JPS5853018A - 磁気ヘツドおよびその製造方法 - Google Patents
磁気ヘツドおよびその製造方法Info
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- JPS5853018A JPS5853018A JP56151592A JP15159281A JPS5853018A JP S5853018 A JPS5853018 A JP S5853018A JP 56151592 A JP56151592 A JP 56151592A JP 15159281 A JP15159281 A JP 15159281A JP S5853018 A JPS5853018 A JP S5853018A
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- magnetic
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- layer
- magnetic permeability
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気記録媒体表面に対し垂直におかれた磁極か
ら磁束を入射させて磁気記録する垂直記録方式に用いる
磁気ヘッドとその製造方法に関する。
ら磁束を入射させて磁気記録する垂直記録方式に用いる
磁気ヘッドとその製造方法に関する。
垂直記録方式に用いる従来の磁気ヘッドは第１図に示す
ようにパーマロイのような強磁性薄膜層２をセラミック
ス、ガラス等の非磁性材１ではさみこんだ形の主磁極６
と、強磁性体コア４に励磁用コイル５を巻いた補助磁極
７とより構成され、主磁極６と補助磁極７の両者は磁気
記録媒体３を介し対向するごとく配置して構成されてい
る。補助磁極７より発生した磁界が主磁極６０作用で媒
体３に接触する部分に強く、鋭い分布の垂直磁界を発生
し、媒体３を垂直方向に磁化する。このヘッドについて
は再生出力が充分得られず、充分なＳ／Ｎがとれないた
めデジタル機器等の信号処理に対して信頼性よく出力を
出せないという欠点がある。一般に電磁誘導型の磁気ヘ
ッドにおいては記録信号が書き込まれた微少領域からの
微少漏洩磁束を如何に効率よくかつ多量にとり出し、コ
イル中に集束するかということが問題とされる。コイル
中を横切る磁束が多いということは出力信号、の増大と
いうことであり、大きい出力は信号処理回路にとって判
断エラーを少なくするという利点につながる。
ようにパーマロイのような強磁性薄膜層２をセラミック
ス、ガラス等の非磁性材１ではさみこんだ形の主磁極６
と、強磁性体コア４に励磁用コイル５を巻いた補助磁極
７とより構成され、主磁極６と補助磁極７の両者は磁気
記録媒体３を介し対向するごとく配置して構成されてい
る。補助磁極７より発生した磁界が主磁極６０作用で媒
体３に接触する部分に強く、鋭い分布の垂直磁界を発生
し、媒体３を垂直方向に磁化する。このヘッドについて
は再生出力が充分得られず、充分なＳ／Ｎがとれないた
めデジタル機器等の信号処理に対して信頼性よく出力を
出せないという欠点がある。一般に電磁誘導型の磁気ヘ
ッドにおいては記録信号が書き込まれた微少領域からの
微少漏洩磁束を如何に効率よくかつ多量にとり出し、コ
イル中に集束するかということが問題とされる。コイル
中を横切る磁束が多いということは出力信号、の増大と
いうことであり、大きい出力は信号処理回路にとって判
断エラーを少なくするという利点につながる。
本発明は出力を増大させることにより出力が微少なるが
故にエラー率の増大するという欠点を解決せんとするも
ので、以下に図面を用いてその一実施例を説明する。
故にエラー率の増大するという欠点を解決せんとするも
ので、以下に図面を用いてその一実施例を説明する。
本発明の特徴は主磁極の構造およびその製造方法にある
のでそれについて詳しく説明する。まず２２の製造工程
を詳細に示すもので、第２図において、ガラス、チタン
酸バリウム、フォルステライト等の非磁性の保持材料１
１上に例えば８０％Ｎｉ−ＦｅのパーマＯイや、５５％
Ｎｉ−３０％Ｆｅ−１６％ＣＯ合金等の膜厚１．０μｍ
