JPS584939A - 半導体装置のテスト装置 - Google Patents
半導体装置のテスト装置Info
- Publication number
- JPS584939A JPS584939A JP56101940A JP10194081A JPS584939A JP S584939 A JPS584939 A JP S584939A JP 56101940 A JP56101940 A JP 56101940A JP 10194081 A JP10194081 A JP 10194081A JP S584939 A JPS584939 A JP S584939A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pads
- probe
- probes
- voltage
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P74/00—Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
零発ｌｊＩは、ウェハース段階にてペレットの試験（以
下ＰＷチェックと言う）を行なう際の試験装置に関し１
％にブロービング装置の構成に関するものである。
下ＰＷチェックと言う）を行なう際の試験装置に関し１
％にブロービング装置の構成に関するものである。
ＰＷチェ、り工程に於いて、ＬＳＩテストシステ、ムは
、ＬＳＩテスターノロ−ピング装置そして周辺機器より
構成されておｎ、 （Ｅ米は各構成単体での装置の信頼
性に−ＤＩ／％ては、ＰＷチェ、夕前に点検するだけで
、測定中での装置の検査は行なわれていなかった０％に
、ブロービング装置の探針とペレットのパッド間のズレ
（以下探針ズレと言う）についてはその検出ができなか
りた。従りて、ペレットの試験では良品として判定して
も実際さは良品とは判定できない間亀点がありた。又、
探針ズレに関しては、どうしても作業者の顕微鏡による
チェックに頼る方法しかなく、装置自身が判断できない
と、いう欠点があった。
、ＬＳＩテスターノロ−ピング装置そして周辺機器より
構成されておｎ、 （Ｅ米は各構成単体での装置の信頼
性に−ＤＩ／％ては、ＰＷチェ、夕前に点検するだけで
、測定中での装置の検査は行なわれていなかった０％に
、ブロービング装置の探針とペレットのパッド間のズレ
（以下探針ズレと言う）についてはその検出ができなか
りた。従りて、ペレットの試験では良品として判定して
も実際さは良品とは判定できない間亀点がありた。又、
探針ズレに関しては、どうしても作業者の顕微鏡による
チェックに頼る方法しかなく、装置自身が判断できない
と、いう欠点があった。
そこで本発明は、プロービング装置の信頼性をリアルタ
イムでチェックするための探針ズレ防止機能を有するテ
スト装置を得ることを目的とする。
イムでチェックするための探針ズレ防止機能を有するテ
スト装置を得ることを目的とする。
ＰＷチェ、り工程に於いて、ブロービング装置の誤動作
に伴う探針ズレは、装置の信頼性の向上によル低減して
いるものの依然として問題となりて−る。そこで本発明
は、ブロービング装置単体ではなく、システムとして探
針ズレを検出してプるパッドとは独立した２１１６１の
パッドを設け、又。
に伴う探針ズレは、装置の信頼性の向上によル低減して
いるものの依然として問題となりて−る。そこで本発明
は、ブロービング装置単体ではなく、システムとして探
針ズレを検出してプるパッドとは独立した２１１６１の
パッドを設け、又。
前記のパッドに接触する探針もベレットの特性をチェッ
クする探針とは独立して設ける。又％前記の２個のパッ
ドは所定の抵抗値をもつ抵抗体によって接続される。Ｌ
ＳＩテスターより電流（又は電８Ｅ）を印加し、その測
定信号によシ探針が正確にパ・ラドに当っているか否か
を検出回路で判定した場合は、システムを停止し、アラ
ームを発生させる。前記の様な機能を加えることによ〕
プＷＦ−ピング装置の誤動作による誤測定を防止し１作
業者がＰＷチェ、り中に装置を停止して確認する必要が
なくな９．自動化、無人化に極めて有効である。
クする探針とは独立して設ける。又％前記の２個のパッ
ドは所定の抵抗値をもつ抵抗体によって接続される。Ｌ
ＳＩテスターより電流（又は電８Ｅ）を印加し、その測
定信号によシ探針が正確にパ・ラドに当っているか否か
を検出回路で判定した場合は、システムを停止し、アラ
ームを発生させる。前記の様な機能を加えることによ〕
プＷＦ−ピング装置の誤動作による誤測定を防止し１作
業者がＰＷチェ、り中に装置を停止して確認する必要が
なくな９．自動化、無人化に極めて有効である。
以下１本発明ｔ−１面を参照して説明する。
本発明の一実施例として、第１図に示すブロービング装
置１．ＬＳＩテスター２．および周辺機器３で構成され
るＬＳＩテストシステムについて述べる。
置１．ＬＳＩテスター２．および周辺機器３で構成され
るＬＳＩテストシステムについて述べる。
測定用のパッド８，９と抵抗体４は、ペレット内の回路
とは独立しておシ、配線が接続されるパッドとは無関係
のパッド２個８．９よ多構成されておシ、前記２個のパ
ッドは、ある抵抗値を持った素子（抵抗体４）で接続さ
れて−る。又、前記２個のパッド８．９は、配線が接続
されるパッドよシ小さくすることにより％そして形状を
円形にすることにより探針ズレの検出精度を上げること
