JPS6068607A - 磁性薄膜記録媒体 - Google Patents
磁性薄膜記録媒体Info
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- JPS6068607A JPS6068607A JP17031583A JP17031583A JPS6068607A JP S6068607 A JPS6068607 A JP S6068607A JP 17031583 A JP17031583 A JP 17031583A JP 17031583 A JP17031583 A JP 17031583A JP S6068607 A JPS6068607 A JP S6068607A
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- Japan
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- thin film
- recording medium
- composition
- magnetic
- atomic ratio
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、光（熱）磁気記録、熱磁気転写。
磁気的表示素子などに用いられる仙性勅瞑記録媒体に関
するものである。
するものである。
膜面と垂直１）５向に磁化容易軸を有する磁性薄膜記録
媒体では例えはレーザー栃の光ビームを照射することに
より照射した領域にＳ律或はＮ極に一様に碗化さノ］、
た、漕）１いとは逆向きの磁極を持つ反転磁区を作り、
この反転磁区の有無を’１” ”Ｏ”Ｋ対応付けて情報
を記録することが出来る。このように記録された情報は
磁気光学効果を利用して読み出すことが可能である。
媒体では例えはレーザー栃の光ビームを照射することに
より照射した領域にＳ律或はＮ極に一様に碗化さノ］、
た、漕）１いとは逆向きの磁極を持つ反転磁区を作り、
この反転磁区の有無を’１” ”Ｏ”Ｋ対応付けて情報
を記録することが出来る。このように記録された情報は
磁気光学効果を利用して読み出すことが可能である。
従ってこの種の磁性薄膜記録媒体はＲ１訊ヒームアドレ
サブルファイルとして使用することが出来るが、使用上
は室温において大きな保持力を有し、キューリ一点或は
紡気的袖偵温度か比較的室温に近くて、キューリ一点或
はｇｂ、気的袖ｑ１温度を用いて光ビームで任意の位置
に反転磁区を形成することが出来ることが望ましい。
サブルファイルとして使用することが出来るが、使用上
は室温において大きな保持力を有し、キューリ一点或は
紡気的袖偵温度か比較的室温に近くて、キューリ一点或
はｇｂ、気的袖ｑ１温度を用いて光ビームで任意の位置
に反転磁区を形成することが出来ることが望ましい。
膜面と垂直な方向に仏、化容易軸を治し、高密度の磁気
記録が可能でビームアトレザプルファイルとして使用可
能な強磁性薄膜としては、従来へ′ＩｎＢ１に代表され
る多結晶金属薄膜、硫性カーネットなどの化合物単結晶
薄膜、Ｑｄ −Ｃｏ 、 Ｇｄ −Ｆｅ 、 Ｔｂ−Ｆ
ｅ。
記録が可能でビームアトレザプルファイルとして使用可
能な強磁性薄膜としては、従来へ′ＩｎＢ１に代表され
る多結晶金属薄膜、硫性カーネットなどの化合物単結晶
薄膜、Ｑｄ −Ｃｏ 、 Ｇｄ −Ｆｅ 、 Ｔｂ−Ｆ
ｅ。
ＤＹ−Ｆｅ 、 Ｇｄ −Ｔｂ−Ｆｅなどの赤土類金属
−迄″移金属非晶質薄膜がある。
−迄″移金属非晶質薄膜がある。
ＭｎＢ１に代表される多結漏音に、ｒ＊’ ？Ｍｔ Ｉ
ｈ、・Ｃ：ｉ室温で数ＫＯｅという大きな保磁力を有す
るが、相変態があるために熱的に不安定であること、キ
ュリ一温度が高い（ＭｎＢ ｉ ″′ｃｋ、ｆ、キュリ
一温度１．’ｃ＝ ３６００）ために書き込みに必要な
レーザーパワーが数１０ｍＷと大きくなること、粒界に
よる光の散乱ノイズが無視できないことなどの欠点があ
る。寸だ、磁性ガーネットなどの化合物単結晶薄Ｊ１４
