JPH04286519A - 矩形板搬送装置 - Google Patents

矩形板搬送装置

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JPH04286519A
JPH04286519A JP5121991A JP5121991A JPH04286519A JP H04286519 A JPH04286519 A JP H04286519A JP 5121991 A JP5121991 A JP 5121991A JP 5121991 A JP5121991 A JP 5121991A JP H04286519 A JPH04286519 A JP H04286519A
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JP
Japan
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rectangular plate
screw shaft
shafts
screw
turning
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Pending
Application number
JP5121991A
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English (en)
Inventor
Takumi Takahashi
巧 高橋
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Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、矩形板を連続的に搬送
する搬送装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】回路基板等の矩形板に付着した糊,薬剤
,塵埃等を取り除くことを目的とし、図9と図10に示
す洗浄装置が用いられている。
【0003】図9に示した洗浄装置は、矩形板Kを水平
方向に移動させる搬送装置101 と、洗浄液Fを収容
した洗浄槽で102 とから成る。洗浄対象となる矩形
板Kは搬送装置101 の把持チャック101aで把持
された状態で洗浄液F中を直線的に移動し、該移動時に
おける洗浄液Fとの接触で所望の洗浄を施される。
【0004】また、図10に示した洗浄装置は、矩形板
Kを水平及び垂直方向に移動させる搬送装置201 と
、洗浄液Fを収容した洗浄槽202 と、洗浄液Fを流
動させる撹拌装置203 とから成る。洗浄対象となる
矩形板Kは搬送装置201 のバスケット201a内に
複数枚収容された状態で洗浄液F中に所定時間浸漬され
、流動する洗浄液Fとの接触で所望の洗浄を施される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図9に示し
た洗浄装置では、搬送装置101 として水平移動を行
なうものを用いているため、洗浄槽102が水平方向に
長くなる欠点がある。また、把持チャック101aの設
置個数に限界があるため処理能力も自ずと低くなる。
【0006】また、図10に示した洗浄装置では、搬送
装置201 として水平及び垂直移動を行なうものを用
いているため、上記とは逆に装置全体が垂直方向に大き
くなる欠点があり、また停止時間を含めて考えると処理
能力もそれほど期待できない。また、浄液F中で停止す
る矩形板Kに相対的な動きを与えるために、洗浄液Fを
流動させる撹拌装置203 が不可欠でそれだけ装置自
体が高価になる欠点がある。
【0007】つまり従来の洗浄装置では、搬送装置10
1 ,201 自体の構造を原因として装置の大型化と
処理能力低下の問題を生じている。これらの問題は洗浄
装置に限らず、図9及び図10と同様の搬送装置を用い
る乾燥装置等においても同様に発生する。言い換えれば
上記の諸問題を解消するには、多数の矩形板を小さな空
間スペ−スで連続的に移動できる搬送装置が必要となる
【0008】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、多数の矩形板を小さな空
間スペ−スで連続的に移動でき、洗浄装置や乾燥装置等
に有用な搬送装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明では、同一螺旋溝を有する少なくとも3本のスク
リュ−軸から成り、各スクリュ−軸の対向溝部分で矩形
板の側縁部を支持可能な降下手段と、同一螺旋溝を有す
る少なくとも3本のスクリュ−軸から成り、各スクリュ
−軸の対向溝部分夫々で矩形板の側縁部を支持可能な上
昇手段と、降下手段の各スクリュ−軸に矩形板が降下す
る方向の回転を、また上昇手段の各スクリュ−軸に矩形
板が上昇する方向の回転を夫々付与する駆動手段と、降
