JPS5845972A - サ−マルプリンタヘッドとその製造法 - Google Patents

サ−マルプリンタヘッドとその製造法

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JPS5845972A
JPS5845972A JP56144348A JP14434881A JPS5845972A JP S5845972 A JPS5845972 A JP S5845972A JP 56144348 A JP56144348 A JP 56144348A JP 14434881 A JP14434881 A JP 14434881A JP S5845972 A JPS5845972 A JP S5845972A
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conductive
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glaze
dissolving
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Hideo Taniguchi
秀夫 谷口
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Rohm Co Ltd
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Rohm Co Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N97/00Electric solid-state thin-film or thick-film devices, not otherwise provided for

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 との発@紘ナーマルグννタヘッドとそ1)@速流に関
する。
この種サー!ル11ンタ^ツドにお−て、セツミック劇
の着板0表面にグレーズ層を設け、ζOII幽に一対O
導電層を、叉両−導電層にまたがってIi熱体となる抵
抗層をそれぞれ漆虞しえIImはよ(知られて−る。し
かしこのよう1に卿率によゐと抵抗層で発生し良熱がダ
レーズJ11.基板を過って外部に逃げるO″e%e%
プvytt必散発生に−して紘、外部に逃ける5vtJ
L越して斃生畜せる必費があ)、それだけ多量のエネル
ギーを供給髪なけれ&ftkらない0、 ミれを改善する丸めに、−熱体?1&胃と基板とO闘に
!間を微砂て#に抗層)シO熱が基板に向けて遣t’7
K(いようにすることが考えられて−る。
その丸めの構成として基板の表面に′I74絨点鉛ガラ
スからなる板を円弧状に形成した台を伏せるようKt置
し、その両側を低融点鉛ガラスによって基板の表面に同
着し、この台の円弧表面に沿って抵抗層を、又その両1
1に一110導電層を形成するととによって構成し九4
0#ある。これによれば台の内面と基板表面との関に空
洞が形成されるようKtゐOで、抵抗層から0IIIk
が基板に逃けに〈(なり好都合である。
しかしこのような構成によゐと、高蒙点鋤ガラスからな
る板を円弧状に加工成形しなければならない不便がある
。しかもその大きさ#i^さa5〜1111B、 $ 
5− i Qw、馬と−9え極めて叡細なものであるか
ら、そO成形加工を更に一層一一とする。
この発明線抵抗J11の1iIIIk体部分の下方に簡
単な空所を^偏せしめてなるナーマルプリンタヘッド及
び七oH速流を提供することを1的とする。
こOI!明a轟板の表面に央条状のダレーズ層を設け、
その表面に抵抗層及び通電用O導電層を設置するととも
に、前記ダV−ズJllO底真と基板と01141に薄
い空所を設は良ととを特徴とする%Oである。
この発明の実施例をIIIIIKよって説明すると1紘
セラ々ツク傘どか4′&るII板、2妹そ0表面に央条
状に廖威畜れえグレーズjilt (jlみ約50−箇
)で、これaS晶質ボツス或いは結晶化ガラス勢からな
)、ζζで嬬スタ9−ン印刷による厚*によ厚膜(厚S
約S酪11)Thらな)、4妹両導電層5にまえがうて
その表11に設置られた1鶴02勢O厚展4jl14約
Bosm ) h h t hllNIL層、5嬬九と
え鉱崖ツス等から1にゐ保−II(厚み約10鶴襲)で
ある。
こO発ijIにし丸がい、ダレーズ層20底函のうちt
% R島体−分七なる両導電層関O抵抗崩部分4AO下
方Oi繭部分が、基板10表両と祭しないように空所感
を形成する。!2!所空所1m1k示すように断画が細
長O直方形となりて)伽、単に前記Oようにlレーズ層
20底IjがI&板10表貢に接しなiようにする九#
!LIIlけO%Oであるから、そO厚し−×M#2の
鷹me基板10表−と接触しない部分線抵抗層部分44
 t)下方のみであ勤、かつダレーズ層20厚与拡空所
40$40約10倍もあるからグレーズ層2の機械的強
度株充分維持されるように&る。
仁のように空所6を形成して訃〈と、抵抗JII44か
らOSmダレーズ層2を違って基板1に向かって逃けに
<<1*、これkよりて挺掟層部分4AからO熱紘表菖
に接する感熱祇を加熱するぺ(有効K141用されるこ
とKする。し九がうて空所6を形成し1に%/−h場合
よ勤も供給電力を低減させることがで龜るようKなる。
りtK仁OIi明によるt−マルプリンタヘッドOII
速流にりいて嬉2図以眸04)−を参照して説明する。
tずセラζツタ基板1011&に纂2図のように九とえ
ばAx  (X線そO合金)ペーストを印刷鋒威して厚
み約5 s+a e Ay O@ icよる溶解層7を