．４は、］き込みに大きなエネルギーを心外とする上に
、単結晶であるために大面積化することがｕｌｌ、Ｌい
という欠点を有する。
ｈ、・Ｃ：ｉ室温で数ＫＯｅという大きな保磁力を有す
るが、相変態があるために熱的に不安定であること、キ
ュリ一温度が高い（ＭｎＢ ｉ ″′ｃｋ、ｆ、キュリ
一温度１．’ｃ＝ ３６００）ために書き込みに必要な
レーザーパワーが数１０ｍＷと大きくなること、粒界に
よる光の散乱ノイズが無視できないことなどの欠点があ
る。寸だ、磁性ガーネットなどの化合物単結晶薄Ｊ１４
．４は、］き込みに大きなエネルギーを心外とする上に
、単結晶であるために大面積化することがｕｌｌ、Ｌい
という欠点を有する。
さらに、希土類金属−遷移金属：ｉＩｌル１１質ン専ｊ
換の中で（、”ｄ −Ｃｏ 、 Ｇｄ −Ｆｅなどのイ
ｌ炊気袖償１１．ｈ度を利用し、て也き込みを行なう脇
は、鼓、気補償温瓜か肋膜の組成に強く依存するために
、大面Ａ〕１ｉで均一１１！１件の膜を作製することか
難しいこと、保磁力が数１０から数１．０００ｅと小さ
いために、記録された楯報が不安定であることなどの欠
点がある。
換の中で（、”ｄ −Ｃｏ 、 Ｇｄ −Ｆｅなどのイ
ｌ炊気袖償１１．ｈ度を利用し、て也き込みを行なう脇
は、鼓、気補償温瓜か肋膜の組成に強く依存するために
、大面Ａ〕１ｉで均一１１！１件の膜を作製することか
難しいこと、保磁力が数１０から数１．０００ｅと小さ
いために、記録された楯報が不安定であることなどの欠
点がある。
これらの多結晶金属薄膜、化合物弔結晶淘股及び磁気補
償温度を利用して書込みを行なうイｉ土類金属−遷移金
Ａ１う非晶質薄膜における欠点を除去した砧、性幽膜記
釘、媒体として、Ｔｂ −Ｆｅ 、 Ｄｙ−Ｆｅ 。
償温度を利用して書込みを行なうイｉ土類金属−遷移金
Ａ１う非晶質薄膜における欠点を除去した砧、性幽膜記
釘、媒体として、Ｔｂ −Ｆｅ 、 Ｄｙ−Ｆｅ 。
Ｇｄ−Ｔｂ−Ｆｅなどのキュリ一温度を利用して１き込
みを行なう希土類金属−遷移金属非晶質薄膜が提案され
ている。しかしながら、これらのうち’１’ｂ −ｐｅ
は、キュリ一温度が、約１５０℃と半導体レーザーを用
いて省き込むにはやや高めである上に、保磁力も２００
０〜５５０００ｅと多少大きすぎる特性のものが製作さ
れ易いだめに、書き込みの０６のバイアス磁界を大きく
しなければならないという力１１点がある。
みを行なう希土類金属−遷移金属非晶質薄膜が提案され
ている。しかしながら、これらのうち’１’ｂ −ｐｅ
は、キュリ一温度が、約１５０℃と半導体レーザーを用
いて省き込むにはやや高めである上に、保磁力も２００
０〜５５０００ｅと多少大きすぎる特性のものが製作さ
れ易いだめに、書き込みの０６のバイアス磁界を大きく
しなければならないという力１１点がある。
また、Ｄｙ−Ｆｅはキュリ一温度が約７０℃と逆に低す
ぎるために熱的に不安定である上に、保似、力も１０〜
８０００ｅと小さすぎて記録された情報の保持力が不安
定である。更に、、 Ｇｄ −Ｔｂ−Ｆｅは、キュリ一
温度が約１６５℃とＴｂ−Ｆｅよりも高いために半導体
レーザを用いて書き込みを行なうには不適当である。
ぎるために熱的に不安定である上に、保似、力も１０〜
８０００ｅと小さすぎて記録された情報の保持力が不安
定である。更に、、 Ｇｄ −Ｔｂ−Ｆｅは、キュリ一
温度が約１６５℃とＴｂ−Ｆｅよりも高いために半導体
レーザを用いて書き込みを行なうには不適当である。
Ｔｂ −Ｄｙ −Ｆｅはキュリ一温度ｕｓｏ〜１５０
℃ｅ度であるので低エネルギーの光で書き込むことがで
きるが次のような欠点がある。一般にこれらの磁性薄膜
記録媒体からの反射光を使う再生力法に賑しては、侶号
対雑旨比の目安となる性能指数１４゛は、媒体の反射率
をＲ、カー回転角をθにとして次式で表わ′される。
℃ｅ度であるので低エネルギーの光で書き込むことがで
きるが次のような欠点がある。一般にこれらの磁性薄膜
記録媒体からの反射光を使う再生力法に賑しては、侶号
対雑旨比の目安となる性能指数１４゛は、媒体の反射率