の第１の高透磁率層１２をスパッタまたは蒸着法によっ
て形成しく第２図ａ）、その上に感光性樹脂１３によっ
てマスクを形成しく第２図ｂ）、高透磁率磁性層１２を
エツチングする（第２図Ｃ）。１４はエツチング後の第
１の高透磁率層を示す。この状態を斜視図で示したのが
第３図ａである。次にもう一枚の非磁性の保持材１１を
エポキシ等の接着剤１６で貼り合わせる（第３図ｂ）。
のでそれについて詳しく説明する。まず２２の製造工程
を詳細に示すもので、第２図において、ガラス、チタン
酸バリウム、フォルステライト等の非磁性の保持材料１
１上に例えば８０％Ｎｉ−ＦｅのパーマＯイや、５５％
Ｎｉ−３０％Ｆｅ−１６％ＣＯ合金等の膜厚１．０μｍ
の第１の高透磁率層１２をスパッタまたは蒸着法によっ
て形成しく第２図ａ）、その上に感光性樹脂１３によっ
てマスクを形成しく第２図ｂ）、高透磁率磁性層１２を
エツチングする（第２図Ｃ）。１４はエツチング後の第
１の高透磁率層を示す。この状態を斜視図で示したのが
第３図ａである。次にもう一枚の非磁性の保持材１１を
エポキシ等の接着剤１６で貼り合わせる（第３図ｂ）。
次に第３図Ｃに示すように機械的研磨法によって表面１
６の曲率が適切な量になるように表面を研磨する。次に
第３図Ｃで示した保持材１１の底部にさらにパーマロイ
等の第２の高透磁率層１７をスパッタまたは蒸着法を用
い数μｍの厚みに形□１ 成する。
６の曲率が適切な量になるように表面を研磨する。次に
第３図Ｃで示した保持材１１の底部にさらにパーマロイ
等の第２の高透磁率層１７をスパッタまたは蒸着法を用
い数μｍの厚みに形□１ 成する。
次に第４図に示すように、高透磁率を有するフェライト
等の強磁性材１８を前述の非磁性の保持材料１１および
１１′の底部に形成された第２０高透磁率層１７にエポ
キシ等の接着剤で接続する。
等の強磁性材１８を前述の非磁性の保持材料１１および
１１′の底部に形成された第２０高透磁率層１７にエポ
キシ等の接着剤で接続する。
本発明の一実施例の主磁極は以上のような製造方法で形
成されている。
成されている。
この製造方法において、第２の高透磁率層１７と第１の
高透磁率層１４との接続部分の磁気抵抗を小さくできる
ように形成されている。というのは第２の高透磁率層１
７をスパッタ法または蒸着法で形成する際、第１の高透
磁率層１４の一端面が基板１１および１１′の底部と同
一面上になく、多少内部に入っていても、スパッタ法や
蒸着法を用いるとその中に入り込んでいくため第２の高
透磁率層１７と第１の高透磁率層１４を完全に接続する
ことができ、接続部の磁気抵抗を小さくすることができ
るという特徴がある。
高透磁率層１４との接続部分の磁気抵抗を小さくできる
ように形成されている。というのは第２の高透磁率層１
７をスパッタ法または蒸着法で形成する際、第１の高透
磁率層１４の一端面が基板１１および１１′の底部と同
一面上になく、多少内部に入っていても、スパッタ法や
蒸着法を用いるとその中に入り込んでいくため第２の高
透磁率層１７と第１の高透磁率層１４を完全に接続する
ことができ、接続部の磁気抵抗を小さくすることができ
るという特徴がある。
第４図に示した主磁極を用いた本発明の磁気記録装置の
構成を第５図に示す。
構成を第５図に示す。
磁気記録媒体１９を挾むように主磁極２２と補助磁極２
３が設けられており、補助磁極２３は強磁性体コア２０
にコイル２１を巻いた構成であり、主磁極２２は第１の
高透磁率層１４が非磁性の保持材１１および１１′で保
持されてお９、記録媒体と反対側には第１の高透磁率層
１４の一端に接しかつ第１の高透磁率層１４にほぼ直交
して配された第２の高透磁率層１７を有し、さらにこの
第２の高透磁率層１７に接して強磁性材１８が設けられ
ている。この主磁極２２を用い第６図に示すような構成
で記録された信号を再生すると第６図に示すような出力
が得られた。すなわち高透磁率層１４の非磁性の保持材
１１の底部から測定した高さ６μｍを″横軸にして再生
出力をプロットすると、ｄが小さくなるにつれて出力が
著しく増大することが認められ、ｄ＝１００μｍでは出
力が４倍近くも上昇した。図の中で破線で示しているレ
ベルは第１図に示した従来の磁気ヘッドを用いた場合の
