JPS5851920B2 - ハンドウタイボウ ノ ルツボナシタイヨウユウヨウユウドウカネツコイル - Google Patents
ハンドウタイボウ ノ ルツボナシタイヨウユウヨウユウドウカネツコイルInfo
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- JPS5851920B2 JPS5851920B2 JP14789475A JP14789475A JPS5851920B2 JP S5851920 B2 JPS5851920 B2 JP S5851920B2 JP 14789475 A JP14789475 A JP 14789475A JP 14789475 A JP14789475 A JP 14789475A JP S5851920 B2 JPS5851920 B2 JP S5851920B2
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- Japan
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- coil
- induction heating
- split
- heating coil
- slit
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
- H05B6/02—Induction heating
- H05B6/36—Coil arrangements
- H05B6/362—Coil arrangements with flat coil conductors
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B13/00—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
- C30B13/16—Heating of the molten zone
- C30B13/20—Heating of the molten zone by induction, e.g. hot wire technique
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F7/00—Magnets
- H01F7/06—Electromagnets; Actuators including electromagnets
- H01F7/20—Electromagnets; Actuators including electromagnets without armatures
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
- H05B6/02—Induction heating
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- H05B6/42—Cooling of coils
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
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- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体材料からなる棒のるつぼ無し帯溶融用誘
導加熱コイルに関する。
導加熱コイルに関する。
上記誘導加熱コイルであって、単巻の平形コイルから放
りそして少くとも２つの構成要素に分割できるように構
成され、前記各構成要素はねじ結合と冷却用に設けられ
たシーリングとを介して互いに結合され、その際分割接
合面がコイル面に対し垂直に配置されるようにすること
は既に提案されている（特開昭４９−１００９６０号公
報）。
りそして少くとも２つの構成要素に分割できるように構
成され、前記各構成要素はねじ結合と冷却用に設けられ
たシーリングとを介して互いに結合され、その際分割接
合面がコイル面に対し垂直に配置されるようにすること
は既に提案されている（特開昭４９−１００９６０号公
報）。
このような誘導加熱コイルを使用すれば、溶融帯通過の
終了後にコイルを引き抜くか又は半導体結晶棒を引き離
したう折ったジすることなしに、コイルの内径よりも大
きな直径の半導体結晶棒をるつぼ無し帯溶融により作る
ことが出来るようになる。
終了後にコイルを引き抜くか又は半導体結晶棒を引き離
したう折ったジすることなしに、コイルの内径よりも大
きな直径の半導体結晶棒をるつぼ無し帯溶融により作る
ことが出来るようになる。
このことは何回もの溶融−帯通過を必要とするような無
転位シリコン結晶を製造するために特に有利である。
転位シリコン結晶を製造するために特に有利である。
上述の公報に記載されている分割可能なコイルは４５１
ｍ迄の棒直径のシリコン結晶棒を製造するのに適してい
る。
ｍ迄の棒直径のシリコン結晶棒を製造するのに適してい
る。
しかしこれ以上の大きさのものに対しては冷却上の問題
が発生する。
が発生する。
更にはねじ結合部に高周波電界のひずみが発生し、ドー
ピングの変動に帰因する抵抗の不均一性（いわゆる５ｔ
ｒｉａｔｉｏｎｓ）を生じるふ・それがある。
ピングの変動に帰因する抵抗の不均一性（いわゆる５ｔ
ｒｉａｔｉｏｎｓ）を生じるふ・それがある。
本発明の目的は、直径が４５ｕｔ以上の非常に太いシリ