をＲ、カー回転角をθにとして次式で表わ′される。
Ｆ＝ＪＲ，・θｋ ・（］）
この性能指数Ｆに直接直線的に影響を与えるカー回転角
θｋがＴｂ −１）ｙ−１；”ｅの場合は約０２５°と
小さいのが欠点である。
θｋがＴｂ −１）ｙ−１；”ｅの場合は約０２５°と
小さいのが欠点である。
この発明は、これら従来提案されている各種の記録媒体
における欠点を解決し、Ｔｂ −Ｉｃｙ −Ｆｅ系磁性
助膜記録媒体にＣｏを添加して、ｉ”ｂ −Ｉｃｙ −
Ｆｅ系磁性尚膜記録媒体のｔｌ′！１長を保持］−た１
ｔさらにカー回転角をも大きくし、キュリ一温度を８０
〜１５０℃。
における欠点を解決し、Ｔｂ −Ｉｃｙ −Ｆｅ系磁性
助膜記録媒体にＣｏを添加して、ｉ”ｂ −Ｉｃｙ −
Ｆｅ系磁性尚膜記録媒体のｔｌ′！１長を保持］−た１
ｔさらにカー回転角をも大きくし、キュリ一温度を８０
〜１５０℃。
保磁力を７００〜２５０００ｅ 、カー回転角を０．３
０°以上とすることを可能とした希土類全組−遷移金属
非晶質薄膜の磁性薄膜記録媒体を提供するものである。
０°以上とすることを可能とした希土類全組−遷移金属
非晶質薄膜の磁性薄膜記録媒体を提供するものである。
この発明は、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有するＴ
ｂ −Ｄｙ −Ｃｏ −Ｆ”ｅ ４元系非晶６賀合金薄
膜よりなり、全４元組酸中ＴｂとＤｙとの合Ｒ１の原子
比が２７〜３５原子飴、ＣＯの原子比が１〜３５原子チ
、残部がＦｅからなり、ＴｂとＤｙとの２元組酸中Ｔｂ
の原子比が５〜９５原子チとなる組成を崩することを特
徴とする磁性薄膜記録媒体である。
ｂ −Ｄｙ −Ｃｏ −Ｆ”ｅ ４元系非晶６賀合金薄
膜よりなり、全４元組酸中ＴｂとＤｙとの合Ｒ１の原子
比が２７〜３５原子飴、ＣＯの原子比が１〜３５原子チ
、残部がＦｅからなり、ＴｂとＤｙとの２元組酸中Ｔｂ
の原子比が５〜９５原子チとなる組成を崩することを特
徴とする磁性薄膜記録媒体である。
以下、この発明の磁性薄膜記録媒体をその実施例に基づ
き、図面を使用して詳細に説明する。
き、図面を使用して詳細に説明する。
この発明の磁性薄膜記録媒体は、Ｔｂ −Ｄｙ’−Ｃｏ
−Ｆｅの４元系非晶質合金に、 ＢＱで形成される。
−Ｆｅの４元系非晶質合金に、 ＢＱで形成される。
膜面と垂直方向に磁化容易軸を有するようにシ８、膜面
と垂直方向に磁化方向を指向させるに充分な磁気異方性
を肴たぜるためＫは、薄膜を非晶質にすることが必要で
、且つ磁化を安定化して膜面に垂直に保持させるために
は、膜厚を成る程度厚ぐする必要がある。このためにこ
の発明で幻非晶竹合金薄膜は、スパッタリンク法、真空
込着法なとの手段により膜厚を数１００Å以上に形成す
る。
と垂直方向に磁化方向を指向させるに充分な磁気異方性
を肴たぜるためＫは、薄膜を非晶質にすることが必要で
、且つ磁化を安定化して膜面に垂直に保持させるために
は、膜厚を成る程度厚ぐする必要がある。このためにこ
の発明で幻非晶竹合金薄膜は、スパッタリンク法、真空
込着法なとの手段により膜厚を数１００Å以上に形成す
る。
Ｔｂ−Ｄｙ−Ｃｏ−Ｆｅの４元系非晶質合金’Ａ’ｆ
Ｉｌｋ （Ｄ 組成を（％ｚＤｙ１−Ｘ ）ｙＣｏｚＦ
ｅｔ−３’−Ｚと（２て、発”３４ 者’ｉＩ ）研究
実測の結果、それぞれの原子比ｘ＋ ｙ＋ Ｚについて
、それぞれ０．０５≦ｘ≦０．９５ 、０．２７＜：ｙ
≦０．３５ 。
Ｉｌｋ （Ｄ 組成を（％ｚＤｙ１−Ｘ ）ｙＣｏｚＦ
ｅｔ−３’−Ｚと（２て、発”３４ 者’ｉＩ ）研究
実測の結果、それぞれの原子比ｘ＋ ｙ＋ Ｚについて
、それぞれ０．０５≦ｘ≦０．９５ 、０．２７＜：ｙ
≦０．３５ 。
０．０１≦２≦０．３５の関係を具（１ｉｉｉさせるこ
とが必要であることが確認された。
とが必要であることが確認された。
Ｔｂ −Ｄｙの２元組成に対して倹削すると、Ｔｂ −
Ｉｃｙ２元組酸中Ｔｂの原子比Ｘが００５≦Ｘ≦０９５
の範囲を逸脱すると、非晶Ｊｄ金合金ＲＭの保磁力、キ
