- glass
- optical waveguide
- region
- porous glass
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- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/02—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with glass
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は所要の基板上に形成され且クラッド層にて埋込
まれてなる構成を有する光導波路の製法に関する。
まれてなる構成を有する光導波路の製法に関する。
この様な光導波路は１分波器１合波器等の光通信システ
ムに用いる光部品を構成するに用いらｎるが、平面形で
あるので、光部品を平面形に簡易に構成することができ
る意味に於て有用である。
ムに用いる光部品を構成するに用いらｎるが、平面形で
あるので、光部品を平面形に簡易に構成することができ
る意味に於て有用である。
この様な光導波路の製法として従来、所要の基板上に第
１の多孔質ガラス層を形成し１次のその第１の多孔質ガ
ラス層の所要の領域を透明ガラス化して光導波路を形成
し１次に第１の多孔質ガラス層の光導波路を形成せる領
域以外の領域を基板上より除去し１次に基板上に第１の
多孔質ガラス層とは異なる組成の第２の多孔質荀Ｊネ１
−：と］を片譬希１１【目ト加た参孔嘴ガラス１＠を光
導波路を埋設して形成し、然る層温２の多孔質ガラス層
を透明ガラス化してクラッド層を形成し、斯くて基板上
に形成さｎ且りラッド層にて埋込まれた構成を有する目
的とする光導波路を得るという方法が提案されている。
１の多孔質ガラス層を形成し１次のその第１の多孔質ガ
ラス層の所要の領域を透明ガラス化して光導波路を形成
し１次に第１の多孔質ガラス層の光導波路を形成せる領
域以外の領域を基板上より除去し１次に基板上に第１の
多孔質ガラス層とは異なる組成の第２の多孔質荀Ｊネ１
−：と］を片譬希１１【目ト加た参孔嘴ガラス１＠を光
導波路を埋設して形成し、然る層温２の多孔質ガラス層
を透明ガラス化してクラッド層を形成し、斯くて基板上
に形成さｎ且りラッド層にて埋込まれた構成を有する目
的とする光導波路を得るという方法が提案されている。
然し乍ら斯る従来の製法の場合、基板上に形成された第
１の多孔質ガラス層の所要の領域を透明ガラス化して光
導波路を形成して後、その第１の多孔質ガラス層の光導
波路を形成せる領域以外の領域を基板上より除去するに
つき多くの時間と困難とを伴い、この為目的とする光導
波路を短い時間で容易に得ることができないという欠点
を有していた。又上述せる除去時に於て、光導波路が所
期のパターンより崩れ、この為光導波路を用いて構成さ
れる光部品を所期のＩＰ！ｆ性を有するものとして構成
することができない等の欠点を有していた。 ゛ 依って本発明は上述せる欠点のない新規な光導波路の製
法を提案せんとするもので、以下詳述する所より明らか
となるであろう。
１の多孔質ガラス層の所要の領域を透明ガラス化して光
導波路を形成して後、その第１の多孔質ガラス層の光導
波路を形成せる領域以外の領域を基板上より除去するに
つき多くの時間と困難とを伴い、この為目的とする光導
波路を短い時間で容易に得ることができないという欠点
を有していた。又上述せる除去時に於て、光導波路が所
期のパターンより崩れ、この為光導波路を用いて構成さ
れる光部品を所期のＩＰ！ｆ性を有するものとして構成
することができない等の欠点を有していた。 ゛ 依って本発明は上述せる欠点のない新規な光導波路の製
法を提案せんとするもので、以下詳述する所より明らか
となるであろう。
第１図は本願第１番目の発明による一例を示し１例えば
石英ガラスでなる基板１を予め用意しく第１図人）、而
してその基板１上に熱酸化反応、火炎加水分解反応等の
気相反応により。
