JPS585523A - 静圧流体スライド装置 - Google Patents
静圧流体スライド装置Info
- Publication number
- JPS585523A JPS585523A JP56102823A JP10282381A JPS585523A JP S585523 A JPS585523 A JP S585523A JP 56102823 A JP56102823 A JP 56102823A JP 10282381 A JP10282381 A JP 10282381A JP S585523 A JPS585523 A JP S585523A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oil
- hydraulic
- guide
- oil pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、静圧流体軸受金用いたスライド装置に関する
ものであり、特に作動油の漏出がなく、２、 かつ装置全体全コンパクトにしたスライド装置を提供す
るものである。
ものであり、特に作動油の漏出がなく、２、 かつ装置全体全コンパクトにしたスライド装置を提供す
るものである。
従来静圧流体軸受を用いたスライド機構には次のような
長所があり、近年多くの装置に用いられている。
長所があり、近年多くの装置に用いられている。
ｉ スライド部の摩擦抵抗が小さ−。
１１ スライド部の摩耗がなく寿命が長い。
１１１ ボールやコロに比べて軸受剛性が大きい。
１ｖ 流体の平均効果により、ガイドの加工精度より
も高い精度の直進性が得られる。
も高い精度の直進性が得られる。
このように静圧流体軸受には優ｆＬｋ点がある反面、ス
ライド機構に用いると作動油の漏出が発生しやすく、装
置に用いる際の取扱いがむずかしいという欠点があった
。このため比較的寸法の小さいものに対し−Ｃは静圧流
体軸受を使用することがむずかしかった。
ライド機構に用いると作動油の漏出が発生しやすく、装
置に用いる際の取扱いがむずかしいという欠点があった
。このため比較的寸法の小さいものに対し−Ｃは静圧流
体軸受を使用することがむずかしかった。
以下第１〜６図全相いて従来例全説明する。第１〜３図
は一般的なスライド機構で、ガイド１に沿ってスライド
ブロック２が摺動する。第４図は静圧流体軸受に作動油
全供給するための油圧ユニ３ パ−７ ツト３の回路図である。
は一般的なスライド機構で、ガイド１に沿ってスライド
ブロック２が摺動する。第４図は静圧流体軸受に作動油
全供給するための油圧ユニ３ パ−７ ツト３の回路図である。
ガイド１に摺動可能に嵌合したスライドブロック２の内
面には、ボケ、ット４があり、第１油道５から絞り６を
通して油圧が供給される。矢印Ｐは油圧の供給を示し矢
印Ｔはタンク１２への戻りを示す。ポケット４の外側に
は第２油道７があるＯポケット４と第２油道７のパター
ンは第５図に示す。ポケット４に対向するガイド１の面
８とポケット４の捷わりのランド部９の間には間隙１０
がある。一般にこの間隙は１０〜２ｏ〔μｍ〕程度であ
る。
面には、ボケ、ット４があり、第１油道５から絞り６を
通して油圧が供給される。矢印Ｐは油圧の供給を示し矢
印Ｔはタンク１２への戻りを示す。ポケット４の外側に
は第２油道７があるＯポケット４と第２油道７のパター
ンは第５図に示す。ポケット４に対向するガイド１の面
８とポケット４の捷わりのランド部９の間には間隙１０
がある。一般にこの間隙は１０〜２ｏ〔μｍ〕程度であ
る。
今、第４図に示すように油圧ユニット３のポンプ１１に
より加圧された作動油が第１油道６、絞り６を通ってポ
ケット４に供給さｎると、スライドブロック２とガイド
１との間は流体潤滑状態になる。ポケット４から間隙１
０全通って流出した作動油は第２油道７ケ通り油圧ユニ
ット３のタンク１２に戻る。油圧ユニット３のタンク１
２は大気圧であるが、スライドプロ、り２の第２の油道
７における作動油の油圧は、タンク１２とスライドブロ
ック２の間に配管損失があるので、大気圧より高くなる
。このため作動油はスライドブロック２とガイド１の間
隙より漏出する。
より加圧された作動油が第１油道６、絞り６を通ってポ
ケット４に供給さｎると、スライドブロック２とガイド
１との間は流体潤滑状態になる。ポケット４から間隙１
０全通って流出した作動油は第２油道７ケ通り油圧ユニ
ット３のタンク１２に戻る。油圧ユニット３のタンク１
２は大気圧であるが、スライドプロ、り２の第２の油道
７における作動油の油圧は、タンク１２とスライドブロ
