JPS5848969A - 光電変換装置 - Google Patents
光電変換装置Info
- Publication number
- JPS5848969A JPS5848969A JP56148530A JP14853081A JPS5848969A JP S5848969 A JPS5848969 A JP S5848969A JP 56148530 A JP56148530 A JP 56148530A JP 14853081 A JP14853081 A JP 14853081A JP S5848969 A JPS5848969 A JP S5848969A
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- JP
- Japan
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- electrodes
- shaped
- electrode group
- electrode
- insulating substrate
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/20—Electrodes
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光電変換装置に関するものであり、特にファク
シミリを小型化、経済化できる光電変換装置を提供する
ものである。
シミリを小型化、経済化できる光電変換装置を提供する
ものである。
従来、ファクシミＩＪに使用する光電変換装置はガラス
基板に光導電体膜を被着してこの導電体膜の活性化熱処
理を行なった後、ホトエツチング等により一列の光導°
電体の島領域を形成し、前記−列の光導電体の一方側に
複数個の光導電体と電気的に接続される共通電極群を形
成し、前記−列の光導電体の他方側に各々の光導電体と
その一端が電気的に接続される細長い個別電極群が形成
される。そして、上記個別電極群の他端側にフィルムリ
ードを配置して、このフィルムリードと個別電極群乞ボ
ンディングにより電気的に接続し、外部回路ンの信号の
入出力端子部としていた。
基板に光導電体膜を被着してこの導電体膜の活性化熱処
理を行なった後、ホトエツチング等により一列の光導°
電体の島領域を形成し、前記−列の光導電体の一方側に
複数個の光導電体と電気的に接続される共通電極群を形
成し、前記−列の光導電体の他方側に各々の光導電体と
その一端が電気的に接続される細長い個別電極群が形成
される。そして、上記個別電極群の他端側にフィルムリ
ードを配置して、このフィルムリードと個別電極群乞ボ
ンディングにより電気的に接続し、外部回路ンの信号の
入出力端子部としていた。
このような光電変換装置は、照明光源で照射された送信
原稿からの反射光をセルフォックレンズアレーを用いて
充電変換素子列上に結像し、光情報を電気信号に変換し
て取り出すものであ机しかし、上記従来の光電変換装置
は外部回路との信号入出力を行なうためにフィルムリー
ドを用いていたために次のような欠点があった。
原稿からの反射光をセルフォックレンズアレーを用いて
充電変換素子列上に結像し、光情報を電気信号に変換し
て取り出すものであ机しかし、上記従来の光電変換装置
は外部回路との信号入出力を行なうためにフィルムリー
ドを用いていたために次のような欠点があった。
（１）フィルムリードと個別電極群の電気的接続におい
て位置合わせは高い精度が要求されるが、精度の高い位
置合わせが困難であった。
て位置合わせは高い精度が要求されるが、精度の高い位
置合わせが困難であった。
仁）フィルムリードを個別電極群とボンディングする際
ぐこボンディング不良に起因する接触不良が÷生じやす
ｔ＼。
ぐこボンディング不良に起因する接触不良が÷生じやす
ｔ＼。
本発明は上記従来の欠点を除去するものであり、複数個
の光電変換部と、この光電変換部に一端が電気的接続さ
れる第、１電極群とが、主面上に形成された第１基板と
、前記第１電極群の他端が電気的接続されるべき第２電
極群が主面に形成された第２基板と、外周部に第３の電
極群が形成された弾性を有する絶縁性棒状体とを順次重
ねて配置し、前記第１電極と第２電極とが前記絶縁性棒
状体の外周面に形成された第３電極を介して電気的に接
続されている光電変換装置を提供するものである。
の光電変換部と、この光電変換部に一端が電気的接続さ
