JPS6119848B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6119848B2 JPS6119848B2 JP10282381A JP10282381A JPS6119848B2 JP S6119848 B2 JPS6119848 B2 JP S6119848B2 JP 10282381 A JP10282381 A JP 10282381A JP 10282381 A JP10282381 A JP 10282381A JP S6119848 B2 JPS6119848 B2 JP S6119848B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oil pipe
- guide
- oil
- hydraulic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 22
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims description 16
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 29
- 239000010720 hydraulic oil Substances 0.000 description 19
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000010730 cutting oil Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、静圧流体軸受を用いたスライド装置
に関するものであり、特に作動油の漏出がなく、
かつ装置全体をコンパクトにしたスライド装置を
提供するものである。
に関するものであり、特に作動油の漏出がなく、
かつ装置全体をコンパクトにしたスライド装置を
提供するものである。
従来静圧流体軸受を用いたスライド機構には次
のような長所があり、近年多くの装置に用いられ
ている。
のような長所があり、近年多くの装置に用いられ
ている。
スライド部の摩擦抵抗が小さい。
スライド部の摩耗がなく寿命が長い。
ボールやコロに比べて軸受剛性が大きい。
流体の平均効果により、ガイドの加工精度よ
りも高い精度の直進性が得られる。
りも高い精度の直進性が得られる。
このように静圧流体軸受には優れた点がある反
面、スライド機構に用いると作動油の漏出が発生
しやすく、装置に用いる際の取扱いがむずかしい
という欠点があつた。このため比較的寸法の小さ
いものに対しては静圧流体軸受を使用することが
むずかしかつた。
面、スライド機構に用いると作動油の漏出が発生
しやすく、装置に用いる際の取扱いがむずかしい
という欠点があつた。このため比較的寸法の小さ
いものに対しては静圧流体軸受を使用することが
むずかしかつた。
以下第１〜５図を用いて従来例を説明する。第
１〜３図は一般的なスライド機構で、ガイド１に
沿つてスライドブロツク２が摺動する。第４図は
静圧流体軸受に作動油を供給するための油圧ユニ
ツト３の回路図である。
１〜３図は一般的なスライド機構で、ガイド１に
沿つてスライドブロツク２が摺動する。第４図は
静圧流体軸受に作動油を供給するための油圧ユニ
ツト３の回路図である。
ガイド１に摺動可能に嵌合したスライドブロツ
ク２の内面には、ポケツト４があり、第１油道５
から絞り６を通して油圧が供給される。矢印Ｐは
油圧の供給を示し矢印Ｔはタンク１２への戻りを
示す。ポケツト４の外側には第２油道７がある。
ポケツト４と第２油道７のパターンは第５図に示
す。ポケツト４に対向するガイド１の面８とポケ
ツト４のまわりのランド部９の間には間隙１０が
ある。一般にこの間隙は10〜20〔μｍ〕程度であ
る。
ク２の内面には、ポケツト４があり、第１油道５
から絞り６を通して油圧が供給される。矢印Ｐは
油圧の供給を示し矢印Ｔはタンク１２への戻りを
示す。ポケツト４の外側には第２油道７がある。
ポケツト４と第２油道７のパターンは第５図に示
す。ポケツト４に対向するガイド１の面８とポケ
ツト４のまわりのランド部９の間には間隙１０が
ある。一般にこの間隙は10〜20〔μｍ〕程度であ
る。
今、第４図に示すように油圧ユニツト３のポン
プ１１により加圧された作動油が第１油道５、絞
り６を通つてポケツト４に供給されると、スライ
ドブロツク２とガイド１との間は流体潤滑状態に
なる。ポケツト４から間隙１０を通つて流出した
作動油は第２油道７を通り油圧ユニツト３のタン
ク１２に戻る。油圧ユニツト３のタンク１２は大
気圧であるが、スライドブロツク２の第２油道７
における作動油の油圧は、タンク１２とスライド
ブロツク２の間に配管損失があるので、大気圧よ
り高くなる。このため作動油はスライドブロツク
２とガイド１の間隙より漏出する。
プ１１により加圧された作動油が第１油道５、絞
り６を通つてポケツト４に供給されると、スライ
ドブロツク２とガイド１との間は流体潤滑状態に
なる。ポケツト４から間隙１０を通つて流出した
作動油は第２油道７を通り油圧ユニツト３のタン
ク１２に戻る。油圧ユニツト３のタンク１２は大
気圧であるが、スライドブロツク２の第２油道７
における作動油の油圧は、タンク１２とスライド
ブロツク２の間に配管損失があるので、大気圧よ
り高くなる。このため作動油はスライドブロツク
２とガイド１の間隙より漏出する。
本発明は以上のような欠点を排除したものであ
り、即ち、静圧流体軸受における作動油の漏出を
防いたスライド装置を提供するものである。
り、即ち、静圧流体軸受における作動油の漏出を
防いたスライド装置を提供するものである。
以下にその実施例を第６〜第８図により詳細に
説明する。
説明する。
第６図は実施例の断面図であり、第８図は油圧