ュリー温度が上昇し過ぎて、光ビームを使用しての所謂
ビームアトレザプルファイルとして使用するには不適当
な特性となる。又、４元系非晶′ｈ合金薄膜の全４元組
成に対するＴｂとＤｙの金剛の原子比ｙＫついて横側す
ると、これが０２７≦ｙ≦０３５なる条件をはずれると
、保磁力か小さくなり記録保持か出来なくなり、さらに
は垂直磁化１ｉ５１がイ句られなくなる。又０２７≦ｙ
≦０３５の条件を満足すると、得られた磁性薄膜記録媒
体のＢ−）−（曲線は角張った形状となり、所定磁界で
一定の反転磁区を形成し得て特性」二望捷しい。
Ｉｃｙ２元組酸中Ｔｂの原子比Ｘが００５≦Ｘ≦０９５
の範囲を逸脱すると、非晶Ｊｄ金合金ＲＭの保磁力、キ
ュリー温度が上昇し過ぎて、光ビームを使用しての所謂
ビームアトレザプルファイルとして使用するには不適当
な特性となる。又、４元系非晶′ｈ合金薄膜の全４元組
成に対するＴｂとＤｙの金剛の原子比ｙＫついて横側す
ると、これが０２７≦ｙ≦０３５なる条件をはずれると
、保磁力か小さくなり記録保持か出来なくなり、さらに
は垂直磁化１ｉ５１がイ句られなくなる。又０２７≦ｙ
≦０３５の条件を満足すると、得られた磁性薄膜記録媒
体のＢ−）−（曲線は角張った形状となり、所定磁界で
一定の反転磁区を形成し得て特性」二望捷しい。
非晶質合金薄膜換の全ａ酸中Ｃｏの７占、める原子比Ｚ
について検創すると、Ｚ〈００１でシま、Ｃｏの添加効
果が生じず、カー回転角θｋが３０°以下となってしま
う。又Ｚが増大してｚ ） ０．３５となると、非晶質
合金薄膜の保磁力が大きくなり過き、又キュ１７一温度
も高くなり過ぎて、書き込みに大きなエネルギーが必要
となって記録に適さなくなる。
について検創すると、Ｚ〈００１でシま、Ｃｏの添加効
果が生じず、カー回転角θｋが３０°以下となってしま
う。又Ｚが増大してｚ ） ０．３５となると、非晶質
合金薄膜の保磁力が大きくなり過き、又キュ１７一温度
も高くなり過ぎて、書き込みに大きなエネルギーが必要
となって記録に適さなくなる。
第１図においてその組成と、キュリ一温度ＴＣ１保磁力
Ｈｅ及びカー回転角θｋをそれぞれ抜粋（７て示したの
は、発明者等が製作し１、特性実験を行なったこの発明
の磁性薄膜記録媒、体のＪＱ型ｊ的な実施例である。
Ｈｅ及びカー回転角θｋをそれぞれ抜粋（７て示したの
は、発明者等が製作し１、特性実験を行なったこの発明
の磁性薄膜記録媒、体のＪＱ型ｊ的な実施例である。
第１図において、蔦１５に示す実力色例ではＴｂ−Ｄｙ
２元組成中酸中ｂの原子比Ｘ及び全４元組成中のＴｂと
Ｄｙの合計の原子比ｙがそれぞれＸ＝１ 、 ｙ＝Ｑの
場合である。この場合には、Ｘ≦０．９５の糸外も０．
２７≦ｙの条件も満足［２ていない。この結果、Ｘ第１
図においては、４１２に示す実施例で（り１、全４元組
成中でのＣｏの原子比Ｚがｚ ＝ ０．００４であって
、この発明においてＺＫ必要な条件０．４１１≦Ｚを４
ムリ足していない。この場合には、カー回転角θ１（＝
０．２５で３０°以下となるためビームアトレザプルフ
ァイルとして使用するには望ましくない。芒らに、茄１
４に示す実施例では全４元組成中でのｃｏ原子比ＺがＺ
＝ ０．４１となって、２≦０．３５のΦ件をｊｊ１
７４足せず、このために、非晶質合金薄膜の保磁力ｌ−
ＩｃけＨｃ−４５００と極めて大きな値となると共ｔこ
、キュリ一温度Ｔｃも’、［’ｃ＝１８５と大きな値と
なって、この場合もビームアトレザプルファイルとして
使用するには適当でない。
２元組成中酸中ｂの原子比Ｘ及び全４元組成中のＴｂと
Ｄｙの合計の原子比ｙがそれぞれＸ＝１ 、 ｙ＝Ｑの
場合である。この場合には、Ｘ≦０．９５の糸外も０．
２７≦ｙの条件も満足［２ていない。この結果、Ｘ第１
図においては、４１２に示す実施例で（り１、全４元組
成中でのＣｏの原子比Ｚがｚ ＝ ０．００４であって
、この発明においてＺＫ必要な条件０．４１１≦Ｚを４
ムリ足していない。この場合には、カー回転角θ１（＝
０．２５で３０°以下となるためビームアトレザプルフ