れる第、１電極群とが、主面上に形成された第１基板と
、前記第１電極群の他端が電気的接続されるべき第２電
極群が主面に形成された第２基板と、外周部に第３の電
極群が形成された弾性を有する絶縁性棒状体とを順次重
ねて配置し、前記第１電極と第２電極とが前記絶縁性棒
状体の外周面に形成された第３電極を介して電気的に接
続されている光電変換装置を提供するものである。
第１図は本発明の一実施例における光電変換装置の分解
斜視図を示している。同図において、１はガラス等より
なる絶縁性基板、２はこの絶縁性基板上に形成された共
通電極群、３は個別電極群、４は島状に形成された光導
電素子列、５は光導電素子４とオー、ごツクな接触をす
る金属電極群、６は絶縁性基板２０の一生面に所定間隔
をおいて複数本形成されている帯状電極、７は弾性を有
する絶縁性棒状体の外周部に所定間隔をおいてリング状
電極８が複数個形成されている部材（以下棒状エラスチ
ックコネクタとよぶ）である。
斜視図を示している。同図において、１はガラス等より
なる絶縁性基板、２はこの絶縁性基板上に形成された共
通電極群、３は個別電極群、４は島状に形成された光導
電素子列、５は光導電素子４とオー、ごツクな接触をす
る金属電極群、６は絶縁性基板２０の一生面に所定間隔
をおいて複数本形成されている帯状電極、７は弾性を有
する絶縁性棒状体の外周部に所定間隔をおいてリング状
電極８が複数個形成されている部材（以下棒状エラスチ
ックコネクタとよぶ）である。
本実施例の特徴は、絶縁性基板１の上に形成された個別
電極３と、絶縁性基板２ｏの一生面に形成された帯状電
極６とが棒状エラステイクコネクタ７上に形成されたリ
ング状電極８を介して各々電気的に接続されていること
である。棒状エラステイクコネクタ７は弾性を有する材
料で作られているため絶縁性基板１または２０の表面に
凹凸があっても、個別電極３および帯状電極ｅとの接触
が良好に行なわれる。
電極３と、絶縁性基板２ｏの一生面に形成された帯状電
極６とが棒状エラステイクコネクタ７上に形成されたリ
ング状電極８を介して各々電気的に接続されていること
である。棒状エラステイクコネクタ７は弾性を有する材
料で作られているため絶縁性基板１または２０の表面に
凹凸があっても、個別電極３および帯状電極ｅとの接触
が良好に行なわれる。
次に、との光電変換装置を構成する各部品を、その製造
方法を説明しつつ詳細に説明する。
方法を説明しつつ詳細に説明する。
まず、絶縁性基板の上に各電極を形成する方法を第２図
（ａ） 、 （ｂ） 、 （Ｃ） 、 （ｃｌ）にもと
づいて説明する。
（ａ） 、 （ｂ） 、 （Ｃ） 、 （ｃｌ）にもと
づいて説明する。
第２図（ａ）に示すように、ガラス等よりなる絶縁性基
板上に、真空蒸着法、スパッタ法等によりＩｎ２ｏ３゜
５ｎｏ２等の透明導電性膜を全面に被着し、ホトエｑチ
／グ等で共通電極群２と個別電極群３を形成する。
板上に、真空蒸着法、スパッタ法等によりＩｎ２ｏ３゜
５ｎｏ２等の透明導電性膜を全面に被着し、ホトエｑチ
／グ等で共通電極群２と個別電極群３を形成する。
次に、第２図（ａ）のようにしてできた電極群上に光導
電性膜、例えばＣｄＳ 、 ＣｄＳｅ 、 ＣｄＴｅ等
の単層または複層の膜を化学的析出法、真空蒸着法、ス
パッタ法等で被着しｆ７Ｌ後、ホトエツチング等で第２
図（ｂ）に示すように、個別電極群３と対応させてこの
個別電極群３と共通電極群３との間に島状の光導電性膜
を形成する。そして、この島状の光導電ｌｅｔ膜を、例
えば ＣｄＣｌ２粉末とともに、光導電性膜とＣｄＣｌ
２の共晶温度以上の温度、例えば５００°Ｃ〜６ｏ○°
Ｃで、半密閉容器中において活性化熱処理することによ
り光導電素子列４が得られる。
電性膜、例えばＣｄＳ 、 ＣｄＳｅ 、 ＣｄＴｅ等
の単層または複層の膜を化学的析出法、真空蒸着法、ス
パッタ法等で被着しｆ７Ｌ後、ホトエツチング等で第２
図（ｂ）に示すように、個別電極群３と対応させてこの
個別電極群３と共通電極群３との間に島状の光導電性膜
を形成する。そして、この島状の光導電ｌｅｔ膜を、例
えば ＣｄＣｌ２粉末とともに、光導電性膜とＣｄＣｌ
２の共晶温度以上の温度、例えば５００°Ｃ〜６ｏ○°
Ｃで、半密閉容器中において活性化熱処理することによ
り光導電素子列４が得られる。
次に第２図（ｂ）のようにして得られた光導電素子列４
において、第２図（Ｃ）に示すようにこの光導電素子列
４にオーミックな金属電極５群を形成する。