再生出力を示している。本発明の主磁極を用いると出力
が大幅に増加することが分る。この原因は主磁極を本発
明のような構成にすることによって補助磁極先端面の減
磁率が実効的に減少するためであると考えられる。
３が設けられており、補助磁極２３は強磁性体コア２０
にコイル２１を巻いた構成であり、主磁極２２は第１の
高透磁率層１４が非磁性の保持材１１および１１′で保
持されてお９、記録媒体と反対側には第１の高透磁率層
１４の一端に接しかつ第１の高透磁率層１４にほぼ直交
して配された第２の高透磁率層１７を有し、さらにこの
第２の高透磁率層１７に接して強磁性材１８が設けられ
ている。この主磁極２２を用い第６図に示すような構成
で記録された信号を再生すると第６図に示すような出力
が得られた。すなわち高透磁率層１４の非磁性の保持材
１１の底部から測定した高さ６μｍを″横軸にして再生
出力をプロットすると、ｄが小さくなるにつれて出力が
著しく増大することが認められ、ｄ＝１００μｍでは出
力が４倍近くも上昇した。図の中で破線で示しているレ
ベルは第１図に示した従来の磁気ヘッドを用いた場合の
再生出力を示している。本発明の主磁極を用いると出力
が大幅に増加することが分る。この原因は主磁極を本発
明のような構成にすることによって補助磁極先端面の減
磁率が実効的に減少するためであると考えられる。
本実施例で高透磁率層１４の厚みを０．７−１．７μｍ
、）ラック方向の厚みを１Ｍ％ｄを１００μｍ程度にし
て記録、再生した場合、記録密度は３０ＫＢＰＩ以上に
のび、さらに出力は２ｍＶとなって８７Ｎが大幅に改善
された。またビットエラー率が１０ 以下となり実用の
領域に入ることが確認されている。なお記録密度をあげ
るためには高透磁率層１４の厚みをさらに薄くすれば、
再生出力に少々の低下がみられるものの記録密度を５０
ＫＢＰＩ以上にすることができる。本実施例によると再
生出力を従来に比して４倍以上も増大でき、それによっ
てビットエラー率を１０４倍改善できる。また製造方法
においても従来からあるスパッターや蒸着法によって形
成できるので量産化の段階においても容易に製造工程に
導入できる等の利点を有している。
、）ラック方向の厚みを１Ｍ％ｄを１００μｍ程度にし
て記録、再生した場合、記録密度は３０ＫＢＰＩ以上に
のび、さらに出力は２ｍＶとなって８７Ｎが大幅に改善
された。またビットエラー率が１０ 以下となり実用の
領域に入ることが確認されている。なお記録密度をあげ
るためには高透磁率層１４の厚みをさらに薄くすれば、
再生出力に少々の低下がみられるものの記録密度を５０
ＫＢＰＩ以上にすることができる。本実施例によると再
生出力を従来に比して４倍以上も増大でき、それによっ
てビットエラー率を１０４倍改善できる。また製造方法
においても従来からあるスパッターや蒸着法によって形
成できるので量産化の段階においても容易に製造工程に
導入できる等の利点を有している。
本発明の製造方法においては第３図Ｃで示した保持材１
１の底部に第２の高透磁率層１７をス・くツタ法で形成
し前記第１の高透磁°率層１４と接続させ接続部の磁気
抵抗を低くしている。しかし、第２の高透磁率層１７と
して板状の高透磁率材を基板の底部にエポキシで接続し
た場合、接続部の磁気抵抗はある程度増加するものの、
従来の磁気ヘッドに比して再生出力を増大させることが
できる。この場合も前述したのと同様の効果によるもの
と考えられる。
１の底部に第２の高透磁率層１７をス・くツタ法で形成
し前記第１の高透磁°率層１４と接続させ接続部の磁気
抵抗を低くしている。しかし、第２の高透磁率層１７と
して板状の高透磁率材を基板の底部にエポキシで接続し
た場合、接続部の磁気抵抗はある程度増加するものの、
従来の磁気ヘッドに比して再生出力を増大させることが
できる。この場合も前述したのと同様の効果によるもの
と考えられる。
本発明の第２の実施例を第７図に示す。第１の実施例で
は第６図に示すようにフェライトのような強磁性材１８
を保持材１１の底部にある高透磁率層１８にエポキシで
接続して主磁極２２を構成している。しかし第７図に示
すように第１の実施例から強磁性材１８を除いた構成に
おいても第１の実施例に示したような再実出力は得られ