ァイルとして使用するには望ましくない。芒らに、茄１
４に示す実施例では全４元組成中でのｃｏ原子比ＺがＺ
＝ ０．４１となって、２≦０．３５のΦ件をｊｊ１
７４足せず、このために、非晶質合金薄膜の保磁力ｌ−
ＩｃけＨｃ−４５００と極めて大きな値となると共ｔこ
、キュリ一温度Ｔｃも’、［’ｃ＝１８５と大きな値と
なって、この場合もビームアトレザプルファイルとして
使用するには適当でない。
第２図乃至第４（２）に示すのはこの発明の磁性薄膜記
録媒体の実ｈω例中第１図の１１６４．／１６７及び煮
８に示ず実施例にそｔ］７それ対応する組成（１”ｂｏ
、７５Ｄｙｏ２５） ０．２７ Ｃｏｏ、＋ ｓ Ｆｅ
ｏ、ｓ５＋ （Ｔｂｏ６７Ｄｙｏ、Ｃ３） ０．３２
Ｃｏｏ、１１Ｆ” ｏ、ｓ ７ ＋ （Ｔｂｏ４３ Ｄ
５’ ０．５７ ） ０．３３ Ｃ００，０８””’
０．５９ を治する記録媒体に対してイ↓Ｉたカーヒス
テリ／スループの形′状である。各１ネＩで荀〜佃ロ二
１仲、界１■編輔はカー回転角θにであり、いずれの実
施例の場合もカー回転角θに一１０４３°、０．４００
及び０３６°と０３００以上の値を示している。又これ
らの実施例でＶＪ−いずれもカーヒステリ／スループが
角張った形状となっていて、磁界を零に戻した点でほぼ
飽和値を示し７俊れた光再生特性を示している。
録媒体の実ｈω例中第１図の１１６４．／１６７及び煮
８に示ず実施例にそｔ］７それ対応する組成（１”ｂｏ
、７５Ｄｙｏ２５） ０．２７ Ｃｏｏ、＋ ｓ Ｆｅ
ｏ、ｓ５＋ （Ｔｂｏ６７Ｄｙｏ、Ｃ３） ０．３２
Ｃｏｏ、１１Ｆ” ｏ、ｓ ７ ＋ （Ｔｂｏ４３ Ｄ
５’ ０．５７ ） ０．３３ Ｃ００，０８””’
０．５９ を治する記録媒体に対してイ↓Ｉたカーヒス
テリ／スループの形′状である。各１ネＩで荀〜佃ロ二
１仲、界１■編輔はカー回転角θにであり、いずれの実
施例の場合もカー回転角θに一１０４３°、０．４００
及び０３６°と０３００以上の値を示している。又これ
らの実施例でＶＪ−いずれもカーヒステリ／スループが
角張った形状となっていて、磁界を零に戻した点でほぼ
飽和値を示し７俊れた光再生特性を示している。
第５図はこの発明の磁性満腹記録媒体において全組成か
（Ｔｂｏ７ｓ１．）ｙｏ２ｓ ）０．２８ ＦｅＯ，７
２−ｚ Ｃｏｚで表わされる実施例において、全組成中
のＣｏの原子比Ｚとカー回転角θにとの関係を示すもの
である３、第５図の例では、ｚ＝０．０５以上、でθｋ
が０３°を越えた状態となるが、一般にはＸ ＋ Ｖを
変化さぜることにより、ＣＯの原子比は００１で充分θ
ｋを０３°を越えた状態とすることが出来る。
（Ｔｂｏ７ｓ１．）ｙｏ２ｓ ）０．２８ ＦｅＯ，７
２−ｚ Ｃｏｚで表わされる実施例において、全組成中
のＣｏの原子比Ｚとカー回転角θにとの関係を示すもの
である３、第５図の例では、ｚ＝０．０５以上、でθｋ
が０３°を越えた状態となるが、一般にはＸ ＋ Ｖを
変化さぜることにより、ＣＯの原子比は００１で充分θ
ｋを０３°を越えた状態とすることが出来る。
この発明の磁性薄膜記録媒体は以上の名実流側について
説明したように、キュリ一温度ＴＣは８０〜１５０℃の
範囲に、保磁力Ｈｅは７００〜２５０００ｅの１・］１
囲に、又カー回転角θには０３０°以上に設定すること
が出来る。、従って記録情報の町き込み及び消去を低エ
ネルギーのレーザ光により行なうことか口」能で、熱に
よる磁性ン鴨膜記録媒体自体の１１う造ψ−化を生じる
ことなくこの和き込み及び消去を行なわせることが可能
であり、半台体レーザを使用１ずろことにより光磁気デ
ィスク記録製筒を小型に（（□・・成することが出来る
。
説明したように、キュリ一温度ＴＣは８０〜１５０℃の
範囲に、保磁力Ｈｅは７００〜２５０００ｅの１・］１
囲に、又カー回転角θには０３０°以上に設定すること
が出来る。、従って記録情報の町き込み及び消去を低エ
ネルギーのレーザ光により行なうことか口」能で、熱に
よる磁性ン鴨膜記録媒体自体の１１う造ψ−化を生じる
ことなくこの和き込み及び消去を行なわせることが可能
