JPS5841739A - 精密な図面をその表面に有するガラス板とその製法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は方眼などの精密な図面をその表面上に有するガ
ラス板とその製法とに関する。

より詳しくは、ガラス板の片面上に金属を真空蒸着し、
この上に感光樹脂を塗布して感光樹脂膜を作成し、次に
所望の方眼などの精密なパターンを投映し、現像９食刻
を行なって真空蒸着された金属膜の方眼をガラス板上に
作製する方法、および真空蒸着された金属膜の方眼をそ
の表面に有しているガラス板とに関する。

大きなガラス板上に、精度を要しない大きな図柄を印刷
する方法としては、ガラス面に真空蒸着された金属膜に
シルクスクリーン印刷などの技術を利用して所望の図柄
の保護剤を塗布し、固化して、次に金属を食刻する方法
が知られているが、この方法による場合には、図柄の精
度は低いものであった。

ガラス板上に強固に付着−している高精度の図柄を有す
るガラス板としては、物差しの如き細長いものは知られ
ていたが、本発明の如き大型のもので方眼を有するもの
は全く知られていなかった。

また、ガラス板を食刻し、得られた凹部に墨その他の着
色料を入れる方法も知られているが、この場合には墨そ
の他の着色料が使用中に剥落するという欠点がある。

これに対し、本発明の方眼はガラス板上に真空蒸着され
た金属膜であり、ガラス板との間の接着は非常に優れ、
長期間の使用に耐えつるものである。

本発明は、大型のガラス板（たとえばＡ−３版１以上、
全低位までの大きさ）に、ガラス板とほぼ同じ大きさの
方眼の如き精密なバタ・−ンを、真空蒸着とホト技術と
を利用して製造する方法および真空蒸着された金属膜の
方眼をその表面に有しているガラス板とを提供するもの
であり、かかるガラス板は全く知られていない。

ここにいう方眼とは、正方眼のみでなく、対数方眼、な
なめ方眼、角度分割の図などを含み、さらに方眼に必要
な目盛などをも含んでいる。

本発明によるガラス板の利用方法としては、たとえば次
のような方法があるが、必ずしもこの例に限定されるも
のではない。

すなわち、乳白色のアクリル板の上に、本発明のガラス
板をその方眼を上にして置き、さらにその上に製図用紙
を置き、アクリル板の下側より照射すると、製図用紙面
に明瞭な方眼図を見ることができる。従って、この製図
用紙上に製図を行なうことは極めて容易であり、ドラフ
ターに代ることも可能である。

さらには、上述、の場合において、製図の代りに方眼を
利用して印刷用の文字の貼り込みに利用することもでき
る。

このように、本発明のガラス板は多くの分野に有用に利
・用されう名ものである。

真空蒸着の典型的な方式としては加熱抵抗型、スパッタ
リングなどの方式を挙げることができる。

真空蒸着される典型的な金−としてはクロム、チタン、
ステンレスなどを挙げることができる。

真空蒸着によって得られる金属°膜の厚さとしては５０
０乃至１０００オングストロームが好適である。金属膜
の厚さが、この値よシ薄いと、前記の如き利用例の場合
、光が透ってしまって、パターンが不鮮明になり使用目
的に沿はなくなる。また、機械的に弱く、剥れ易くなり
勝ちである。

一方、金属膜の厚さが上記の値より厚いと、使用時の温
度変化に起因する金属膜とガラス板との熱膨張係数の差
により、クラックが生じ易くなる。これは金属膜がガラ
ス板に強く拘束されているためである。

つぎに本発明のガラス板の製法について述べる。平滑な
清浄面を有する研摩ガラス板に、前記の真空蒸着技術に
よって所望の金楓の膜を真空蒸着する。この真空蒸着膜
の上にホトレジストを塗布し、必要に応じてプレベーク
を行なう。次に、このホトレジスト膜上に所望のパター
ンをコンタクト露光、プロジェクション方法などによっ
て露光する。露光に使用する光は使用するホトレジスト
の種類によって決まるものであり、可視光線、紫外線。

遠紫外線、Ｘ線、電子線などである。また使用するホト
レジストはネガ型でも、ポジ型でもよく、投影する像と
最終的にガラス板上に得られるべき像との関係によって
決定される。

次に、使用したホトレジストに対応する現像液で現像し
、ポストベークを行なう。そうして、真空蒸着膜の金属
に対応するエツチング剤で食刻を行なう。せの後、使用
したホトレジスト膜 する。

使用するホトレジストの典型的なものは、ポジ型におい
ては東京応化工業製の０ＦＰＲ−２，０ＦＰＲ−７７、
−７８、シブレイ社製のＡＺ−１３５０などがあり、ネ
ガ型においてはポリビニルシンナメート系、ポリメチル
アクリレート系、ポリアクリレート系、ポリスチレン系
、ポリブタジェン系、天然ゴム系々どである。

以下、実施例により、より詳細に本発明を説明する。し
かし、以下の実施例により本発明はその範囲を制約され
るものではない。

実施例 約３＋ｗ＋厚の平滑な清浄面を有するｉ＝÷黍奉研摩ガ
ラス板（４５７ｔｔｒｍ　Ｘ　６１０　ｔｏ　）上に加
熱抵抗方式によって、クロムを約６００オングストロー
ムの厚さに蒸着する。この上にネガ型の感光性樹脂ＯＭ
Ｒ−８３（東京応化製）を指定の処方に従って塗布、プ
レベークする。この上に４００　ｍ　Ｘ　５５０　ｗａ
　（Ａ　−２版）の大きさの１簡の正方眼を密着方式に
よって露光し、現像、水洗する。次に、このガラス板を
、純水に硝酸第゛ニセリウムと過塩素酸とを溶した液に
浸漬してホトレジストによって保護されていない部分の
真空蒸着膜を食刻し、水洗して、鮮明な正方眼のクロム
蒸着膜を有するガラス板を得た。

この方眼は極めて耐久性め高いものであった。

【図面の簡単な説明】

図面はガラス板上に１ｆｉの正方眼の真空蒸着金属膜を
有するガラス板の部分平面図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　真空蒸着された金鵬膜の方眼をその表面に有してい
   るガラス板。 ２　ガラス板の片面上に金属を真空蒸着し、ホト方式の
   技術を用いてその蒸着面に所望の方眼を投影し、次に食
   刻して、真空蒸着された金属膜の方眼をガラス板上に作
   製する方法。