ック２の間に配管損失があるので、大気圧より高くなる
。このため作動油はスライドブロック２とガイド１の間
隙より漏出する。
本発明は１反上のような欠点全排除したものであり、即
ち、静圧流体軸受における作動油の漏出全防いだスライ
ド装置全提供するものである。
ち、静圧流体軸受における作動油の漏出全防いだスライ
ド装置全提供するものである。
以下にその実施例？第６〜第８図により詳細に説明する
。
。
第６図は実施例の断面図であり、第８図は油圧及び空圧
回路図である。
回路図である。
第６図においてガイド１３に沿って、スライドブロック
１４が摺動する。ガイド１３に摺動可能に嵌合したスラ
イドブロック１４の内面にはポケット１５があり、第１
油道１６から絞り１７ケ通して油圧が供給される。ポケ
ット１６の外側には第２油道１８、第３油道１９、更に
外側には＃！０がある。ここに矢印ｐＨ油圧の供給、矢
印Ｔ−Ｄは作動油のタンク２４への戻り、矢印Ａ。はエ
アの供給全示す。
１４が摺動する。ガイド１３に摺動可能に嵌合したスラ
イドブロック１４の内面にはポケット１５があり、第１
油道１６から絞り１７ケ通して油圧が供給される。ポケ
ット１６の外側には第２油道１８、第３油道１９、更に
外側には＃！０がある。ここに矢印ｐＨ油圧の供給、矢
印Ｔ−Ｄは作動油のタンク２４への戻り、矢印Ａ。はエ
アの供給全示す。
ボケ１．ト１６．第２油道１８．第３油道１９及５ −
。
。
び溝２０のパターンは第７図に示す。
ポケット１６に対向するガイド１３の面２１とスライド
プロ、り１４との間には間隙２２があも一般にこの間隙
は１０〜２０（μｍ）程度である。
プロ、り１４との間には間隙２２があも一般にこの間隙
は１０〜２０（μｍ）程度である。
次に第８図により油圧及び空圧回路図について説明する
。
。
油圧ユニット２３は静圧軸受に油圧全供給するためのも
のである。タンク２４の作動油はモータ２６で駆動され
るポンプ２６により、フィルタ２７を通して吸上げられ
、加圧される。ポンプ２６から吐出された油圧は、切換
弁２８を通り第１油道１６、絞り１７を経てポケット１
６に達する。ポケット１５から間隙２２全通って流出し
た作動油の大部分は第２油道１８を通りタンク２４に戻
る。
のである。タンク２４の作動油はモータ２６で駆動され
るポンプ２６により、フィルタ２７を通して吸上げられ
、加圧される。ポンプ２６から吐出された油圧は、切換
弁２８を通り第１油道１６、絞り１７を経てポケット１
６に達する。ポケット１５から間隙２２全通って流出し
た作動油の大部分は第２油道１８を通りタンク２４に戻
る。
第２油道１８から更に外側の第３油道１９に漏出した作
動油は、モータ２９により駆動されるポンプ３０により
強制的に吸引され、タンク２４に戻される。このため第
３油道１９から、更に外側に作動油が漏出することはな
い。第３油道１９の更に外側の溝２０には外部のエア源
３１からエアが６ベー７ 道１９の作動油はポンプ３０で吸引されるため、第３油
道は負圧になり、外部から大気が侵入すんこれとともに
外部の異物、とくに本発明のスライド装置全工作機械、
等に組込んだときには、切断や切削油がガイド１３とス
ライドブロック１４との間に入り、スライド装置を損傷
する恐れがある。
動油は、モータ２９により駆動されるポンプ３０により
強制的に吸引され、タンク２４に戻される。このため第
３油道１９から、更に外側に作動油が漏出することはな
い。第３油道１９の更に外側の溝２０には外部のエア源
３１からエアが６ベー７ 道１９の作動油はポンプ３０で吸引されるため、第３油
道は負圧になり、外部から大気が侵入すんこれとともに
外部の異物、とくに本発明のスライド装置全工作機械、
等に組込んだときには、切断や切削油がガイド１３とス
ライドブロック１４との間に入り、スライド装置を損傷
する恐れがある。
しかし溝２０に清浄なエアを供給し、溝２ｏの圧力全大
気圧より高くすることにより異物の侵入はなく々る。
気圧より高くすることにより異物の侵入はなく々る。
また第３油道１９を設けずに第２油道の作動ポンプ３０
で強・制約に回収することも考えられるが作動油の流量
が多く、ポンプ３ｏに大型のものが必要となるため実用
的でない。
で強・制約に回収することも考えられるが作動油の流量
が多く、ポンプ３ｏに大型のものが必要となるため実用
的でない。
以上のように本発明のスライド装置では、流体軸受のポ
ケット１６の外側に設けた第２油道１８で作動油の大部
分全油圧ユニット２３に戻し、第２油道の更に外側に設
けた第３油道１９に漏出した作動油紮ポンプ３ｏで強制
的に油圧ユニット２３７ページ に戻しているのでスライド装置の外部に作動油が清浄な