及び空圧回路図である。
及び空圧回路図である。
第６図においてガイド１３に沿つて、スライド
ブロツク１４が摺動する。ガイド１３に摺動可能
に嵌合したスライドブロツク１４の内面にはポケ
ツト１５があり、第１油道１６から絞り１７を通
して油圧が供給される。ポケツト１５の外側には
第２油道１８、第３油道１９、更に外側には溝２
０がある。ここに矢印Ｐは油圧の供給、矢印Ｔ・
Ｄは作動油のタンク２４への戻り、矢印A0はエ
アの供給を示す。
ブロツク１４が摺動する。ガイド１３に摺動可能
に嵌合したスライドブロツク１４の内面にはポケ
ツト１５があり、第１油道１６から絞り１７を通
して油圧が供給される。ポケツト１５の外側には
第２油道１８、第３油道１９、更に外側には溝２
０がある。ここに矢印Ｐは油圧の供給、矢印Ｔ・
Ｄは作動油のタンク２４への戻り、矢印A0はエ
アの供給を示す。
ポケツト１５、第２油道１８、第３油道１９及
び溝２０のパターンは第７図に示す。
び溝２０のパターンは第７図に示す。
ポケツト１５に対向するガイド１３の面２１と
スライドブロツク１４との間には間隙２２があ
る。一般にこの間隙は10〜20（μｍ）程度であ
る。
スライドブロツク１４との間には間隙２２があ
る。一般にこの間隙は10〜20（μｍ）程度であ
る。
次に第８図により油圧及び空圧回路図について
説明する。
説明する。
油圧ユニツト２３は静圧軸受に油圧を供給する
ためのものである。タンク２４の作動油はモータ
２５で駆動されるポンプ２６により、フイルタ２
７を通して吸上げられ、加圧される。ポンプ２６
から吐出された油圧は、切換弁２８を通り第１油
道１６、絞り１７を経てポケツト１５に達する。
ポケツト１５から間隙２２を通つて流出した作動
油の大部分は第２油道１８を通りタンク２４に戻
る。第２油道１８から更に外側の第３油道１９に
漏出した作動油は、モータ２９により駆動される
ポンプ３０により強制的に吸引され、タンク２４
に戻される。このため第３油道１９から、更に外
側に作動油が漏出することはない。第３油道１９
の更に外側の溝２０には外部のエア源３１からエ
アが供給される。
ためのものである。タンク２４の作動油はモータ
２５で駆動されるポンプ２６により、フイルタ２
７を通して吸上げられ、加圧される。ポンプ２６
から吐出された油圧は、切換弁２８を通り第１油
道１６、絞り１７を経てポケツト１５に達する。
ポケツト１５から間隙２２を通つて流出した作動
油の大部分は第２油道１８を通りタンク２４に戻
る。第２油道１８から更に外側の第３油道１９に
漏出した作動油は、モータ２９により駆動される
ポンプ３０により強制的に吸引され、タンク２４
に戻される。このため第３油道１９から、更に外
側に作動油が漏出することはない。第３油道１９
の更に外側の溝２０には外部のエア源３１からエ
アが供給される。
ここで溝２０にエアを供給しないと、第３油道
１９の作動油はポンプ３０で吸引されるため、第
３油道は負圧になり、外部から大気が侵入する。
これとともに外部の異物、とくに本発明のスライ
ド装置を工作機械、等に組込んだときには、切断
や切削油がガイド１３とスライドブロツク１４と
の間に入り、スライド装置を損傷する恐れがあ
る。しかし溝２０に清浄なエアを供給し、溝２０
の圧力を大気圧より高くすることにより異物の侵
入はなくなる。
１９の作動油はポンプ３０で吸引されるため、第
３油道は負圧になり、外部から大気が侵入する。
これとともに外部の異物、とくに本発明のスライ
ド装置を工作機械、等に組込んだときには、切断
や切削油がガイド１３とスライドブロツク１４と
の間に入り、スライド装置を損傷する恐れがあ
る。しかし溝２０に清浄なエアを供給し、溝２０
の圧力を大気圧より高くすることにより異物の侵
入はなくなる。
また第３油道１９を設けずに第２油道の作動ポ
ンプ３０で強制的に回収することも考えられるが
作動油の流量が多く、ポンプ３０に大型のものが
必要となるため実用的でない。
ンプ３０で強制的に回収することも考えられるが
作動油の流量が多く、ポンプ３０に大型のものが
必要となるため実用的でない。
以上のように本発明のスライド装置では、流体
軸受のポケツト１５の外側に設けた第２油道１８
で作動油の大部分を油圧ユニツト２３に戻し、第
２油道の更に外側に設けた第３油道１９に漏出し
た作動油をポンプ３０で強制的に油圧ユニツト２
３に戻しているのでスライド装置の外部に作動油
が漏出することがない。
軸受のポケツト１５の外側に設けた第２油道１８
で作動油の大部分を油圧ユニツト２３に戻し、第
２油道の更に外側に設けた第３油道１９に漏出し
た作動油をポンプ３０で強制的に油圧ユニツト２
３に戻しているのでスライド装置の外部に作動油
が漏出することがない。
また第３油道の更に外側の溝２０に外部から清
浄なエアを供給しているので、異物がガイド１３
とスライドブロツク１４との間に侵入することが
ない。このため異物によるスライド装置の損傷が
ない。
浄なエアを供給しているので、異物がガイド１３
とスライドブロツク１４との間に侵入することが
ない。このため異物によるスライド装置の損傷が
ない。
また一般に静圧軸受を用いたスライド装置は小
型にすると作動油の漏出が著しく増加するが、本
発明のものは漏出の恐れがないので装置をコンパ
クトに設計できる。
型にすると作動油の漏出が著しく増加するが、本
発明のものは漏出の恐れがないので装置をコンパ
クトに設計できる。
以上説明したように本発明は作動油の漏出のな
いコンパクトな静圧流体軸受構造のスライド装置
を提供するものである。
いコンパクトな静圧流体軸受構造のスライド装置
を提供するものである。
第１図はスライド機構の正面図、第２図は第１
図のAA′線断面図で、従来の静圧流体軸受構造を
用いたスライド機構の断面図、第３図は第１図の
BB′線断面図で、従来の静圧流体軸受構造を用い
たスライド機構の断面図、第４図は従来の静圧流
