JPS5873746A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は光磁気メモリー、磁気記録表示素子などに用い
られる光磁気記録媒体に関するもので、具体的には膜面
と垂直な方向に磁化容易方向を有し、円形あるいは任意
の形状の反転磁区を作ることにより情報を記録すること
が出来、磁気カー効果などの磁気光学効果を利用して読
み出すことのできる磁性薄膜記録媒体に関するものであ
る。

磁化容易軸が膜面と垂直な方向にある強磁性薄膜では、
５１ｒ７！、あるいはＮ極に一様に磁化された膜面内の
一様磁化極性と逆向きの磁極をもつ小さな反転磁区を作
ることができる。この反転磁区の有無をｒｌＪ　、　ｒ
ＯＪに対応させれば、このような強磁性薄膜を高密度の
磁気記録媒体として用いることができる。このような強
磁性薄膜のうち、室温にて大きな保磁力を有し、かつキ
ューリ一点又は磁気的補償温度が比較的室温に近い薄膜
は、キューリ一点又は磁気的補償温度を利用して光ビー
ムにより、任意の位置に反転磁区を作ることによって情
報を記録させることができるため、一般にビーム・アド
レサプルファイルとして用いられている。

従来、公知である膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有し
、かつビーム・アドレサプルファイルとして使用可能な
強磁性薄膜としては、ＭｎＢ１に代表される多結晶金属
薄膜、Ｇｄ　−Ｃｏ　、　Ｇｄ−Ｆｅ　、　Ｔｂ　−Ｆ
ｅ　。

Ｄｙ　−Ｆｅ等の非晶質金属薄膜、ＧＩＧに代表される
化合物単結晶薄膜があるが、それ、それ以下に述べるよ
うな利点及び欠点を有している。ＭｎＢ１に代表される
キューリ一点を利用して書き込みを行なう多結晶性金属
薄膜は室温で数ＫＯｅの大きな保磁力を有している点で
は磁気記録媒体として優れているが、キューリーＡが高
い（ＭｎＢｉではＴ。＝３６０℃）ために書き込みに大
きなエネルギーを必要とする欠点がある。また、多結晶
体であるため化学、量論的な組成の薄膜を作製する必要
があり、薄膜の作製が技術的に難しいという欠点もある
。また、Ｇｄ”Ｃｏ　、　Ｇｄ−Ｆｅの磁気的補償点を
利用して書き込みを行なう非晶質金属薄膜は、非晶質で
あるため任意の基体上に作製可能であり、多少の不純物
を加えることによっである程度磁気的補償温度を任意に
制御できる等の利点を有するが、室温における保磁力が
小さく　（３００〜□１）０００ｅ）、記録された情り 報が不安定′″ｃｈ　ｈ　Ｌ　＝　３．、、”’１Ｇ、
、点を有す６・しかも・この程度の保磁力を有す　薄膜
を作製するためにも棹成をほぼ１　ａｔｏｍ％以内に制
御する必要があり、薄膜作製面でも容易でない。

さらに、ＧＩＧに代表される化合物単結晶薄膜は他のも
のにくらべ非常にコスト高になるという大きな欠点を有
する。

又、これ等の欠点を除去した新しい磁性薄膜記録媒体と
して提案された１５　ａｔｏｍ　％〜３０　ａｔｏｍ　
％の１又はＤｙを含むＴｂＦｅやＤｙＦｅの非晶質合金
薄膜は、次のような利点を有している。

■膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有し、室温において
数ＫＯｅの大きな保磁力を有するため、高密度の情報記
録が可能で、記録された情報が極めて安定である。

■保磁力が大きく所望の形状の磁区を書き込むことが可
能である。

■幅広い組成範囲にわたって大きな保磁力を有しており
、記録媒体として優れた特性を持っている組成範囲もま
た広いため、組成の厳しく限定さ−にた薄膜竺゛作る必
要がなく非常に容易に作製でき歩留まりも良い。

■キューリ一点がＴｂＦｅでは１２０℃、　、ＤｙＦｅ
では６０℃と低いため、キューリ一点を利用して熱書き
込みを行なう場合には非常に小さな４．Ｔ、ネルギーに
より書き込みを行なうことができる。

しかしながら、このＴｂＦｅ　、　ＤｙＦｅ等の非晶質
合金薄膜は次の様な欠点がある。すなわち、キューリ一
点が低いと確かに小さなエネルギーで書き込みは出来る
が、光で読み出す時のＳ／Ｎは逆に悪くなる。図１には
、非晶質合金薄膜の光再生時の光再生出力（Ｓ）及び信
号対雑音比（Ｓ／Ｎ）を照射レーザパワー（Ｉｏ）の関
数として示しであるが、記録媒体として良い特性を有す
るＴｂＦｅ　、　ＤｙＦｅは光再生の点では記録媒体と
して良くないＧｄＦｅよりも悪いことがわかる。これは
この記録媒体を光磁気メモリとして考える場合には非常
に大きな欠点となる。