下手段のスクリュ−軸の最下位の対向溝部分に降下した
矩形板を上昇手段のスクリュ−軸の最下位の対向溝部分
に移送する移送手段とから、矩形板搬送装置を構成して
いる。
【0010】
【作用】本考案に係る矩形板搬送装置は、第1駆動手段
と第2駆動手段を夫々作動した状態で、降下手段の最上
位位置に矩形板を挿入することで使用される。降下手段
のスクリュ−軸の最上位の対向溝部分に挿入された矩形
板は、同一方向に回転する各スクリュ−軸の螺旋溝の回
転変位により支持状態を維持したまま降下する。降下手
段のスクリュ−軸の最下位の対向溝部分にきた矩形板は
、移送手段によって上昇手段のスクリュ−軸の最下位の
対向溝部分に移送され該溝部分で支持される。上昇手段
のスクリュ−軸の最下位の対向溝部分に移送された矩形
板は、同一方向に回転する各スクリュ−軸の螺旋溝の回
転変位により支持状態を維持したまま上昇する。
【0011】つまり、降下手段のスクリュ−軸の最上位
の対向溝部分に矩形板を順次挿入すれば、降下手段及び
上昇手段に要する空間スペ−スで多数の矩形板を連続し
て降下及び上昇させることができる。
【0012】
【実施例】図1乃至図8は本発明の一実施例を示すもの
で、図1は搬送装置の一部破断正面図、図2は図1のA
−A線断面図、図3は図1のB−B線断面図、図4はス
クリュ−軸の部分拡大図、図5は支持状態を示す平面図
、図6は下降及び上昇作用を示す図、図7及び図8は移
送作用を示す図である。
【0013】まず、図1乃至図4を参照して搬送装置の
構成について説明する。
【0014】同図に示した搬送装置は、装置本体1と、
矩形板Kを水平状態のままで降下可能な降下手段11と
、矩形板Kを水平状態のままで上昇可能な上昇手段21
と、降下手段11と上昇手段21の夫々に所定の回転を
付与する駆動手段31と、降下手段11から上昇手段2
1に矩形板Kを移送する移送手段41とから構成されて
いる。
【0015】装置本体1は箱形を成しており、駆動手段
31と移送手段41の駆動部分を内部に収容している。 また、装置本体1の底面には、降下手段11及び上昇手
段21を覆うようにコ字形支持枠2が垂設され、該支持
枠2の下部内側面には、降下手段11と上昇手段21の
隙間と各手段11,21のスクリュ−軸間の隙間に対応
して矩形板移送用の計3対のL字形ガイド3が設けられ
ている。また装置本体1の底面中央には、矩形板Kの挿
入を規制するストッパ4が設けられている。
【0016】降下手段11は、軸線が四角柱の稜線に位
置するように垂直且つ互いに平行に配置された同一長さ
の4本のスクリュ−軸12から成る。各スクリュ−軸1
2は図4に示すように断面形,ピッチ及び巻き方向(図
中は右巻)を一致した同一形状の螺旋溝12aを夫々有
しており、その上端を装置本体1内の軸受5に夫々回転
自在に軸支され、また下端を支持枠2の底板2aに回転
自在に軸支されている。この降下手段11は、図5に示
すように前後方向で向き合うスクリュ−軸12の螺旋溝
12aの対向溝部分で、矩形板Kの側縁部4箇所を水平
状態で支持できるようになっている。
【0017】上昇手段21は、軸線が四角柱の稜線に位
置するように垂直且つ互いに平行に配置された同一長さ
の4本のスクリュ−軸22から成る。各スクリュ−軸2
2は図4に示すように降下手段11のスクリュ−軸12
と同一形状の螺旋溝22aを有しており、その上端を装
置本体1内の軸受5に夫々回転自在に軸支され、また下
端を支持枠2の底板2aに回転自在に軸支されている。 この上昇手段21は矩形板Kの長さよりも短い距離間隔
をおいて上記降下手段11と隣合わせに配設されており
、図5に示すように前後方向で向き合うスクリュ−軸2
2の螺旋溝22aの対向溝部分夫々で、矩形板Kの側縁
部4箇所を水平状態で支持できるようになっている。
【0018】駆動手段31は、降下手段11及び上昇手
段21の各スクリュ−軸12,22の上端夫々に連結さ
れた計8個の傘歯車32と、前側の4個の傘歯車32と
歯合する傘歯車33を有する第1駆動軸34と、後側の
4個の傘歯車32と歯合する傘歯車35を有する第2駆
動軸36と、両駆動軸34,36をタイミングベルト3
7を介して同一方向に回転駆動するパルスモ−タ38と
から構成されている。各駆動軸34,36に設けられた
傘歯車33,35のうち上昇手段21側に対応する4個
の傘歯車は、降下手段11に対応する傘歯車と180°
向きを相違しており、つまり各駆動軸34,36の回転
では降下手段11のスクリュ−軸12と上昇手段21の
スクリュ−軸22に夫々逆方向の回転を付与できるよう
になっている。
【0019】移送手段41は、降下手段11と上昇手段
21の並設方向に沿って配置された一対のガイドレ−ル
42と、ボ−ルネジ用のナット(図示省略)を備えガイ
ドレ−ル42に摺動自在に配置されたスライダ43と、
ガイドレ−ル42と平行に且つ回転自在に配置されたボ
−ルネジ44と、ボ−ルネジ44の一端を回転駆動する