体軸受構造を用いたスライド装置の油圧回路図、
第５図は従来の静圧流体軸受構造を用いたスライ
ド機構におけるポケツト及び第２油道のパターン
図、第６図は本発明の一実施例における静圧流体
スライド装置の断面図、第７図は同装置のパター
ン図、第８図は同装置の油圧及び空圧回路図であ
る。 １，１３……ガイド、２，１４……スライドブ
ロツク、４，１５……ポケツト、６，１７……絞
り、５，１６……第１油道、７，１８……第２油
道、１９……第３油道、２０……溝、３１……エ
ア源。
図のAA′線断面図で、従来の静圧流体軸受構造を
用いたスライド機構の断面図、第３図は第１図の
BB′線断面図で、従来の静圧流体軸受構造を用い
たスライド機構の断面図、第４図は従来の静圧流
体軸受構造を用いたスライド装置の油圧回路図、
第５図は従来の静圧流体軸受構造を用いたスライ
ド機構におけるポケツト及び第２油道のパターン
図、第６図は本発明の一実施例における静圧流体
スライド装置の断面図、第７図は同装置のパター
ン図、第８図は同装置の油圧及び空圧回路図であ
る。 １，１３……ガイド、２，１４……スライドブ
ロツク、４，１５……ポケツト、６，１７……絞
り、５，１６……第１油道、７，１８……第２油
道、１９……第３油道、２０……溝、３１……エ
ア源。
Claims (1)
- １ ガイドと、このガイドとの間に圧力流体を流
入して前記ガイドに沿つて摺動するスライドブロ
ツクとから構成される静圧流体スライド装置にお
いて、前記ガイドとの対向面に設けられたポケツ
トと、このポケツトに絞り手段を通して圧力流体
を導くよう設けられた第１油道と、前記ポケツト
の外側に前記ポケツトから流出した流体を回収す
るよう設けられた第２油道と、この第２油道の外
側に設けられた第３油道と、前記第３油道に流出
した流体を吸引する手段と、前記第３油道の外側
に設けられた溝部と、この溝部にエアを供給する
手段とを有したことを特徴とする静圧流体スライ
ド装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56102823A JPS585523A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 静圧流体スライド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56102823A JPS585523A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 静圧流体スライド装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS585523A JPS585523A (ja) | 1983-01-12 |
| JPS6119848B2 true JPS6119848B2 (ja) | 1986-05-19 |
Family
ID=14337737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56102823A Granted JPS585523A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 静圧流体スライド装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS585523A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019167791A1 (ja) | 2018-02-28 | 2019-09-06 | Ｊｆｅスチール株式会社 | プレス成形用の金属板、プレス成形装置及びプレス部品の製造方法 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999066221A1 (en) * | 1998-06-17 | 1999-12-23 | Nikon Corporation | Static pressure gas bearing, stage device using it, and optical device using it |
| US6499880B2 (en) | 1999-02-19 | 2002-12-31 | Nikon Corporation | Static pressure air bearing |
| US6467960B1 (en) | 2000-08-18 | 2002-10-22 | Nikon Corporation | Air bearing linear guide for use in a vacuum |
| KR100601205B1 (ko) | 2004-10-25 | 2006-07-13 | (주)하이드로 메틱스 | 유압을 이용한 고하중 테이블 부상 및 이송장치 |
| KR100908087B1 (ko) | 2007-06-01 | 2009-07-16 | 화천기공 주식회사 | 공작기계용 공기 반부상 슬라이드 장치 |
-
1981
- 1981-06-30 JP JP56102823A patent/JPS585523A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019167791A1 (ja) | 2018-02-28 | 2019-09-06 | Ｊｆｅスチール株式会社 | プレス成形用の金属板、プレス成形装置及びプレス部品の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS585523A (ja) | 1983-01-12 |
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