本発明の目的は、上記めような膜面と垂直な方向に磁−
化容易軸を有する従来の光磁気記録媒体の欠点を除去し
て効率よく光再生出力をとり出し得る光磁気記録媒体を
提供することにある。

以下本発明の詳細な説明する。

本発明の光磁気記録媒体は、膜面に垂直な方向が磁化容
易軸でおるとともに、１２０℃〜２００℃の間のキュー
リ一点を有するＴｂ−Ｆｅ−伽とＤｙ−Ｆｅ−Ｃｏの非
晶質合金薄膜である。膜面に垂直な方向に磁化を向ける
に十分な磁気異方性をもたせるためには、薄膜を非晶質
にすることが必要であるが、この条件は室温以下の温度
に保持された基体上にスパッタリング法あるいは真空蒸
着法等によって薄膜作製を行なうことによって達成され
る。また、磁化を安定しぞ膜面に垂直な方向に向かせる
ためには膜の厚さを１００Ａ”以上とし、上記のように
Ｔｂ又はＤｙとＦｅとＣｏの組成をＴｂｘ（Ｆｅ　Ｉ　
ｙ　Ｃｏｙ　）　１−Ｘ及びＤｙｘ（Ｆ’ｅｌ−ｙＣｏ
ｙ）１−、として０．１５＜ｘ＜０．３５　。

ｏ、ｏｏ　（ｙ≦０５０の範囲にすることが必要である
。

ｏ、ｓｏ　（ｙでは、キー−り一点または磁気的補償温
度の組成依存性が大きく、実用性がない。この組成範囲
における光磁気記録媒体は膜面に垂直方向に磁化容易軸
を有せしめることができ、非常に高密度の記録が可能で
ある。

本発明の磁気光学記録媒体は１２０〜２００℃程度の比
較的低いキューリ一点を有するにもかかわらず、磁気カ
ー効果を利用した光再生出力が同程度のキューリ一点を
有するＴｂＦｅ　＋ＤｙＦｅ’、ｌ￥：Ｉものより大き
いことを特徴としている。例としてＴｂＦｅＣ。

の場合を示すと、図２に示すとと＜　、Ｔｂ　（ＦｅＣ
ｏ　）のカー回転角θえは二元のＴｂＦｅにＣｏを添加
するにつれて向上していることが分る。図２において、
横軸はＣｏのＴｂＦｅＣｏ全体に対する率（チ）を示す
。一方、記録特性に係わる保磁力Ｈｅとキー−り一点Ｔ
ｃについてみ−ると、表１のように保磁力はＴｂＦ、ｅ
二元系と比べかなり大きくなっていて、またキューリ一
点Ｔｃは若干上昇はするけれどもＴｂＦｅのすぐれた記
録特性はそのまま残されている。

表　　　１ 以上説明したように、本□発：：明の光磁気記録媒体：
・１ は良く知られた非晶質合金薄膜のＴｂＦｅ　、　ＤｙＦ
ｅ等と同じく膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有し、か
つ室温で大きな保磁力を有し、かクキューリ一点が室温
に近く、作製も容易であるという非晶質合金薄膜の特長
はそのまま有していて、しかも光再生出力だけは従来の
どれよりも大きい。従って、光ビームを用いて書き込み
、カー効果を利用して読み出しを行なう、いわゆるビー
ム・アドーツサブルファイルメモリ等の光磁気メモリの
貯蔵媒体として使用すれば、極めて高密度でＳ／Ｎの大
きい優れたメモリ装置を実現することができる。書き込
み方法としては光ビームに限らず、釘型磁気ヘッド、熱
ペン、電子ビームなど反転磁区を生じせしめるのに必要
なエネルギーを供給するいかなる方法で行なっても良い
ことは言うまでもない。

【図面の簡単な説明】

図１は従来の非晶質合金薄膜の光再生特性図、図２は本
発明／）　ＧｄＤｙＣｏ薄膜のＣｏ（％）とカー回転角
：１１ θ３の関係を示す特性１・である。 特許出願人　　国際電信電株式会社 代理人　大塚　学 外１名 Φ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有する非、晶質Ｔｂ−
   Ｆｅ−Ｃｏ又はＤｙ−ＦｅＬＣｏ三元系合金薄膜を有し
   、’ｒｂｘ（Ｆｅ　１−ｙ　Ｃｏｙ　）　１−ｚ　＋　
   １））’ｚ　（Ｆｅ　１−ｙ　Ｃｏｙ　）　１−ｚ　と
   したとき、Ｘが０．１５＜ｘ≦０．３５の範囲であり、
   ｙが０＜ｙ＜ｏ、ｓｏの範囲にあることを特徴とする光
   磁気記録媒体。