形成する。i1解層7が後記するように油解され、そO
溶解し大あとに前記し大空所6が形成されるo−eある
。ついで嬉S図O断画図、菖4−わ千画図に示すようK
117をt九ぐようにしてダシーズ層2を印刷論成して
厚み約505m 0jlllKよって形成する。そして
このダレーズ層20両側kmsime*iim、嬉6図
の平1iisuc=すX 5 pc JIB等による一
対の導電層5を厚膜によって形成する。
そのあと抵抗層4を導電層300表面nえがりてj14
30m++aIimOjlliE!2?形威t! (1
1711゜第8−参照。)、そしてζ01hとIIk杭
層40表真を覆うようにslIImsを厚膜によりて1
119図、第10−に示すように形成する。
以上Oようにして令層又a換を浄戚し九あと、溶鍔層7
を溶解する。10と自O溶解波として鉱港解鵬の番をi
lsし、sea:x線層を溶解し1い%のが必要でhゐ
。叉溶解層70表面にダレーズ鋤そ04111が印刷鉤
威によって形成されるので、溶解層上して耐層性で番為
ことが要求1れる。そ0意味では溶解1117をAy 
X紘そO会食によって形成した部会はこれは耐鵬性を^
倫しているので部会がよく、叉こOときOIl解筐七し
てはえとえdHNO3が適轟である。この溶解液は導電
層であるjs抵抗層である1@02を溶解し1いので都
合がよい。
なお各平自図に示すように溶解層0IiIl1部7ノは
ダレーズ1mの両側から外部Kjl出するように形成さ
れていることが必要である。もしh出していないと溶解
11kK授漬しても溶解層は溶解液に嫉しない丸め溶解
されないからである。
溶解層7の溶解層、保111w1.5を形成しfcあと
で行なう必要はない、少くともグレーズ層2を形成した
あとであれにいつでもよい。
溶解層7の溶解によって、溶解層7の位置に第1図に示
すような空所6がグレーズ層2の底面に形成されるよう
に′&る。
以上の実施例は導電層、抵抗層を厚膜とした構成であつ
えが、これらを薄膜とし九場合でもこの鉛明は適用され
る。籐11−に示す実凰飼はその例を示し、基板10表
面に厚膜<*−S約50e諺)のダレーズJ#2を形成
し、その表面にまたがって厚さ約α1−鴎の薄mによる
抵抗Jm14を、又その両稠に厚さ約1本m1OII験
による導電層15の一対をそれぞれ形成する。そしてこ
れら0表1iiK厚さ約5−111011−による保−
験(えとえd TmzQ5.5402等)1st形威す
る。これら04)薄11[蒸着又轄スパッタ曽ンダによ
伽行なうむとれ周知Oとs?伽である。この実施例にお
いても、ダレーズ屓20廠1ift!N4を形成する。
第12−以降O各Ilによって第11園O構威O良めO
製造法をWR−すると、竜2電ツタ基板10表函に厚み
約55w5OAy@から傘る溶解層7を形成(第121
1参照、)シ、りいで嬉15図のように溶解層7をまえ
−でグレーズ層2を厚膜によシ形成する。そOあとクレ
ーズm2o* 又その両側に導電層13をそれぞれIII馴によ伽影成
(無1411. m1slil#蝋.)シてからその表
両を保1111115で暑う(總1611参照。)、そ
してiI解層7ti11[−ejlllllk*すれ紘
よー。
&訃以上04に実施例において溶解層7として110代
わIIにCIIX紘その台金が4Il用で亀,仁の場合
の溶解波として例え杖Fac15が使用で自る・以上評
遠しえようにこ0発l11によれ式、ダレーズ@0底面
に空所を設は丸ので、既提案とは異な伽機械的強力が充
分維持されえ状履で、基板へO20遣けを防止すること
がで龜るようになに、又そOえめの製造法も予め溶解層
を形成し、グレーズ層t)l/II成以4kKこれを溶
解するたうKしたので極めて簡単に空所を形成する仁と
ができる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図嬬この発#40一実施例を示すkT面図,第2図
乃至第10図れこO発明の一実施例の工程を示す断′W
i図及び平面図、第11 wJ41この発明O他O実施
例を示す断面図、第12図乃至無16図紘ζO斃@0@
0夾施例の工程を示す断自図でるる。 1 、、、、基板% 2 、a # @グレーズ層、5
. 13 、、、。 導電層、4. 14 、、、、抵抗層% 6 m@@@
空所、7 、、、。 溶解崩 第13図 λ 先15図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 −(1)  基板のlI!画に設は大東条状o4膜より
    なるグレーズMO表藺に発熱体となる抵抗層と過電用の
    一対の導電層とを備え、前記グレーズ層の置部と前記I
    &板OII画との閾に薄い空所を設けてなるす一マルプ
    νンタヘッド (粉 基板OII!雨に溶解液によって溶解可能な溶解
    層を厚111によシ形成し、そのあと前記溶解層O端I
    Iが露出するように前記溶解層をま良いで突条状・0j
    IEWI!よりな今グレーズ層を形成し、更に前記グレ
    ーズ層0111jK発熱体となる抵抗層及び−電層〇一
    対O導電層とを形成して亀や、前記グレーズ層を形成し
    九以余に前記溶解層を溶解液で溶解して七Oあとに9所
    !彫成することを特徴とすそナマルプリンタヘッドの製
    造法 (鴫 抵抗層、導電層を厚緘によって彫皐、シてなる特
    許請求O馳S亀2項記軌Oナーマルプリンタヘツドos
    in法              。 (4抵抗層、導電mを薄膜に本9て廖威してなる特許M
    求011&f1mZ項記載Oナーマルプνンタヘッドt
    )@Q*        。
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