であり、半台体レーザを使用１ずろことにより光磁気デ
ィスク記録製筒を小型に（（□・・成することが出来る
。
又膜面と垂直な方向に碓、化容易軸を有するために高密
度の情報記憶が可能で、魯き込みを適当な大きさのバイ
アス磁気で行なわせることが出来るので、記録された情
報の安定度も良好である。さらに、カー回転角を大きく
とることが出来るので、磁気光学効果を利用した光再生
出力も従来に比較して大きくなり、信号対雑音比を向上
させ特性の優れた碓、性ｉ’ｊ／： Ｐａｌ記録媒体を
提供することが出来る。
度の情報記憶が可能で、魯き込みを適当な大きさのバイ
アス磁気で行なわせることが出来るので、記録された情
報の安定度も良好である。さらに、カー回転角を大きく
とることが出来るので、磁気光学効果を利用した光再生
出力も従来に比較して大きくなり、信号対雑音比を向上
させ特性の優れた碓、性ｉ’ｊ／： Ｐａｌ記録媒体を
提供することが出来る。
非晶質合金薄膜であるために、任意の基体上に形成する
ことが出来、Ｔｂ −Ｄｙ ２元組成中のＴｂの原子比
Ｘ１全４元組成に対するＴｂと■〕ｙの金言１の原子比
ｙ１全４元絢成中のＣＯの原子比Ｚをそれぞれ変化させ
てキュリ一点Ｔｃ、保磁力Ｈｅ、カー回転角θｋを調整
することが出来る。製作上も全４元組成における各成分
の許容比率が比較的広いので、厳密な比率条件を設定す
る必要がなく製作が容易であり歩留まりがよい。
ことが出来、Ｔｂ −Ｄｙ ２元組成中のＴｂの原子比
Ｘ１全４元組成に対するＴｂと■〕ｙの金言１の原子比
ｙ１全４元絢成中のＣＯの原子比Ｚをそれぞれ変化させ
てキュリ一点Ｔｃ、保磁力Ｈｅ、カー回転角θｋを調整
することが出来る。製作上も全４元組成における各成分
の許容比率が比較的広いので、厳密な比率条件を設定す
る必要がなく製作が容易であり歩留まりがよい。
なお実施例においては ４４き込み方法としてレーザ光
ビームを用いたものを詩１明したが、プＩＬビームに限
らず、加熱した剣を使用したり、霜；子ビーム、イオン
ビームその他反転磁区を生じさせることが出来るエネル
ギーが供給される方法であれば、如何なる方法でも使用
することか出来る。
ビームを用いたものを詩１明したが、プＩＬビームに限
らず、加熱した剣を使用したり、霜；子ビーム、イオン
ビームその他反転磁区を生じさせることが出来るエネル
ギーが供給される方法であれば、如何なる方法でも使用
することか出来る。
以上詳細に説明したようにこの発明によると、高密度の
情報記憶が可能で、記録＋ｉ１１報の安定度が高く、従
来に比較して、大きな九円生出力を信号対雑音比を向上
させて取り出ずことが可能で高品質の動作特性を有し、
さらに肝成比を変化させて磁気特性を調整可能であって
その製造も比較的容易に行なわれる磁性薄膜記録媒体を
製造することか可能となる。
情報記憶が可能で、記録＋ｉ１１報の安定度が高く、従
来に比較して、大きな九円生出力を信号対雑音比を向上
させて取り出ずことが可能で高品質の動作特性を有し、
さらに肝成比を変化させて磁気特性を調整可能であって
その製造も比較的容易に行なわれる磁性薄膜記録媒体を
製造することか可能となる。
第１図はこの発明の磁性薄膜記録媒体の実施例の組成と
特性を示す図、第２図乃至第４図Ｑ」、それぞれ第１図
の届４．Ａ、７及びＡ、 ８の実が１】、例に対応する
カーヒステリシスループの形成を示す図、第５図は全４
元組成中のＣＯの原子比とツノ−回転角との関係の一例
を示す図である。 ｘ ： Ｔｂ −］）ｙ ２元組成中の１゛ｂの原−ｊ
″−比、ｙ：４元系非晶質合金薄膜の全４元絹ｙ戎中の
′１゛ｂとＤｙの合計の原子比、Ｚ：４元糸非晶賀自金
れシ肛−の全４元組酸中のＣＯの原子比、Ｔｃ：キュリ
ー湯度、Ｈｃ：保磁力８、θに二カー回転角。 ７Ｆ７１ 図 Ｎｏ 想７１ ＴＣ（”Ｃ） Ｈｃ（Ｏｅ）θｋ（１（
Ｔｂｏ、７６Ｄｙｏ、２４）ｏ、２ａｃｏｏ、ｏａＦｅ
ｏ、６４￥Ｊ１２０ ７５０ ０゜２ （Ｔｈｏ、５７
Ｄｙｏ、４３）ｏ、２ｓＣｏｏ、１ａＦｅｏ、ｓ４約１