モ−タ45と、スライダ43から装置本体1の案内孔6
を通じて下方に向けて延設された移送レバ−46とから
構成されている。移送レバ−46は下端部をU字形に屈
曲され、その先端を支持枠2の底板2a中央に形成され
た案内溝2bを通じて該底板2aから上方に突出してい
る。この移送レバ−46の突出高さは、降下手段11の
スクリュ−軸12の最下位の対向溝部分にほぼ一致して
おり、該溝部分に支持された矩形板Kの端縁を押圧でき
るようになっている。
【0020】以下に、上記搬送装置の動作について説明
する。
【0021】まず、図示省略の制御回路から駆動手段3
1のパルスモ−タ38に、スクリュ−軸1回転分に相当
する所定のパルス信号を供給する。この信号の供給は数
秒の停止時間を挟んで断続的に行なわれる。図示例では
、上記の信号供給でパルスモ−タ38が左回りに回転し
、第1,第2駆動軸34,36が夫々同方向に回転して
降下手段11の各スクリュ−軸12が左回りで1回転し
、また上昇手段21の各スクリュ−軸22が右回りで1
回転する。
【0022】スクリュ−軸12の回転停止時間には、該
スクリュ−軸12の最上位の対向溝部分(図1の左側の
2点鎖線参照)に矩形板Kを挿入する。この矩形板Kの
挿入は、装置本体1の底面中央に設けられたストッパ4
によって適正位置に規制される。
【0023】停止時間経過後における降下手段11のス
クリュ−軸12の回転では、図6に実線で示すように左
回りに回転する各スクリュ−軸12の螺旋溝12aの回
転変位により、矩形板Kはその側縁部4箇所を支持され
た状態のままで1ピッチ分だけ降下する。
【0024】スクリュ−軸12の最下位の対向溝部分に
矩形板Kがきたところでは、次の停止時間を利用して矩
形板Kの移送が行なわれる。つまり、矩形板Kがスクリ
ュ−軸12のの最下位の対向溝部分にきた図7の状態で
、移送手段41のモ−タ45を所定方向に回転させてス
ライダ43をガイドレ−ル42に沿って移動させ、移送
ピン46を上昇手段21に向かって移動させる。この移
動過程では図8に示すように、移送ピン46の先端で矩
形板Kの端縁が同方向に押圧され、該矩形板KはL字形
ガイド3にその両側縁部をガイドされつつ、上昇手段2
1のスクリュ−軸22の最下位の対向溝部分に移送され
ここで支持される。上記の移送はスクリュ−軸12の回
転が停止する度に行なうようにしてもよく、また矩形板
Kがスクリュ−軸12のの最下位の対向溝部分にきたこ
とをセンサ等で検知し、検知後に開始するようにしても
よい。
【0025】移送後における上昇手段21のスクリュ−
軸22の回転では、図6に破線で示すように右回りに回
転する各スクリュ−軸22の螺旋溝22aの回転変位に
より、矩形板Kはその側縁部4箇所を支持された状態の
ままで1ピッチ分だけ上昇する。上記の矩形板Kはやが
てスクリュ−軸22の最上位の対向溝部分に上昇し、こ
こで取り出される。
【0026】このように上記の搬送装置では、降下手段
11のスクリュ−軸12の最上位位置に挿入された矩形
板Kを、一旦降下手段11のスクリュ−軸12で最下位
位置まで降下させた後、これを上昇手段21側に移送し
て上昇手段21のスクリュ−軸22で最上位位置まで上
昇させることが可能であり、降下手段11及び上昇手段
21に要する空間スペ−スで多数の矩形板Kを連続して
降下及び上昇させることができる。また、矩形板Kの挿
入と取出しを行なうマニプレ−タ等の装置を用いれば、
挿入から取出しまでの一連の動作を人手を介さずに自動
的に行なうことも可能である。
【0027】従って、上記の装置を従来技術で述べた洗
浄装置や乾燥装置の搬送手段として利用すれば、装置の
小型化と処理能力の向上を図ることができ、搬送装置の
構造を原因として生じていた諸問題を解消することがで
きる。
【0028】尚、上記実施例では降下手段と上昇手段を
4本のスクリュ−軸で構成したものを示したが、各手段
のスクリュ−軸の本数は矩形板の大きさに応じて増加し
てもよく、また支持が可能であれば3本であってもよい
【0029】また、上記実施例では降下手段と上昇手段
の各スクリュ−軸を回転させる駆動手段として傘歯車を
用いたものを示したが、他の駆動手段、例えば各スクリ
ュ−軸の上端に夫々独立してパルスモ−タを連結し、降
下手段と上昇手段に対応するパルスモ−タに夫々同一の
パルス信号を供給するようにしたものや、降下手段と上
昇手段とでスクリュ−軸の螺旋溝の向きを逆にし、各ス
クリュ−軸の上端にプ−リを固着しこれらに巻付けられ
たベルトをパルスモ−タで同一方向に回転駆動するよう
にしたもの等が種々採用できる。
【0030】更に、手作業で矩形板の挿入を行なう際の
作業性を向上させるために図11に示すようなガイド機
構51を用いてもよい。このガイド機構51は、装置本
体1内に収容された図示省略のモ−タと、該モ−タの作
動により所定角度範囲で回動する一対のア−ム52と、
ア−ム52の先端に取付けられたL字形ガイド53とか
ら成り、降下手段11の最上位位置に挿入される矩形板
