JPS5847704A - ウエハ着脱搬送装置 - Google Patents
ウエハ着脱搬送装置Info
- Publication number
- JPS5847704A JPS5847704A JP14222681A JP14222681A JPS5847704A JP S5847704 A JPS5847704 A JP S5847704A JP 14222681 A JP14222681 A JP 14222681A JP 14222681 A JP14222681 A JP 14222681A JP S5847704 A JPS5847704 A JP S5847704A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cartridge
- feed screw
- screw shaft
- helical gear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G65/00—Loading or unloading
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Feeding Of Articles To Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はウェハカートリッジからウエノ・を着脱搬送す
る装置に係り、特に高清浄でコンパクトなモータ駆動式
搬送装置に関する。
る装置に係り、特に高清浄でコンパクトなモータ駆動式
搬送装置に関する。
半導体製造設備におけるウェハカートリッジからのウェ
ハ着脱搬送装置として扛一般に第１図に示す０リングベ
ルト方式、或は、第２図の空気浮 。
ハ着脱搬送装置として扛一般に第１図に示す０リングベ
ルト方式、或は、第２図の空気浮 。
上搬送方式がある。前者の０リングベルト方式社第１図
よりエレベータ−ユニット１によりウニ／１カートリツ
ジ３がウェハ間のピッチ送りで降下する事により、ウェ
ハ４ガ０リングベルト５に接触するとＯリングベルト５
が回転してウエノＳ４をカートリッジ３から離脱させ搬
送する方法である。
よりエレベータ−ユニット１によりウニ／１カートリツ
ジ３がウェハ間のピッチ送りで降下する事により、ウェ
ハ４ガ０リングベルト５に接触するとＯリングベルト５
が回転してウエノＳ４をカートリッジ３から離脱させ搬
送する方法である。
本方式は単純な構造として多く採用さｎている。
しかしこの方式はゴム質の０リングが使われるため、裏
パターンを有するウェハの搬送では特にゴム材質のパタ
ーン接触による汚染が気息され特性。
パターンを有するウェハの搬送では特にゴム材質のパタ
ーン接触による汚染が気息され特性。
低下要因となる。次に空気浮上搬送方式は、初め、エレ
ペー°ターユニット１で降下したカートリッジ内のウェ
ハ４は搬送ポイントに達する事により、ノズル６の押し
出しでウェハ４がカートリッジ３より離脱し空気浮上し
搬送ユニット７内を搬送さ扛て行くと云う方式で無接触
のため高清浄性に秀れた方式と云えるが、それだけ設備
、構造的に高価なものとなっている。
ペー°ターユニット１で降下したカートリッジ内のウェ
ハ４は搬送ポイントに達する事により、ノズル６の押し
出しでウェハ４がカートリッジ３より離脱し空気浮上し
搬送ユニット７内を搬送さ扛て行くと云う方式で無接触
のため高清浄性に秀れた方式と云えるが、それだけ設備
、構造的に高価なものとなっている。
本発明の目的は、ウニ八着脱搬送において衝撃が少く、
清浄性が良く、コンパクトなモータ駆動式ウェハ着脱搬
送装置を提供するにある。
清浄性が良く、コンパクトなモータ駆動式ウェハ着脱搬
送装置を提供するにある。
本発明はハスバ歯車が無給油状態で噛合せた時一方の歯
車の回転により、他方が回転せずに押し上げ瞥れ、その
後はスリップで回転する現象に着目し、一方の歯車が正
転又は逆転する事によシ、他尖が１昇状態で正転し、又
は、降下したままで逆転する事から、送りネジを組合せ
て駆動部材が上昇前進、或は降下後退の環状動作を達成
させたものである。
車の回転により、他方が回転せずに押し上げ瞥れ、その
後はスリップで回転する現象に着目し、一方の歯車が正
転又は逆転する事によシ、他尖が１昇状態で正転し、又
は、降下したままで逆転する事から、送りネジを組合せ
て駆動部材が上昇前進、或は降下後退の環状動作を達成
させたものである。
本発明のウェハ着脱搬送装置を第３図に示す。
第３図より本装置の構成は、ウェハカートリッジ３をピ
ッチ送りで上下移動させるエレベータ−ユニット１１ウ
エハ４を着脱搬送するアーム部材９、アーム部材を上昇
して前進ａ、降下して後退すの環状動作さぜるハスパ歯
車駆動ユニツ）１０からなっている。本装置によるウェ
ハ着脱搬送手順は図より、初めエレベータユニットＩＫ
！９つ！ノ・カートリッジ３をピッチ送シで降下させる
。次にハスバ歯車駆動ユニット１０部の送りネジ軸１１
”を逆転動作させる事により直結のハスパ歯車Ａが
回転しそ扛によタフリーのハスバ歯車Ｂが降下し、上下
軸１２も下り同様にアーム部材９を介してウエハウケ８