コン結晶棒を引き抜く場合にも放射状ｌこ対称的な電界
分布と高い信頼性を持つ半導体結晶棒のるつぼ無し帯溶
融用誘導加熱コイルの製造をすることである。
コン結晶棒を引き抜く場合にも放射状ｌこ対称的な電界
分布と高い信頼性を持つ半導体結晶棒のるつぼ無し帯溶
融用誘導加熱コイルの製造をすることである。
この目的は冒頭で述べた種類の誘導加熱コイルにおいて
本発明によれば、ねじ結合部が分割接合面に対し垂直に
かつコイル内部に配置されることによって達成される。
本発明によれば、ねじ結合部が分割接合面に対し垂直に
かつコイル内部に配置されることによって達成される。
これにより結合部はコイルの放射状に対称的な電界分布
に影響を及ぼさないようになる。
に影響を及ぼさないようになる。
コイル内の適当な冷却水路によってすべてのコイル部分
に十分に一様な冷却が保証される。
に十分に一様な冷却が保証される。
るつぼ無し帯溶融によるシリコン結晶棒の製造を連続的
に行う場合にも本発明によるコイルは非常ｌこ有効であ
る。
に行う場合にも本発明によるコイルは非常ｌこ有効であ
る。
本発明思想の他の構成によれば誘導加熱コイルのスリッ
トは不活性材料によって閉じられている。
トは不活性材料によって閉じられている。
これは一方のコイル半割部に石英片を接着することによ
り達成される。
り達成される。
これにより保護ガスふん囲気中で引く抜く場合のフラッ
ジオーバ特性が改善される。
ジオーバ特性が改善される。
本発明の範囲内で、コイルスリットの正反対側のコイル
縁にコイルのアース用の小穴を持つ好適には銅からなる
突起を設けると有利である。
縁にコイルのアース用の小穴を持つ好適には銅からなる
突起を設けると有利である。
保護ガスふん囲気中で引き抜く場合のコイルと半導体棒
との間のフラッジオーバは単巻の平形コイルを使用する
ことにより既に著しく減少されるが、上記のような突起
を設けることによりさらに一層低下させることができる
。
との間のフラッジオーバは単巻の平形コイルを使用する
ことにより既に著しく減少されるが、上記のような突起
を設けることによりさらに一層低下させることができる
。
本発明を第１図、第２図によりさらに詳細に説明する。
第１図はコイル面の平面図で、第２図は第１図のＩＩ／
ｆｆ線に沿ったコイル半割部の断面図である。
ｆｆ線に沿ったコイル半割部の断面図である。
第１図には銅からなる融導加熱コイル２が示されており
、このコイルは半割部３と４とから構成される。
、このコイルは半割部３と４とから構成される。
コイル半割部３と４とはより良く接触するように銀箔を
付した接合面５と６とで接している。
付した接合面５と６とで接している。
７と８とは鋼製のねじであシ、コイル面で半割部３と４
とを互いに結合する。
とを互いに結合する。
９は半割部３と４との中にある冷却水用の穴を密閉する
ために備えられたゴムリングである。
ために備えられたゴムリングである。
ねじ１，８けコイル２内に、コイル半割部４のコイル縁
に食い込むような形をしたくぼみ１５にあるねじ頭１７
と１８とがコイル表面の外へ伸びているように配置する
と有利である。
に食い込むような形をしたくぼみ１５にあるねじ頭１７
と１８とがコイル表面の外へ伸びているように配置する
と有利である。
コイル２の冷却水率内管１０．１１が取付けられている
側にあるコイルのスリット１２は不活性材料で閉じられ
ている。
側にあるコイルのスリット１２は不活性材料で閉じられ
ている。
図示の例ではスリットを閉じる働きをする石英片１３が
一方のコイル半割部（３又は４）に接着されている。
一方のコイル半割部（３又は４）に接着されている。
第２図には第１図と同一の符号が使用されている。
フラッジオーバを回避するためにおよびコイルのアース
用にコイルスリットの正反対側のコイル縁２こ小穴を持
つ銅板１４がハンダ付けされている。
用にコイルスリットの正反対側のコイル縁２こ小穴を持
つ銅板１４がハンダ付けされている。
第１図は本発明による誘導加熱コイルの平面図（一部切
欠断面図）で、第２図は第１図のＩＩ／ＩＩ線における
断面図である。 ２・・・・・・誘導加熱コイル、３，４・・・・・・コ
イル半割部、５，６・・・・・・接合面、７，８・・・
・・・ねじ、９・・・・・・ゴムリング、１２・・・・
・・コイルスリット、１４・・・・・・銅板。
欠断面図）で、第２図は第１図のＩＩ／ＩＩ線における
断面図である。 ２・・・・・・誘導加熱コイル、３，４・・・・・・コ
イル半割部、５，６・・・・・・接合面、７，８・・・
・・・ねじ、９・・・・・・ゴムリング、１２・・・・
・・コイルスリット、１４・・・・・・銅板。
Claims (1)
- １ 単巻の平形コイルから成りそして少くとも２つの構
成要素に分割できるように構成され、前記各構成要素は
ねじ結合と冷却用に設けられたシーリングとを介して互
いに結合され、その際分割接合面がコイル面に対し垂直
に配置された誘導加熱コイルにふ・いて、ねじ結合部が
分割接合面に対し垂直にかつコイル内部に設けられ、コ
イルスリットが不活性材料によって閉じられていること
を特徴とする半導体材料から成る棒のるつぼ無し帯溶融