２５１８９０ ０゜３ （Ｔｂｏ、５ｓＤｙｏ、４ｓ）
ｏ、２６Ｃｏｏ、＋ａＦｅｏ、ｓ６約１２５ ８００
０゜４ （Ｔｂｏ、７ｓＤｙｏ、２ｓ）ｏ、ｚ７ｃｏｏ
、１ａＦｅ １３０ ８００ ０゜５ （Ｔｂ ｏ、５
ｓ Ｄｙｏ、４２） ０．３０ Ｃｏ ｏ、ｏ４Ｆｅ
Ｏ，６６約１３０ ７５０ ０゜６ （Ｔｂｏ、４ｓＤ
ｙｏ、５ｓ）ｏ、３ｏｃｏｏ、＋＋Ｆｅｏ、５９１４０
７５０ ０゜７ （Ｔｂｏ、６７Ｄｙｏ、３３）ｏ、
３２Ｃｏｏ、＋＋Ｆｅｏ、ｓ７杓１４５ ２４００ ０
゜８ （Ｔｂｏ、４３Ｄｙｏ、５７）ｏ、３３ｃｏｏ、
ｏａＦｅｏ、５ｑ １３５ １２５０ ０゜９ （Ｔｂ
ｏ、３７Ｄｙｏ、６３）ｏ、３３ｃｏｏ、ｏｓＦｅｏ、
５ｑ １１５２１００ ０．７）７２ 図 −」 ７３ 口 手続補正４１−（自発） 昭和５９年１０月３１日 １、事件の表示 特願昭５８ １７０３１５２、発明の
名称 磁性薄膜記録媒体 ３、補正をする者 事件との関係 特許１」僧１１人 住友金楓鉱山株式会社 ４、代 理 人 東京都刈宿区新宿４−２−２１ 相模
ビル−：ｒ、ｉｌ ’ ５、補正の対象 発明の詳細な説明の欄及び図面の簡単
な説明の欄（５，補正の内容 （１）明細書８頁６行、１３行、１９行「実施例」を「
比較例」と訂正する。
特性を示す図、第２図乃至第４図Ｑ」、それぞれ第１図
の届４．Ａ、７及びＡ、 ８の実が１】、例に対応する
カーヒステリシスループの形成を示す図、第５図は全４
元組成中のＣＯの原子比とツノ−回転角との関係の一例
を示す図である。 ｘ ： Ｔｂ −］）ｙ ２元組成中の１゛ｂの原−ｊ
″−比、ｙ：４元系非晶質合金薄膜の全４元絹ｙ戎中の
′１゛ｂとＤｙの合計の原子比、Ｚ：４元糸非晶賀自金
れシ肛−の全４元組酸中のＣＯの原子比、Ｔｃ：キュリ
ー湯度、Ｈｃ：保磁力８、θに二カー回転角。 ７Ｆ７１ 図 Ｎｏ 想７１ ＴＣ（”Ｃ） Ｈｃ（Ｏｅ）θｋ（１（
Ｔｂｏ、７６Ｄｙｏ、２４）ｏ、２ａｃｏｏ、ｏａＦｅ
ｏ、６４￥Ｊ１２０ ７５０ ０゜２ （Ｔｈｏ、５７
Ｄｙｏ、４３）ｏ、２ｓＣｏｏ、１ａＦｅｏ、ｓ４約１
２５１８９０ ０゜３ （Ｔｂｏ、５ｓＤｙｏ、４ｓ）
ｏ、２６Ｃｏｏ、＋ａＦｅｏ、ｓ６約１２５ ８００
０゜４ （Ｔｂｏ、７ｓＤｙｏ、２ｓ）ｏ、ｚ７ｃｏｏ
、１ａＦｅ １３０ ８００ ０゜５ （Ｔｂ ｏ、５
ｓ Ｄｙｏ、４２） ０．３０ Ｃｏ ｏ、ｏ４Ｆｅ
Ｏ，６６約１３０ ７５０ ０゜６ （Ｔｂｏ、４ｓＤ
ｙｏ、５ｓ）ｏ、３ｏｃｏｏ、＋＋Ｆｅｏ、５９１４０
７５０ ０゜７ （Ｔｂｏ、６７Ｄｙｏ、３３）ｏ、
３２Ｃｏｏ、＋＋Ｆｅｏ、ｓ７杓１４５ ２４００ ０
゜８ （Ｔｂｏ、４３Ｄｙｏ、５７）ｏ、３３ｃｏｏ、
ｏａＦｅｏ、５ｑ １３５ １２５０ ０゜９ （Ｔｂ
ｏ、３７Ｄｙｏ、６３）ｏ、３３ｃｏｏ、ｏｓＦｅｏ、
５ｑ １１５２１００ ０．７）７２ 図 −」 ７３ 口 手続補正４１−（自発） 昭和５９年１０月３１日 １、事件の表示 特願昭５８ １７０３１５２、発明の
名称 磁性薄膜記録媒体 ３、補正をする者 事件との関係 特許１」僧１１人 住友金楓鉱山株式会社 ４、代 理 人 東京都刈宿区新宿４−２−２１ 相模
ビル−：ｒ、ｉｌ ’ ５、補正の対象 発明の詳細な説明の欄及び図面の簡単
な説明の欄（５，補正の内容 （１）明細書８頁６行、１３行、１９行「実施例」を「
比較例」と訂正する。
Claims (1)
- 膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有するＴｂ −Ｄｙ−
Ｃｏ−Ｆｅ４元系非晶質合金薄膜よりなり、全４元１１
４↓成中ＴｂとＤｙとの金側の原子比が２７〜３５原子
係、Ｃｏの原子比が１〜３５原子饅、残部がｌｉ’ｅカ
）らなり、ＴｂとＤｙとの２元組成中Ｔｂの原子比か５
〜９５原子係となる組成を有することを特徴とする硫性
