JPS5840875A - ジヨセフソン集積回路チツプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ジョセフソン集積回路チップに関し、特にチ
ップの誤動作防止に好適な磁気シールドパタンに関する
。

従来のジョセフソン回路チップは、基板」二に磁気シー
ルド効果を有するグランドプレン層を持つ（Ｊ、　Ｈ，
ＧＲＥＩＮＥＲｅ　ｔ　ａｔ、　ＩＢＭ　Ｊ、　ＲＥＳ
ＤＥＶＥＬＯＰ、　ＶＯｌ、２４．Ｎ（１２Ｍａｒｃｈ
　１９８０）、　ｆツブの主要機能部の直下のほぼ全面
に、このグランドブレンがおるのが普通の構造である。

一方、窓あきグランドブレンｆｆ１３接合インタフェロ
メータなどの回路では、回路のインダクタンスを増加す
る目的でグランドプレンに窓孔を形成する必要がある。

しかし、この窓孔グランドプレン構造のチップにおいて
は、永久電流トラップの問題即ちトラップされた永久電
流がインタフェロメータの特性を劣化させると云う欠点
があった。インタフェロメータを複数個設置するジョセ
フソン集積回路テップのグランドプレンパタン構造は、
第１図の如くになる。第１図は、ブレン膜厚５ＱＱｎｍ
程！変のＮｌ）グランドブレンの平面図である。１がテ
ップ外縁であシ、２が窓孔を有するグランドブレンであ
る。２内の窓孔を囲む永久電流がチップ誤動作の原因と
なる。

本発明の目的は、窓孔グランドプレンを必要とするジョ
セフソン乗積回路チップの永久電流トラップ問題を解消
する簡便な手段を提供することにある。１ 本発明は、単連結起電導体は永久電流をトラップしない
性質を用い、主要機能部下のグランドプレンパタンをす
べて単連結バタンとしたものである。

以下、本発明の一実施例を第２図にょシ説明する。第２
図において、１′がチップ外縁である。

グランドブレンバタンは２’　、３，４，５．６（７）
単連結領域となっておυ、永久電流がトラップされるこ
とはない（なお、第１図、第２図においては、パッド周
辺のグランドブレンパタン等は図面の煩雑さを考慮し省
略しである）。

本発明によれば、永久電流トラップ防止が実」。

できるので、ジョセフソン乗積回路チップの誤動作を防
止できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の窓あきグランドブレン平面図であり、第
２図は本発明一実施例を示す図である。 ｌ・・・チップ外縁、２・・・グランドブレン、１′・
・チッ第　１　　図 第　Ｚ　　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数のグランドプレンパタンのそれぞれが全て単連結バ
   タンであることを特徴とするジョセフソン集積回路チッ
   プ。