石英ガラスでなる基板１を予め用意しく第１図人）、而
してその基板１上に熱酸化反応、火炎加水分解反応等の
気相反応により。
８１０２ 等１例えば８ｉ０□−Ｐ２Ｏ５でなる多孔
質ガラス層２を１例えば１５０μｍの厚さに堆積形成す
る（第１図Ｂ）。
質ガラス層２を１例えば１５０μｍの厚さに堆積形成す
る（第１図Ｂ）。
次に多孔質ガラス層２内に、 Ｇｅ 、 Ｔｉ、Ｐ等の
アルコキサイド化合物、例えば０Ｃ（ＯＣ２Ｈ５）４
でなるドーパント６を１例えば０．０００５モル程度
含浸せしめ（第１図Ｃ）、次でＨ２Ｏによりアルコキサ
イドを加水分解せしめて多孔質ガラス層２内に龜０２．
ＴｉＯ２、Ｐ２Ｏ５等でなる多孔質ガラス層２とは異な
る組成のガラス結晶４を生成せしめ、斯くて多孔質ガラ
ス層２内にガラス結晶４を生成してなる多孔質ガラス１
−５を形成する（第１図Ｄ）。
アルコキサイド化合物、例えば０Ｃ（ＯＣ２Ｈ５）４
でなるドーパント６を１例えば０．０００５モル程度
含浸せしめ（第１図Ｃ）、次でＨ２Ｏによりアルコキサ
イドを加水分解せしめて多孔質ガラス層２内に龜０２．
ＴｉＯ２、Ｐ２Ｏ５等でなる多孔質ガラス層２とは異な
る組成のガラス結晶４を生成せしめ、斯くて多孔質ガラ
ス層２内にガラス結晶４を生成してなる多孔質ガラス１
−５を形成する（第１図Ｄ）。
次に多孔質ガラス層５の所要の領域をレーザビーム６に
て照射せしめて透明ガラス化し、斯くて光導波路７を形
成する（第１図Ｅ）。
て照射せしめて透明ガラス化し、斯くて光導波路７を形
成する（第１図Ｅ）。
次にガラス結晶４を溶解せしめる溶媒（ガラス結晶４が
ＧｅＯ２でなる場合、それがヘキサゴナル結晶であるの
で、この場合の溶剤としてはこれを湯水とし得る）を用
いて、多孔質ガラス層５の光導波路７を形成せる領域以
外の領域よりガラス結晶４を除去して多孔質ガラス層５
の光導波路７を形成せる領域以外の領域からガラス結晶
４を除去してなる多孔質ガラス領域８をド１１１１０を
形成する。この場合クラッド層１０が光導波路７に比し
低い屈折率を有するものである。その理由はクラッド層
１０がガラス結晶４を有しない多孔質ガラス領域８から
得られ。
ＧｅＯ２でなる場合、それがヘキサゴナル結晶であるの
で、この場合の溶剤としてはこれを湯水とし得る）を用
いて、多孔質ガラス層５の光導波路７を形成せる領域以
外の領域よりガラス結晶４を除去して多孔質ガラス層５
の光導波路７を形成せる領域以外の領域からガラス結晶
４を除去してなる多孔質ガラス領域８をド１１１１０を
形成する。この場合クラッド層１０が光導波路７に比し
低い屈折率を有するものである。その理由はクラッド層
１０がガラス結晶４を有しない多孔質ガラス領域８から
得られ。
−力先導波路７が多孔質ガラス領域８と同じ組成の多孔
質ガラス層２内にガラス結晶４を生成してなる多孔質ガ
ラス層５から得られ、そしてＧｅＯ□ 等でなるガラス
結晶４が光導波路７の屈折率をクラッド層１０のそれに
比し大ならしめているからである。
質ガラス層２内にガラス結晶４を生成してなる多孔質ガ
ラス層５から得られ、そしてＧｅＯ□ 等でなるガラス
結晶４が光導波路７の屈折率をクラッド層１０のそれに
比し大ならしめているからである。
然る后必要に応じて、光導波路７及びクラッド層１０上
に連続延長して多孔質ガラス領域８と同様の多孔質ガラ
ス層を堆積形成しく図示せず）１次にその多孔質ガラス
層を加熱して透明ガラス化してクラッド層１１を形成し
、斯くて基板１１上に形成され且クラッド層１０及び１
１よりなるクラッド層１２にて埋込まれてなる構成を有
する目的とする光導波路を得る。
に連続延長して多孔質ガラス領域８と同様の多孔質ガラ
ス層を堆積形成しく図示せず）１次にその多孔質ガラス
層を加熱して透明ガラス化してクラッド層１１を形成し
、斯くて基板１１上に形成され且クラッド層１０及び１
１よりなるクラッド層１２にて埋込まれてなる構成を有
する目的とする光導波路を得る。
以上が本願第１番目の発明の一例であるが。
斯る製法によれば、基板１１上に多孔質ガラス層２を形
成する工程（第１図Ｂ）と、その多孔質ガラス１−２内