エアを供給しているので、異物がガイド１３とスライド
ブロック１４との間に侵入することがない。このため異
物によるスライド装置の損傷がない。
ケット１６の外側に設けた第２油道１８で作動油の大部
分全油圧ユニット２３に戻し、第２油道の更に外側に設
けた第３油道１９に漏出した作動油紮ポンプ３ｏで強制
的に油圧ユニット２３７ページ に戻しているのでスライド装置の外部に作動油が清浄な
エアを供給しているので、異物がガイド１３とスライド
ブロック１４との間に侵入することがない。このため異
物によるスライド装置の損傷がない。
また一般に静圧軸受を用いたスライド装置は小型にする
と作動油の漏出が著しく増加するが、本発明のものは漏
出の恐れがないので装置をコンパクトに設計できる。
と作動油の漏出が著しく増加するが、本発明のものは漏
出の恐れがないので装置をコンパクトに設計できる。
以上説明したように本発明は作動油の漏出のないコンパ
クトな静圧流体軸受構造のスライド装置を提供するもの
である。
クトな静圧流体軸受構造のスライド装置を提供するもの
である。
第１図はスライド機構の正面図、第２図は第１図のＡＲ
線断面図で、従来の静圧流体軸受構造を用いたスライド
機構の断面図、第３図は第１図のＢ Ｂ’線断面図で、
従来の静圧流体軸受構造を用いたスライド機構の断面図
・第４図は従来の静圧流体軸受構造分用いたスライド装
置の油圧回路図、第５図は従来の静圧流体軸受構造を用
いたスライド機構におけるポケット及び第２油道のパタ
ーン図、第６図は本発明の一実施例における静圧流体ス
ライド装置の断面図、第７図は同装置のパター図、第８
図は同装置の油圧及び空圧回路図である。 １．１３・・・・・・ガイド、２．１４・・・・・・ス
ライドブロック、４．１５・・・・拳・ポケット、６．
１７・・・・・・絞り、５．１６・・・・・・第１油道
、７，１８・・・・・・第２油道、１９・・・・・・第
３油道、２０・・・・・・溝、３１・・・・・・エア源
。
線断面図で、従来の静圧流体軸受構造を用いたスライド
機構の断面図、第３図は第１図のＢ Ｂ’線断面図で、
従来の静圧流体軸受構造を用いたスライド機構の断面図
・第４図は従来の静圧流体軸受構造分用いたスライド装
置の油圧回路図、第５図は従来の静圧流体軸受構造を用
いたスライド機構におけるポケット及び第２油道のパタ
ーン図、第６図は本発明の一実施例における静圧流体ス
ライド装置の断面図、第７図は同装置のパター図、第８
図は同装置の油圧及び空圧回路図である。 １．１３・・・・・・ガイド、２．１４・・・・・・ス
ライドブロック、４．１５・・・・拳・ポケット、６．
１７・・・・・・絞り、５．１６・・・・・・第１油道
、７，１８・・・・・・第２油道、１９・・・・・・第
３油道、２０・・・・・・溝、３１・・・・・・エア源
。
Claims (1)
- ガイドと、このガイドとの間に圧力流体全流入して前記
ガイドに沿って摺動するスライドブロックとから構成さ
れる静圧流体スライド装置において、前記ガイドとの対
向面に設けられたポケットと、このポケットに絞り手段
全通して圧力流体を導くよう設けられた第１油道と、前
記ポケットの外側に前記ポケットから流出した流体全回
収するよう設けられた第２油道と、この第２油道の外側
に設けられた第３油道と、前記第３油道に流出した流体
全吸引する手段と、前記第３油道の外側に設けられた溝
部と、この溝部にエア全供給する手段とを有したことを
特徴とする静圧流体スライド装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56102823A JPS585523A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 静圧流体スライド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56102823A JPS585523A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 静圧流体スライド装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS585523A true JPS585523A (ja) | 1983-01-12 |
| JPS6119848B2 JPS6119848B2 (ja) | 1986-05-19 |
Family