ないが、第１図に示した従来の垂直磁気記録ヘッドに比
して再生時に数倍の高出力が得られることが分った。
は第６図に示すようにフェライトのような強磁性材１８
を保持材１１の底部にある高透磁率層１８にエポキシで
接続して主磁極２２を構成している。しかし第７図に示
すように第１の実施例から強磁性材１８を除いた構成に
おいても第１の実施例に示したような再実出力は得られ
ないが、第１図に示した従来の垂直磁気記録ヘッドに比
して再生時に数倍の高出力が得られることが分った。
第７図に示す構成では強磁性材１８の構成部品が不要に
なると同時に製造工程もすされるので磁気へ、ドのコス
トダウンをはかることができるという利点がある。
なると同時に製造工程もすされるので磁気へ、ドのコス
トダウンをはかることができるという利点がある。
本発明は補助磁極励磁形の磁気ヘッドを実施例、 とし
て述べたが、本発明はこれに限定されるものではなく、
主磁極励磁形の主磁極としても前述したのと同様な効果
が得られることはもちろんである。
て述べたが、本発明はこれに限定されるものではなく、
主磁極励磁形の主磁極としても前述したのと同様な効果
が得られることはもちろんである。
以上のように本発明は記録媒体にほぼ垂直方向に設けら
れた短冊状の第１の高透磁率層の両側を非磁性の保持材
で挾持し、上記の第１の高透磁率層の記録媒体と反対側
の端面に接しかつ記録媒体にほぼ平行な方向に延伸させ
た第２の高透磁率層を設けた主磁極を有するもので、高
密度記録ができる利点を備えたままで高再生出力を得る
ことができ、構成上も非常に単純であるという利点を備
えているので、実用上極めて有効である。
れた短冊状の第１の高透磁率層の両側を非磁性の保持材
で挾持し、上記の第１の高透磁率層の記録媒体と反対側
の端面に接しかつ記録媒体にほぼ平行な方向に延伸させ
た第２の高透磁率層を設けた主磁極を有するもので、高
密度記録ができる利点を備えたままで高再生出力を得る
ことができ、構成上も非常に単純であるという利点を備
えているので、実用上極めて有効である。
第１図は従来の垂直磁気記録用の磁気ヘッドを示す概略
構成図、第２図ａ ％ Ｃ、第３図ａ ％ ｄ、第４図
は本発明の磁気ヘッドの製造工程を順に示す図、第６図
は本発明の一実施例における磁気ヘッドの正面図、第６
図は本発明の磁気ヘッドを用いた場合の再生出力を示す
図、第７図は本発明の他の実施例を示す正面図である。 ２２・・・・・・主磁極、１１・・・・・・非磁性の保
持材料、１４・・・・・・高透磁率層、１７・・・・・
・高透磁率材、１８・・・・・・強磁性材、１９・・・
・・・磁気記録媒体、２ｏ・・・・・・強磁性体コア、
２１・・・・・・励磁コイル、２３・・・・・・補助磁
極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 ２ （−一と−） 第２図 ２ 第３図 第４図 ＃！５図 第６図 ｄ （ｙｔｏ’だり １７図 ２ρ
構成図、第２図ａ ％ Ｃ、第３図ａ ％ ｄ、第４図
は本発明の磁気ヘッドの製造工程を順に示す図、第６図
は本発明の一実施例における磁気ヘッドの正面図、第６
図は本発明の磁気ヘッドを用いた場合の再生出力を示す
図、第７図は本発明の他の実施例を示す正面図である。 ２２・・・・・・主磁極、１１・・・・・・非磁性の保
持材料、１４・・・・・・高透磁率層、１７・・・・・
・高透磁率材、１８・・・・・・強磁性材、１９・・・
・・・磁気記録媒体、２ｏ・・・・・・強磁性体コア、
２１・・・・・・励磁コイル、２３・・・・・・補助磁
極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 ２ （−一と−） 第２図 ２ 第３図 第４図 ＃！５図 第６図 ｄ （ｙｔｏ’だり １７図 ２ρ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）磁気記録媒体の磁性層を垂直方向に磁化する主磁
極を有し、前記主磁極が、保持材で挟持された短冊状の
第１の高透磁率層と、前記第１の高透磁率層の端面１；
接し、記録媒体面とほぼ水平に延設された第２の高透磁