において、第２図（Ｃ）に示すようにこの光導電素子列
４にオーミックな金属電極５群を形成する。
すなわち、共通電極群２と個別電極群３の一端と、光導
電素子４上で、一定間隔になるようＫ、レジスト等でパ
ターンを形成した後、例えばＩｎ、Ｉｎ−３ｎ、 Ｎｉ
Ｃｒ−Ａｕ等を真空蒸着法、スパッタ法等で被着した後
、リフトオフ法によって金属電極５を形成する。
電素子４上で、一定間隔になるようＫ、レジスト等でパ
ターンを形成した後、例えばＩｎ、Ｉｎ−３ｎ、 Ｎｉ
Ｃｒ−Ａｕ等を真空蒸着法、スパッタ法等で被着した後
、リフトオフ法によって金属電極５を形成する。
なお、第２図（Ｊは上記のようにして得られた光電変換
装置の断面図である。
装置の断面図である。
次に第３図（ａン、 （ｂ）をもとにして、第１図の絶
縁性基板２ｏ上に帯状電極を形成する方法について説明
する。
縁性基板２ｏ上に帯状電極を形成する方法について説明
する。
第３図（ａ）は第１図（ａ）〜ＣＣ）で得られた光電変
換装置の個別電極群３からマトリックス結線してリード
線を取り出すための共通配線板を示しており、第２図（
ａ）の場合と同様にガラス等よりなる絶縁基板２０の上
に工ｎ２ｏ３，５ｎｏ２等の透明導電性膜を真空蒸着法
、スパッタ法等により被着させ、ホトエツチング等によ
シ複数の帯状の電極６を形成したものである。なお、こ
の絶縁基板２０としてプリント基板に帯状の電極を形成
したものを用いてもよい。
換装置の個別電極群３からマトリックス結線してリード
線を取り出すための共通配線板を示しており、第２図（
ａ）の場合と同様にガラス等よりなる絶縁基板２０の上
に工ｎ２ｏ３，５ｎｏ２等の透明導電性膜を真空蒸着法
、スパッタ法等により被着させ、ホトエツチング等によ
シ複数の帯状の電極６を形成したものである。なお、こ
の絶縁基板２０としてプリント基板に帯状の電極を形成
したものを用いてもよい。
ここで、帯状の電極６は、マトリックス結線する個別電
極群３の接触部分のピッチと一致させ、電極の幅は個別
電極群３の幅とほぼ等しくする必要があるっなお、第３
図（ｂンは第３図（ｆｉ）のＡ−Ａ断面図であるっ 次に第４図をもとにして棒状エラスチックコネクタ７の
構成について説明する。
極群３の接触部分のピッチと一致させ、電極の幅は個別
電極群３の幅とほぼ等しくする必要があるっなお、第３
図（ｂンは第３図（ｆｉ）のＡ−Ａ断面図であるっ 次に第４図をもとにして棒状エラスチックコネクタ７の
構成について説明する。
同４ｍ状エラスチックコネクタ７はコ゛ム、可とう性の
ある合成樹脂等の弾性を有する絶縁性棒状体７ａの外周
面に所定間隔をおいてリング状電極８力Ｉ設けられたも
のである。なお、絶縁性棒状体７＝１の断面は第４図に
示す円形に限られるものではなく、長方形、６角形等の
他の形状でもよい。
ある合成樹脂等の弾性を有する絶縁性棒状体７ａの外周
面に所定間隔をおいてリング状電極８力Ｉ設けられたも
のである。なお、絶縁性棒状体７＝１の断面は第４図に
示す円形に限られるものではなく、長方形、６角形等の
他の形状でもよい。
この棒状エラスチックコネクタ７は、第２図の個別電極
群３と第３図の帯状電極群６とを電気的に接続するもの
で、前記各電極群３，６のピッチよリモ細かいピッチで
、リング状電極８が外周部に設けられているコ 第５図は第４図の棒状エラスチックコネクタを保持する
保持部材を示している。この保持部材は保持基板９に個
別電極群３に対応するスリット状の穴１０が穿設された
ものであり、保持基板９は厚さが棒状エラスチックコネ
クタ７の径より／ＪＸさい絶縁性板を用いている。
群３と第３図の帯状電極群６とを電気的に接続するもの
で、前記各電極群３，６のピッチよリモ細かいピッチで
、リング状電極８が外周部に設けられているコ 第５図は第４図の棒状エラスチックコネクタを保持する
保持部材を示している。この保持部材は保持基板９に個
別電極群３に対応するスリット状の穴１０が穿設された
ものであり、保持基板９は厚さが棒状エラスチックコネ
クタ７の径より／ＪＸさい絶縁性板を用いている。
以上、第２図（ａ）〜（ｃ）、第３図（ａ）、（ｂ）、
第４図才よび第５図に示した各部品を用いて光電変換装
ｚ′を構成するには、第１図に示すように帯状電極６が
形成された絶縁性基板２ｏを棒状エラスチックコネクタ
７を介して、個別電極群３が形成された絶縁性基板１に
押し付けた状態で固定し、マトリックス結線を行なう。
第４図才よび第５図に示した各部品を用いて光電変換装