薄Ｊｌｉ Ｆ己録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17031583A JPS6068607A (ja) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | 磁性薄膜記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17031583A JPS6068607A (ja) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | 磁性薄膜記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6068607A true JPS6068607A (ja) | 1985-04-19 |
Family
ID=15902683
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17031583A Pending JPS6068607A (ja) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | 磁性薄膜記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6068607A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6083305A (ja) * | 1983-10-14 | 1985-05-11 | Hitachi Ltd | 磁気光学媒体 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5231703A (en) * | 1975-09-05 | 1977-03-10 | Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> | Magnetic thin film recording medium |
| JPS5873746A (ja) * | 1981-10-27 | 1983-05-04 | Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> | 光磁気記録媒体 |
| JPS59162250A (ja) * | 1983-03-04 | 1984-09-13 | Toshiba Corp | 磁性合金 |
| JPS59217249A (ja) * | 1983-05-25 | 1984-12-07 | Sony Corp | 光磁気記録媒体 |
-
1983
- 1983-09-14 JP JP17031583A patent/JPS6068607A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5231703A (en) * | 1975-09-05 | 1977-03-10 | Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> | Magnetic thin film recording medium |
| JPS5873746A (ja) * | 1981-10-27 | 1983-05-04 | Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> | 光磁気記録媒体 |
| JPS59162250A (ja) * | 1983-03-04 | 1984-09-13 | Toshiba Corp | 磁性合金 |
| JPS59217249A (ja) * | 1983-05-25 | 1984-12-07 | Sony Corp | 光磁気記録媒体 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6083305A (ja) * | 1983-10-14 | 1985-05-11 | Hitachi Ltd | 磁気光学媒体 |
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