率層とを具備することを特徴とする磁気ヘッド。 ＠）第１の高透磁率層の厚みが１．７μｍ以下であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘッド
。 （３）第２の高透磁率層に接して強磁性材を設けたこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記載の
磁気ヘッド。 （４）主磁極の製造工程が短冊状の高透磁率層の両側を
非磁性の保持材で挾みこむ工程と、前記保持材の底部に
他の高透磁率層を形成する工程を少なくとも含むことを
特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 ＠）他の高透磁率層をスパッタ法によって形成すること
を特徴とする特許請求の範囲第４項記載の磁気ヘッドの
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56151592A JPS5853018A (ja) | 1981-09-24 | 1981-09-24 | 磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56151592A JPS5853018A (ja) | 1981-09-24 | 1981-09-24 | 磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5853018A true JPS5853018A (ja) | 1983-03-29 |
Family
ID=15521882
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56151592A Pending JPS5853018A (ja) | 1981-09-24 | 1981-09-24 | 磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5853018A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58111124A (ja) * | 1981-12-25 | 1983-07-02 | Seiko Epson Corp | 磁気ヘツドの製造方法 |
| JPS58115613A (ja) * | 1981-12-28 | 1983-07-09 | Seiko Epson Corp | 磁気ヘツド |
| JPS62285205A (ja) * | 1986-06-02 | 1987-12-11 | Ricoh Co Ltd | 垂直磁気記録ヘツド |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5634129A (en) * | 1979-08-24 | 1981-04-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic head |
-
1981
- 1981-09-24 JP JP56151592A patent/JPS5853018A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5634129A (en) * | 1979-08-24 | 1981-04-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic head |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58111124A (ja) * | 1981-12-25 | 1983-07-02 | Seiko Epson Corp | 磁気ヘツドの製造方法 |
| JPS58115613A (ja) * | 1981-12-28 | 1983-07-09 | Seiko Epson Corp | 磁気ヘツド |
| JPS62285205A (ja) * | 1986-06-02 | 1987-12-11 | Ricoh Co Ltd | 垂直磁気記録ヘツド |
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