ｚ′を構成するには、第１図に示すように帯状電極６が
形成された絶縁性基板２ｏを棒状エラスチックコネクタ
７を介して、個別電極群３が形成された絶縁性基板１に
押し付けた状態で固定し、マトリックス結線を行なう。
この際棒状エラスチックコネクタ７は弾性を有するので
、絶縁性基板１，２゜の表面に凹凸が少しあっても、リ
ング状電極８は個別電極群３および帯状電極６と密着し
、良好な電気的接触部が形成される。なお、棒状エラス
チックコネクタ７は第５図の保持基板９の穴１ｏにおい
て、ネジ等によって保持されている。
、絶縁性基板１，２゜の表面に凹凸が少しあっても、リ
ング状電極８は個別電極群３および帯状電極６と密着し
、良好な電気的接触部が形成される。なお、棒状エラス
チックコネクタ７は第５図の保持基板９の穴１ｏにおい
て、ネジ等によって保持されている。
一方共通電極群２からは、半田付よって結線したリード
を引き出す。この場合、先はどと同様にエラスチックコ
ネクタを用いて、共通電極群２から外部にリード線を取
り出す構成にすることも可能であるっ 前記のようにして得られた光電変換装置は第６図に示す
構成で用いる。すなわち、照明光源１２からの光は送信
原稿１３で反射され、文字等の像はセ／ｌｚ７オツクレ
ンズアレー１１を通して光電変換装置の光導電素子列４
上に結像させる一、元導電素子列４は像の濃淡に応じて
抵抗値が変化、これにより元の信号が電気信号に変換さ
れる。
を引き出す。この場合、先はどと同様にエラスチックコ
ネクタを用いて、共通電極群２から外部にリード線を取
り出す構成にすることも可能であるっ 前記のようにして得られた光電変換装置は第６図に示す
構成で用いる。すなわち、照明光源１２からの光は送信
原稿１３で反射され、文字等の像はセ／ｌｚ７オツクレ
ンズアレー１１を通して光電変換装置の光導電素子列４
上に結像させる一、元導電素子列４は像の濃淡に応じて
抵抗値が変化、これにより元の信号が電気信号に変換さ
れる。
以上説明したように本発明の光電変換装置は各絶縁性基
板上に形成された電極群どうしを、棒状エラスチックコ
ネクタにより電気的に接続するものであり、ボンディン
グによりリード線を取り出す等の工程を要せずに容易に
結線を行ないつる。
板上に形成された電極群どうしを、棒状エラスチックコ
ネクタにより電気的に接続するものであり、ボンディン
グによりリード線を取り出す等の工程を要せずに容易に
結線を行ないつる。
さらに各部品を独立して製造し、これらを組み立てるこ
とにより構成できるので、各部品を組み立てる前に電極
のショート、断線等をあらかじめ検査しておけば組み立
てた後の完成品の不良を大幅に減少でき、従来のごとく
最後の工程で電極のショート、断線が発見されるトラブ
ルや無駄を防止できる。
とにより構成できるので、各部品を組み立てる前に電極
のショート、断線等をあらかじめ検査しておけば組み立
てた後の完成品の不良を大幅に減少でき、従来のごとく
最後の工程で電極のショート、断線が発見されるトラブ
ルや無駄を防止できる。
さらに長期間の使用により、構成部品が劣化し不良とな
った場合、不良となった部品のみを簡単に交換できる。
った場合、不良となった部品のみを簡単に交換できる。
０
また、従来のよう（ｌ乙フィルムリードの一本一本に対
して位置合わせとする手間をツ・要とせず、棒状エラス
チックコネクタの両端の位置を電極に対して位置合わせ
するだけで桿！度よい電気的接続ｍ１行なえる。
して位置合わせとする手間をツ・要とせず、棒状エラス
チックコネクタの両端の位置を電極に対して位置合わせ
するだけで桿！度よい電気的接続ｍ１行なえる。
図（ａ） 、 （ｂ）はそれぞれ同装置の構成部品であ
る絶縁性基板の製造方法を説明するだめの図、第４図は
同装置の構成部品である棒状エラスチックコネクタの斜
視図、第５図は同コネクタを保持する保持部材の正面図
、第６図は同装置の使用１状態をに免明するだめの図で
ある。 １ 、・・、絶縁性基板、２・・・・・・共通電極、３
・、、、６個別電極、４・・・・・・光導電□素子、５
・・・・・・金属電極、６・・・・・・帯状電極、了・
・・・・棒状エラスチックコネクタ、８・・・・・・リ
ング４大電極、９・・・・保持基板。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ？！＝１名＠
１図 ＠３図 ハ 第４図 ｆＪｉＳ６ 図
る絶縁性基板の製造方法を説明するだめの図、第４図は
同装置の構成部品である棒状エラスチックコネクタの斜