にそれと異なる組成のガラス結晶４を生成せしめて多孔
質ガラス１１５を形成する工程（第１図Ｄ）と、その多
孔質ガラス層５の所要の領域を透明ガラス化して光導波
路７を形成する工程（第１図Ｅ）と、多孔質ガラス層５
の光導波路７を形成せる領域以外の領域よりガラス結晶
４を除去して多孔質ガラス領域８を形成する工程（第１
図Ｆ）と、多孔質ガラス領域８を透明ガラス化してクラ
ッドｊｉ；９１０を形成する工程（第１図Ｇ）とを含ん
で、目的とせる光導波路を得ることができ、従って目的
とせる光導波路を、冒頭に上述せる如くに、基板上に形
成され、た第１の多孔質ガラス層の所要の領域を透明ガ
ラス化して後、その第１の多孔質ガラス層の光導波路を
形成ぜる領域以外の領域を基板上に除去するという工程
を含むことなしに得ることが出来るので、目的とせる光
導波路を短い時間で容易にｑ＋＋ることが出来、又光導
波路７が所期のパターンより崩れる′雇ｎを有しないの
で、この光導波路を用いて構成される光部品を所期の優
れた特性を有するものとして構成することができるとい
う犬なる特徴を有するものである。
成する工程（第１図Ｂ）と、その多孔質ガラス１−２内
にそれと異なる組成のガラス結晶４を生成せしめて多孔
質ガラス１１５を形成する工程（第１図Ｄ）と、その多
孔質ガラス層５の所要の領域を透明ガラス化して光導波
路７を形成する工程（第１図Ｅ）と、多孔質ガラス層５
の光導波路７を形成せる領域以外の領域よりガラス結晶
４を除去して多孔質ガラス領域８を形成する工程（第１
図Ｆ）と、多孔質ガラス領域８を透明ガラス化してクラ
ッドｊｉ；９１０を形成する工程（第１図Ｇ）とを含ん
で、目的とせる光導波路を得ることができ、従って目的
とせる光導波路を、冒頭に上述せる如くに、基板上に形
成され、た第１の多孔質ガラス層の所要の領域を透明ガ
ラス化して後、その第１の多孔質ガラス層の光導波路を
形成ぜる領域以外の領域を基板上に除去するという工程
を含むことなしに得ることが出来るので、目的とせる光
導波路を短い時間で容易にｑ＋＋ることが出来、又光導
波路７が所期のパターンより崩れる′雇ｎを有しないの
で、この光導波路を用いて構成される光部品を所期の優
れた特性を有するものとして構成することができるとい
う犬なる特徴を有するものである。
次に第２図を伴なって本願第２番目の発明の一例を述べ
るに、第１図との対応部分には同一符号を附して示すも
、第１図への場合と同様の基板１を〕・め用意しく第２
図Ａ）、而してその基板１上に第１図Ｂの場合と同様に
多孔質ガラス層２を形成する（第２図Ｂ）。
るに、第１図との対応部分には同一符号を附して示すも
、第１図への場合と同様の基板１を〕・め用意しく第２
図Ａ）、而してその基板１上に第１図Ｂの場合と同様に
多孔質ガラス層２を形成する（第２図Ｂ）。
次にその多孔質ガラス層２の所要の領域をレーザビーム
６にて照射せしめて透明ガラス化し、斯くて光導波路７
′を形成する（第２図Ｃ）。
６にて照射せしめて透明ガラス化し、斯くて光導波路７
′を形成する（第２図Ｃ）。
次に多孔質ガラス層２の光導波路７′を形成せる領域以
外の領域内に、１３等のアルコキサイド化合物１例えば
Ｂ（ＯＣ２Ｊ１．）４でなるドーパント６′を１例えば
０．００１モル程度含授ぜしめ（第２図Ｄ）１次でＨ２
Ｏによりアルコキサイドを加水分解せしめて、多孔質ガ
ラス１−２の光導波路７′を形成せる領域以外の領域内
に８２０５等でなる多孔質ガラス１−２とは異なる組成
のガラス結晶４′を生成せしめ、斯（て多孔質ガラス后
２の光導波路７′を形成せる領域以外の領域内にガラス
結晶４′を生成してなる多孔質ガラス領域８′を形成す
る（第２図Ｅ）。
外の領域内に、１３等のアルコキサイド化合物１例えば
Ｂ（ＯＣ２Ｊ１．）４でなるドーパント６′を１例えば
０．００１モル程度含授ぜしめ（第２図Ｄ）１次でＨ２
Ｏによりアルコキサイドを加水分解せしめて、多孔質ガ
ラス１−２の光導波路７′を形成せる領域以外の領域内
に８２０５等でなる多孔質ガラス１−２とは異なる組成
