JPS5841587B2 - 磁気バブルメモリチツプ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、欠陥個所などの位置の指示を容易に行えるよ
うにした磁気バブルメモリチップに関する。

従来の磁気バブルメモリチップ１は、通常チップの大部
分の面積を占有して並列に配列された多数個のマイナル
ーブ２と、それらに結合された一つのメイジャルーブ３
との周囲を、ガードレール４で囲んだ第１図に例示する
ような構成になっている。

また各ループを構成するバブル転送路は、第２図ａ、ｂ
に例示するような微細パターンを繰返し配列して形成さ
れ、その繰返し周期は１０〜２０ ｌｔｍ程度である。

６４キロビツトメモリチツプの場合、チップの大きさは
５ｉｘｇ角程度で、マイナループ数は百数十個である。

また２５６キロビツトメモリチツプの場合は、チップの
大きさは５〜１０ｏｔ角程度で、マイナループ数は２０
０〜３００個である。

このように、磁気バブルメモリチップは、その数として
、チップの大部分すなわち７０〜９０１％の面積が、Ｘ
方向やｙ方向へ周期的に繰返して配列された非常に多数
の微細パターンによって埋められている。

この様な大容量メモリの非常に多数の微細パターンを、
顕微鏡下で目視して、フォトマスクやチップの欠陥検査
を行なっている。

欠陥検査で欠陥を発見した場合、欠陥個所を指定するた
めに、顕微鏡の視野内に発見された微細な欠陥部分が、
メモリパターン全体の中のどのような位置にあるのか、
容易に確認できると便利である。

しかし従来の磁気バブルメモリチップには、欠陥個所が
メモリパターン全体の中のどのような位置にあるのかを
知るための指標を設けていなかったために、検査で発見
した欠陥個所の指定が困難で、欠陥検査の処理効率を極
端に悪くしていた。

本発明の目的は、欠陥個所の指定を容易に行うことので
きる磁気バブルメモリチップを提供することにある。

上記目的を達成するために本発明においては、チップ上
に配列したメモリパターン周辺部に、メモリパターンの
任意の個所を明確に一義的に指定できる位置座標を示す
指標を設けることとした。

第３図は本発明の一実施例図である。

ガードレール４の外周に配設した数字パターンｓｘ、ｓ
ｙが、それぞれメモリパターン上の位置を示すための本
発明に係るＸ座標、ｙ座標の指標である。

本図に例示したように、通常はＸ座標としてマイナルー
プのループ番号をえらび、ｙ座標として各マイナループ
内のビット番号（メモリアドレス）をえらび、Ｘ座標は
、１，５，１０，１５・・・・・・５ｎ、・・・・・・
と５ループきざみに指標となる数字パターンを設け、ｙ
座標は１，５，１０．・・・・・・。

５ｎ、・・・・・・と５ビツトきざみに指標となる数字
パターンを設けると便利である。

しかし位置を示す指標は数字パターンに限られることな
く、文字と数字の組合せ等、読取り、記録、記憶が容易
で互いに混同を生じないものならば、どぶなパターンを
指標に用いてもよい。

また通常はｘ、ｙ直交座標系を用いるのが都合がよいが
、メモリパターンの形状等によっては他の座標系を用い
ても差支えない。

これらの位置を指定する指標のパターンは、その材料や
形成法によっては、もしメモリパターンに非常に近接し
て配設したりすると、磁気バブルメモリのメモリ機能に
対して悪影響を及ぼす危険性がある。

この危険性をさけるためには、位置指標をガードレール
４の外周に沿って配設すればよい。

以上説明したように本発明によれば、磁気バブルメモリ
チップ上のメモリパターンの任意の個所を明確に一義的
に指定できるので、パターン欠陥検査における欠陥個所
の指定などが容易に的確に行えるようになり、欠陥検査
の処理効率を大幅に向上できるなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の磁気バブルメモリチップのパターン構成
側図、第２図は磁気バブルメモリチップのメモリパター
ンを構成する微細なパターンの例を示す図、第３図は本
発明の一実施例図である。 １・・・・・・磁気バブルメモリチップ、２・・・・・
・マイナループ、３・・・・・・メイジャループ、４・
・・・・・ガードレール、５・・・・・・数字パターン
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ チップ上に配列したメモリパターン周辺部に、メモ
   リパターンの任意の個所を指定する位置座標を示す指標
   を設けたことを特徴とする磁気バブルメモリチップ。