が降下状態でカートリッジ３内に差し込まれる。この時
ウニ・・受８はウエノ・４の真下位置で停止する。次に
ハスバ歯車ユニット１０の送りネジ１１を正転させると
フリーパス歯車Ｂは上昇して回転する事となるとｎによ
シ同様にしてウェハ受８は上昇してウェハ４″ｔカート
リツジ３内から押し上げ前進動作する事により搬送され
る事となる。
ッチ送りで上下移動させるエレベータ−ユニット１１ウ
エハ４を着脱搬送するアーム部材９、アーム部材を上昇
して前進ａ、降下して後退すの環状動作さぜるハスパ歯
車駆動ユニツ）１０からなっている。本装置によるウェ
ハ着脱搬送手順は図より、初めエレベータユニットＩＫ
！９つ！ノ・カートリッジ３をピッチ送シで降下させる
。次にハスバ歯車駆動ユニット１０部の送りネジ軸１１
”を逆転動作させる事により直結のハスパ歯車Ａが
回転しそ扛によタフリーのハスバ歯車Ｂが降下し、上下
軸１２も下り同様にアーム部材９を介してウエハウケ８
が降下状態でカートリッジ３内に差し込まれる。この時
ウニ・・受８はウエノ・４の真下位置で停止する。次に
ハスバ歯車ユニット１０の送りネジ１１を正転させると
フリーパス歯車Ｂは上昇して回転する事となるとｎによ
シ同様にしてウェハ受８は上昇してウェハ４″ｔカート
リツジ３内から押し上げ前進動作する事により搬送され
る事となる。
本発明の構造の特徴はウエノ・受は部材質にテフロンの
採用で高清浄性が得ら牡る、また環状動作構造としてコ
ンパクトなモータ駆動方式となっている点である。
採用で高清浄性が得ら牡る、また環状動作構造としてコ
ンパクトなモータ駆動方式となっている点である。
以上本発明によれば、ウェハ押上げ搬送のためキズ付皆
無で、コンパクトなモータクト一式ウェハ着脱搬送装置
會得ることができる。
無で、コンパクトなモータクト一式ウェハ着脱搬送装置
會得ることができる。
第１図は従来のＯリングベルト方式のウエノ・着脱搬送
装置を示す図、第２図は従来の空気浮上搬送方式のウェ
ハ着脱搬送装置を示す図、第３図は一本発明になる環状
動作機構を有したウエノ・着脱搬送装置を示す図である
。
装置を示す図、第２図は従来の空気浮上搬送方式のウェ
ハ着脱搬送装置を示す図、第３図は一本発明になる環状
動作機構を有したウエノ・着脱搬送装置を示す図である
。
Claims (1)
- １；′送りネジ軸、この送りネジ軸に固定された２個の
ハスバ歯車、このハスパ歯車と噛合う他方のハスバ歯車
、この他方のハスパ歯車間に設けられた上下軸、前記送
りネジ軸中上下軸との間に設けられ友アーム部材、この
アーム部材に設けられたウェハ受、前記送りネジ軸の一
端に連結さ扛たモータとより構、成し友ことを特徴とす
るウェハ着脱搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14222681A JPS5847704A (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | ウエハ着脱搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14222681A JPS5847704A (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | ウエハ着脱搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5847704A true JPS5847704A (ja) | 1983-03-19 |
Family
ID=15310342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14222681A Pending JPS5847704A (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | ウエハ着脱搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5847704A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6267832A (ja) * | 1985-09-20 | 1987-03-27 | Hitachi Ltd | 基板搬送方法 |
| CN102897572A (zh) * | 2012-10-26 | 2013-01-30 | 苏州劲翔电子科技有限公司 | 自动上下料装置 |
-
1981
- 1981-09-11 JP JP14222681A patent/JPS5847704A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6267832A (ja) * | 1985-09-20 | 1987-03-27 | Hitachi Ltd | 基板搬送方法 |
| CN102897572A (zh) * | 2012-10-26 | 2013-01-30 | 苏州劲翔电子科技有限公司 | 自动上下料装置 |
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