視図、第５図は同コネクタを保持する保持部材の正面図
、第６図は同装置の使用１状態をに免明するだめの図で
ある。 １ 、・・、絶縁性基板、２・・・・・・共通電極、３
・、、、６個別電極、４・・・・・・光導電□素子、５
・・・・・・金属電極、６・・・・・・帯状電極、了・
・・・・棒状エラスチックコネクタ、８・・・・・・リ
ング４大電極、９・・・・保持基板。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ？！＝１名＠
１図 ＠３図 ハ 第４図 ｆＪｉＳ６ 図
Claims (1)
- 複数個の光電変換部と、この光電変換部に一端が電気的
接続される第１電極群とが、主面上に形成された第１基
板と、前記第１電極群の他端が電気的接続されるべき？
Ｒ２電極群が主面に形成された第２基板と、外周面に第
３の電極群が形成された弾性を有する絶縁性棒状体とを
順次重ねて配置し、前記第１電極と第２電極とが前記絶
縁性棒状体の外周面に形成された第３電極を介して電気
的に接続され・ていることを特徴とする光電変換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56148530A JPS5848969A (ja) | 1981-09-18 | 1981-09-18 | 光電変換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56148530A JPS5848969A (ja) | 1981-09-18 | 1981-09-18 | 光電変換装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5848969A true JPS5848969A (ja) | 1983-03-23 |
Family
ID=15454840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56148530A Pending JPS5848969A (ja) | 1981-09-18 | 1981-09-18 | 光電変換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5848969A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6217155U (ja) * | 1985-07-15 | 1987-02-02 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5471594A (en) * | 1977-11-18 | 1979-06-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Production of photo sensor array |
| JPS54102990A (en) * | 1978-01-31 | 1979-08-13 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Optical sensor array and its manufacture |
-
1981
- 1981-09-18 JP JP56148530A patent/JPS5848969A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5471594A (en) * | 1977-11-18 | 1979-06-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Production of photo sensor array |
| JPS54102990A (en) * | 1978-01-31 | 1979-08-13 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Optical sensor array and its manufacture |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6217155U (ja) * | 1985-07-15 | 1987-02-02 |
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