ID=14337737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56102823A Granted JPS585523A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 静圧流体スライド装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS585523A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999066221A1 (en) * | 1998-06-17 | 1999-12-23 | Nikon Corporation | Static pressure gas bearing, stage device using it, and optical device using it |
| US6467960B1 (en) | 2000-08-18 | 2002-10-22 | Nikon Corporation | Air bearing linear guide for use in a vacuum |
| US6499880B2 (en) | 1999-02-19 | 2002-12-31 | Nikon Corporation | Static pressure air bearing |
| KR100601205B1 (ko) | 2004-10-25 | 2006-07-13 | (주)하이드로 메틱스 | 유압을 이용한 고하중 테이블 부상 및 이송장치 |
| KR100908087B1 (ko) | 2007-06-01 | 2009-07-16 | 화천기공 주식회사 | 공작기계용 공기 반부상 슬라이드 장치 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11383286B2 (en) | 2018-02-28 | 2022-07-12 | Jfe Steel Corporation | Metal sheet for press forming, press forming device, and production method for pressed component |
-
1981
- 1981-06-30 JP JP56102823A patent/JPS585523A/ja active Granted
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999066221A1 (en) * | 1998-06-17 | 1999-12-23 | Nikon Corporation | Static pressure gas bearing, stage device using it, and optical device using it |
| US6328473B1 (en) | 1998-06-17 | 2001-12-11 | Nikon Corporation | Static air-bearing and stage apparatus using the bearing and optical apparatus using the stage apparatus |
| US6499880B2 (en) | 1999-02-19 | 2002-12-31 | Nikon Corporation | Static pressure air bearing |
| US6735867B2 (en) | 1999-02-19 | 2004-05-18 | Nikon Corporation | Method of making a static pressure air bearing |
| US6467960B1 (en) | 2000-08-18 | 2002-10-22 | Nikon Corporation | Air bearing linear guide for use in a vacuum |
| KR100601205B1 (ko) | 2004-10-25 | 2006-07-13 | (주)하이드로 메틱스 | 유압을 이용한 고하중 테이블 부상 및 이송장치 |
| KR100908087B1 (ko) | 2007-06-01 | 2009-07-16 | 화천기공 주식회사 | 공작기계용 공기 반부상 슬라이드 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6119848B2 (ja) | 1986-05-19 |
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