JPS5846859B2 - 半導体ペレツトの整列方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は可撓性シートに貼着された多数の半導体ペレ
ットを所定間隔に整列する半導体ペレットの整列方法に
関する。

一般に、半導体ペレットは、半導体ウエノ・−を可撓性
シートに貼着し、上記ウェハーをスクライビングしたの
ちダイシングすることによって得られる。

そして、このようにして得られた多数の半導体ペレット
は上記シートから１つずつ取り出されて次工程でマウン
ティングされる。

一方、上記半導体ペレットをシート上から１つずつ取り
出す作業は、読み取り装置などにペレットの位置を記憶
させておき、この装置で治具を駆動して自動で上記ペレ
ットを取り出すようにしている。

したがって、多数のペレットは上記治具が読取り装置か
らの信号によって１つずつ順次摘むことができるように
規則正しく、しかも治具が１つのペレットを確実に摘む
ことができるようにペレット相互が所定間隔で整列され
ていなげればならない。

ところで、従来、上記ペレットを所定間隔に整列する手
段としては、半導体ウェハーをダイシングしたのち、こ
のウェハーが貼着されたシートを単に加熱されたピスト
ンなどで引き伸ばすだけであった。

したがって、このような手段によると、上記シートは半
導体ウェハーの周縁部と中央部とでは熱伝導が異なり、
シートの周縁部の方が高温になりやすいので、上記シー
トの坤びが不均一となってペレット相互の間隔に誤差が
生じてしまうという問題があった。

さらに、シートに半導体ウェハーを貼着した接着剤は、
シートと同様に坤びることがないから、これらの伸びの
差によってペレットがシートから剥離して所定位置から
ずれてしまうなどの欠点があった。

この発明は上記事情にもとづきなされたもので、その目
的とするところは、シートを均一に引き坤ばすことがで
きるとともにシートを引きｆ申ばすことによってシート
から半導体ペレットが剥離しても上記ペレットがシート
上でずれるようなことがないようにして、上記ペレット
を高精度に位置決めすることができるようにした半導体
ペレットの整列方法を提供することにある。

以下、この発明の一実施例を図面にもとづいて説明する
。

まず、第１図に示すごとく半導体ウェハー１を塩化ビニ
ールなどの高分子材からなる可撓性シート２に貼着して
スクライビングを行い、上記ウェハー１に多数の分割線
３・・・を刻設する。

つぎに、上記半導体ウエノ・−１をダイシングして、第
２図に示すように上記分割線３・・・に沿って多数の半
導体ペレット４・・・に分割する。

そののち、上記可撓性シート２を第３図に示す引き坤し
装置５に保持する。

この引き伸し装置５は、円柱状の孔６が穿設されたベー
ス７と、このベース７の上面に設けられた一対の挾持片
８ａ、８ｂからなるホルダー８と、上記ベース７の孔６
に対向して配設されたシリンダー９とから権威され、上
記ホルダー８によってシート２が保持される。

また、上記シリンダー９は、そのロッド９ａに力ロ熱体
としてピストン１０が連結されている。

このピストン１０はヒータ１１を内蔵するとともに上記
ピストン１０の周壁に複数個所開口した風路１１が形成
されている。

この風路１１はフレキシブル１２を介して図示せぬ送風
機に接続され、この送風機から熱風が供給される。

さらに、上記ピストン１０の上面には、周壁に溝１３が
刻設されるとともに下面側に係合軸１４・・・が設げら
れたはり上げ板１５がその係合軸１４・・・をピストン
１０上面に穿設された孔１６・・・嵌合して載置されて
いる０ しかして、上記ピストン１０の風路１１から熱風を吹き
出すと、この熱風は図中矢示のごとくベース７の孔６内
で対流して上記シート２を均一に加熱するとともに上記
シート２を摩擦してこのシート２に静電気を帯電させる
。

しかるのち、第４図に示すようにシリンダー９を作動し
ヒータ１１によって加熱されたピストン１０を所定スト
ローク上昇すると、上記シート２はこのピストン１０か
らの伝熱によって加熱されたはり上げ板１５の蓄熱およ
び予め熱風で加熱されているために引き坤ばされる。

このとき、上記シート２は熱風によって均一に加熱され
ているので、この加熱状態に応じて均一に伸びる。

したがってこのシート２に貼着された半導体ペレット４
・・・は等間隔に離間するので、これらペレット４・・
・を高精度に整列させることができる。

また、上記熱風がシート２を摩擦することによってこの
シート２に静電気を帯電させるから、シート２を引きｆ
ＥＩ］Ｉｒｆしたときにシート２からペレット４・・・
が剥離しても上記ペレット４・・・は静電気によってシ
ート２に吸着されるので、ペレット４・・・がシート２
上でずれることがない。

そののち、図示せぬはり上げ装置を作動すると、ワイヤ
ー（図示せず）がシート２上からはり上げ板１５０周壁
に形成された溝１３に嵌合して締結され、上記シート２
をはり上げ板１５に固定するとともに上記シート２の周
縁部が切断される。

そののち、はり上げ板１５がピストン１０から取り外さ
れて次工程に搬送される。

そして、この搬送時にもペレット４・・・はシート２に
静電気で吸着されているから、シート２上でずれるよう
なことがない。

以上述べたようにこの発明においては、グイシフグされ
てなる多数の半導体ペレットが貼着された可撓性シート
の周縁を保持するとともに、上記シートに熱風を吹きつ
げてからこのシートを加熱体で引き坤ばすようにしたか
ら、上記シートは熱風で均一に加熱されてから引き沖ば
されるので、従来のようにシートの坤びに差が生じるこ
とがない。

したがって、半導体ペレットをこれらの相互の間隔を高
精度に整列させることができる。

さらに、シートに熱風を吹き付けることによってこのシ
ートに静電気が発生してペレットを吸着するから、シー
トを引き伸ばしたときにペレットがシートから剥離して
も上記静電気によってシート上でペレットの位置がずれ
ることがないなどの利点がある。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明の一実施例を示すもので、第１図〜第４
図は整列方法の工程を順次示した説明図である。 １・・・半導体ウニ・・−１２・・・可撓性シート、４
・・・半導体ペレット、５・・・引き坤し装置、８・・
・ホルダー、１０・・・ピストン（加熱体）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 半導体ウェハーを可撓性シートに貼着する工と、上
   記ウェハーをスクライビングしてからダイシングし多数
   の半導体ペレットに分割する工程と、上記シートの周縁
   を保持するとともに熱風を上記シートに吹きつげてから
   このシートを加熱体で引き坤ばして多数の半導体ペレッ
   トを所定間隔に整列させる工程とからなる半導体ペレッ
   トの整列方法。