用誘導加熱コイル。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19742458450 DE2458450C3 (de) | 1974-12-10 | 1974-12-10 | Wassergekühlte Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Stäben aus Halbleitermaterial |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5183803A JPS5183803A (en) | 1976-07-22 |
| JPS5851920B2 true JPS5851920B2 (ja) | 1983-11-18 |
Family
ID=5933079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14789475A Expired JPS5851920B2 (ja) | 1974-12-10 | 1975-12-10 | ハンドウタイボウ ノ ルツボナシタイヨウユウヨウユウドウカネツコイル |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5851920B2 (ja) |
| DE (1) | DE2458450C3 (ja) |
| DK (1) | DK556675A (ja) |
| FR (1) | FR2324188A2 (ja) |
| GB (1) | GB1498085A (ja) |
| IT (1) | IT1054423B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62176605A (ja) * | 1986-01-31 | 1987-08-03 | Kawasaki Steel Corp | 異巾鋼材の接合部構造及び異巾鋼材の接合部加工装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2938793A1 (de) * | 1979-09-25 | 1981-04-16 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Induktionsheizspule zum tiegelfreien zonenschmelzen |
| RU2431628C2 (ru) * | 2006-08-07 | 2011-10-20 | Мессье-Бугатти | Способ уплотнения пористых изделий |
| CN112359411A (zh) * | 2020-12-09 | 2021-02-12 | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 | 用于区熔法制备单晶硅的加热线圈 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1170565B (de) * | 1958-07-16 | 1964-05-21 | Siemens Ag | Einrichtung zum Erhitzen von metallischen Werkstuecken, insbesondere Rohren, im magnetischen Wechselfeld eines Induktors |
| NL295506A (ja) * | 1963-07-18 |
-
1974
- 1974-12-10 DE DE19742458450 patent/DE2458450C3/de not_active Expired
-
1975
- 1975-10-16 GB GB4237175A patent/GB1498085A/en not_active Expired
- 1975-12-02 FR FR7536842A patent/FR2324188A2/fr active Granted
- 1975-12-05 IT IT3001175A patent/IT1054423B/it active
- 1975-12-09 DK DK556675A patent/DK556675A/da not_active Application Discontinuation
- 1975-12-10 JP JP14789475A patent/JPS5851920B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62176605A (ja) * | 1986-01-31 | 1987-08-03 | Kawasaki Steel Corp | 異巾鋼材の接合部構造及び異巾鋼材の接合部加工装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB1498085A (en) | 1978-01-18 |
| FR2324188B2 (ja) | 1979-07-13 |
| IT1054423B (it) | 1981-11-10 |
| JPS5183803A (en) | 1976-07-22 |
| DE2458450C3 (de) | 1980-09-25 |
| DE2458450A1 (de) | 1976-06-16 |
| FR2324188A2 (fr) | 1977-04-08 |
| DK556675A (da) | 1976-06-11 |
| DE2458450B2 (de) | 1979-10-31 |
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