JPS5862252U - 表面検査装置 - Google Patents

表面検査装置

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JPS5862252U
JPS5862252U JP15637281U JP15637281U JPS5862252U JP S5862252 U JPS5862252 U JP S5862252U JP 15637281 U JP15637281 U JP 15637281U JP 15637281 U JP15637281 U JP 15637281U JP S5862252 U JPS5862252 U JP S5862252U
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JP15637281U
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JPH0125311Y2 (ja
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和三 古田
橋本　光二
富夫 中村
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Konica Minolta Inc
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は表面検査装置の光学系説明図、第２図はその回
路図である。 １・・・追跡装置、２・・・追跡装置支持台、３・・ｉ
差動トランス、３ａ・・・移動鉄心、３ｂ・・・固定コ
イル、４・・・電圧−周波数変換器、・５・・・カウン
ター、６・・・アドレスカウンター、７・・・コンパレ
ータ、８・・・設定器、９・・・マスク設定回路、１０
・・・ビデオ信号、１１・・・エツジ部分、Ａ・・・光
源、Ｂ・・・赤外線透過フィルター、Ｃ・・・第１コン
デンサレンズ、Ｄ・・・シリンドリカルレンズ、Ｅ・・
・第２コンデンサレンズ、　　　　　・Ｆ・・・ロール
、Ｇ・・・ウェブ、Ｈ・・・被検査域、■・・・欠陥箇
所、Ｊ・・・検出レンズ、Ｋ・・・検出部。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 長手方向に移動する被検体の幅方向の位置を測定子る手
    段と、この測定手段の出力をデジ多ル信号に変換し単位
    時間毎に加算する手段と、被検体の表面状態検出部を駆
    動するアドレスカウンターの出力によって作動されるコ
    ンパレータによって前記加算手段の出力を設定値と比較
    する手段と、このコンパレ」夕の比較結果によって作動
    し、前記検出部からのビデオ信号をマスクするためのマ
    スク設定回路とより成ることを特徴とする表面検査装置
    。　　　　゛
JP15637281U 1981-10-22 1981-10-22 表面検査装置 Granted JPS5862252U (ja)

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JP15637281U JPS5862252U (ja) 1981-10-22 1981-10-22 表面検査装置

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Publication Number Publication Date
JPS5862252U true JPS5862252U (ja) 1983-04-26
JPH0125311Y2 JPH0125311Y2 (ja) 1989-07-28

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JP (1) JPS5862252U (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5434290A (en) * 1977-08-22 1979-03-13 Omron Tateisi Electronics Co Defect inspecting apparatus
JPS5535276A (en) * 1978-09-04 1980-03-12 Nippon Steel Corp Edge pin-hole detector
JPS5557137A (en) * 1978-10-19 1980-04-26 Agfa Gevaert Nv Method and device for checking about linear defects of moving sheet material

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5434290A (en) * 1977-08-22 1979-03-13 Omron Tateisi Electronics Co Defect inspecting apparatus
JPS5535276A (en) * 1978-09-04 1980-03-12 Nippon Steel Corp Edge pin-hole detector
JPS5557137A (en) * 1978-10-19 1980-04-26 Agfa Gevaert Nv Method and device for checking about linear defects of moving sheet material

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0125311Y2 (ja) 1989-07-28

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