のガラス結晶４′を生成せしめ、斯（て多孔質ガラス后
２の光導波路７′を形成せる領域以外の領域内にガラス
結晶４′を生成してなる多孔質ガラス領域８′を形成す
る（第２図Ｅ）。
次に多孔質ガラス領域８′を例えば１５００℃程度の温
度に加熱せしめて透明ガラス化し。
度に加熱せしめて透明ガラス化し。
斯くてクラッド層１０′を形成する（第２図Ｆ）。
この場合クラッド層１０’が光導波路７′に比し低いＪ
１１折率を有するものである。この理由は光導波路７′
がガラス結晶４′を有しない多孔質ガラス層２から得ら
れ、一方クラッド層１０′が、多孔質ガラス層２と同じ
組成の多孔質ガラス領域内にガラス結晶４′を生成せし
めてなる多孔質ガラス領域８′から得られ、モしてＢ２
Ｏ３等でなるガラス結晶４′がクラッド層１０′の）ｎ
’ｌ折率を光導波路７′のそれに比し小ならしめている
からである。
１１折率を有するものである。この理由は光導波路７′
がガラス結晶４′を有しない多孔質ガラス層２から得ら
れ、一方クラッド層１０′が、多孔質ガラス層２と同じ
組成の多孔質ガラス領域内にガラス結晶４′を生成せし
めてなる多孔質ガラス領域８′から得られ、モしてＢ２
Ｏ３等でなるガラス結晶４′がクラッド層１０′の）ｎ
’ｌ折率を光導波路７′のそれに比し小ならしめている
からである。
然る后、必要に応じて第１図Ｈにて上述せるクラッド層
１１と同様のクラッド層１１′を。
１１と同様のクラッド層１１′を。
クラッド層１１と同様にして形成し、斯くて基板１１上
に形成され且クラッド層１０’及び１１′よりなるクラ
ッド層１２′にて埋込まれてなる構成を有する目的とす
る光導波路を得る。
に形成され且クラッド層１０’及び１１′よりなるクラ
ッド層１２′にて埋込まれてなる構成を有する目的とす
る光導波路を得る。
以上が本願第２番目の発明の一例であるが。
斯る！！法によれば基板１１上に多孔質ガラス層２を形
成する工程（第２図Ｂ）と、その多孔質ガラス層２の所
要の領域を透明ガラス化して光導波路７′を形成する工
程（第２図Ｃ）と、多孔質ガラス層２の光導波路７′を
形成せる領域以外の領域にそれとは異なる組成のガラス
結晶４′を生成せしめて多孔質ガラス領域８′を形成す
る工程（第２図Ｅ）と、その多孔質ガラス領域８′を透
明ガラス化してクラッド層１０’を形成する工程（第２
図１゛）とを含んで、［コ的とせる光導波路を得ること
ができ、従って目的とせる光導波路を、第１図の場合と
同様に知い時間で容易に得ることができ、又光導波路７
を用いて構成される光部品を所期のＫｎた特性を有する
ものとして構成することができるという大なる特徴を有
するものである。
成する工程（第２図Ｂ）と、その多孔質ガラス層２の所
要の領域を透明ガラス化して光導波路７′を形成する工
程（第２図Ｃ）と、多孔質ガラス層２の光導波路７′を
形成せる領域以外の領域にそれとは異なる組成のガラス
結晶４′を生成せしめて多孔質ガラス領域８′を形成す
る工程（第２図Ｅ）と、その多孔質ガラス領域８′を透
明ガラス化してクラッド層１０’を形成する工程（第２
図１゛）とを含んで、［コ的とせる光導波路を得ること
ができ、従って目的とせる光導波路を、第１図の場合と
同様に知い時間で容易に得ることができ、又光導波路７
を用いて構成される光部品を所期のＫｎた特性を有する
ものとして構成することができるという大なる特徴を有
するものである。
尚上述に於ては、本願第１及び第２番目の発明の夫々に
つき一例を述べたに過ぎず１本発明の精神を脱すること
なしに楯々の変型変更をなし得るであろう。
つき一例を述べたに過ぎず１本発明の精神を脱すること
なしに楯々の変型変更をなし得るであろう。
第１図Ａ〜）（は本願第１番目の発明にょる光導波路の
製法の一例を示す順次の工程に於ける路線的断面図、第
２図Ａ−Ｇは本願第２番目の発明による光導波路の製法
の一例を示す順次の工程に於ける路線的断面図である。 図中１は基板、２及び５は多孔質ガラス層。 ６及び３′はドーパント、４及び４′はガラス結晶、６
はレーザビーム、７及び７′は光導波路、８及び８′は