ができる。検査用探針５ｒｊ、前記２個のパッドに電流
（又は電ｆＥ）を印加するための探針で、２本で構成さ
れ、１本はアースに接続し、もう１本は、電流印加電圧
測定ユニット（又は電圧印加電流測定ユニット）６に接
続される。印加電流（又は印加電圧）、検出回路７での
設定値は、デバイスプログラム内で設定される。検出回
路で判定され九結来が、探針ズレ有りと判定されたら、
ＬＳＩテスターを停止し、かつブロービング装置も停止
する。
とは独立しておシ、配線が接続されるパッドとは無関係
のパッド２個８．９よ多構成されておシ、前記２個のパ
ッドは、ある抵抗値を持った素子（抵抗体４）で接続さ
れて−る。又、前記２個のパッド８．９は、配線が接続
されるパッドよシ小さくすることにより％そして形状を
円形にすることにより探針ズレの検出精度を上げること
ができる。検査用探針５ｒｊ、前記２個のパッドに電流
（又は電ｆＥ）を印加するための探針で、２本で構成さ
れ、１本はアースに接続し、もう１本は、電流印加電圧
測定ユニット（又は電圧印加電流測定ユニット）６に接
続される。印加電流（又は印加電圧）、検出回路７での
設定値は、デバイスプログラム内で設定される。検出回
路で判定され九結来が、探針ズレ有りと判定されたら、
ＬＳＩテスターを停止し、かつブロービング装置も停止
する。
システムが停止した時点でアラーム信号１０を発生する
機能を持たせてもよ一０探針ズレが有る場合Ｋｔ！、ウ
ェハーの位置を権正して測定用探針が正しくパッドに触
れるようにする。
機能を持たせてもよ一０探針ズレが有る場合Ｋｔ！、ウ
ェハーの位置を権正して測定用探針が正しくパッドに触
れるようにする。
以上の説明の如く、本発明は、ＰＷチェ、り工程でのペ
レット測定装置であるＬＳＩテストシステムの信頼性を
リアルタイムでチェックし、システムＩｆＩＫプ勘−ビ
ング装置の不具合による誤測定を極力低減させ、ウェハ
ー内の良品ベレットの歩留９を向上させるのに効果を発
揮する探針ズレ防止機構が得られる。
レット測定装置であるＬＳＩテストシステムの信頼性を
リアルタイムでチェックし、システムＩｆＩＫプ勘−ビ
ング装置の不具合による誤測定を極力低減させ、ウェハ
ー内の良品ベレットの歩留９を向上させるのに効果を発
揮する探針ズレ防止機構が得られる。
尚、前述した検査用パッド８．９はウェハー内の少なく
とも１つのペレットＫｍけておけばよい。
とも１つのペレットＫｍけておけばよい。
第１図は、本発明の一実施例を説明するためのシステム
ブロック図である。 １は、ブロービング装置、２はＬＳＩテスター、：ｌｊ
周辺機器％４は測定用のパッドと抵抗体％５は検査用探
針、６は電流印加電圧測定（又は電圧印加電流測定）ユ
＝、）、７は検出回路（判定回路）、８．９は検査用パ
ッド、１０−アラーム信号である。
ブロック図である。 １は、ブロービング装置、２はＬＳＩテスター、：ｌｊ
周辺機器％４は測定用のパッドと抵抗体％５は検査用探
針、６は電流印加電圧測定（又は電圧印加電流測定）ユ
＝、）、７は検出回路（判定回路）、８．９は検査用パ
ッド、１０−アラーム信号である。
Claims (1)
- ウニへ−内の所定の場所に設けられた検査用パッドに探
針を接触させて、探針に対するウェハーの位置を検出す
る機構を有することを特徴とする半導体装置のテスト装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56101940A JPS584939A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 半導体装置のテスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56101940A JPS584939A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 半導体装置のテスト装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS584939A true JPS584939A (ja) | 1983-01-12 |
Family
ID=14313895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56101940A Pending JPS584939A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 半導体装置のテスト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS584939A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008267673A (ja) * | 2007-04-19 | 2008-11-06 | Corona Corp | 給湯装置 |
-
1981
- 1981-06-30 JP JP56101940A patent/JPS584939A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008267673A (ja) * | 2007-04-19 | 2008-11-06 | Corona Corp | 給湯装置 |
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