Kをガイド53によって案内できるようになっている。 また、両ア−ム52はスクリュ−軸12の回転が開始さ
れる直前で、図12に示すように外方に開いて矩形板K
の降下を妨げないようになっており、回転停止と同時に
図11の状態に復帰する。勿論、上記と同一構成のガイ
ド機構を上昇手段側に設けて、手作業で矩形板の取出し
を行なう際のガイドとして用いてもよい。
【0031】更にまた、本発明は洗浄装置や乾燥装置等
の搬送手段に限らず、保管用ストッカや高さ調整機構と
して用いてもよい。
【0032】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
降下手段及び上昇手段に要する小さな空間スペ−スで多
数の矩形板を連続して降下及び上昇させることができ、
洗浄装置や乾燥装置等の搬送手段として極めて有用であ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す搬送装置の一部破断正
面図
【図2】図1のA−A線断面図
【図3】図1のB−B線断面図
【図4】スクリュ−軸の部分拡大図
【図5】支持状態を示す平面図
【図6】下降及び上昇作用を示す図
【図7】移送作用を示す図
【図8】移送作用を示す図
【図9】従来例を示す洗浄装置の概略図
【図10】従来
例を示す洗浄装置の概略図
【図11】他の実施例を示す
搬送装置の部分側面図
【図12】図11に示したガイド
機構の動作説明図
【符号の説明】
11…降下手段、12…スクリュ−軸、12a…螺旋溝
、21…上昇手段、22…スクリュ−軸、22a…螺旋
溝、31…駆動手段、34…第1駆動軸、36…第2駆
動軸、41…移送手段、K…矩形板。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】同一螺旋溝を有する少なくとも3本のスク
    リュ−軸から成り、各スクリュ−軸の対向溝部分で矩形
    板の側縁部を支持可能な降下手段と、同一螺旋溝を有す
    る少なくとも3本のスクリュ−軸から成り、各スクリュ
    −軸の対向溝部分夫々で矩形板の側縁部を支持可能な上
    昇手段と、降下手段の各スクリュ−軸に矩形板が降下す
    る方向の回転を、また上昇手段の各スクリュ−軸に矩形
    板が上昇する方向の回転を夫々付与する駆動手段と、降
    下手段のスクリュ−軸の最下位の対向溝部分に降下した
    矩形板を上昇手段のスクリュ−軸の最下位の対向溝部分
    に移送する移送手段とから構成した、ことを特徴とする
    矩形板搬送装置。
JP5121991A 1991-03-15 1991-03-15 矩形板搬送装置 Pending JPH04286519A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007316065A (ja) * 2006-05-24 2007-12-06 Mire Kk 半導体素子テスト用ハンドラ
JP2009264537A (ja) * 2008-04-28 2009-11-12 Hitachi Plant Technologies Ltd 多軸駆動装置
WO2015034432A1 (en) * 2013-09-03 2015-03-12 Chiong Wee Chow Scalable free energy motor utilizing strong permanent magnets in chain and spiral screws
JPWO2019159283A1 (ja) * 2018-02-15 2020-12-03 三菱電機株式会社 フィンスタック装置
CN113213080A (zh) * 2021-05-25 2021-08-06 上海扩博智能技术有限公司 板材存储装置及机器人

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007316065A (ja) * 2006-05-24 2007-12-06 Mire Kk 半導体素子テスト用ハンドラ
JP2009264537A (ja) * 2008-04-28 2009-11-12 Hitachi Plant Technologies Ltd 多軸駆動装置
WO2015034432A1 (en) * 2013-09-03 2015-03-12 Chiong Wee Chow Scalable free energy motor utilizing strong permanent magnets in chain and spiral screws
JPWO2019159283A1 (ja) * 2018-02-15 2020-12-03 三菱電機株式会社 フィンスタック装置
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Effective date: 19951003