多孔質ガラス領域、１０゜１０’、１１．１１’及び１
２はクラッド層を夫々示す。 出願人 日本屯信屯話公社 ＜ ロ Ｃ５＝； （コ ロ 第 ２図
製法の一例を示す順次の工程に於ける路線的断面図、第
２図Ａ−Ｇは本願第２番目の発明による光導波路の製法
の一例を示す順次の工程に於ける路線的断面図である。 図中１は基板、２及び５は多孔質ガラス層。 ６及び３′はドーパント、４及び４′はガラス結晶、６
はレーザビーム、７及び７′は光導波路、８及び８′は
多孔質ガラス領域、１０゜１０’、１１．１１’及び１
２はクラッド層を夫々示す。 出願人 日本屯信屯話公社 ＜ ロ Ｃ５＝； （コ ロ 第 ２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 所要の基板上に第１の多孔質ガラス層を形成する
工程と、上記第１の多孔質ガラス層内にそれとは異なる
組成のガラス結晶を生成せしめて第２の多孔質ガラス層
を形成する工程と、上記第２の多孔質ガラス層の所要の
領域を透明ガラス化して光導波路を形成する工程と、上
記第２の多孔質ガラス層の上記光導波路を形成せる領域
以外の領域より上記ガラス結晶を除去して多孔質ガラス
領域を形成する工程と、上記多孔質ガラス領域を透明ガ
ラス化してクラッド層を形成する工程とを含む事を特徴
とする光導波路の製法。 ２、所要の基板上に多孔質ガラス層を形成する工程と、
上記多孔質ガラス層の所要の領域を透明ガラス化して光
導波路を形成する工程と。 上記多孔質ガラス層の上記光導波路を形成せる領域以外
の領域にそれとは異なる組成のガラス結晶を生成せしめ
て多孔質ガラス領域を形成する工程と、上記多孔質ガラ
ス領域を透明ガラス化してクラッド層を形成する工程と
を含む事を特徴とする光導波路の製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56135985A JPS5837604A (ja) | 1981-08-29 | 1981-08-29 | 光導波路の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56135985A JPS5837604A (ja) | 1981-08-29 | 1981-08-29 | 光導波路の製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5837604A true JPS5837604A (ja) | 1983-03-04 |
Family
ID=15164489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56135985A Pending JPS5837604A (ja) | 1981-08-29 | 1981-08-29 | 光導波路の製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5837604A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5613995A (en) * | 1993-04-23 | 1997-03-25 | Lucent Technologies Inc. | Method for making planar optical waveguides |
-
1981
- 1981-08-29 JP JP56135985A patent/JPS5837604A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5613995A (en) * | 1993-04-23 | 1997-03-25 | Lucent Technologies Inc. | Method for making planar optical waveguides |
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